JPH0473122B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は側面部に外部からの無用な光を遮断す
る無電解メツキ金属遮光層を形成した固体撮像素
子用色分解フイルターの製造方法に関する。

（従来例） CCD（電荷結合型素子）に代表される固体撮像
装置のカラー化には、色分解フイルター層を直接
固体撮像素子の受光部の上に設ける場合と、別に
作成した色分解フイルターを固体撮像素子に貼り
合わせる場合とがある。現状では、フイルターお
よび素子の製造歩留まりが低い等の理由から、後
者の貼り合わせ方式が主流である。貼り合わせ方
式では、色分解フイルターは、ある厚み（例えば
0.5〜1.0mm程度）を有するガラス透明基板の上に
形成されるのであり、そのため、色分解フイルタ
ーの側面部から無用な光が入射し、光学的フレア
が生じ、カメラにかぶり現像が発生しがちであつ
た。

第１図のような、従来の側面に遮光層がない色
分解フイルターを用いた固体撮像装置は、CCD
１の受光部（上面）にフイルター層を接して色分
解フイルター２が接着剤層３を介して貼り合わさ
れている。CCD１からは導線４およびリードフ
レーム５を経由して固体撮像素子パツケージ６の
外部へ画像に関する電気信号を伝えられるように
構成されている。この固体撮像装置にはカメラの
レンズ系（図示せず）を通過した光線が入射する
ものであるが、封止ガラス板７の下面には、図示
するように、フレア防止板８が周辺部に設けられ
て外部から斜めに入射する無用の光線を遮るよう
に工夫されている。斜めから光線が入射すると、
その光線が色分解フイルター２の透明基板９の側
面より入射し、フレアやかぶり現象を起こすので
あり、これを防止するためにフレア防止板８が必
要であつたのである。また、この様なフレア防止
板８は、封止ガラス板７を装着する前に、位置合
わせを行い、接着する必要があり、工程的に手間
を要するばかりでなく、近年の固体撮像装置の小
形化にともない、作業的にも極めて困難になりつ
つある為、側面に遮光膜を設ける事が特開昭56−
54173号公報、特開昭57−183192号公報の文献に
記載されるようになつてきている。

（発明が解決使用とする課題） しかし遮光膜は、遮光膜に入射した光は吸収す
る事によりフレア等を防止する事ができる、しか
し、その入射前反射によりフレア等が起きること
がある為、この従来例の単に遮光膜を形成すると
いう技術思想だけでは充分な効果を収める事が出
来なかつた。

このような課題に鑑み、フレア等を本当の意味
で抑える技術が望まれていた。

（課題を解決する為の手段） ガラス透明基板の片面に少なくとも色分解用の
フイルター層を所定の色数で所望パターン状に形
成してなる固体撮像素子用色分解フイルターの側
面に、無電解メツキ法により金属の無電解めつき
層であり、かつその表面を低い光反射率の金属化
合物である金属遮光層を形成させることにより従
来の課題を解決するものである。

（実施例） ここで本発明の色分解用カラーフイルターの一
実施例を示す第２図に従つて詳細に説明すると、
ガラス透明基板１０は先言した用に0.5〜1.0mm程
度の厚みを有し、材質としては、石英ガラス、硼
硅酸塩系ガラスまたはソーダライムガラスを代表
とする通常ガラスが用いられる。

このようなガラス透明基板１０の片面に、色分
解用のフイルター層１１が設けられる。該フイル
ター層１１は、特公昭52−17375号公報や特公昭
52−17376号において公知なように、ゼラチン、
グリユー、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が
光硬化した薄膜を、染料にて染色した有機樹脂系
のフイルター層があるが、そのほか、TiO₂−
SiO₂に例示されるような高屈折率の薄膜と低屈
折率の薄膜を互い違いに10〜20層程度積層してな
る無機の干渉フイルター層も当然採用できる。

フイルター層１１は、その厚さは10μ程度もし
くはそれ以下であり、第２図ではその厚みを透明
基板１０と比べて非常に誇張して画かれている。
しかも第２図からは明らかでないが、所望の色
数、例えば、シアン、イエローの二色あるいは
赤、緑、青等の三色が、所望のパターンすなわ
ち、固体撮像素子の受光部の形状の対応して、設
けられているものである。多くの場合、透明基板
１０の片面には色分解用のフイルター層１１のみ
ならず、フイルター層１１の表面を保護するため
のオーバーコート層が付加されていたり、あるい
は各色のフイルター層の間隙や周辺に光遮光層が
設けられているものであり、フイルター層１１と
透明基板１０のみからなる色分解フイルターとい
うものは例が少ない。しかしながら、フイルター
層１１についてのこのような付加的要素は従来公
知であり、本発明は、当然これら従来公知の色分
解フイルターの全てについてあてはまる。

このような第２図に示す色分解フイルターの側
面には、金属の無電解めつきを施して、金属遮光
層１２を設ける。金属遮光層１２の材質として
は、ニツケル、コバルト、鉄、銅、金等から選択
される金属の単一めつき層、ニツケル−鉄、コバ
ルト−鉄、銅−鉄等の組合せから選択される合金
の無電解めつき層があげられる。そのほかに、銅
等の金属を無電解めつきし、しかる後、その表面
を化学処理や酸化処理して金属化合物とし、表面
の光反射率の低い金属遮光層とすることもあげら
れる。

該金属遮光層１２は、マクベス濃度計にて4.5
以上の濃度という高い遮光性能があるのが良く、
かかる意味から遮光層として金属を用いるのが都
合が良い。

その製造方法を第３図ａ〜ｅに基いて説明す
る。固体撮影素子用色分解フイルターは、「多面
付け」と称して、製造段階では、一枚の大きな透
明基板１０ａに色分解用のフイルター層１１を多
数形成し、しかる後に１個毎に断裁する行程があ
る。この断裁の際、第３図ａに示すように、多面
付けにて作製された色分解フイルターの上面に保
護膜１３を施してフイルター層１１を保護し、下
面には粘着層１４を有する塩化ビニル樹脂フイル
ム等の伸張性フイルム膜１５を貼着した形態で断
裁が行なわれる。第３図ｂは、ダイシング装置等
で、切断溝１６が形成された状態である。すでに
明らかなように、保護膜１３は断裁用冷却液や、
断裁時に発生するガラスくずによりフイルター層
１１が汚染されるのを防いでいるものである。続
いて第３図ｃに示すように、伸張性のフイルム膜
１５を図の矢印に示すように両側に拡げるように
力を加えることにより、前記した断裁溝１６の幅
を拡大して溝１６′とする。この状態で無電解メ
ツキ法として知られている手法すなわち洗浄、脱
脂、感脂化、活性化およびメツキ操作という一連
の行程を行なえば、第３図ｄに示すように、無電
解メツキによる金属層１７が、表面に一様に形成
される。

この後、粘着層１４を有する伸張性フイルム膜
１５から、個々の色分解フイルターを剥離し、し
かる後保護膜１３を剥がせば、第３図ｅの如く
個々に断裁された色分解フイルター１８の側面に
無電解メツキによる金属遮光層１２が形成された
ものが得られる。

第４図は、本発明の固体撮像素子用色分解フイ
ルターをCCDタイプの固体撮像装置に組入れた
ところを示す。

（発明の効果） 以上説明したように、本願発明の色分解フイル
ターの構成により、外部から斜めに入射する無用
の光線の遮断のみではなく、反射も抑える事によ
り、フレアやかぶりだけではなく、バツクグラン
ドノイズ等も抑える働きを持つ。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説
明図であり、第２図は、本発明により製造された
固体撮像素子用色分解フイルターの一実施例を示
す模式断面図、第３図ａ〜ｅは、本発明の一例を
工程順に示す断面図であり、第４図は、本発明に
より製造された色分解フイルターを固体撮像装置
に組込まれた際の様子を示す説明図である。 １０……透明基板、１１……フイルター層、１
２……金属遮光層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ガラス透明基板の片面に少なくとも色分解用
   のフイルター層を所定の色数で所望パターン状に
   形成してなる固体撮像素子用色分解フイルターの
   側面に、無電解メツキ法により金属の無電解めつ
   き層を形成し、しかる後、その表面を化学処理や
   酸化処理して金属化合物とし、表面の光反射率の
   低い金属遮光層を形成することを特徴とする固体
   撮像素子用色分解フイルターの製造方法。