JPS58122505A - 色分離フイルタ - Google Patents
色分離フイルタInfo
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- JPS58122505A JPS58122505A JP57004714A JP471482A JPS58122505A JP S58122505 A JPS58122505 A JP S58122505A JP 57004714 A JP57004714 A JP 57004714A JP 471482 A JP471482 A JP 471482A JP S58122505 A JPS58122505 A JP S58122505A
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Classifications
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
この発明はたとえば固体撮偉嵩子あるい唸撮像管の面板
と組み合わせて用いられる色分６フイルタに係わり、特
に接着剤を介して固体撮像素子等に貼着して用いられる
色分離フィルタに関する。
と組み合わせて用いられる色分６フイルタに係わり、特
に接着剤を介して固体撮像素子等に貼着して用いられる
色分離フィルタに関する。
発明の技術的背景
カラー撮像用固体撮像素子においては、囲体撮像素子の
画素に対応させて色分離フィルタ０各色が規則正しく配
置されており、さらに隣接画素へ光が洩れるのを防止す
るため、オグテ（カルブラックと呼ばれる黒い光シール
ド部が色分離フィルタの各色フイルタ素子間に設けられ
ている。第１図はこのような光シールド部を有する従来
の色分離フィルタを固体撮像紫子との組合せで示すもの
である。色分離フィルタ１はガラス基板２と、該基板１
表面に所定間隔を以□りて形成された光シールド部３（
たとえば厚さ０−５ Ｊｈｐｎの金属クロム膜）と、こ
れら光シールド部３相互間を埋め込むようにして堆積さ
れた例えばゼラチン等を主体とした赤、緑および青の色
フィルタ素子（ＪＲ，４Ｇ、４Ｂ）から構成されている
。
画素に対応させて色分離フィルタ０各色が規則正しく配
置されており、さらに隣接画素へ光が洩れるのを防止す
るため、オグテ（カルブラックと呼ばれる黒い光シール
ド部が色分離フィルタの各色フイルタ素子間に設けられ
ている。第１図はこのような光シールド部を有する従来
の色分離フィルタを固体撮像紫子との組合せで示すもの
である。色分離フィルタ１はガラス基板２と、該基板１
表面に所定間隔を以□りて形成された光シールド部３（
たとえば厚さ０−５ Ｊｈｐｎの金属クロム膜）と、こ
れら光シールド部３相互間を埋め込むようにして堆積さ
れた例えばゼラチン等を主体とした赤、緑および青の色
フィルタ素子（ＪＲ，４Ｇ、４Ｂ）から構成されている
。
この色分離フィルタ１は接着剤５を介して固体撮像素子
６に貼着される。この固体撮像素子６はシリコン基板１
に規則正しく画素を形成したものであって、色分離フィ
ルタ１０色フィルタ素子ＪＲ，４Ｇ、４Ｂに対応して感
光部８Ｒｓ８Ｇおよび８Ｂが規則正しく配列されている
。
６に貼着される。この固体撮像素子６はシリコン基板１
に規則正しく画素を形成したものであって、色分離フィ
ルタ１０色フィルタ素子ＪＲ，４Ｇ、４Ｂに対応して感
光部８Ｒｓ８Ｇおよび８Ｂが規則正しく配列されている
。
これら感光部８Ｒ，ＪＩＧおよび８Ｂ上には電極（図示
しない）、光シールド膜９等を支持するようにして８１
０２等からなる絶縁膜１０が被着されている。この光シ
ールド膜９は通常Ａｔ膜からなシ、画素の感光部以外に
光が当らないように感光部８Ｒ１ＦＩＧ１８Ｂ相互間の
上方に設けられ、さらにその上部にはＰＳＧ ％ Ｓｔ
、Ｎ４等のパ、シペーション膜（図示しない）が被着さ
れている。
しない）、光シールド膜９等を支持するようにして８１
０２等からなる絶縁膜１０が被着されている。この光シ
ールド膜９は通常Ａｔ膜からなシ、画素の感光部以外に
光が当らないように感光部８Ｒ１ＦＩＧ１８Ｂ相互間の
上方に設けられ、さらにその上部にはＰＳＧ ％ Ｓｔ
、Ｎ４等のパ、シペーション膜（図示しない）が被着さ
れている。
背景技術の問題点
このような固体撮像素子において、垂直入射光Ｃ）が入
る場合は問題はないが、レンズの絞シを開けていくと、
入射光線は成る角度を持ちはじめ、図示の如く斜め入射
光（ｂ）以上になると、たとえば、図中夫の緑のフィル
タ素子４Ｇを通過した光が隣接する感光部８Ｒに入射す
るように力る。この感光部８Ｒは本来、赤のフィルタ４
Ｒを通過した光を受は赤の信号電荷を取シ出すだめのも
のであるが、ここに緑の信号が入）込むと、混色が起り
、色の純度を低下させ、色調の悪い画像を与えることに
なる。
る場合は問題はないが、レンズの絞シを開けていくと、
入射光線は成る角度を持ちはじめ、図示の如く斜め入射
光（ｂ）以上になると、たとえば、図中夫の緑のフィル
タ素子４Ｇを通過した光が隣接する感光部８Ｒに入射す
るように力る。この感光部８Ｒは本来、赤のフィルタ４
Ｒを通過した光を受は赤の信号電荷を取シ出すだめのも
のであるが、ここに緑の信号が入）込むと、混色が起り
、色の純度を低下させ、色調の悪い画像を与えることに
なる。
このような欠点を防止するために、光シールド部３ある
いは光シールド膜９を大きくすることも考えられるが、
その場合には垂直入射光を遮断する割合が大きくなり装
置全体の感度を下げることになり実用上好ましくない。
いは光シールド膜９を大きくすることも考えられるが、
その場合には垂直入射光を遮断する割合が大きくなり装
置全体の感度を下げることになり実用上好ましくない。
発明の目的
この発明は装置全体の感度を損うことなく、混色の発生
を防止し得る色分離フィルタを提供することを目的とす
る。
を防止し得る色分離フィルタを提供することを目的とす
る。
究明の概要
すなわち、この発明は隣接する各色フイルタ素子間に光
シールド部を設けてなる色分離フィルタにおいて、該光
シールド部の厚みを該色フィルタ素子よシも十分に厚く
して色フィルタ素子を通過する斜め入射光を該光シール
ド部の側面においても遮断するようにしたことを特徴と
する色分離フィルタを提供するものである。
シールド部を設けてなる色分離フィルタにおいて、該光
シールド部の厚みを該色フィルタ素子よシも十分に厚く
して色フィルタ素子を通過する斜め入射光を該光シール
ド部の側面においても遮断するようにしたことを特徴と
する色分離フィルタを提供するものである。
発明の実施例
以下、この発明を第２図および第３図に示す実施例を参
照して説明する。
照して説明する。
第２図中、１１は基板ガラスであって、その上にまず８
１０２を全面に数μｍ程度の厚みに蒸着したのち、マス
キング材料を用いて選択的に工、テングし、オグティカ
ル・ｆ ’７ ｙり部に相当する部分を残して５ＩＯ２
をエツチング除去し、突起部１２を形成する。ついでこ
れら突起部１２にのみ光遮断膜１３、たとえばクロム膜
を蒸着する。この場合、たとえば光遮断膜１３の蒸着を
突起部１２が遮蔽マスクとなるように角度を適当に選び
斜め方向からの蒸着をおこなうことによシ突起部１２の
側面および上面にのみ光遮断膜１３を蒸着する事もでき
る。
１０２を全面に数μｍ程度の厚みに蒸着したのち、マス
キング材料を用いて選択的に工、テングし、オグティカ
ル・ｆ ’７ ｙり部に相当する部分を残して５ＩＯ２
をエツチング除去し、突起部１２を形成する。ついでこ
れら突起部１２にのみ光遮断膜１３、たとえばクロム膜
を蒸着する。この場合、たとえば光遮断膜１３の蒸着を
突起部１２が遮蔽マスクとなるように角度を適当に選び
斜め方向からの蒸着をおこなうことによシ突起部１２の
側面および上面にのみ光遮断膜１３を蒸着する事もでき
る。
次に突起部１２相互間にたとえばゼラチンを主成分とす
る色フィルタ１４１ １４ Ｇ、１４Ｂをたとえば３μ
ｍの厚みに形成する。このような構成の色分離フィルタ
を第１図と同様にして従来の固体撮像素子６に接着剤５
を介して組み合せる。この固体撮像装置においては、カ
メラの絞りを開いて第１図と同様の斜め入射先負）が入
った場合でも突起部１２の側面の光遮断膜１３によシ遮
断され、この斜め入射光（ｂ）と平行な斜め入射光（ｂ
つがたとえ色分離フィルタ１６を通過したとしても固体
撮像素子６の光シールド膜９によって遮光される。他方
、垂直入射光は従来のものと同様に固体撮像素子６の感
光部ＳＲ。
る色フィルタ１４１ １４ Ｇ、１４Ｂをたとえば３μ
ｍの厚みに形成する。このような構成の色分離フィルタ
を第１図と同様にして従来の固体撮像素子６に接着剤５
を介して組み合せる。この固体撮像装置においては、カ
メラの絞りを開いて第１図と同様の斜め入射先負）が入
った場合でも突起部１２の側面の光遮断膜１３によシ遮
断され、この斜め入射光（ｂ）と平行な斜め入射光（ｂ
つがたとえ色分離フィルタ１６を通過したとしても固体
撮像素子６の光シールド膜９によって遮光される。他方
、垂直入射光は従来のものと同様に固体撮像素子６の感
光部ＳＲ。
８Ｇ、８Ｂに到達するから、従来のものと同様の感度を
保持しつつ、混色を改善することができる。
保持しつつ、混色を改善することができる。
なお、上記実施例では突起部１２として５ｔＯ２からな
るものについて述べたが、その他、ガラス、たとえはり
んシリケートガラス等をＣＶＤ法によシ基板ガラス１１
上に堆積させ、ついで選択エツチング等により形成する
こともできる。
るものについて述べたが、その他、ガラス、たとえはり
んシリケートガラス等をＣＶＤ法によシ基板ガラス１１
上に堆積させ、ついで選択エツチング等により形成する
こともできる。
さらに、従来干渉フィルタ材料として知られている酸化
物、弗化物等を用いる事もできる。また、光遮断膜１３
としてクロム膜を用いた例について説明したが、その低
酸化クロムと重畳させた低反射膜岬など公知の光遮断性
膜を適宜使用することができる。
物、弗化物等を用いる事もできる。また、光遮断膜１３
としてクロム膜を用いた例について説明したが、その低
酸化クロムと重畳させた低反射膜岬など公知の光遮断性
膜を適宜使用することができる。
なお、突起部１２０基部又はその近傍に被着された光遮
断膜１３に多少の空隙が生じ、これから斜め入射光が突
起部１２中を透過した場合で屯突起部先端部の光遮断膜
１３に当って反射若しくは吸収させることができる。
断膜１３に多少の空隙が生じ、これから斜め入射光が突
起部１２中を透過した場合で屯突起部先端部の光遮断膜
１３に当って反射若しくは吸収させることができる。
上記実施例では５１０２等からなる突起部に光遮断膜を
形成させた２層構造のものについて述べたが、これに限
らず単層構造、あるいは３層以上の構造のものなど適宜
採用し得る。ｌ！は側面の長さが充分に大きく、斜め入
射光をこの側面で十分に遮光し得るものであればよい。
形成させた２層構造のものについて述べたが、これに限
らず単層構造、あるいは３層以上の構造のものなど適宜
採用し得る。ｌ！は側面の長さが充分に大きく、斜め入
射光をこの側面で十分に遮光し得るものであればよい。
たとえば、第３図の如き構造からなるものであってもよ
い。この第３図の実施例で第２図のものと異なる点は光
遮断用の突起部全体が光シールド材料から形成されてい
ることである・すなわち、第３図に示す色分離フィルタ
１１はガラス基板１１と、該基板１１の表面に所定間隔
をもって突設された光シールド部１８と、該光シールド
部１８相互間被着された色フィルタ素子１４Ｂ、１４Ｇ
、１４Ｂとから構成されている。この光シールド部１８
の形成方法としてはゼラチン等からなる有機フィルタ自
体を何層かに厚く塗布し、各層毎に着色して全体が黒色
となるようにし、所定部分をエツチング除去する方法、
または公知の写真フィルム用感光剤を厚く塗シ、オシテ
ィカルブラックとすべき部分を感光させ、ついで現像、
定着によ〕残す方法を用いることができる。
い。この第３図の実施例で第２図のものと異なる点は光
遮断用の突起部全体が光シールド材料から形成されてい
ることである・すなわち、第３図に示す色分離フィルタ
１１はガラス基板１１と、該基板１１の表面に所定間隔
をもって突設された光シールド部１８と、該光シールド
部１８相互間被着された色フィルタ素子１４Ｂ、１４Ｇ
、１４Ｂとから構成されている。この光シールド部１８
の形成方法としてはゼラチン等からなる有機フィルタ自
体を何層かに厚く塗布し、各層毎に着色して全体が黒色
となるようにし、所定部分をエツチング除去する方法、
または公知の写真フィルム用感光剤を厚く塗シ、オシテ
ィカルブラックとすべき部分を感光させ、ついで現像、
定着によ〕残す方法を用いることができる。
この場合も実施例１と同様に、斜め入射光（ｂ）、６′
）が入ったとしても光シールド部１８あるいは固体撮像
素子６の光シールド膜９によって反射または吸収される
ので混色を著るしく改善することができる。なお、本図
中、光シールド部１８以外の構成は第２図の場合と同様
であるから同一符号を付すことにょシ説明を省略する。
）が入ったとしても光シールド部１８あるいは固体撮像
素子６の光シールド膜９によって反射または吸収される
ので混色を著るしく改善することができる。なお、本図
中、光シールド部１８以外の構成は第２図の場合と同様
であるから同一符号を付すことにょシ説明を省略する。
発明の効果
以上詳述したように、この発明によれば光シールド部の
厚みを十分に大きくシ、その側面を利用して斜め入射光
を反射、吸収するようにしたから、装置全体の感度を何
んら損うことなく混色の著るしい改善を図るととが可能
となる。
厚みを十分に大きくシ、その側面を利用して斜め入射光
を反射、吸収するようにしたから、装置全体の感度を何
んら損うことなく混色の著るしい改善を図るととが可能
となる。
第１図は従来の固体撮儂装置の要部断面図、第２図およ
び第３図は本発明の実施例に係わる色分離フィルタを用
いた固体撮儂装置の要部断面図である。 図中、１・・・色分離フィルタ、２・・・、ｆラスＪ［
，３…光シ一ルド部、ＪＲ％ ４Ｇ％ ４Ｂ・・・
色フィルタ素子、５・・・接着剤、Ｉ・・・固体撮＊累
子、７・・・シリコン基板、８Ｒ，８Ｇ、ｇＢ・・・感
光部、９・・・光シールド膜、１１・・・基板ガラス、
１２・・・突起部、１３・・・光遮断膜、１４′Ｒ，１
４Ｇ、１４Ｂ・・・色フィルタ素子、Ｉｓ、１１・・・
色分離フィルタ、１８・・・光シールド部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 廖第１図 ａｂ 第２図
び第３図は本発明の実施例に係わる色分離フィルタを用
いた固体撮儂装置の要部断面図である。 図中、１・・・色分離フィルタ、２・・・、ｆラスＪ［
，３…光シ一ルド部、ＪＲ％ ４Ｇ％ ４Ｂ・・・
色フィルタ素子、５・・・接着剤、Ｉ・・・固体撮＊累
子、７・・・シリコン基板、８Ｒ，８Ｇ、ｇＢ・・・感
光部、９・・・光シールド膜、１１・・・基板ガラス、
１２・・・突起部、１３・・・光遮断膜、１４′Ｒ，１
４Ｇ、１４Ｂ・・・色フィルタ素子、Ｉｓ、１１・・・
色分離フィルタ、１８・・・光シールド部。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 廖第１図 ａｂ 第２図
Claims (4)
- （１） 隣接する各色フイルタ素子間に光シールド部
を設けてなる色分離フィルタにおいて、該光シールド部
の厚みを腋色フィルタ素子よシも十分に厚くして色フィ
ルタ素子を通過する斜め入射光を該光シールド部の側面
においても遮断するようにしたことを特徴とする色分離
フィルタ。 - （２）光７−ルド部が色フイルタ素子表面よシ突出して
設けられている特許請求の範囲第１項記載の色分離フィ
ルタ。 - （３）光シールド部が表面に光遮断層を被覆してなるも
のである特許請求の範囲第１項又は２項記載の色分離フ
ィルタも - （４）光シールド部が全体として黒色となる光遮断材料
からなる特許請求の範囲第１項又２項記載Ｏ色分離フィ
ルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004714A JPS58122505A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 色分離フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57004714A JPS58122505A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 色分離フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58122505A true JPS58122505A (ja) | 1983-07-21 |
Family
ID=11591547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57004714A Pending JPS58122505A (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 色分離フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58122505A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60166904A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-08-30 | Matsushita Electronics Corp | 色分離用フイルタ |
| JPS63249108A (ja) * | 1987-04-03 | 1988-10-17 | Fujitsu Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPH0310227U (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-31 | ||
| WO1994007158A1 (fr) * | 1992-09-17 | 1994-03-31 | Seiko Epson Corporation | Filtre colore pour affichage a cristaux liquides et appareil de formation de film par tension et expansion |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP57004714A patent/JPS58122505A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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