JPS5840507A - 固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents
固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法Info
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- JPS5840507A JPS5840507A JP56138752A JP13875281A JPS5840507A JP S5840507 A JPS5840507 A JP S5840507A JP 56138752 A JP56138752 A JP 56138752A JP 13875281 A JP13875281 A JP 13875281A JP S5840507 A JPS5840507 A JP S5840507A
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- solid
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C7/00—Multicolour photographic processes or agents therefor; Regeneration of such processing agents; Photosensitive materials for multicolour processes
- G03C7/04—Additive processes using colour screens; Materials therefor; Preparing or processing such materials
- G03C7/06—Manufacture of colour screens
- G03C7/10—Manufacture of colour screens with regular areas of colour, e.g. bands, lines, dots
- G03C7/12—Manufacture of colour screens with regular areas of colour, e.g. bands, lines, dots by photo-exposure
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像素子のカラーフィルターに関するもの
である。
である。
２板式、単板式力２−カメラにおいては、１個の固体撮
像素子から２種以上の色信号を取り出すためにストライ
プ状もしくはモザイク状の色分解用カラーフィルターが
使用される。
像素子から２種以上の色信号を取り出すためにストライ
プ状もしくはモザイク状の色分解用カラーフィルターが
使用される。
従来、カラーフィルターの形成方法としては、ガラス等
の透明基板上にゼラチン等を用いた染色形有機色累フィ
ルターが形成され、接着剤によ）固体撮像素子上に貼シ
合わせる方法が多く採用さ−れている。
の透明基板上にゼラチン等を用いた染色形有機色累フィ
ルターが形成され、接着剤によ）固体撮像素子上に貼シ
合わせる方法が多く採用さ−れている。
従来のカラーフィルター形成方法を、赤、緑、青の原色
型について第１図を用いて説明する。
型について第１図を用いて説明する。
まず、ガラス基板１上に感光性を付与したゼラチン等を
塗布、乾燥後、所望のマスク・パターンを通して露光し
、現像して形成された被染色層を染色して、第１色目、
例えば赤のフィルター成分２を形成しく図Ａ）、次に混
色防止のために全面に透明な中間保護層３を被着する（
図Ｂ）。次に同様にして被染色層を形成し、染色して第
２色目例えば緑のフィルター成分４を形成しく図Ｃ）、
この工程を繰シ返し、中間保護層６を介して（図Ｄ）、
第３色目、例えば青のフィルター成分５を形成しく図Ｅ
）、最後に表面保護層６を被着してガラス基板上にカラ
ーフィルターが形成される（図Ｆ）。このようにして形
成されたカラーフィルターは固体撮像素子１個分にカッ
ティングされて第２図に示すように接着剤９により固体
撮像索子８の画素に対応するように位置合せを行い貼シ
合される。
塗布、乾燥後、所望のマスク・パターンを通して露光し
、現像して形成された被染色層を染色して、第１色目、
例えば赤のフィルター成分２を形成しく図Ａ）、次に混
色防止のために全面に透明な中間保護層３を被着する（
図Ｂ）。次に同様にして被染色層を形成し、染色して第
２色目例えば緑のフィルター成分４を形成しく図Ｃ）、
この工程を繰シ返し、中間保護層６を介して（図Ｄ）、
第３色目、例えば青のフィルター成分５を形成しく図Ｅ
）、最後に表面保護層６を被着してガラス基板上にカラ
ーフィルターが形成される（図Ｆ）。このようにして形
成されたカラーフィルターは固体撮像素子１個分にカッ
ティングされて第２図に示すように接着剤９により固体
撮像索子８の画素に対応するように位置合せを行い貼シ
合される。
しかし、上記方法には、次のような欠点がある。
（１） フィルター形成材料として耐熱性の乏しいゼ
ラチン等を使っているため、カラーフィルター貼り合せ
工程における接着剤の選択及びカラーフィルター形成ま
たは貼シ合せ後のアセンブリ一工程における熱処理に制
約を受けたシ、熱による退色の問題がある。
ラチン等を使っているため、カラーフィルター貼り合せ
工程における接着剤の選択及びカラーフィルター形成ま
たは貼シ合せ後のアセンブリ一工程における熱処理に制
約を受けたシ、熱による退色の問題がある。
（２各色毎に感光性ゼラチンの塗布、パターン露光、現
像によるパターン形成、染色、中間保護層の被着という
複雑でめんどうな工程を必要とし、多色フィルターでは
どれを数回繰り返さなければならないのでカラーフィル
ター形成における高い歩留ｔ＃）及び低価格化が困難で
ある。
像によるパターン形成、染色、中間保護層の被着という
複雑でめんどうな工程を必要とし、多色フィルターでは
どれを数回繰り返さなければならないのでカラーフィル
ター形成における高い歩留ｔ＃）及び低価格化が困難で
ある。
本発明は、以上述べてきた従来法の欠点に鑑みてなされ
たものであプ、フィルター形成材料としてポリイミド樹
脂を用いカラーフィルムの内型発色の手法を利用してカ
ラーフィルターを形成することにより従来法の欠点を解
決したものである。
たものであプ、フィルター形成材料としてポリイミド樹
脂を用いカラーフィルムの内型発色の手法を利用してカ
ラーフィルターを形成することにより従来法の欠点を解
決したものである。
以下第３図を用いて本発明による固体撮像素子のカラー
フィルターの一例をその製法と共に詳述するに奉伺では
ウェハ一段階で固体撮像索子上に直接赤、緑、青から成
る原色型カラーフィルターを形成した場合である。
フィルターの一例をその製法と共に詳述するに奉伺では
ウェハ一段階で固体撮像索子上に直接赤、緑、青から成
る原色型カラーフィルターを形成した場合である。
まず図Ａに示すようなａｉｉｉ素と受光部１４及び転送
部１５から成る固体撮像素子１６の表面に必要ならばフ
ィルター形成前に素子表面を平坦化させるために光透過
性ポリイミド樹脂１７をスピンナーにより塗布、乾燥し
た後、ポリイミド樹脂にハロゲン化銀の微粒子を分散さ
せ赤感性を有するように増感色素の添加によシ分光増感
させ、且つシアンを形成せる発色剤（カッグラ−）を添
加させた乳剤１８をスピンナーによシ均一に塗布、乾燥
して次に混色防止のために中間保護層として光透過性ポ
リイミド樹脂１９を全面に被着する。次に同様にして緑
感性を有するように分光増感し、且つマゼンタを形成す
る発色剤を添加した乳剤２０を塗布、乾燥し、光透過性
ポリイミド樹脂から成る中間保護層１９を介して、さら
に青感性を有し黄色を形成する発色剤を添加した乳剤２
１を塗布、乾燥する。次に必要ならば、表面保一層とし
て光透過性ポリイミド樹脂２２を被着して固体撮像素子
１６上に感光性の異る３棟類のポリイミド樹脂から成る
乳剤層２６を形成する（図Ａ）。
部１５から成る固体撮像素子１６の表面に必要ならばフ
ィルター形成前に素子表面を平坦化させるために光透過
性ポリイミド樹脂１７をスピンナーにより塗布、乾燥し
た後、ポリイミド樹脂にハロゲン化銀の微粒子を分散さ
せ赤感性を有するように増感色素の添加によシ分光増感
させ、且つシアンを形成せる発色剤（カッグラ−）を添
加させた乳剤１８をスピンナーによシ均一に塗布、乾燥
して次に混色防止のために中間保護層として光透過性ポ
リイミド樹脂１９を全面に被着する。次に同様にして緑
感性を有するように分光増感し、且つマゼンタを形成す
る発色剤を添加した乳剤２０を塗布、乾燥し、光透過性
ポリイミド樹脂から成る中間保護層１９を介して、さら
に青感性を有し黄色を形成する発色剤を添加した乳剤２
１を塗布、乾燥する。次に必要ならば、表面保一層とし
て光透過性ポリイミド樹脂２２を被着して固体撮像素子
１６上に感光性の異る３棟類のポリイミド樹脂から成る
乳剤層２６を形成する（図Ａ）。
該乳剤層２６に所望のマスク・パターン２４を通して例
えばシアンの色光２５を用いてパターン露光、現像処理
を行うと内型発色によシ、青感層２１に黄色のパターン
２６、緑感層２０にマゼンタのパターン２７が形成され
第１色目としてこのパターンは赤のフィルター成分とな
る（図Ｂ）。
えばシアンの色光２５を用いてパターン露光、現像処理
を行うと内型発色によシ、青感層２１に黄色のパターン
２６、緑感層２０にマゼンタのパターン２７が形成され
第１色目としてこのパターンは赤のフィルター成分とな
る（図Ｂ）。
次にハロゲン化銀を含有する未露光部に例えばマゼンタ
の色光２８を用いてパターン露光、現像処理を行うと青
感層２１１Ｃ黄色のパターン２９、赤感層１８にシアン
のパターン３０が形成され、第２色目としてこのパター
ンは緑のフィルター成分となる（図Ｃ）。
の色光２８を用いてパターン露光、現像処理を行うと青
感層２１１Ｃ黄色のパターン２９、赤感層１８にシアン
のパターン３０が形成され、第２色目としてこのパター
ンは緑のフィルター成分となる（図Ｃ）。
次に同様の工程を繰シ返し、例えば黄色の色光６１を用
いてパターン露光、現像処理を行うと、緑感層２０にマ
ゼンタのパターン６２、赤感層にシアンのパターン３５
が形成され第３色目としてこのパターンは青のフィルタ
ー成分となる（図Ｄ）。
いてパターン露光、現像処理を行うと、緑感層２０にマ
ゼンタのパターン６２、赤感層にシアンのパターン３５
が形成され第３色目としてこのパターンは青のフィルタ
ー成分となる（図Ｄ）。
内型発色現像による感光結果の色素分布への交換は現像
主薬としての芳香族アミン化合物と予め乳剤層中に添加
されている発色剤（カップラ ）としての活性メチレン
化合物またはフェノール類との酸化カップリング反厄に
よって行なわれ、この現像処理によって露光されたハロ
ゲン化銀は金属鎖に還元されるので、ここでの脱銀処理
としてはカラーフィルム処理に用いられる方法と同様に
漂白液の酸化剤によりハロゲン化銅にもどじ任意のハロ
ゲン化銀溶剤によシ定着される。脱銀処理を終えたポリ
イミド樹脂から成るカラーフィルターは熱処理によ〕硬
化した後、周知の写真蝕刻法により、所定のボンディン
グ・バット部３４の窓開けを行い、固体撮像素子上にポ
リイミド樹脂から成る赤、緑、青の原色型カラーフィル
ターが形成される（図Ｅ）。
主薬としての芳香族アミン化合物と予め乳剤層中に添加
されている発色剤（カップラ ）としての活性メチレン
化合物またはフェノール類との酸化カップリング反厄に
よって行なわれ、この現像処理によって露光されたハロ
ゲン化銀は金属鎖に還元されるので、ここでの脱銀処理
としてはカラーフィルム処理に用いられる方法と同様に
漂白液の酸化剤によりハロゲン化銅にもどじ任意のハロ
ゲン化銀溶剤によシ定着される。脱銀処理を終えたポリ
イミド樹脂から成るカラーフィルターは熱処理によ〕硬
化した後、周知の写真蝕刻法により、所定のボンディン
グ・バット部３４の窓開けを行い、固体撮像素子上にポ
リイミド樹脂から成る赤、緑、青の原色型カラーフィル
ターが形成される（図Ｅ）。
本発明は固体撮像素子上に直接赤、緑、青の原色型カラ
ーフィルターを形成する場合に限定されるものでなく、
ガラス等の透明基板上に形成する場合又は黄色、シアン
を用いた補色型カラーフィルターを形成する場合にも同
様に実施できることは勿論である。また、第４図に示す
ように各色のパターン間に黄色３５、マゼンタ３６、シ
アン６７の３色が重なり合う黒色遮光部３８を設けると
ブラック・ストライプを有するカラーフィルター６９を
形成することができ、同時に受光部以外の論理回路を遮
光することもできる。
ーフィルターを形成する場合に限定されるものでなく、
ガラス等の透明基板上に形成する場合又は黄色、シアン
を用いた補色型カラーフィルターを形成する場合にも同
様に実施できることは勿論である。また、第４図に示す
ように各色のパターン間に黄色３５、マゼンタ３６、シ
アン６７の３色が重なり合う黒色遮光部３８を設けると
ブラック・ストライプを有するカラーフィルター６９を
形成することができ、同時に受光部以外の論理回路を遮
光することもできる。
本発明によれば、フィルタ 形成材料としてポリイミド
樹脂を用いているのでゼラチン等を用いたカラーフィル
ターに比べ耐熱性の優れた（約４５０°Ｃ）カラーフィ
ルターを得ることができ、カラーフィルター形成後のア
センブリ一工程における熱処理の制約及び熱による退色
の問題が解決され、さらに本例のようにウェハ一段階で
固体撮像素子上に直接カラーフィルターを形成した場合
には周知のポリイミド樹脂によるパッシベーション及び
グロテクションとしての効果も得ることができる。まだ
、着色法としてカラーフィルムの内型発色の手法を利用
しているので従来法のような複雑でめんどうな工程を繰
り返す必要もなく、高い歩留で低価格、高信頼性のカラ
ーフィルターが得られる。
樹脂を用いているのでゼラチン等を用いたカラーフィル
ターに比べ耐熱性の優れた（約４５０°Ｃ）カラーフィ
ルターを得ることができ、カラーフィルター形成後のア
センブリ一工程における熱処理の制約及び熱による退色
の問題が解決され、さらに本例のようにウェハ一段階で
固体撮像素子上に直接カラーフィルターを形成した場合
には周知のポリイミド樹脂によるパッシベーション及び
グロテクションとしての効果も得ることができる。まだ
、着色法としてカラーフィルムの内型発色の手法を利用
しているので従来法のような複雑でめんどうな工程を繰
り返す必要もなく、高い歩留で低価格、高信頼性のカラ
ーフィルターが得られる。
第１図四〜（ト）は従来のカラーフィルターの形成方法
の例を示す断面図、第２図は従来のカラーフィルターを
固体撮像素子に貼シ合せた時の断面図、第３図（へ）〜
（りは重置明忙よる固体撮像素子上へのカラーフィルタ
ーの形成方法の例を示す断面図、第４図は本発明による
カラーフィルターにおいてブラック・ストライプを有す
るカラーフィルターの例を示す断面図である。 １４・・・・・・受光部 １５・・・・・・転送部
１６・・・・・・固体撮像素子 １７・・・・・・光透過性ポリイミド樹脂１８・・・・
・・ポリイミド樹脂からなる赤感性乳剤層 １９・・・・・・中間保護層 （光透過性ポリイさド樹脂） ２０・・・・・・ポリイミド樹脂からなる緑感性乳剤層 ２１−−−−−ポリイミド樹脂からなる背感性乳剤層 ２２−・・・・・表面保護層 （光透過性ポリイミド樹脂） ２４・・・・・・マスク・パターン ２５−・・・・・シアン色光 （舶 ２６．２９．３５・旧・・黄色のパターン２７．３２，
３６・・・・・・マゼンタのパターン２８・・・・・・
マゼンタ色光 ３０．３３，３７・・・・・・シアンのパターン３１・
・・・・・黄色色光 ３４・・・−・・ボンディング・パッド３８−・・・・
・黒色遮光部 特許出願人 シャープ株式会社 代理人 弁理士西 １） 新 ｒｌｏ）
の例を示す断面図、第２図は従来のカラーフィルターを
固体撮像素子に貼シ合せた時の断面図、第３図（へ）〜
（りは重置明忙よる固体撮像素子上へのカラーフィルタ
ーの形成方法の例を示す断面図、第４図は本発明による
カラーフィルターにおいてブラック・ストライプを有す
るカラーフィルターの例を示す断面図である。 １４・・・・・・受光部 １５・・・・・・転送部
１６・・・・・・固体撮像素子 １７・・・・・・光透過性ポリイミド樹脂１８・・・・
・・ポリイミド樹脂からなる赤感性乳剤層 １９・・・・・・中間保護層 （光透過性ポリイさド樹脂） ２０・・・・・・ポリイミド樹脂からなる緑感性乳剤層 ２１−−−−−ポリイミド樹脂からなる背感性乳剤層 ２２−・・・・・表面保護層 （光透過性ポリイミド樹脂） ２４・・・・・・マスク・パターン ２５−・・・・・シアン色光 （舶 ２６．２９．３５・旧・・黄色のパターン２７．３２，
３６・・・・・・マゼンタのパターン２８・・・・・・
マゼンタ色光 ３０．３３，３７・・・・・・シアンのパターン３１・
・・・・・黄色色光 ３４・・・−・・ボンディング・パッド３８−・・・・
・黒色遮光部 特許出願人 シャープ株式会社 代理人 弁理士西 １） 新 ｒｌｏ）
Claims (1)
- 光透過性ポリイミド樹脂にハロゲン化鋼の微粒子を分散
させ、青感性、緑感性及び赤感性の各感光性をもたせた
乳剤に、あらかじめ黄色、マゼンタ及びシアンを形成す
る各発色剤をそれぞれ添加し、その各乳剤を透明基板も
しくは固体撮像素子上に光透過性ポリイミド樹脂から成
る中間保護層を介して重ねて塗布して乳剤層を形成し、
次にその乳剤層に所定のマスクパターンを通して赤、緑
、青あるいはシアン、マゼンタ、黄色のうちで所望の色
光を用いてパターン露光、現像処理を行って第１色目の
色素パターンを形成し、次に、ハロゲン化銀を含有する
未露光部に同様に所望の色光を用いてパターン露光、内
部発色現像を行って第２色目の色素パターンを形成し、
さらに１同様の工程を繰シ返すことにより第３色目の色
素パターンを形成した後、脱銀処理及び熱処理を施こす
ことを特徴とする固体撮像素子におけるカラーフィルタ
ーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56138752A JPS5840507A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56138752A JPS5840507A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840507A true JPS5840507A (ja) | 1983-03-09 |
Family
ID=15229347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56138752A Pending JPS5840507A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子におけるカラ−フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840507A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59222819A (ja) * | 1983-06-01 | 1984-12-14 | Sharp Corp | カラ−液晶表示装置 |
| JPS6058668A (ja) * | 1983-09-12 | 1985-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS60184204A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-19 | Toray Ind Inc | カラ−フイルタ用耐熱性着色ペ−スト |
| WO1986004688A1 (en) * | 1985-02-05 | 1986-08-14 | Kyodo Printing Co., Ltd. | Color filter and method of producing the same |
| JPS6263901A (ja) * | 1985-09-14 | 1987-03-20 | Nissha Printing Co Ltd | カラ−フイルタ−とその製造方法 |
| JPS6318303A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-26 | Minolta Camera Co Ltd | カラ−フイルタ−を有する受光素子 |
| WO1988005180A1 (en) * | 1987-01-12 | 1988-07-14 | Brewer Science, Inc. | Light filters for microelectronics |
| JPH06201911A (ja) * | 1984-05-24 | 1994-07-22 | Toppan Printing Co Ltd | カラー液晶表示装置 |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP56138752A patent/JPS5840507A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59222819A (ja) * | 1983-06-01 | 1984-12-14 | Sharp Corp | カラ−液晶表示装置 |
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| WO1986004688A1 (en) * | 1985-02-05 | 1986-08-14 | Kyodo Printing Co., Ltd. | Color filter and method of producing the same |
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| JPH01501973A (ja) * | 1987-01-12 | 1989-07-06 | ブリューワ サイエンス インコーポレイテッド | マイクロエレクトロニクス用光フィルタ |
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