JPS60185901A - 固体撮像素子用色分解フイルタ− - Google Patents
固体撮像素子用色分解フイルタ−Info
- Publication number
- JPS60185901A JPS60185901A JP58204288A JP20428883A JPS60185901A JP S60185901 A JPS60185901 A JP S60185901A JP 58204288 A JP58204288 A JP 58204288A JP 20428883 A JP20428883 A JP 20428883A JP S60185901 A JPS60185901 A JP S60185901A
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- Japan
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- solid
- iron
- filter
- color separation
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- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
層を形成して、外部からの無用な光を遮断し、固体撮像
素子カメラとして光学的なフレアやかぶり現象を防止で
きる固体撮像素子用色分解フィルターに関する。
素子カメラとして光学的なフレアやかぶり現象を防止で
きる固体撮像素子用色分解フィルターに関する。
ＣＯＤ（電荷結合型素子）に代表される固体撮像装置は
テレビカメラの心臓部に用いられているが、このテレビ
カメラのカラー化には、色分解フィルター層を直接固体
撮像素子の受光部の上に設ける場合と、別に作成した色
分解フィルターを固体撮像素子に貼り合わせる場合とが
ある。現状では、フィルターおよび素子の製造歩留まり
が低い等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流であ
る。貼り合わせ方式では、色分解フィルターは、ある厚
み（例えば０． ５〜１． ０ Ｍ程度）を有するガラ
ス透明基板の上に形成されるのであり、そのため、色分
解フィルターの側面部から無用な光が入射し、光学的フ
レアが生じ、カメラにかふり現像が発生しがちであった
。
テレビカメラの心臓部に用いられているが、このテレビ
カメラのカラー化には、色分解フィルター層を直接固体
撮像素子の受光部の上に設ける場合と、別に作成した色
分解フィルターを固体撮像素子に貼り合わせる場合とが
ある。現状では、フィルターおよび素子の製造歩留まり
が低い等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流であ
る。貼り合わせ方式では、色分解フィルターは、ある厚
み（例えば０． ５〜１． ０ Ｍ程度）を有するガラ
ス透明基板の上に形成されるのであり、そのため、色分
解フィルターの側面部から無用な光が入射し、光学的フ
レアが生じ、カメラにかふり現像が発生しがちであった
。
第１図に、従来の色分解フィルター（側面に遮光層がな
い）を用いた固体撮像装置の説明図を示す。
い）を用いた固体撮像装置の説明図を示す。
これによれば、ＣＣＤ （１１の受光部（上面）にフィ
ルター層を接して色分解フィルター（２）が接着剤層（
３）を介して貼り合わされている。ＣＣＤ （１１から
は導線（４）およびリードフレーム（５）を経由して固
体撮像素子パッケージ（６）の外部へ画像に関する電気
信号を伝えられるように構成されている。この固体撮像
装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を通過した光線
が入射するものであるが、封止ガラス板（７）の下面に
は、図示するように、フレア防止板（８）が周辺部に設
けられて外部から斜めに入射する無用の光線をさえぎる
ように工夫されている。
ルター層を接して色分解フィルター（２）が接着剤層（
３）を介して貼り合わされている。ＣＣＤ （１１から
は導線（４）およびリードフレーム（５）を経由して固
体撮像素子パッケージ（６）の外部へ画像に関する電気
信号を伝えられるように構成されている。この固体撮像
装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を通過した光線
が入射するものであるが、封止ガラス板（７）の下面に
は、図示するように、フレア防止板（８）が周辺部に設
けられて外部から斜めに入射する無用の光線をさえぎる
ように工夫されている。
斜めから光線が入射すると、その光線が色分解フィルタ
ー（２）の透明基板（９）の側面より入射し、フレアや
かぶり現象を起こすのであり、これを防止するだめにフ
レア防止板（８）が必要であったのである。
ー（２）の透明基板（９）の側面より入射し、フレアや
かぶり現象を起こすのであり、これを防止するだめにフ
レア防止板（８）が必要であったのである。
このようなフレア防止板（８）は、封止ガラス板（７）
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する必要が
あるものであり、工程的に手間を要するばかりでなく、
近年の固体撮像装置の小形化にともない、作業的にも極
めて困難なものになりつつある。
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する必要が
あるものであり、工程的に手間を要するばかりでなく、
近年の固体撮像装置の小形化にともない、作業的にも極
めて困難なものになりつつある。
本発明は、以上のような従来技術の欠点に鑑み、上述の
フレア防止板を不要にした固体撮像素子用の色分解フィ
ルターを提供するものである。具体的には、ガラス透明
基板の片面に少な（とも色分解用のフィルター層を所定
の色数で所望のバクー／状に形成してなる固体撮像素子
用色分解フィルターの側面に、無電解メッキ法による金
属遮光層を形成してなることを特徴とする。
フレア防止板を不要にした固体撮像素子用の色分解フィ
ルターを提供するものである。具体的には、ガラス透明
基板の片面に少な（とも色分解用のフィルター層を所定
の色数で所望のバクー／状に形成してなる固体撮像素子
用色分解フィルターの側面に、無電解メッキ法による金
属遮光層を形成してなることを特徴とする。
ここで本発明の色分解用カラーフィルター〇一実施例を
示す第２図に従って詳細に説明すると、ガラス透明基板
（１０）は失言したように０５〜１． ＯＭ程度の厚み
を有し、材質としては、石英ガラス、硼硅酸環系ガラス
またはソーダライムガラスを代表とする通常カラスが用
いられる。
示す第２図に従って詳細に説明すると、ガラス透明基板
（１０）は失言したように０５〜１． ＯＭ程度の厚み
を有し、材質としては、石英ガラス、硼硅酸環系ガラス
またはソーダライムガラスを代表とする通常カラスが用
いられる。
このようなガラス透明基板（１０）の片面に、色分解用
のフィルター層（１１）が設けられる。該フィルター層
（１すは、特公昭５２−１７３７５号や特公昭５２−１
７３７６号において公知なように、ゼラチン、グＩＪ、
−、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が光硬化した薄
膜を、染料にて染色した有機樹脂系のフィルク一層があ
るが、そのほか、ＴｉＯ２−８ｉｎ、。
のフィルター層（１１）が設けられる。該フィルター層
（１すは、特公昭５２−１７３７５号や特公昭５２−１
７３７６号において公知なように、ゼラチン、グＩＪ、
−、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が光硬化した薄
膜を、染料にて染色した有機樹脂系のフィルク一層があ
るが、そのほか、ＴｉＯ２−８ｉｎ、。
に例示されるような高屈折率の薄膜と低屈折率の薄膜を
互い違いに１０〜２０層程度積層してなる無機の干渉フ
ィルター層も当然採用できる。
互い違いに１０〜２０層程度積層してなる無機の干渉フ
ィルター層も当然採用できる。
フィルター層（１υは、その厚さは１０μ程度もしくは
それ以下であり、第２図ではその厚みを透明基板（１０
）と比べて非常に誇張して画かれている。しかも第２図
からは明らかでないが、所望の色数、例工ば、ンアン、
イエローの二色あるいは赤、緑、７ｆ等の三色が、所望
のバクーンすなわち、固体撮像素子の受光部の形状に対
応して、設けら７れているものである。多くの場合、透
明基板（１０）の片面には色分解用のフィルター層（１
１）のみならず、フィルター層圓の表面を保護するため
のオーバーコート層が付加されていたり、あるいは各色
のフィルター層の間隙や周辺に光遮光層が設けられてい
るものであり、フィルター層圓と透明基板（］０）のみ
からなる色分解フィルターというものは例が少ない。
それ以下であり、第２図ではその厚みを透明基板（１０
）と比べて非常に誇張して画かれている。しかも第２図
からは明らかでないが、所望の色数、例工ば、ンアン、
イエローの二色あるいは赤、緑、７ｆ等の三色が、所望
のバクーンすなわち、固体撮像素子の受光部の形状に対
応して、設けら７れているものである。多くの場合、透
明基板（１０）の片面には色分解用のフィルター層（１
１）のみならず、フィルター層圓の表面を保護するため
のオーバーコート層が付加されていたり、あるいは各色
のフィルター層の間隙や周辺に光遮光層が設けられてい
るものであり、フィルター層圓と透明基板（］０）のみ
からなる色分解フィルターというものは例が少ない。
しかしながら、フィルター層００についてのこのような
付加的要素は従来公知であり、本発明は、これら従来公
知の色分解フィルターの全てにつ（・てあてはまるもの
であることは言うまでもない。
付加的要素は従来公知であり、本発明は、これら従来公
知の色分解フィルターの全てにつ（・てあてはまるもの
であることは言うまでもない。
このような第２図に示す色分解フィルターの側面には、
金属の無電解めっきを施して、金属遮光層（１２）を設
ける。金属遮光層０２）の材質としては、ニッケル、コ
バルト、鉄、銅、金等から選択される金属の単一めっき
層のほか、ニッケルー鉄、コバルト−鉄、銅−鉄等の組
合わぜから選択されろ合金の無電解めっき層があげられ
る。そのほかに、銅等の金属を無電解めっきし、しかる
後、その表面を化学処理や酸化処理して金属化合物とし
、表面の光反射率の低い金属遮光層とすることもあげら
れる。
金属の無電解めっきを施して、金属遮光層（１２）を設
ける。金属遮光層０２）の材質としては、ニッケル、コ
バルト、鉄、銅、金等から選択される金属の単一めっき
層のほか、ニッケルー鉄、コバルト−鉄、銅−鉄等の組
合わぜから選択されろ合金の無電解めっき層があげられ
る。そのほかに、銅等の金属を無電解めっきし、しかる
後、その表面を化学処理や酸化処理して金属化合物とし
、表面の光反射率の低い金属遮光層とすることもあげら
れる。
該金属遮光層０２）は、マクベス濃度計にて４５以上の
濃度という高い遮光性能があるのが良く、かかる意味か
ら遮光層として金属を用いるのが都合が良い。
濃度という高い遮光性能があるのが良く、かかる意味か
ら遮光層として金属を用いるのが都合が良い。
また、金属遮光層０２）として無電解めっき法にて形成
されたものが良いことの理由を述べると、それは、−口
に言って製造法の簡便さにある。この点を図面の第３図
（ａｌ〜（ｅｌに基いて説明すると、固体撮影素子用色
分解フィルターは、「多面付け」と称して、製造段階で
は、一枚の大きな透明基板（１０ａ）に色分解用のフィ
ルター層（１１）を多数形成し、しかる後に１個毎に断
裁する工程がある。この断裁の際、第３図（ａｌに示す
ように、多面付けにて作製された色分解フィルターの上
面に保護膜０３）を施してフィルター層（１１）を保護
し、下面には粘着層側を有する塩化ビニル樹脂フィルム
等の伸張性フィルム膜（＋５）を貼着した形態で断裁が
行なわれる。第３図（ｂｌは、ダイシング装置等で、切
断溝σ６）が形成、された状態である。すでに明らかな
ように、保護膜（１３）は断裁用冷却液や、断裁時に発
生するガラス（ずによりフィルター層συが汚染される
のを防いで℃・るものである。続いて第３図（ｃ）に示
すように、伸張性のフィルム膜（１５）を図の矢印に示
すように両側に拡げるように力を加えることにより、前
記した断裁溝（１６）の幅を拡大して溝’（１６）’と
する。この状態で無電解メッキ法として知られている手
法すなわち洗浄、脱脂、感脂化、活性化およびメッキ操
作という一連の工程を行なえば、第３図（ｄ）に示すよ
うに、無電解メッキによる金属層＜１．７）が、表面に
一様に形成される。
されたものが良いことの理由を述べると、それは、−口
に言って製造法の簡便さにある。この点を図面の第３図
（ａｌ〜（ｅｌに基いて説明すると、固体撮影素子用色
分解フィルターは、「多面付け」と称して、製造段階で
は、一枚の大きな透明基板（１０ａ）に色分解用のフィ
ルター層（１１）を多数形成し、しかる後に１個毎に断
裁する工程がある。この断裁の際、第３図（ａｌに示す
ように、多面付けにて作製された色分解フィルターの上
面に保護膜０３）を施してフィルター層（１１）を保護
し、下面には粘着層側を有する塩化ビニル樹脂フィルム
等の伸張性フィルム膜（＋５）を貼着した形態で断裁が
行なわれる。第３図（ｂｌは、ダイシング装置等で、切
断溝σ６）が形成、された状態である。すでに明らかな
ように、保護膜（１３）は断裁用冷却液や、断裁時に発
生するガラス（ずによりフィルター層συが汚染される
のを防いで℃・るものである。続いて第３図（ｃ）に示
すように、伸張性のフィルム膜（１５）を図の矢印に示
すように両側に拡げるように力を加えることにより、前
記した断裁溝（１６）の幅を拡大して溝’（１６）’と
する。この状態で無電解メッキ法として知られている手
法すなわち洗浄、脱脂、感脂化、活性化およびメッキ操
作という一連の工程を行なえば、第３図（ｄ）に示すよ
うに、無電解メッキによる金属層＜１．７）が、表面に
一様に形成される。
この後、粘着層側を有する伸張性フィルム膜（１５）か
ら、個々の色分解フィルターを剥離し、しかる電解メッ
キによる金属遮光層（１，２）が形成されたものが得ら
れる。
ら、個々の色分解フィルターを剥離し、しかる電解メッ
キによる金属遮光層（１，２）が形成されたものが得ら
れる。
以上説明したように、本発明の色分解フィルターは、一
枚のガラス透明基板の上に多面付けにて色分解用のフィ
ルター層を形成した場合、断裁工程の中において、付加
的に無電解メッキの工程を設定することにより、フィル
ターの側面という所望の区域にのみ金属遮光層を施すこ
とができるのであり、その製造方法の簡便さは、産業上
太いに利するものと言うほかない。
枚のガラス透明基板の上に多面付けにて色分解用のフィ
ルター層を形成した場合、断裁工程の中において、付加
的に無電解メッキの工程を設定することにより、フィル
ターの側面という所望の区域にのみ金属遮光層を施すこ
とができるのであり、その製造方法の簡便さは、産業上
太いに利するものと言うほかない。
第４図は、本発明の固体撮像素子用色分解フィルターを
ＣＣＤターイブの固体撮像装置に組入れたところを示す
。・図から明らかなように、側面に金属遮光層α２）が
側されているので、固体撮像装置にフレア防止板を設け
る必要がなく、作業的には極めて容易に固体撮像装置を
作製することができる。
ＣＣＤターイブの固体撮像装置に組入れたところを示す
。・図から明らかなように、側面に金属遮光層α２）が
側されているので、固体撮像装置にフレア防止板を設け
る必要がなく、作業的には極めて容易に固体撮像装置を
作製することができる。
以上のように本発明の色分解フィルターは、製造の簡便
さと固定撮像装置に組込んだ時の便宜さが相俟って、実
用上極めて優れたものである。
さと固定撮像装置に組込んだ時の便宜さが相俟って、実
用上極めて優れたものである。
第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説明図であ
り、第２図は、本発明の固体撮像素子用色分解フィルタ
ー〇一実施例を示す模式断面図、第３図（ａｌ〜（ｂｌ
は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を工程
順に示す断面図であり、第４図は、本発明の色分解フィ
ルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示す説明図
である。 （１０１・・・透明基板 （ＩＩ）・フィルター層０２
）・・・金属遮光層 特許出願人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴 木 和 夫 手続補正書（刀剣 日 ■ 事件の表示 昭和５８年特許願第 ２０４２８８ 号２ 発明の名称 固体撮像素子用色分解フィルター ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都台東区台東１丁目５番１号） （） ４、図面の簡単な説明 第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説明図であ
り、第２図は、本発明の固体撮像素子用色分解フィルタ
ーの一実施例を示す模式断面図、第３図ｔａ＋〜（ｃｌ
は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を工程
順に示す断面図であり、第４図は、本発明の色分解フィ
ルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示す説明図
である。 ＧＯ＋・・・透明基板 （ｌυ・・・フィルター層（１
２）・・金属遮光層
り、第２図は、本発明の固体撮像素子用色分解フィルタ
ー〇一実施例を示す模式断面図、第３図（ａｌ〜（ｂｌ
は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を工程
順に示す断面図であり、第４図は、本発明の色分解フィ
ルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示す説明図
である。 （１０１・・・透明基板 （ＩＩ）・フィルター層０２
）・・・金属遮光層 特許出願人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴 木 和 夫 手続補正書（刀剣 日 ■ 事件の表示 昭和５８年特許願第 ２０４２８８ 号２ 発明の名称 固体撮像素子用色分解フィルター ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都台東区台東１丁目５番１号） （） ４、図面の簡単な説明 第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説明図であ
り、第２図は、本発明の固体撮像素子用色分解フィルタ
ーの一実施例を示す模式断面図、第３図ｔａ＋〜（ｃｌ
は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を工程
順に示す断面図であり、第４図は、本発明の色分解フィ
ルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示す説明図
である。 ＧＯ＋・・・透明基板 （ｌυ・・・フィルター層（１
２）・・金属遮光層
Claims (4)
- （１）ガラス透明基板の片面に少な（とも色分解用のフ
ィルター層を所定の色数で所望パターン状に形成してな
る固体撮像素子用色分解フィルターの側面に、無電解メ
ッキによる金属遮光層を形成してなることを特徴とする
固体撮像素子用色分解フィルター。 - （２）金属遮光層が、ニッケル、コバルト、鉄、銅、金
から選択される金属の無電解めっき層である特許請求の
範囲第１項記載の固体撮像素子用フィルター。 - （３）金属遮光層が、ニッケルー鉄、コバルト−鉄、銅
−鉄の組合せから選択される合金の無電解めっき層であ
る特許請求の範囲第１項記載の固体撮像素子用色分解フ
ィルター。 - （４）金属遮光層が金属の無電解めっき層であり、かつ
その表面を低い光反射率の金属化合物としてなる特許請
求の範囲第１項記載の固体撮像素子用色分解フィルター
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204288A JPS60185901A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 固体撮像素子用色分解フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204288A JPS60185901A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 固体撮像素子用色分解フイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60185901A true JPS60185901A (ja) | 1985-09-21 |
| JPH0473122B2 JPH0473122B2 (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=16487993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204288A Granted JPS60185901A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 固体撮像素子用色分解フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60185901A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01154102A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 干渉フイルタ |
| JPH06109915A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| EP0632508A3 (en) * | 1993-07-01 | 1995-04-12 | Sharp Kk | Photodetector with a multi-layer filter and method for its manufacture. |
| JP2011085625A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toppan Printing Co Ltd | カメラモジュール及びその製造方法 |
| CN105278069A (zh) * | 2014-06-20 | 2016-01-27 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种摄像模组及其制造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5654173A (en) * | 1979-10-11 | 1981-05-14 | Toshiba Corp | Solidstate image sensor |
| JPS57183192A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Canon Inc | Color solid-state image pickup device |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP58204288A patent/JPS60185901A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5654173A (en) * | 1979-10-11 | 1981-05-14 | Toshiba Corp | Solidstate image sensor |
| JPS57183192A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Canon Inc | Color solid-state image pickup device |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01154102A (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 干渉フイルタ |
| JPH06109915A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-22 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| EP0632508A3 (en) * | 1993-07-01 | 1995-04-12 | Sharp Kk | Photodetector with a multi-layer filter and method for its manufacture. |
| JP2011085625A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toppan Printing Co Ltd | カメラモジュール及びその製造方法 |
| CN105278069A (zh) * | 2014-06-20 | 2016-01-27 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种摄像模组及其制造方法 |
| CN105278069B (zh) * | 2014-06-20 | 2019-03-12 | 宁波舜宇光电信息有限公司 | 一种摄像模组及其制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0473122B2 (ja) | 1992-11-20 |
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