JPS60175005A - 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法Info
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- JPS60175005A JPS60175005A JP59030888A JP3088884A JPS60175005A JP S60175005 A JPS60175005 A JP S60175005A JP 59030888 A JP59030888 A JP 59030888A JP 3088884 A JP3088884 A JP 3088884A JP S60175005 A JPS60175005 A JP S60175005A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は側面部に無電解メッキによる金属遮光層を形成
して、外部からの無用な光を遮断し、固体撮像素子カメ
ラとして光学的なフレアやがぶり現象を防止できる固体
撮像素子用色分解フィルターの製造方法に関する。
して、外部からの無用な光を遮断し、固体撮像素子カメ
ラとして光学的なフレアやがぶり現象を防止できる固体
撮像素子用色分解フィルターの製造方法に関する。
ＣＣ，Ｄ（電荷結合型素子）に代表される固体撮像装置
はテレビカメラの心臓部に用いられているが、このテレ
ビカメラのカラー化には、色分解フィルター層を直接固
体撮像素子の受光部の上に設ける場合と、別に作成した
色分解フィルターを固体撮は素子に貼り合わせる場合と
がある。現状では、フィルターおよび素子の製造歩留ま
りが低い等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流で
ある。貼り合わせ方式では、色分解フィルターは、ある
厚み（例えば０５〜１．０ｍ＋ｎ程度）を有するガラス
透明基板の上に形成されるのであり、そのため、色分解
フィルターの側面部から無用な元が入射し、光学的フレ
アが生じ、カメラにかぶり現像が発生しがちであった。
はテレビカメラの心臓部に用いられているが、このテレ
ビカメラのカラー化には、色分解フィルター層を直接固
体撮像素子の受光部の上に設ける場合と、別に作成した
色分解フィルターを固体撮は素子に貼り合わせる場合と
がある。現状では、フィルターおよび素子の製造歩留ま
りが低い等の理由から、後者の貼り合わせ方式が主流で
ある。貼り合わせ方式では、色分解フィルターは、ある
厚み（例えば０５〜１．０ｍ＋ｎ程度）を有するガラス
透明基板の上に形成されるのであり、そのため、色分解
フィルターの側面部から無用な元が入射し、光学的フレ
アが生じ、カメラにかぶり現像が発生しがちであった。
第１図に、従来の色分解フィルター（側面に遮光層がな
い）を用いた固体撮像装置の説明図な示す。
い）を用いた固体撮像装置の説明図な示す。
これによれば、ＣＣＤ ｉｌｌの受光部（上面）にフィ
ルター層を接して色分解フィルター（２）が接着剤層（
３）を介して貼り合わされている。ＣＣＤ （１１から
は導線（４）および１）−ドフレーム（５）を経由して
固体撮像素子パッケージ（６）の外部へ画像に関する電
気信号を伝えられるように構成されている。この固体撮
像装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を通過した光
線が入射するものであるが、封止ガラス板（７１の下面
には、図示するように、フレア防止板（８）が周辺部に
設けられて外部から斜めに入射する無用の光線をさえぎ
るように工夫されている。
ルター層を接して色分解フィルター（２）が接着剤層（
３）を介して貼り合わされている。ＣＣＤ （１１から
は導線（４）および１）−ドフレーム（５）を経由して
固体撮像素子パッケージ（６）の外部へ画像に関する電
気信号を伝えられるように構成されている。この固体撮
像装置にはカメラのレンズ系（図示せず）を通過した光
線が入射するものであるが、封止ガラス板（７１の下面
には、図示するように、フレア防止板（８）が周辺部に
設けられて外部から斜めに入射する無用の光線をさえぎ
るように工夫されている。
斜めから光線が入射すると、その光線が色分解フィルタ
ー１２１の透明基板（９１の側面より入射し、フレアや
かぶり現象を起こすのであり、これを防止するためにフ
レア防止板（８）が必要であったのである。
ー１２１の透明基板（９１の側面より入射し、フレアや
かぶり現象を起こすのであり、これを防止するためにフ
レア防止板（８）が必要であったのである。
このようなフレア防止板（８）は、封止ガラス板（７１
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する必要が
あるものであり、工程的に手間を要するばかりでなく、
近年の固体撮像装置の小形化にともない、作業的にも極
めて困難なものになりつつある。
を装着する前に、位置合わせを行ない、接着する必要が
あるものであり、工程的に手間を要するばかりでなく、
近年の固体撮像装置の小形化にともない、作業的にも極
めて困難なものになりつつある。
本発明は、以上のような従来技術の欠点に鑑み、上述の
フレア防止板を不要にした固体撮像素子用の色分解フィ
ルターを提供するものである。具体的には、ガラス透明
基板の片面に少なくとも色分解用のフィルター層を所定
の色数で所望のパターン状に形成してなる固体撮像素子
用色分解フィルターの側面に、無電解メッキ法による金
属遮光層を形成してなることを特徴とする。
フレア防止板を不要にした固体撮像素子用の色分解フィ
ルターを提供するものである。具体的には、ガラス透明
基板の片面に少なくとも色分解用のフィルター層を所定
の色数で所望のパターン状に形成してなる固体撮像素子
用色分解フィルターの側面に、無電解メッキ法による金
属遮光層を形成してなることを特徴とする。
ここで本発明の製造方法によって得られる色分解用カラ
ーフィルターの一実施例を示す第２図に従って詳細に説
明すると、ガラス透明基板帥は失言したように０５〜１
．０−程度の厚みを有し、材質としては、石英ガラス、
低膨張ガラス、硼硅酸塩基ガラスまたはソーダライムガ
ラス等を代表とする通常ガラスが用いられる。
ーフィルターの一実施例を示す第２図に従って詳細に説
明すると、ガラス透明基板帥は失言したように０５〜１
．０−程度の厚みを有し、材質としては、石英ガラス、
低膨張ガラス、硼硅酸塩基ガラスまたはソーダライムガ
ラス等を代表とする通常ガラスが用いられる。
このようなガラス透明基板（＋０１の片面に、色分解用
のフィルター層（ｌυが設けられる。該フィルター層（
ＩＩＩは、特公昭５２−１７３；５号公報や特公昭５２
−１７５７６号公報において公知なように、ゼラチン、
グリニー、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が光硬化
した薄膜を、染料にて染色した有機樹脂系のフィルター
層があるが、そのほか、Ｔ ＩＯｔ Ｓ ｉ Ｏｔに例
示されるような高屈折率の薄膜と低屈折率の薄膜を互い
違いに１０〜２０層程度積層してなる無機の干渉フィル
ター層も当然採用できる。
のフィルター層（ｌυが設けられる。該フィルター層（
ＩＩＩは、特公昭５２−１７３；５号公報や特公昭５２
−１７５７６号公報において公知なように、ゼラチン、
グリニー、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が光硬化
した薄膜を、染料にて染色した有機樹脂系のフィルター
層があるが、そのほか、Ｔ ＩＯｔ Ｓ ｉ Ｏｔに例
示されるような高屈折率の薄膜と低屈折率の薄膜を互い
違いに１０〜２０層程度積層してなる無機の干渉フィル
ター層も当然採用できる。
フィルター層重）は、その厚さは１０μ程度もしくはそ
れ以下であり、第２図ではその厚みを透明基板ａ〔と比
べて非常に誇張して画かれている。しかも第２図からは
明らかでないが、所望の色数、例えば、シアン、イエロ
ーの二色あるいは赤、緑、青等の三色が、所望のパター
ンすなわち、固体撮像装置の受光部の形状に対応して、
設けられているものである。多くの場合、透明基板［１
０１の片面に１−）＃、ｎ４２２蓼１＝ＩＩフーＩＭ、
創、−−ツー穿ミ！ｌｌｑ自Ｉツ％７Ｊ−１”−ｈ”−
＋、−タ一層（１１１の表面を保護するためのオーバー
コート層が付加されていたり、あるいは各色のフィルタ
ー層の間隙や周辺に元遮光層が設けられているものであ
り、フィルター層Ｕと透明基板００１のみからなる色分
解フィルターというものは例が少ない。
れ以下であり、第２図ではその厚みを透明基板ａ〔と比
べて非常に誇張して画かれている。しかも第２図からは
明らかでないが、所望の色数、例えば、シアン、イエロ
ーの二色あるいは赤、緑、青等の三色が、所望のパター
ンすなわち、固体撮像装置の受光部の形状に対応して、
設けられているものである。多くの場合、透明基板［１
０１の片面に１−）＃、ｎ４２２蓼１＝ＩＩフーＩＭ、
創、−−ツー穿ミ！ｌｌｑ自Ｉツ％７Ｊ−１”−ｈ”−
＋、−タ一層（１１１の表面を保護するためのオーバー
コート層が付加されていたり、あるいは各色のフィルタ
ー層の間隙や周辺に元遮光層が設けられているものであ
り、フィルター層Ｕと透明基板００１のみからなる色分
解フィルターというものは例が少ない。
しかしながら、フィルター層（Ｉｌｌについてのこのよ
うな付加的要素は従来公知であり、本発明は、これら従
来公知の色分解フィルターの全てについてあてはまるも
のであることは言うまでもない。
うな付加的要素は従来公知であり、本発明は、これら従
来公知の色分解フィルターの全てについてあてはまるも
のであることは言うまでもない。
このような第２図に示す色分解フィルターの側面には、
金属の無電解めっきを施して、金属遮光層１１２１を設
ける。金属遮光層［１２１の材質としては、ニッケル、
クロム、コバルト、鉄、銅、金等から選択される金属の
単一めっき層のほか、ニッケルー鉄、コバルト−鉄、銅
−鉄等の組合わせから選択される合金の無電解めっき層
があげられる。そのほかに、銅等の金属を無電解めっき
し、しかる後、その表面を化学処理や酸化処理して金属
化合物とし、表面の光反射率の低い金属遮光層とするこ
と叡訊げ１１−１引−Ａ− 該金属遮光層［１２１は、マクベス濃度計にて２０以上
の濃度という高い遮光性能があるのが良く、かかる意味
から遮光層として金属を用いるのが都合が良い。
金属の無電解めっきを施して、金属遮光層１１２１を設
ける。金属遮光層［１２１の材質としては、ニッケル、
クロム、コバルト、鉄、銅、金等から選択される金属の
単一めっき層のほか、ニッケルー鉄、コバルト−鉄、銅
−鉄等の組合わせから選択される合金の無電解めっき層
があげられる。そのほかに、銅等の金属を無電解めっき
し、しかる後、その表面を化学処理や酸化処理して金属
化合物とし、表面の光反射率の低い金属遮光層とするこ
と叡訊げ１１−１引−Ａ− 該金属遮光層［１２１は、マクベス濃度計にて２０以上
の濃度という高い遮光性能があるのが良く、かかる意味
から遮光層として金属を用いるのが都合が良い。
本発明の固体撮は素子用色分解フィルターの製造方法を
工程順に示す図面の第３図１ａｌ〜ｔｅｌに基いて、以
下詳細に説明する。
工程順に示す図面の第３図１ａｌ〜ｔｅｌに基いて、以
下詳細に説明する。
第３図（ａ）Ｋ示すように固体撮像素子用色分解フィル
ターは、「多面付け」と称して、フィルター製造段階で
は、一枚の大きな透明基板（１０ａ）の上面に色分解用
のフィルター層（１αを多数形成し、しかる後に１個毎
に断裁する工程がある。この断裁の直前に、第３図（ａ
ｌに示すように、多面付けにて色分解フィルター層（Ｉ
ＩＩを作成した上面には保護膜ｏ３Ｉを施してフィルタ
ー層０ＩＩを被覆し、下面には例えば粘着層圓を有する
塩化ビニル樹脂フィルム等の伸張性フィルム膜０５１を
貼着する。第３図（ｂｌは、ダイシング装置等で各色分
解フィルター層（１１１の間に、断裁溝（１６１が形成
された状態である。すでに明らかなように、保獲膜口３
１は、断裁用冷却液や、断裁時に発生するガラスくずに
よりフィルター層が（Ｉｌｌ汚染されるのを防いでいる
ものである。続いて第６図（ｃｌに示すように、伸張性
のフィルム膜（１５１を図の矢印に示すように両側に拡
げるように力を加えることにより、前記した断裁溝（【
θの幅を拡大して溝（１６１’ とする。この状態で、
各個に断裁された色分解フィルターＵは、その側面同士
の間隔が拡がり、この部分の洗浄などを容易に行なえる
ようになる。
ターは、「多面付け」と称して、フィルター製造段階で
は、一枚の大きな透明基板（１０ａ）の上面に色分解用
のフィルター層（１αを多数形成し、しかる後に１個毎
に断裁する工程がある。この断裁の直前に、第３図（ａ
ｌに示すように、多面付けにて色分解フィルター層（Ｉ
ＩＩを作成した上面には保護膜ｏ３Ｉを施してフィルタ
ー層０ＩＩを被覆し、下面には例えば粘着層圓を有する
塩化ビニル樹脂フィルム等の伸張性フィルム膜０５１を
貼着する。第３図（ｂｌは、ダイシング装置等で各色分
解フィルター層（１１１の間に、断裁溝（１６１が形成
された状態である。すでに明らかなように、保獲膜口３
１は、断裁用冷却液や、断裁時に発生するガラスくずに
よりフィルター層が（Ｉｌｌ汚染されるのを防いでいる
ものである。続いて第６図（ｃｌに示すように、伸張性
のフィルム膜（１５１を図の矢印に示すように両側に拡
げるように力を加えることにより、前記した断裁溝（【
θの幅を拡大して溝（１６１’ とする。この状態で、
各個に断裁された色分解フィルターＵは、その側面同士
の間隔が拡がり、この部分の洗浄などを容易に行なえる
ようになる。
この状態で無電解メッキ法として知られている手法すな
わち、洗浄、脱脂、鋭敏化、活性化およびメッキ操作と
いう一連の工程を行なうことになる。
わち、洗浄、脱脂、鋭敏化、活性化およびメッキ操作と
いう一連の工程を行なうことになる。
無電解メッキについて説明すると、基本的には従来知ら
れている金属の無電解メッキ法、合金の無電解メッキ法
が使用できる。
れている金属の無電解メッキ法、合金の無電解メッキ法
が使用できる。
ただ、本発明による色分解フィルターは、固体撮像素子
に対して後加工で接合させるという工程があるので、側
面の無電解メッキによる金属遮光層は、強固な接着力で
側面に付着していることが望ましい。そのために無電解
メッキ法としてガラス面への接着強度の高いメッキ法を
選択しても良い。
に対して後加工で接合させるという工程があるので、側
面の無電解メッキによる金属遮光層は、強固な接着力で
側面に付着していることが望ましい。そのために無電解
メッキ法としてガラス面への接着強度の高いメッキ法を
選択しても良い。
一例として、ニッケル無電解メッキ法の場合、脱脂処理
、鋭敏化処理、活性化処理のあと、次亜リン酸ソーダや
次亜リン酸カリウム等の次亜リン酸のアルカリ金属塩の
水溶液の処理を行なってから無電解メッキの本操作を行
なうということがあげられる。
、鋭敏化処理、活性化処理のあと、次亜リン酸ソーダや
次亜リン酸カリウム等の次亜リン酸のアルカリ金属塩の
水溶液の処理を行なってから無電解メッキの本操作を行
なうということがあげられる。
無電解メンキを施すことにより、第３図１ｃｌに示すよ
うに、金属もしくは合金の無電解メッキ層Ｏｎが色分解
フィルター（＋８１の保護膜（１３）面と側面の全面に
形成される。
うに、金属もしくは合金の無電解メッキ層Ｏｎが色分解
フィルター（＋８１の保護膜（１３）面と側面の全面に
形成される。
この後、粘着層を有する伸張性フィルム膜（１５）から
、個々の色分解フィルター（１８１を剥離し、しかる後
、保護膜０３）も剥がせば、第３図（ｅｌに示すように
、個々に分離独立した色分解フィルターＵであって、そ
の側面に無電解メッキによる金属遮光層ｆ１２１が形成
されたものが得られる。
、個々の色分解フィルター（１８１を剥離し、しかる後
、保護膜０３）も剥がせば、第３図（ｅｌに示すように
、個々に分離独立した色分解フィルターＵであって、そ
の側面に無電解メッキによる金属遮光層ｆ１２１が形成
されたものが得られる。
以下に本発明の実施例を述べる。
〔実施例１〕
厚さ０．５■、直径１０ｆｆｉのパイレックスガラス（
米国コーニング社製）からなる透明基板上に、１辺約１
０藺の角形のフィルター層を公知の方法にて３６個多面
付けしたものに対して、表面フィルター側に易剥離性塗
膜となるコート材「シリテクト−１１＝米国コントロラ
イン社製商品名」を塗布して乾燥し保護膜とする。次に
伸張性のポリ塩化ビニルフィルムの片面に粘着層を設け
た伸張性テープ５ＰＶ−２２４（日東電工■製部品名）
と透明基板の下面とを貼り合わせ図面の第３図（ａ）の
状態とする。続いて４５０メンシユのレジンブレードを
用いた断裁機により、表面より断裁溝を入れ、前記の伸
張性テープの端部を引張り、第３図１ｃｌの状態とした
。次いで脱脂処理して水洗した表面に対して、塩化第二
スズ５１と３５％塩酸５ ｍｌを水１１に対して溶かし
た水竿液（２５℃）に４分間漬けて、鋭敏化処理を行な
い、流水で１０秒間の水洗の後、塩化パラジウム（ｐｄ
Ｃ４） ｏｌｙ ト塩酸０．２ ｍｌを水１１に溶かし
た水溶液に常温で４分間浸ける活性化処理を行なった。
米国コーニング社製）からなる透明基板上に、１辺約１
０藺の角形のフィルター層を公知の方法にて３６個多面
付けしたものに対して、表面フィルター側に易剥離性塗
膜となるコート材「シリテクト−１１＝米国コントロラ
イン社製商品名」を塗布して乾燥し保護膜とする。次に
伸張性のポリ塩化ビニルフィルムの片面に粘着層を設け
た伸張性テープ５ＰＶ−２２４（日東電工■製部品名）
と透明基板の下面とを貼り合わせ図面の第３図（ａ）の
状態とする。続いて４５０メンシユのレジンブレードを
用いた断裁機により、表面より断裁溝を入れ、前記の伸
張性テープの端部を引張り、第３図１ｃｌの状態とした
。次いで脱脂処理して水洗した表面に対して、塩化第二
スズ５１と３５％塩酸５ ｍｌを水１１に対して溶かし
た水竿液（２５℃）に４分間漬けて、鋭敏化処理を行な
い、流水で１０秒間の水洗の後、塩化パラジウム（ｐｄ
Ｃ４） ｏｌｙ ト塩酸０．２ ｍｌを水１１に溶かし
た水溶液に常温で４分間浸ける活性化処理を行なった。
水洗の後、無電解ニッケルメッキ液として、日本カンゼ
ン■社製の商品名「シューマー・Ｓ−６８０Ｊを用い、
液温５０℃で１０分間浸漬して無電解メッキを施した。
ン■社製の商品名「シューマー・Ｓ−６８０Ｊを用い、
液温５０℃で１０分間浸漬して無電解メッキを施した。
水洗後、８０℃で３０秒間の熱風乾燥を行ない、色分解
フィルターの裏面に付着していた伸張性テープおよび表
面の保護膜を剥離することにより、側面にのみニッケル
の無電解メッキ層が施された固体撮像素子用色分解フィ
ルターが得られた。
フィルターの裏面に付着していた伸張性テープおよび表
面の保護膜を剥離することにより、側面にのみニッケル
の無電解メッキ層が施された固体撮像素子用色分解フィ
ルターが得られた。
このニッケルの無電解メッキ層は、マクベス濃度計にて
５±０．５の値を有し、接着強度も満足すべきものであ
った。
５±０．５の値を有し、接着強度も満足すべきものであ
った。
〔実施例２〕
実施例１と全く同様にして、透明基板上に多面付けされ
たフィルター層を形成したものな、図面の第６図（ｃｌ
の状態にし、無電解めっきの前処理すなわち、脱脂、鋭
敏化および活性化処理として、実施例１と全く同様に行
なった。しかる後、下記に示す、種々の金属の無電解メ
ッキ液を用いることＫより、それぞれの金属もしくは合
金からなる無電解めっき層を側面に形成して遮光層とし
た固体撮像素子用色分解フィルターを得た。いずれの遮
光層も、マクベス濃度計による濃度測定値が３０以上で
あった。
たフィルター層を形成したものな、図面の第６図（ｃｌ
の状態にし、無電解めっきの前処理すなわち、脱脂、鋭
敏化および活性化処理として、実施例１と全く同様に行
なった。しかる後、下記に示す、種々の金属の無電解メ
ッキ液を用いることＫより、それぞれの金属もしくは合
金からなる無電解めっき層を側面に形成して遮光層とし
た固体撮像素子用色分解フィルターを得た。いずれの遮
光層も、マクベス濃度計による濃度測定値が３０以上で
あった。
Ａ、無電解銅めっき液
ＰＨ＝１１５・液温２４℃・浸漬時間１５分間Ｂ、無電
解コバルトめっき液 Ｐ Ｉ−Ｉ ＝ ９．５ 、液温９ｏＴ；、浸漬時間２
０分間 ゛Ｃ０無電解ニッケルー鉄合金めっき液 液温り５℃、浸漬時間２０分間 以上説明したように、本発明の色分解フィルターは、一
枚のガラス透明基板の上に多面付けにて色分解用のフィ
ルター層を形成した場合、断裁工ａの中において、付加
的に無電解メッキの工程を設定することにより、フィル
ターの側面という所望の区域にのみ金属遮光層な施すこ
とができるのであり、その製造方法の簡便さは、産業上
大いに゛ 利するものと言うはがない。
解コバルトめっき液 Ｐ Ｉ−Ｉ ＝ ９．５ 、液温９ｏＴ；、浸漬時間２
０分間 ゛Ｃ０無電解ニッケルー鉄合金めっき液 液温り５℃、浸漬時間２０分間 以上説明したように、本発明の色分解フィルターは、一
枚のガラス透明基板の上に多面付けにて色分解用のフィ
ルター層を形成した場合、断裁工ａの中において、付加
的に無電解メッキの工程を設定することにより、フィル
ターの側面という所望の区域にのみ金属遮光層な施すこ
とができるのであり、その製造方法の簡便さは、産業上
大いに゛ 利するものと言うはがない。
第４図は、本発明による固体撮像素子用色分解フィルタ
ーをＣＣＤタイプの固体撮像装置に組入れたところを示
す。図から明らかなように、側面に金属遮光層（拐が側
されているので、固体撮像装置にフレア防止板を設ける
必要がなく、作業的には極めて容易に固体撮像装置を作
製することができる。
ーをＣＣＤタイプの固体撮像装置に組入れたところを示
す。図から明らかなように、側面に金属遮光層（拐が側
されているので、固体撮像装置にフレア防止板を設ける
必要がなく、作業的には極めて容易に固体撮像装置を作
製することができる。
以上のように本発明の色分解フィルターの製造方法は、
製造の簡便さと固定撮像装置に組込んだ時の便宜さが相
俟って、実用上極めて優れたものである。
製造の簡便さと固定撮像装置に組込んだ時の便宜さが相
俟って、実用上極めて優れたものである。
第１図は、従前の固体撮像装置の一例を示す説明図であ
り、第２図は、本発明による固体撮像素子用色分解フィ
ルターの一実施例を示す模式断面図、第６図［ａｌ〜ｌ
ｂ）は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を
工程順に示す断面図であり、第４図は、本発明による色
分解フィルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示
す説明図である。 （１υ・・・透明基板 １１ト・・フィルター層鰺・・
・金属遮光層 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者鈴木和夫
り、第２図は、本発明による固体撮像素子用色分解フィ
ルターの一実施例を示す模式断面図、第６図［ａｌ〜ｌ
ｂ）は、本発明の色分解フィルターの製造方法の一例を
工程順に示す断面図であり、第４図は、本発明による色
分解フィルターを固体撮像装置に組込れた際の様子を示
す説明図である。 （１υ・・・透明基板 １１ト・・フィルター層鰺・・
・金属遮光層 特 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者鈴木和夫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １Ｊ１ａ、一枚の透明基板の上面に多数の色分解フィル
ター層を多面性は形成する工程。 ｂ、フィルター層の形成された上面に保護膜を、透明基
板の下面に伸張性フィルム膜をそれぞれ施す工程。 Ｃ３各々の色分解フィルター層の間に断裁溝を形成する
工程。 ｄ、透明基板の下面に施された前記の伸張性フィルム膜
を拡げて前記断裁溝の幅を拡張する工程。 ｅ・色分解フィルターの保護膜面と側面の全面に金属も
しくは合金の無電解めっき層からなる金属遮光膜を形成
する工程。 以上の工程ａ％ ｅを具備することを特徴とする無電解
めっきによる金属遮光層を側面に形成してなる固体撮像
素子用色分解フィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030888A JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59030888A JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60175005A true JPS60175005A (ja) | 1985-09-09 |
| JPH0459603B2 JPH0459603B2 (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=12316262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59030888A Granted JPS60175005A (ja) | 1984-02-21 | 1984-02-21 | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60175005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02146771A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572008A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Canon Inc | Color filter composite body |
| JPS5766406A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color separation filter |
-
1984
- 1984-02-21 JP JP59030888A patent/JPS60175005A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS572008A (en) * | 1980-06-06 | 1982-01-07 | Canon Inc | Color filter composite body |
| JPS5766406A (en) * | 1980-10-13 | 1982-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color separation filter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02146771A (ja) * | 1988-11-28 | 1990-06-05 | Dainippon Printing Co Ltd | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0459603B2 (ja) | 1992-09-22 |
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