JPS6252503A - 光学フイルタ−素子及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学フィルター素子の製造法に係シ５更に詳し
くは側面部を黒化した光学フィルター素子及びその製造
法に、関する。

〔従来の技術〕

光学フィルター素子は固体カラーカメラ用フィルター、
撮像管カメラ用フィルター、ＬＣＤ。

ＥＬ、ＰＤＰ等のディスプレー用フィルター。

カラーファクンミリ用フィノνター、その他一般の光学
系用フィルターとして使われる。

光学フィルター素子の応用に関しカラー撮像構造を有し
、ダイポンディング、ワイヤーポンディングされた撮像
素子（１）上に光学フィルター層部（７）を有する光学
フィルター素子（２）が正確に位置合せられた状態で接
宥剤により貼シ合せられ、且つキャップ（３）によシ撮
像素子（１）部はパッケージ（４）内に気密封止される
。かかる構成のカラー撮像素子において、被写体からの
入射光ａｅは光学フィルター素子（２）の透明基板（６
）側よシ入ってくるが、それとともに光学フィルター素
子（２）の透明基板（６）側面部よυ入射光が入り、撮
像画像にフレアー現象が生じるという欠点を有する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

そこで本発明が解決しようとする問題点は光学フィルタ
ー素子の側面部から入射する光の影響を防止した光学フ
ィルター素子及びその製造法を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は上記の問題点を解決すべく研究の結果、透明
基板上に複数の光学フィルター層部を所定の間隔をおい
て形成して光学フィルター素子連続体を形成し、該光学
フィルター素子連続体の上面を底面保護用樹脂層で被覆
保護したのち、光学フィルター素子連続体の下面側に切
断加工用支持体を接着層を介して貼合したのち。

光学フィルター素子連続体の光学フィルター層部間の領
域を切断除去して切断加工用支持体上に所定の間隔をお
いて複数の光学フィルター素子構成部が配列固定された
ものを得、しかるのち支持体上に配列固定された各光学
フィルター素子構成部の側面に遮光性材料を被着させた
のち、各光学フィルター素子構成部を支持体から取シは
すし、各光学フィルター素子構成部上面を被覆する表面
保護用樹脂層を各光学フィルター素子構成部から除去す
る方法によれば、高能率で側面部が黒化された光学フィ
ルター素子を製造することができ、又、このようにして
得られた光学フィルター素子によれば光学フィルター素
子の側面部に入射した光は遮断されるため、撮像有効エ
リアへの影響は防止され、高品位の撮像ができることを
見いだし、かかる知見にもとづいて本発明を完成したも
のである。

本発明に係る光学フィルター素子は・透明基板上に光学
フィルター層部が設けられている光学フィルター素子に
おいて、側面が遮光性材料で被覆されているものである
。

第２図は本発明の光学フィルター素子を用いたカラー撮
像素子を示し、透明基板（６）に光学フィルター層部（
７）が設けられ、側面が遮光性材料層（１３で被覆され
た光学フィルター素子（５）が撮像素子（１）上に貼シ
合せられ、キャップ（３）によシ撮像素子（１）部がパ
ッケージ（４）内に気密封されている。尚１図において
（ＩＱは入射光を示す。

次に本発明の光学フィルター素子の製造法は透明基板上
に複数の光学フィルター層部を所定の間隔をおいて形成
して光学フィルター素子連続体を形成する工程と該光学
フィルター素子連続体の上面を表面保護用樹脂層で被覆
保護したのち、光学フィルター素子連続体の下面側に支
持体を接着層を介して貼合せる工程と、光学フィルター
素子連続体の光学フィルター層部間の領域を切断除去し
て支持体上に所定の間隔をお定されたものを得る工程と
、支持板上に配列固定された各光学フィルター素子構成
部の側面に遮光性材料を被着させる工程と、各光学°フ
ィルター素子構成部の側面に遮光性材料を被着させたの
ち、各光学フィルター素子構成部を支持板から取りはず
す工程と、光学フィルター素子構成部の側面に遮光材料
を被着させたのち、各光学フィルター素子構成部上面を
被覆する表面保護用樹脂層を各光学フィルター素子構成
部から除去する工程とからなる。

次に本発明の製造法につき１図面を参照しながら説明す
る。

第１図（ａ）　Ｋ示すようにガラスなどの透明基板（６
）上に一般的方法、例えば水溶性感光性樹脂を所定形状
にバターニングした後、酸性染料などで染色し第、１色
目の着色画像を形成したのち、同様な工程を繰シ返して
光学フィルター層部（７）を形成し、次いでポリイミド
樹脂、エボキン樹脂、ンリコーン樹脂、ウレタン樹脂、
メラミン樹脂などの熱硬化性樹脂を用いて光学フィルタ
続体（９）を得る。尚、例えばカラー固体撮像素子用フ
ィルターでは光学フィルター層部（７）は、相互に、後
に行なわれる光学フィルター素子構成部の側面への遮光
性材料の被着加工に適した間隔、２ｍないし６鑓をおい
て形成する。

次に塩化と二〃−酢酸ビニル共重合体、アクリル樹脂、
マレイン酸樹脂、スチレン樹脂、ゴム系樹脂などの有機
溶剤によシ洗浄除去可能な樹脂を光学フィルター素子連
続体（９）の上面に塗布して第１図（ｂ）に示すように
表面保護用樹脂層−を形成する。

次いで光学フィルター素子連続体（９）の下面側に第１
図（Ｃ）に示すようにガラスなどの支持板Ｉをワ、クス
、ロジンなどの熱溶融可能な接着層Ｉを介して貼合せる
。しかるのち、第１図（ｄ）に示すように光学フィルタ
ー素子連続体（９）をダインングソーによシ透明基板（
６）の底の部分まで達する深さに切断することにより光
学フィルター素子連続体（９）の光学フィルター層部（
７）間の領域を切断して所定幅の切溝ａりを形成し、支
持板Ｉ上に所定の間隔をおいて複数の光学フィルター素
子構成部（至）が配列固定されたものを得る。次いで第
１図（ｅ）に示すように、例えば二、ケルの無電解メッ
キ法によりニッケルを１０００１の厚さにメッキし、支
持体Ｉ上に配列固定された各光学フィルター素子構成部
（至）の側面に遮光性材料層α違を被着させる。次いで
各光学フィルター素子（Ｉ啼を支持体α力から、熱をか
けて接着層Ｉを溶融させることによシ取シはすし、次に
溶剤によシ洗浄することによシ表面保護用樹脂層α・を
各光学フィルター層部（７）上面から除去し、第１図（
ｆ）に示すように光学フィルター素子構成部（２）の側
面部が遮光性材料膚ａ簿で被覆された本発明に係る光学
フィルター素子（５）を得る。尚、支持体ａηの除去は
表面保護用樹脂層α呻の除去後に行なっても良い。

而して本発明において、“透明基板の切断法としてはス
ラインングマンーン、ダインングンー等によるブレード
切断だけでなく、超音波切断法、レーザービーム加工法
等が適用できる。

本発明に用いる遮光性材料としてはｋｌ、λｇ。

Ｃｒ、　Ｍｏ、　Ｎｉ、　Ｚｎ　　等の金属、Ｆｅ８．
　Ｎｉ　Ｓ、　ＰｂＳ。

ＳｎＳ等の硫化物、Ｃｕｂ、　Ｃｏｚ０４等の酸化物、
黒色系顔料、染料、オペークインキ等及び前記材料の組
み合せが使用できる。また遮光性材料の被覆方法として
はスパッタ法、真空蒸着法、イオンブレーティング法、
プラズマ重合法等の気相成膜法、無電解メッキ法、スプ
レー法、粉体塗装法、スピンコード法、はけ塗り法等が
適用できる。

〔作　用〕

本発明において、遮光性材料層は光学フィルター素子の
側面部に入射する光を遮断し、撮像有効エリアへの影響
を防止する機能を果すものである。

次に本発明において表面保護用樹脂層は遮光性材料を光
学フィルター素子構成部の側面に被着させる工程で各光
学フィルター素子の上面に遮光性材料が付着するのを防
止する機能を果すものである。

次に本発明において、支持体は複数の光学フィルター素
子構成部を所定の間隔をおいて配列フィルター素子構成
部が間隔をおいて配列固定されることによシ、遮光性材
料を光学フィルター素子構成部の側面に被着させる工程
で光学フィルター素子構成部同志が接触し、ガラスなど
よシなる透明基板のかどが欠けるのが防止されるもので
ある。又、支持体上に各光学フィルター素子構成部の側
面が同様な向きで（支持体面と直角な方向で）一様に配
列されるので、各光学フィルター素子構成部への被覆加
工条件を一様にすることができる。

〔実施例〕

厚さ０．７ｓ＋ｓ＋、５インチφのガラス基板上にゼラ
チン−重クロム酸塩、系の水溶性感光性樹脂を塗布しバ
ターニング、及び染色を行なうことによシ複数の光学フ
ィルター層を所定の間隔をおいて形成し、その上にエポ
キン樹脂よシなる光学フィルター層用保護層を形成し、
複数の固体撮像素子用光学フィルター構成部が連続した
光学フィルター素子連続体を作製した。

次に光学フィルター素子連続体の上面に塩化ビニル築８
Ｎ脂かＦ３　ＩＬｍの障厘を吻左１．−下面かワックス
を介してガラス製支持体に固定し、ダインングソーを用
いて光学フィルター素子連続体を切断し、幅３００μｍ
の切溝を介してガラス裂支持体上に配列固定された複数
の光学フィルター素子構成部を得た。次に水洗後、下記
の条件でセンシタイジング及びアクチペイチングを行な
い、次いで無電解ニッケルめっきにより、光学フィルタ
ー素子構成部の側面にニッケル膜を被着させ遮光層を形
成した。このとき、側面に形成した遮光層の膜厚は１０
００＾で光学濃度は４．０であった。

（ａ）センンタイジング；ビンクンニーマー（日本カニ
ゼン製）１重量部と水９重量部とからなる溶液中に室温
下で２分間浸漬することにより行なった。

（ｂ）アクチベイチング；レッドンユーマー（日本カニ
ゼン裏）１重量部と水４重量部とからなる溶液中に室温
下で２分間浸漬することにより行なった。

（Ｃ）無Ｎ解−ｙケルめっき；ンユーマ−８６８０（日
本カニゼン製）１重量部と水４重量部とからなる溶液（
液温５０℃）中に２分間浸漬することにより行なった。

遮光層を形成してから、水洗、及び乾燥ののち、加熱す
ることによシガラス製支持体に光学フィルター素子構成
部を固定しているワックスを溶融させ、各フィルター素
子構成部をガラス製支持体よシ分離し、次いでトリクロ
ルエチレンを用いて各フィルター素子構成部上面を被覆
する塩化ビニル系樹脂層を溶解除去し、側面に遮光層を
もつ複数の固体撮像素子用光学フィルター素子を得た。

〔発明の効果〕

以上詳記した通υ、本発明に係る光学フィルター素子に
よれば、光学フィルター素子の側面部に入射する光は遮
断されるため、撮像有効エリアへの影響は防止され、高
品位の撮像ができる。

又、本発明の製造方法によれば上記のような利点を有す
る光学フィルター素子を高能率に、且つ高品質で製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（−）ないしくｆ）は本発明の製造方法の過程を
示す断面図、第２図は本発明の光学フィルター素子を用
いたカラー撮像素子の断面図、第１図は従来の光学フィ
ルター素子を用いたカラー撮像素子の断面図である。 （１）・・・・・・・・・撮像素子 （２）・・・・・・・・・従来の光学フィルター素子（
３）・・・・・・・・・キャップ （４）・・・・・・・・・パッケージ （５）・・・・・・・・・本発明の光学フィルター素子
（６）・・・・・・・・・透明基板 （７）・・・・・・・・・光学フィルター層部（８）・
・・・・・・・・光学フィルター要用保護層（９）・・
・・・・・・・光学フィルター素子連続体αＱ・・・・
・・・・・表面保護用樹脂層α０・・・・・・・・・支
持体 αり・・・・・・・・・切溝 α３・・・・・・・・・遮光性材料層 α４・・・・・・・・・接着層 ａ９・・・・・・・・・光学フィルター卑子構成郁第２
図 第３図 寸−一 手続補正書（方式） ％式％ 昭（０６０年特許願第１９コロｇ９号 ２、発明の名称 光学フィルター素子及びそのＲ遺失 ３、　補正をする者 名　　称　　４２８９）　　大日本印刷株式会社代ノ略
北島義俊 昭和６０年／／月　６日（発送日：昭和６０年ｌ１月−
６日）明細書の「図面の簡単な説明」の掴・−ゝ、８、
補正の内容

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板上に光学フィルター層部が設けられてい
   る光学フィルター素子において、側面が遮光性材料で被
   覆されていることを特徴とする光学フィルター素子。
2. （２）透明基板上に複数の光学フィルター層部を所定の
   間隔をおいて形成して光学フィルター素子連続体を形成
   する工程と該光学フィルター素子連続体の上面を表面保
   護用樹脂層で被覆保護したのち、光学フィルター素子連
   続体の下面側に支持体を接着層を介して貼合せる工程と
   、光学フィルター素子連続体の光学フィルター層部間の
   領域を切断除去して支持体上に所定の間隔をおいて複数
   の光学フィルター素子構成部が配列固定されたものを得
   る工程と支持体上に配列固定された各光学フィルター素
   子構成部の側面に遮光性材料を被着させる工程と、各光
   学フィルター素子構成部の側面に遮光性材料を被着させ
   たのち、各光学フィルター素子構成部を支持体から取り
   はずす工程と、光学フィルター素子構成部の側面に遮光
   材料を被着させたのち各光学フィルター素子構成部上面
   を被覆する表面保護用樹脂層を各光学フィルター素子構
   成部から除去する工程とからなることを特徴とする光学
   フィルター素子の製造法。