JPS6017703A - カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPS6017703A JPS6017703A JP58126464A JP12646483A JPS6017703A JP S6017703 A JPS6017703 A JP S6017703A JP 58126464 A JP58126464 A JP 58126464A JP 12646483 A JP12646483 A JP 12646483A JP S6017703 A JPS6017703 A JP S6017703A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分計
本発明は半導体構成の撮像素子基板上にカラーフィルタ
を形成する固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法に
関する。
を形成する固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法に
関する。
（ロ） 従来技術
従来、この種のカラーフィルタの製造方法としては、撮
像素子の表面に接着剤を用いてガラス基板構成のカラー
フィルタを貼り付ける方法があった。
像素子の表面に接着剤を用いてガラス基板構成のカラー
フィルタを貼り付ける方法があった。
しかしながら、撮像素子には画素に対応して複数の光電
変換部が配列されており、この各′、Ｘ、電変換電変換
部側えば赤、緑、青のカラーフィルタを対応せしめなけ
ればならないので、撮像素子とカラーフィルタとの正確
な位置合せが必要となり、これ等の貼り付は作業を煩雑
なものとし、製造歩留りを低下上しめる欠点があった。
変換部が配列されており、この各′、Ｘ、電変換電変換
部側えば赤、緑、青のカラーフィルタを対応せしめなけ
ればならないので、撮像素子とカラーフィルタとの正確
な位置合せが必要となり、これ等の貼り付は作業を煩雑
なものとし、製造歩留りを低下上しめる欠点があった。
この為に、撮像素子上に直接カラーフィルタを形成する
方法が開発されているが、有機材料からなるカラーフィ
ルタを形成する場合には、耐熱性及び耐薬品性に劣り、
カラーフィルタの損傷を招く欠点がある。一方無機材料
は染色が困難であったので、この無機材料にて色分離を
行なうプリズム効果を利用したフィルタを形成する場合
には、耐熱性及び耐薬品性に秀れてはいるものの、フィ
ルタを光屈折を行なわしめる格子ノ［チ状等の複雑な形
状にエンチング形成しなければならず、Ｍ造工程数の増
加及びこれに依るコスト高を招く等の欠点を合せ持って
いた。
方法が開発されているが、有機材料からなるカラーフィ
ルタを形成する場合には、耐熱性及び耐薬品性に劣り、
カラーフィルタの損傷を招く欠点がある。一方無機材料
は染色が困難であったので、この無機材料にて色分離を
行なうプリズム効果を利用したフィルタを形成する場合
には、耐熱性及び耐薬品性に秀れてはいるものの、フィ
ルタを光屈折を行なわしめる格子ノ［チ状等の複雑な形
状にエンチング形成しなければならず、Ｍ造工程数の増
加及びこれに依るコスト高を招く等の欠点を合せ持って
いた。
（ハ）発明の目的
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであり、耐熱
性及び耐薬品性に秀れていながら、製造工程の簡略化を
図った固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法を提供
するものである。
性及び耐薬品性に秀れていながら、製造工程の簡略化を
図った固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法を提供
するものである。
（ニ）発明の構成
本発明のカラー同体撮像素子用カラーフィルタの製造方
法は、半導体構成の撮像素子基板上にアルミニウム層を
設け、これを陽極酸化してアルミナ層を形成し、該アル
ミナ層を染色するものである。
法は、半導体構成の撮像素子基板上にアルミニウム層を
設け、これを陽極酸化してアルミナ層を形成し、該アル
ミナ層を染色するものである。
（ホ）実施例
第１図に本発明に係るカラー固体撮像素子の一実施例を
示し、第２図（ａ）〜（ｇ）にそのカラーフィルタの製
造方法を工程順に示す。第１図に於い℃、（１０〉は半
導体構成の撮像基板であり、Ｐ型シリコン基体り１１）
に複数のｎ＋型の光′ｃ、変換部＜１２）（１２〉・・
、複数のｎ−型のＣＯＤグーヤンネル（１３〉（１３）
・・、及び複数のビ型のチャンネルストッパ（１４Ｈ１
４）・・・が周期的に配列構成されている。さらに、（
１５）（１６）（１７）は上記Ｐ型シリうン基体（１１
）上に被着された三層の絶縁層であり、第１．第２層間
及び第２．第３Ｎ間には夫々絶縁状態でＣＯＤの転送電
極（１８）（１８）・・・、及び（１９）０９）・・が
構成きれている。（２０）は上記各領域（］１）〜（１
９）からなる撮像基板（１０）上に被着形成された赤（
Ｒ）、緑（Ｇ）、Ｗ（Ｂ ）のカラーフィルタであり、
撮像基板（１０）の各光電変換領域（１２＞（１２）・
・・に対応して三色のカラーフィルタが配列されている
。
示し、第２図（ａ）〜（ｇ）にそのカラーフィルタの製
造方法を工程順に示す。第１図に於い℃、（１０〉は半
導体構成の撮像基板であり、Ｐ型シリコン基体り１１）
に複数のｎ＋型の光′ｃ、変換部＜１２）（１２〉・・
、複数のｎ−型のＣＯＤグーヤンネル（１３〉（１３）
・・、及び複数のビ型のチャンネルストッパ（１４Ｈ１
４）・・・が周期的に配列構成されている。さらに、（
１５）（１６）（１７）は上記Ｐ型シリうン基体（１１
）上に被着された三層の絶縁層であり、第１．第２層間
及び第２．第３Ｎ間には夫々絶縁状態でＣＯＤの転送電
極（１８）（１８）・・・、及び（１９）０９）・・が
構成きれている。（２０）は上記各領域（］１）〜（１
９）からなる撮像基板（１０）上に被着形成された赤（
Ｒ）、緑（Ｇ）、Ｗ（Ｂ ）のカラーフィルタであり、
撮像基板（１０）の各光電変換領域（１２＞（１２）・
・・に対応して三色のカラーフィルタが配列されている
。
次に斯る本発明の特徴とするカラーフィルタの製造方法
を第２図（ａ）〜（ｇ＞に基づいて詳述する。
を第２図（ａ）〜（ｇ＞に基づいて詳述する。
まず、第１図の如き撮像基板（１０）が複数個切断され
ていない状態のウェハー（１）を用意し［り図（ａ）］
、このウェハー（１〉上に２μｍ厚のアルミニウド層（
２）を真空蒸着法にて形成する［同図（ｂ）］。次にポ
ジ型のレジスト（３）であるシプレー社の商品名’ＡＺ
−１３５０，を５０００人厚ニスヒンコートし［同図（
Ｃ）］、紫紫外線光して現像を行ない赤色フィルタが配
置されるべき位置のレジスト（３）を除去する［同図（
ｄ）］。続いてこの状態の基板（１０）を希硫酸中に浸
漬し、アルミニウム層（２）を陽極側として陽極酸化を
行ない、露出したアルミニウム層（２）をγアルミナ層
り２゛）とする［同図（ｅ）］、 この時、γアルミナ
層（２“〉は透明となり、しかも多孔質となっている。
ていない状態のウェハー（１）を用意し［り図（ａ）］
、このウェハー（１〉上に２μｍ厚のアルミニウド層（
２）を真空蒸着法にて形成する［同図（ｂ）］。次にポ
ジ型のレジスト（３）であるシプレー社の商品名’ＡＺ
−１３５０，を５０００人厚ニスヒンコートし［同図（
Ｃ）］、紫紫外線光して現像を行ない赤色フィルタが配
置されるべき位置のレジスト（３）を除去する［同図（
ｄ）］。続いてこの状態の基板（１０）を希硫酸中に浸
漬し、アルミニウム層（２）を陽極側として陽極酸化を
行ない、露出したアルミニウム層（２）をγアルミナ層
り２゛）とする［同図（ｅ）］、 この時、γアルミナ
層（２“〉は透明となり、しかも多孔質となっている。
この後、赤色染料であるイーストマンコダック社製の商
品名「ポリエステルレッド２Ｇ、の溶液中に上記撮像素
子を浸漬し、露出したγアルミナ層（２°〉の小孔にこ
の赤色染料溶液を充填する［同図（ｆ’）］。次に、水
蒸気中でこのγアルミナ、Ｉｆ！ （２゛）の表面部に
水素を反応せしめてその小孔を覆い、その後、レジスト
（３）を除去する事に依って、赤色フィルタ（Ｒ）が形
成きれる［同図（ｇ）］。
品名「ポリエステルレッド２Ｇ、の溶液中に上記撮像素
子を浸漬し、露出したγアルミナ層（２°〉の小孔にこ
の赤色染料溶液を充填する［同図（ｆ’）］。次に、水
蒸気中でこのγアルミナ、Ｉｆ！ （２゛）の表面部に
水素を反応せしめてその小孔を覆い、その後、レジスト
（３）を除去する事に依って、赤色フィルタ（Ｒ）が形
成きれる［同図（ｇ）］。
以下、緑色フィルタ（Ｇ）、及び青色フィルタ（Ｂ）の
形成についても、順次同様に行なわれ、夫々の染料とし
ては、例えばイーストマンコダック社の商品名「ポリエ
ステルイエロー７ Ｇ Ｔ Ｊと同「ポリエステルブル
ーＧ ＲＪとの６＝４の混合緑色染料並びに同じく「ポ
リエステルブルーＧＲ」の青色染料が用いられる。
形成についても、順次同様に行なわれ、夫々の染料とし
ては、例えばイーストマンコダック社の商品名「ポリエ
ステルイエロー７ Ｇ Ｔ Ｊと同「ポリエステルブル
ーＧ ＲＪとの６＝４の混合緑色染料並びに同じく「ポ
リエステルブルーＧＲ」の青色染料が用いられる。
斯して第１図に示す如く、撮像素子（１０）の上にその
各光電変換領域（１２）（１２）・・・に対応して赤（
Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各カラーフィルタ（２０）
が形成される。
各光電変換領域（１２）（１２）・・・に対応して赤（
Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各カラーフィルタ（２０）
が形成される。
以上の説明に於いては、三原色のカラーフィルタ（２０
）を用いたが、これ等の補正系のカラーフィルタ及び透
明フィルタ等の組合せも可能である。
）を用いたが、これ等の補正系のカラーフィルタ及び透
明フィルタ等の組合せも可能である。
くへ〉 発明の効果
本発明のカラー固体撮像素子用カラーフィルタの製造方
法は、以上の説明から明らかな如く、撮像素子基板上に
アルミニウム層を設（′ｊ１これを陽極酸化してアルミ
ナ層とし、該アルミナ層を染色してカラーフィルタを形
成するものであるので、有機材料のカラーフィルタとは
異なり耐熱性及び耐薬品性に秀れたカラーフィルタを得
る事ができ、しかも従来の無機材料では不可能であった
染色が可能となり、これに依ってエツチング処理等の工
程を不用にでき、製造工程の大１１」な簡略化が図れる
上にその製造コストの低減にも寄与する。
法は、以上の説明から明らかな如く、撮像素子基板上に
アルミニウム層を設（′ｊ１これを陽極酸化してアルミ
ナ層とし、該アルミナ層を染色してカラーフィルタを形
成するものであるので、有機材料のカラーフィルタとは
異なり耐熱性及び耐薬品性に秀れたカラーフィルタを得
る事ができ、しかも従来の無機材料では不可能であった
染色が可能となり、これに依ってエツチング処理等の工
程を不用にでき、製造工程の大１１」な簡略化が図れる
上にその製造コストの低減にも寄与する。
第１図は本発明に係るカラー固体撮像素子の断面図、第
２図（ａ）〜（ｇ）は本発明のカラー固体撮像素子用カ
ラーフィルタの製造方法を示す工程図であり、（１）は
ウェハー、（２）はアルミニウム層、〈２゛）はアルミ
ナ層、（１０）は撮像素子基板、（１１）ｉ；ｉシリコ
ン基体、（２０月まカラ・−フィルタを夫々示している
。
２図（ａ）〜（ｇ）は本発明のカラー固体撮像素子用カ
ラーフィルタの製造方法を示す工程図であり、（１）は
ウェハー、（２）はアルミニウム層、〈２゛）はアルミ
ナ層、（１０）は撮像素子基板、（１１）ｉ；ｉシリコ
ン基体、（２０月まカラ・−フィルタを夫々示している
。
Claims (1)
- １）半導体構成の撮像素子基板上にアルミニウム層を設
け、該アルミニウム層を陽極酸化してアルミナ層を形成
し、該アルミナ層を染色する事に依って、撮像素子基板
上にカラーフィルタを形成する事を特徴としたカラー固
体撮像累子用カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126464A JPS6017703A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58126464A JPS6017703A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017703A true JPS6017703A (ja) | 1985-01-29 |
Family
ID=14935863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58126464A Pending JPS6017703A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017703A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61198126A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-02 | Canon Inc | 画像記録媒体 |
| JPS61232402A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-10-16 | Nec Corp | カラ−フイルタとその製造方法 |
| JP2005217888A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Konica Minolta Opto Inc | 撮像装置、撮像装置の製造方法、撮像素子の取付用基板及び電子機器 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP58126464A patent/JPS6017703A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61198126A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-02 | Canon Inc | 画像記録媒体 |
| JPS61232402A (ja) * | 1985-04-08 | 1986-10-16 | Nec Corp | カラ−フイルタとその製造方法 |
| JP2005217888A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Konica Minolta Opto Inc | 撮像装置、撮像装置の製造方法、撮像素子の取付用基板及び電子機器 |
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