JPS6286302A - 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はビデオカメラ等に用いられる固体撮像素子用色
分解フィルターに関する。

ＣＣＤ（電荷結合型素子）に代表される固体撮像素子の
受光部の上に色分解フィルターを貼り合わせてカラー化
ずろ場合の色分解フィルターの製造方法に関する。

〈従来の技術〉 従来の色分解フィルターの製造方法を工程順に示す図面
の第２図（ａｌ　、　（ｂｌに基いて説明する。

第２図Ｔａ）に示すように固体撮像素子用色分解フィル
ターは、「多面伺け」と称して、フィルター製造段階で
は、一枚の大きな透明基板Ｏυの上面に色分解用のフィ
ルター層（Ｉ２）を多数形成し、しかる後に１個毎に断
裁する工程がある。この直前に、第２図（ａｌに示すよ
うに、多面付けにて色分解フィルター層０２）を作成し
た上面には保護膜α３）を施してフィルター層（１２１
を被覆し、下面には例えば粘着層（Ｉ４）を有する塩化
ビニル樹脂フィルム等の伸張性フィルム膜（１５）を貼
着する。第２図（ｂｌは、ダイシング装置等で色分解フ
ィルター層（Ｉ２）の間に、断裁溝α６）が形成された
状態である。すでに明らかなように、保護膜θ３）は、
断裁用冷却液や、断裁時に発生するガラスくずによりフ
ィルター層（１２）が汚染、きずつくのを防いでいるも
のである。

〈発明が解決しようとする問題点〉 前記のように色分解フィルター層０２）より断裁すると
、保護膜α３）があっても保護膜（１３）に気泡やピン
ホールがあると、断裁冷却液により、色分解フィルター
層０２）の表面にシミが発生する。また、請求の範囲の
第（２）項の色分解フィルターの基板側面に光遮断層を
形成させる場合においても、色分解フィルター層（１２
）の表面へ蒸発物質の衝突や熱的影響による保護膜ダメ
ージ起因のシミの発生があり、また保護膜が剥れなくな
る。

〈問題点を解決するたぬの手段〉 本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、色分解フ
ィルター層（２）への外部からの悪影響を受けにくくす
るため、色分解フィルター層に施した保護膜Ｃ３ａ）に
伸張性フィルム膜（５）を貼着し、基板裏面側を外側に
するようにしてそれ以後の工程を進ぬる。

〈発明の詳述〉 以下、さらに本発明の固体撮像素子用色分解フィルター
の製造方法を工程順に示す図面の第１図（ａｌ〜ｆｅｌ
に基いて、以下詳細に説明する。

第１図ｆａｔに示すように固体撮像素子用色分解フィル
ターは、「多面付け」と称して、フィルター製造段階で
は、一枚の大きな透明基板（１）の片面に色分解用のフ
ィルター層（２）を多数形成し、フィルター層（２）の
上面には保護膜（３ａ）また透明基板面には保護膜（３
１））を被覆し、さらにフィルター層（２）側保護膜（
３ａ）に粘着層（４）を有する塩化ビニル樹脂フィルム
等の伸張性フィルム膜（５）を施した様子を示したもの
である。ここで用いられるガラス透明基板（１）は、０
．５〜１．　Ｑ　Ｔｎｍ程度の厚みを有し、材質として
は、石英ガラス、硼硅酸環系ガラスまたはソーダライム
ガラス等を代表する通常ガラスが用いられる。該フィル
ター層（２）は、特公昭５２−１７３７５号公報におい
て公知なように、ゼラチン、低分子量ゼラチン、グＩＪ
　、−、カゼイン等の水溶性樹脂の感光材料が光硬化し
た薄膜を、染料にて染色した有機樹脂系のフィルター層
があるが、ＴｌＯ２−８ｉ　０２に例示されるような無
機の干渉フィルター層も当然採用できる。

第１図（ｂ）は、ダイシング装置等で各色分解フィルタ
ー層（２）の間に、断裁溝（６）が形成された状恋であ
る。すでに明らかなように、保護膜Ｇｂ）は、断裁用冷
却液や、断裁時に発生するガラスくずにより基板表面（
ガラス面）が汚染されたり、キズついたりするのを防い
でいるものである。続いて第１図ｆｃｌに示すように伸
張性フィルム膜（５）を両側に拡げるように力を加える
ことにより、前記した断裁溝（６）の幅を拡大して溝（
６）とする。この状態で、各個に断裁された色分解フィ
ルター（７）は、その側面同士の間隔が拡がり、この部
分の洗浄などを容易に行なえるようになる。さらに、第
１図（Ｃ１のように基板側面に光遮断層（８）を形成す
る場合、容易に行えるようになる。光遮断層（８）は真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法
などで形成され、その材質としては、金属では、ニッケ
ル、アルミニウム、クロム、チタン、銅、鉄、銀、金等
の単体またはそれらの合金、またこれらの金属化合物、
その他無機物、有機物でも光遮断性があるものであれば
採用できる。

最後に、基板側の保護膜（３ｂ）〔光遮断層（８）があ
るものならば保護膜（３ｂ）ごと〕を剥し、引き続き伸
張性フィルム膜（５）より取り外して第１図（ｅｌのよ
うに製造を完了する。

〈実施例１〉 厚さＱ、　５７ｎｍ、直径１００龍のパイレックスガラ
ス（米国コーニング社製）からなる透明基板上に、１辺
約１０　ｍｍの角形のフィルター層を公知の方法にて３
６個多面付けしたものに対して、基板両面に易剥離性塗
膜となるコート材「シリテクト■：米国コントロライン
社製商品名」を塗布して乾燥し保護膜とする。

次に伸張性のポリ塩化ビニルフィルムの片面に粘着層を
設けた伸張性テープ５ＰＶ−２２４（日東電工■製部品
名）とフィルター層側の保護膜とを貼り合わせ第１図（
ａｌの状態とする。続いてレジンブレードを用いた断裁
機により基板面より断裁溝を入れ、前記の伸張性フィル
ムの端部な引張り、第Ｊ図ｆｃ）の状態とした。この後
、光学的フレアを防止する目的で高周波励起方式のイオ
ンプレーティング法にて表１の条件で基板側面の厚みが
３０００尺になるようにアルミニウム層を形成した。（
第１図ｄ）最後に、伸張性フィルムから色分解フィルム
を取り外し、保護膜を剥がして製造を完了した。

このようにして得られた色分解フィルターは、アルミニ
ウム形成の際の熱による保護膜ダメージも受けず、フィ
ルター層にシミの発生もなく良好ブよものであった。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明は断裁をガラス基板面側か
ら行なうことにより断裁時に色分解フィルター層が断裁
冷却液の影響を受けにくくなり、シミが発生せず、良好
なものを絶えず提供することができる。

表１゜ また、真空蒸着法、イオンプレーティング法等で基板側
面に光遮断層を形成させる際、表面保護膜の熱的ダメー
ジが色分解フィルター層に直接およばないためシミ等の
不良原因が減少した。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｌ〜（ｅｌは、本発明による色分解フィルタ
ーの製造方法を工程順に示す断面図であり、第２図（ａ
ｌ　、　（ｂｌは、従来の製造方法を示す断面図である
。 １．１１・・・透明基板 ２．１２・・・色分解フィルター層 ３３．３ｔ）、１３・・・保護膜 ４、Ｊ４　　粘着層 ５．１５・・・伸張性フィルム膜 ６　、６’、　］　６・・断裁溝 ７・・色分解フィルター ８・・光遮断層

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガラス透明基板の片面に多数の色分解フィルター
   層を所定の色数で、所望のパターン状に多面付け形成さ
   せた後、基板の両面に保護膜を形成し、色分解フィルタ
   ー層に施した保護膜に伸張性フィルム膜を貼着し、基板
   裏面より各々の色分解フィルター層の間に断裁溝を形成
   する事を特徴とする固体撮像素子用色分解フィルターの
   製造方法。
2. （２）断裁溝を形成した後、該断裁溝を拡張し、ガラス
   基板側面に真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ
   ーティング法、無電解めっき法のうちいずれかの方法で
   光遮断層を形成させる事を特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の固体撮像素子用色分解フィルターの製造方法
   。