JPH10209410A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法Info
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- JPH10209410A JPH10209410A JP9007606A JP760697A JPH10209410A JP H10209410 A JPH10209410 A JP H10209410A JP 9007606 A JP9007606 A JP 9007606A JP 760697 A JP760697 A JP 760697A JP H10209410 A JPH10209410 A JP H10209410A
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- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 13
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタの隣接して形成されるフィル
タに被りや隙間を生じることなく良好な形状に形成する
固体撮像装置の製造方法の提供。 【解決手段】 平坦化膜６上に赤フィルタ７ａを覆って
緑フィルタ７ｂを形成し、さらに緑フィルタ７ｂを覆っ
て青フィルタ７ｃを形成する。次に、異方性エッチング
で青フィルタ７ｃ、緑フィルタ７ｂおよび赤フィルタ７
ａの一部を順次除去することにより、所望の均一な厚さ
のカラーフィルタ７を形成することを特徴とする。 【効果】 隣接するフィルタは、被りや隙間を生じるこ
となく、また、異方性エッチングの制御によりカラーフ
ィルタの膜厚をより薄く形成することができるので、固
体撮像素子の感度やスミア等の特性変動を小とすること
ができる。
タに被りや隙間を生じることなく良好な形状に形成する
固体撮像装置の製造方法の提供。 【解決手段】 平坦化膜６上に赤フィルタ７ａを覆って
緑フィルタ７ｂを形成し、さらに緑フィルタ７ｂを覆っ
て青フィルタ７ｃを形成する。次に、異方性エッチング
で青フィルタ７ｃ、緑フィルタ７ｂおよび赤フィルタ７
ａの一部を順次除去することにより、所望の均一な厚さ
のカラーフィルタ７を形成することを特徴とする。 【効果】 隣接するフィルタは、被りや隙間を生じるこ
となく、また、異方性エッチングの制御によりカラーフ
ィルタの膜厚をより薄く形成することができるので、固
体撮像素子の感度やスミア等の特性変動を小とすること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン基板に受
光部を形成する工程と、受光部上に平坦化膜を形成する
工程と、平坦化膜上に複数のフィルタを対とするカラー
フィルタを形成する工程と、カラーフィルタ上に集光レ
ンズを形成する工程とを有する固体撮像素子の製造方法
に関し、特に複数のフィルタを対とするカラーフィルタ
を形成する工程に関する。
光部を形成する工程と、受光部上に平坦化膜を形成する
工程と、平坦化膜上に複数のフィルタを対とするカラー
フィルタを形成する工程と、カラーフィルタ上に集光レ
ンズを形成する工程とを有する固体撮像素子の製造方法
に関し、特に複数のフィルタを対とするカラーフィルタ
を形成する工程に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の固体撮像装置の概略断面
図である。シリコン基板１上にはイメージエリアを構成
する複数の受光部２が形成され、各々の受光部２の間の
シリコン基板１上にはポリシリコンで構成された転送電
極３が形成され、受光部２と転送電極３との上には受光
部２のみ開口し、アルミニウムなどで構成された遮光膜
４が形成され、遮光膜４上には遮光膜４全面を覆うよう
にポリシリコンなどで構成されたデバイス保護膜５が形
成され、デバイス保護膜５上にはアクリル系共重合体樹
脂などで構成された平坦化膜６が形成され、平坦化膜６
上には各々の受光部２に対応した位置に例えば赤フィル
タ７ａ、緑フィルタ７ｂおよび青フィルタ７ｃで構成さ
れたカラーフィルタ７が形成され、カラーフィルタ７上
には各々の受光部２に対応した位置に集光レンズ８が形
成されている。
図である。シリコン基板１上にはイメージエリアを構成
する複数の受光部２が形成され、各々の受光部２の間の
シリコン基板１上にはポリシリコンで構成された転送電
極３が形成され、受光部２と転送電極３との上には受光
部２のみ開口し、アルミニウムなどで構成された遮光膜
４が形成され、遮光膜４上には遮光膜４全面を覆うよう
にポリシリコンなどで構成されたデバイス保護膜５が形
成され、デバイス保護膜５上にはアクリル系共重合体樹
脂などで構成された平坦化膜６が形成され、平坦化膜６
上には各々の受光部２に対応した位置に例えば赤フィル
タ７ａ、緑フィルタ７ｂおよび青フィルタ７ｃで構成さ
れたカラーフィルタ７が形成され、カラーフィルタ７上
には各々の受光部２に対応した位置に集光レンズ８が形
成されている。
【０００３】ところで、従来カラーフィルタ７を形成す
る工程ではステッパーで作成された赤フィルタ７ａ形成
用専用パターン、緑フィルタ７ｂ形成用専用パターン、
青フィルタ７ｃ形成用専用パターンが使用されている。
従って、赤フィルタ７ａ、緑フィルタ７ｂあるいは青フ
ィルタ７ｃがずれて形成される虞があり、一例として図
２に示したように、緑フィルタ７ｂが隣接して形成され
た赤フィルタ７ａの一部に被って形成されたり、緑フィ
ルタ７ｂと青フィルタ７ｃとの間に隙間が生じて形成さ
れる虞がある。このようにカラーフィルタ７が形成され
ると、被った部分や隙間の生じた部分を透過した光が不
規則に曲げられて受光部２に入射し、画像欠陥を発生さ
せる一要因となっていた。
る工程ではステッパーで作成された赤フィルタ７ａ形成
用専用パターン、緑フィルタ７ｂ形成用専用パターン、
青フィルタ７ｃ形成用専用パターンが使用されている。
従って、赤フィルタ７ａ、緑フィルタ７ｂあるいは青フ
ィルタ７ｃがずれて形成される虞があり、一例として図
２に示したように、緑フィルタ７ｂが隣接して形成され
た赤フィルタ７ａの一部に被って形成されたり、緑フィ
ルタ７ｂと青フィルタ７ｃとの間に隙間が生じて形成さ
れる虞がある。このようにカラーフィルタ７が形成され
ると、被った部分や隙間の生じた部分を透過した光が不
規則に曲げられて受光部２に入射し、画像欠陥を発生さ
せる一要因となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、カラ
ーフィルタの隣接して形成されるフィルタに被りや隙間
を生じることなく良好な形状に形成する固体撮像装置の
製造方法を提供することである。
ーフィルタの隣接して形成されるフィルタに被りや隙間
を生じることなく良好な形状に形成する固体撮像装置の
製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の固体撮像素子の製造方法では、シリコン基
板に受光部を形成する工程と、受光部上に平坦化膜を形
成する工程と、平坦化膜上に複数のフィルタ、例えば赤
フィルタ、緑フィルタおよび青フィルタを対として構成
されるカラーフィルタを形成する工程と、カラーフィル
タ上に集光レンズを形成する工程とを有する固体撮像素
子の製造方法であって、カラーフィルタを形成する工程
が、複数のフィルタのうちの何れか一種、例えば赤フィ
ルタを平坦化膜上に形成した後、他のフィルタの緑フィ
ルタおよび青フィルタを順次覆うようにして形成する工
程と、順次形成された青フィルタ、緑フィルタおよび赤
フィルタの一部を異方性エッチングにより順次除去し、
カラーフィルタを均一な厚さに形成する工程とを有する
ことを特徴とする。
に、本発明の固体撮像素子の製造方法では、シリコン基
板に受光部を形成する工程と、受光部上に平坦化膜を形
成する工程と、平坦化膜上に複数のフィルタ、例えば赤
フィルタ、緑フィルタおよび青フィルタを対として構成
されるカラーフィルタを形成する工程と、カラーフィル
タ上に集光レンズを形成する工程とを有する固体撮像素
子の製造方法であって、カラーフィルタを形成する工程
が、複数のフィルタのうちの何れか一種、例えば赤フィ
ルタを平坦化膜上に形成した後、他のフィルタの緑フィ
ルタおよび青フィルタを順次覆うようにして形成する工
程と、順次形成された青フィルタ、緑フィルタおよび赤
フィルタの一部を異方性エッチングにより順次除去し、
カラーフィルタを均一な厚さに形成する工程とを有する
ことを特徴とする。
【０００６】上述した手段による作用としては、隣接し
て形成されるフィルタに被りや隙間を生じることなく良
好な形状に形成することができ、また、異方性エッチン
グを制御すればカラーフィルタを薄く形成できるととも
に固体撮像素子の厚さを小とすることができ、結果的に
固体撮像素子の画像欠陥を小とすることができることで
ある。
て形成されるフィルタに被りや隙間を生じることなく良
好な形状に形成することができ、また、異方性エッチン
グを制御すればカラーフィルタを薄く形成できるととも
に固体撮像素子の厚さを小とすることができ、結果的に
固体撮像素子の画像欠陥を小とすることができることで
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の固体撮像素子の製
造方法について、一例として赤フィルタ、緑フィルタ、
青フィルタの順にカラーフィルタを形成する工程を図１
（ａ）ないし（ｅ）の概略断面図を参照して説明する。
なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の構造を成し
ているものについては、同一の参照符号を付すものとす
る。
造方法について、一例として赤フィルタ、緑フィルタ、
青フィルタの順にカラーフィルタを形成する工程を図１
（ａ）ないし（ｅ）の概略断面図を参照して説明する。
なお、図中の構成要素で従来の技術と同様の構造を成し
ているものについては、同一の参照符号を付すものとす
る。
【０００８】先ず、図１（ａ）に示したように、染色法
あるいはカラーレジスト法により、赤フィルタ７ａを所
望する厚さよりも厚めに形成する。
あるいはカラーレジスト法により、赤フィルタ７ａを所
望する厚さよりも厚めに形成する。
【０００９】次に、図１（ｂ）に示したように、赤フィ
ルタ７ａを覆って緑フィルタ７ｂを形成する。この工程
で使用されるパターンは、緑フィルタ７ｂが赤フィルタ
７ａを覆って形成してもよいので、次の工程で形成され
る青フィルタ７ｃ形成部分をマスキングしたものでよ
い。
ルタ７ａを覆って緑フィルタ７ｂを形成する。この工程
で使用されるパターンは、緑フィルタ７ｂが赤フィルタ
７ａを覆って形成してもよいので、次の工程で形成され
る青フィルタ７ｃ形成部分をマスキングしたものでよ
い。
【００１０】次に、図１（ｃ）に示したように、緑フィ
ルタ７ｂを覆って青フィルタ７ｃを形成する。この工程
では青フィルタ７ｃが赤フィルタ７ａおよび緑フィルタ
７ｂを覆って形成してもよいので、マスクは不要であ
る。
ルタ７ｂを覆って青フィルタ７ｃを形成する。この工程
では青フィルタ７ｃが赤フィルタ７ａおよび緑フィルタ
７ｂを覆って形成してもよいので、マスクは不要であ
る。
【００１１】次に、図１（ｄ）に示したように、ドライ
エッチングなどの異方性エッチングにより青フィルタ７
ｃ、緑フィルタ７ｂおよび赤フィルタ７ａの一部を順次
除去し、所望の均一な厚さの赤フィルタ７ａ、緑フィル
タ７ｂおよび青フィルタ７ｃで構成されたカラーフィル
タ７が形成される。そして、隣接して形成された赤フィ
ルタ７ａ、緑フィルタ７ｂおよび青フィルタ７ｃには被
りや隙間が生じない。また、異方性エッチングを制御す
ることによりカラーフィルタ７の膜厚をより薄く形成す
ることができるので、撮像装置に組み込まれたレンズの
絞り値が変わることによる固体撮像素子の感度やスミア
などの特性変動を小とすることができる。
エッチングなどの異方性エッチングにより青フィルタ７
ｃ、緑フィルタ７ｂおよび赤フィルタ７ａの一部を順次
除去し、所望の均一な厚さの赤フィルタ７ａ、緑フィル
タ７ｂおよび青フィルタ７ｃで構成されたカラーフィル
タ７が形成される。そして、隣接して形成された赤フィ
ルタ７ａ、緑フィルタ７ｂおよび青フィルタ７ｃには被
りや隙間が生じない。また、異方性エッチングを制御す
ることによりカラーフィルタ７の膜厚をより薄く形成す
ることができるので、撮像装置に組み込まれたレンズの
絞り値が変わることによる固体撮像素子の感度やスミア
などの特性変動を小とすることができる。
【００１２】次に、図１（ｅ）に示したように、従来と
同様の工程によりカラーフィルタ７上に集光レンズ８を
形成すれば、固体撮像素子が完成する。
同様の工程によりカラーフィルタ７上に集光レンズ８を
形成すれば、固体撮像素子が完成する。
【００１３】
【発明の効果】本発明の固体撮像素子の製造方法によれ
ば、固体撮像素子を構成するカラーフィルタの隣接して
形成されるフィルタに、被りや隙間を生じることなく良
好な形状に形成することができる。また、異方性エッチ
ングを制御することによりカラーフィルタの膜厚をより
薄く形成することができるので、撮像装置に組み込まれ
たレンズの絞り値が変わることによる感度やスミアなど
の特性変動を小とする固体撮像素子を提供することがで
きる。
ば、固体撮像素子を構成するカラーフィルタの隣接して
形成されるフィルタに、被りや隙間を生じることなく良
好な形状に形成することができる。また、異方性エッチ
ングを制御することによりカラーフィルタの膜厚をより
薄く形成することができるので、撮像装置に組み込まれ
たレンズの絞り値が変わることによる感度やスミアなど
の特性変動を小とする固体撮像素子を提供することがで
きる。
【図１】 本発明の実施の形態例を示し、（ａ）ないし
（ｅ）は赤フィルタ、緑フィルタ、青フィルタの順にカ
ラーフィルタを形成する工程を説明する概略断面図であ
る。
（ｅ）は赤フィルタ、緑フィルタ、青フィルタの順にカ
ラーフィルタを形成する工程を説明する概略断面図であ
る。
【図２】 従来例を示し、固体撮像装置の概略断面図で
ある。
ある。
１…シリコン基板、２…受光部、３…転送電極、４…遮
光膜、５…デバイス保護膜、６…平坦化膜、７…カラー
フィルタ、７ａ…赤フィルタ、７ｂ…緑フィルタ、７ｃ
…青フィルタ、８…集光レンズ
光膜、５…デバイス保護膜、６…平坦化膜、７…カラー
フィルタ、７ａ…赤フィルタ、７ｂ…緑フィルタ、７ｃ
…青フィルタ、８…集光レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】 シリコン基板に受光部を形成する工程
と、 前記受光部上に平坦化膜を形成する工程と、 前記平坦化膜上に複数のフィルタを対とするカラーフィ
ルタを形成する工程と、 前記カラーフィルタ上に集光レンズを形成する工程とを
有する固体撮像素子の製造方法であって、 前記カラーフィルタを形成する工程が、 複数の前記フィルタのうちの何れか一種を前記平坦化膜
上に形成した後、他の前記フィルタを順次覆うようにし
て形成する工程と、 前記フィルタの一部を異方性エッチングにより除去し、
前記カラーフィルタを均一な厚さに形成する工程とを有
するものであることを特徴とする固体撮像素子の製造方
法。 - 【請求項２】 前記カラーフィルタが、赤フィルタ、緑
フィルタおよび青フィルタを対として、複数対配設され
ているものであることを特徴とする請求項１に記載の固
体撮像素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9007606A JPH10209410A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9007606A JPH10209410A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10209410A true JPH10209410A (ja) | 1998-08-07 |
Family
ID=11670472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9007606A Pending JPH10209410A (ja) | 1997-01-20 | 1997-01-20 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10209410A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7202103B2 (en) | 2002-10-09 | 2007-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Overlapped color filter fabrication technique |
| US7295235B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-11-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image pickup device |
| WO2009104339A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
| US8158307B2 (en) | 2007-02-14 | 2012-04-17 | Fujifilm Corporation | Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state image pickup element |
| US8343365B2 (en) | 2006-07-19 | 2013-01-01 | Fujifilm Corporation | Method for producing color filter |
-
1997
- 1997-01-20 JP JP9007606A patent/JPH10209410A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7295235B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-11-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image pickup device |
| US7777795B2 (en) | 2002-09-20 | 2010-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid-state image pickup device |
| US7202103B2 (en) | 2002-10-09 | 2007-04-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Overlapped color filter fabrication technique |
| US8343365B2 (en) | 2006-07-19 | 2013-01-01 | Fujifilm Corporation | Method for producing color filter |
| US8158307B2 (en) | 2007-02-14 | 2012-04-17 | Fujifilm Corporation | Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state image pickup element |
| WO2009104339A1 (ja) * | 2008-02-20 | 2009-08-27 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
| JP2009198664A (ja) * | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
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