JP2005217888A - 撮像装置、撮像装置の製造方法、撮像素子の取付用基板及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部10を有する基板PCと、基板PCの裏面側に開口部10から光電変換部2aを露出させるように取り付けられた撮像素子2と、撮像素子2に入射光を集光する光学部材1と、を有する撮像装置100である。光電変換部2aの周囲に設けられ、撮像素子2が基板PCに取り付けられた状態で基板PCの裏面と撮像素子2の表面とを離間させて電気的に接続するバンプ20を備える。バンプ20よりも光電変換部2a側に当該光電変換部2aを取り囲むように形成され、バンプ20により規制される基板PCの裏面と撮像素子2の表面の間隔を狭くする間隔変更部30を備える。撮像素子2の端部側から当該撮像素子2と基板PCの間を封止する接着剤Bが充填されている。
【選択図】図2
Description
このバンプ接続の接合方法としては、例えば、超音波融着によって金属製端子同士を接合する方法の他、ACF(異方性導電フィルム)やACP(異方性導電ペースト)等を用いて、接触式の電気的接合を行う方法もある。
前記撮像領域の周囲に設けられ、前記撮像素子が前記基板に取り付けられた状態で前記基板の裏面と前記撮像素子の表面とを離間させて電気的に接続する接続部材と、
前記接続部材よりも前記撮像領域側に当該撮像領域を取り囲むように形成され、前記接続部材により規制される前記基板の裏面と前記撮像素子の表面の間隔を狭くする間隔変更部と、を備え、
前記撮像素子の端部側から当該撮像素子と前記基板の間を封止する封止剤が充填されていることを特徴としている。
前記基板には、前記通過部として開口部が形成され、
前記撮像素子は、前記開口部から前記撮像領域を露出させるように前記基板に取り付けられていることを特徴としている。
前記間隔変更部は、前記基板の裏面に前記開口部の縁部に沿って設けられていることを特徴としている。
前記基板は、セラミック基板であることを特徴としている。
前記基板は、光を透過させる基板であることを特徴としている。
前記間隔変更部は、セラミック又はガラスからなる被膜であることを特徴としている。
前記接続部材は、バンプであり、前記撮像素子の表面に形成され、
前記基板の裏面の前記バンプと対向する部分には、当該基板に前記撮像素子が取り付けられる際に前記バンプと接合して前記撮像素子と前記基板とを電気的に接続するメッキバンプが形成されていることを特徴としている。
前記基板の裏面及び前記撮像素子の表面の何れか一方の面に前記間隔変更部を形成する間隔変更部形成工程と、
前記基板の裏面側に前記撮像素子を取り付ける撮像素子取付工程と、
前記封止剤を充填する封止剤充填工程と、
を備えることを特徴としている。
前記間隔変更部は、セラミックからなる被膜であり、
前記基板の裏面側に設けられた配線を保護するために前記セラミックからなる保護被膜を形成する保護被膜形成工程を備え、
前記保護被膜形成工程は、前記間隔変更部形成工程として、前記基板の裏面に前記間隔変更部としての前記被膜を形成する工程を有することを特徴としている。
前記撮像素子が取り付けられる際に、前記撮像領域の周囲に設けられた接続部材により前記撮像素子と当該基板とが電気的に接続されるとともに当該基板の裏面と前記撮像素子の表面とが離間した状態とされ、
前記接続部材よりも前記撮像領域側に当該撮像領域を取り囲むように形成され、前記接続部材により規制される当該基板の裏面と前記撮像素子の表面の間隔を狭くする間隔変更部を備え、
前記撮像素子が取り付けられた後、前記撮像素子の端部側から前記撮像素子と当該基板の間に封止剤が充填されることを特徴としている。
請求項1〜7の何れか一項に記載の撮像装置を、機器本体内に備えることを特徴としている。
ここで、図1は、本発明を適用した一実施の形態として例示する撮像装置を示す斜視図であり、図2は、図1のII−II線における撮像装置の一部省略断面図である。
ここで、図3(a)は、図1のIII−III線における撮像装置100の一部省略断面図であり、図3(b)は、図3(a)における基板PC及び撮像素子2を上方から見て示した一部省略平面図であり、図3(c)は、図3(a)における基板PC及び撮像素子2を下方から見て示した一部省略平面図である。また、図4は、図3(a)における一点鎖線Aで囲まれた部分を拡大して示した断面図である。なお、図3及び図4にあっては、光学部材1及び後述する接着剤B等の図示を省略している。
より詳細には、バンプ20は、撮像素子2の端部の接続端子(図示略)に対応させて設けられており、バンプ20の上面が基板PCの裏面側に形成された裏面側配線L1に接合されている。これにより、バンプ20を介して撮像素子2と基板PCとは電気的に接続されている。
そして、基板PCに対する撮像素子2の取り付けに際し、基板PCの裏面と撮像素子2の表面との間に、例えば20μmの間隔を形成するように、バンプ20と裏面側配線L1とが接合される。即ち、基板PCに撮像素子2全面を当接させる構成とした場合に、接点だけを接続させるのが困難となり、接点以外の部分には、基板PCと撮像素子2との間に隙間が形成されることとなる。なお、隙間が狭くなりすぎると、基板PCと撮像素子2の線膨張係数の差による応力が大きくなり、信頼性が低下し、一方で、隙間が広くなりすぎると、基板PCと撮像素子2との接続性が悪化することとなる。
また、間隔変更部30としては、例えば、酸化アルミニウムからなるアルミナコート(被膜)等のセラミックやガラスが挙げられる。ここで、セラミック或いはガラスの成膜は、所定の表面処理技術を用いて行われるようになっている。
この接着剤Bは、接着部位に充填後、接着部位の加熱や、接着部位への紫外線照射、その他の手段、又はこれらを複合的に行うことにより硬化させることが可能な樹脂等であって、一般的な熱硬化型接着剤、紫外線硬化型接着剤、熱・紫外線併用硬化型接着剤、複合硬化型接着剤等である。
より詳細には、例えば、熱及び紫外線の照射のいずれであっても硬化可能な熱・紫外線併用硬化型接着剤(樹脂)として、例えば、スリーボンド3012(登録商標)、ワールドロックNo.863(登録商標)、等が挙げられる。その他の手段としての硬化剤、硬化促進剤で硬化が促進されるとともに、紫外線照射でも硬化可能な複合硬化型接着剤としては、硬化促進剤としてスリーボンド3095(登録商標)を使用するスリーボンド3006(登録商標)等が挙げられる。
下脚部1fは、例えば図示は省略するが、水平断面視において円の外周の2点を結ぶ線(弦)によって切り欠かれた略D字形状となっており、被嵌合部を形成している。
このように、基板PCと鏡枠4とカバー部材11とが密着して接合されているので、基板PCと鏡枠4とカバー部材11等に覆われる光学部材1や撮像素子2の表面は、環境外乱である埃などのゴミや湿気等の付着や傷等の損傷から防がれて保護される。
つまり、鏡枠4とカバー部材11とで構成される外枠部材が、光学部材1や基板PCの開口部10、撮像素子2の表面を覆うことにより、撮像装置100は、防塵、防湿の構造、光学部材1等の保護構造を有する。
また、光学部材1は鏡枠4に位置規制されているため、基板PCの所定位置に鏡枠4が配置され、固定された状態においては、光学部材1は所定の位置からずれにくく、例えば、光学部材1のレンズ部1aの光軸の中心と、撮像素子2の光電変換部2aの中心とが一致した状態を維持しやすい。
なお、位置決め電気部品8aは、例えば、コンデンサ、抵抗、ダイオード等に限らず、撮像装置100に必要な電気部品であればよい。
また、基板PC上には、撮像装置100を動作させ、画像処理を行うために必要な電気部品(図示略)を設けても良く、これにより、撮像装置100を一つのユニットとして様々な電子機器に搭載しやすくなる。
ここで、図5(a)〜(c)は、撮像装置100の製造工程を説明するための工程図である。なお、接着剤Bとして、熱硬化型接着剤を用いるものとする。
次に、基板PCの開口部10と撮像素子2の光電変換部2aとを対向させるように、基板PCの裏面側配線L1と撮像素子2の接続端子上に形成されたバンプ(スタッドバンプ)20とを接合する(撮像素子取付工程;図5(a)及び図5(b)参照。)。具体的には、基板PCの裏面にバンプ20の先端部が当接することで、バンプ20が押し潰されることとなり、これによって、撮像素子2と基板PCとの離間距離が所定の大きさに規制された状態となる。
これにより、基板PCと撮像素子2の取付処理が完了する。
図6に示すように、電子機器は、例えば、折り畳み式携帯電話機T(以下、携帯電話機Tという)であり、表示画面Dを備えたケースとしての上筐体71と、操作ボタンPを備えた下筐体72とがヒンジ73を介して連結されている。撮像装置100は、上筐体71の内表面側(表示画面Dを有する側)の表示画面Dの下方に内蔵されており、撮像装置100が上筐体71の外表面から光を取り込めるものとされている。
このように、携帯電話機Tに薄型化された撮像装置100を内蔵することにより、携帯電話機Tをより薄型化することができ、撮像対象との距離や撮像環境に対応させて撮像装置100の機能を使い分けることにより、付加価値の高い携帯電話機Tとすることができる。
なお、携帯電話機Tのその他の構成要素は、公知であるため、説明を省略する。
次に、撮像装置100の変形例について、図7を参照して説明する。ここで、図7は、撮像装置の変形例における基板PCと撮像素子2の一部分を拡大して示した断面図である。
図7に示すように、本発明に係る撮像装置にあっては、基板PCの裏面側配線L1を保護するための保護被膜40を有するものであっても良い。即ち、保護被膜40としては、例えば、酸化アルミニウムからなるアルミナコートを適用可能であり、保護被膜40は、撮像装置の製造工程における保護被膜形成工程にて形成されるようになっている。この保護被膜形成工程において、保護被膜40と略等しい構成成分からなる間隔変更部30としてのアルミナコートを形成する間隔変更部形成工程を行うことにより、保護被膜40の形成の際に間隔変更部30の形成も行うことができる。従って、間隔変更部30の形成のための特別な工程を行う必要がなくなり、保護被膜形成工程にて間隔変更部30を簡便に形成することができる。
また、図7に示すように、基板PCの裏面側配線L1のバンプ20と対向する部分に、当該基板PCに撮像素子2が取り付けられる際にバンプ20と接合して撮像素子2と基板PCとを電気的に接続するメッキバンプMを形成しても良く、これにより、基板PCの裏面と撮像素子2の表面との離間距離に余裕を持たせることができる。即ち、間隔変更部30が、例えば製造誤差等により高く形成された場合であっても、メッキバンプMの分だけ基板PCの裏面と撮像素子2の表面との離間距離を大きくすることができ、基板PCに撮像素子2が取り付けられても、間隔変更部30の先端部分が撮像素子2の表面に接触して、その表面を傷つけてしまうことの防止を好適に図ることができる。
なお、メッキバンプMの形成方法は、如何なるものであっても良い。また、接続部材としてのバンプ30に接合するバンプは、上記のメッキバンプMに限られるものではない。
例えば、上記実施の形態では、基板PCとして、開口部10が形成されたセラミック基板を例示して説明したが、これに限られるものではなく、例えば図8に示すように、光を透過させる基板PCであっても良い。この場合、基板PCの所定位置(光の通過部の少なくとも一部)と撮像素子2の光電変換部2aとを対向させるように、当該基板PCに撮像素子2が取り付けられることとなる。
このように、間隔変更部30として、電着ポリイミドやパリレン膜等を適用した場合、基板PCの製造工程が複雑となり、間隔変更部30の形成を簡便に行うことが困難となるが、アルミナコートは、通常、回路パターンの保護に利用されていることから、回路パターンの保護用のアルミナコートの形成と同じ工程にて間隔変更部30の形成を行うことができる。従って、間隔変更部30としては、基板の製造工程を増加させることがなく、形成を簡便に行うことができるアルミナコートが最適であると考えられる。
なお、
さらに、上記実施の形態では、封止剤として接着剤Bを例示したが、これに限られるものではなく、撮像素子2と基板PCの間を封止可能なものであれば如何なるものであっても良い。
2 撮像素子
2a 光電変換部(撮像領域)
PC 基板(撮像素子の取付用基板)
10 開口部(通過部)
20 バンプ(接続部材)
30 間隔変更部
40 保護被膜
B 接着剤(封止剤)
L1 裏面側配線
M メッキバンプ
T 携帯電話機(電子機器)
Claims (11)
- 光の通過部を有する基板と、前記基板の裏面側に前記通過部の少なくとも一部と撮像領域とを対向させて取り付けられた撮像素子と、前記撮像素子に入射光を集光する光学部材と、を有する撮像装置であって、
前記撮像領域の周囲に設けられ、前記撮像素子が前記基板に取り付けられた状態で前記基板の裏面と前記撮像素子の表面とを離間させて電気的に接続する接続部材と、
前記接続部材よりも前記撮像領域側に当該撮像領域を取り囲むように形成され、前記接続部材により規制される前記基板の裏面と前記撮像素子の表面の間隔を狭くする間隔変更部と、を備え、
前記撮像素子の端部側から当該撮像素子と前記基板の間を封止する封止剤が充填されていることを特徴とする撮像装置。 - 前記基板には、前記通過部として開口部が形成され、
前記撮像素子は、前記開口部から前記撮像領域を露出させるように前記基板に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。 - 前記間隔変更部は、前記基板の裏面に前記開口部の縁部に沿って設けられていることを特徴とする請求項2に記載の撮像装置。
- 前記基板は、セラミック基板であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の撮像装置。
- 前記基板は、光を透過させる基板であることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記間隔変更部は、セラミック又はガラスからなる被膜であることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の撮像装置。
- 前記接続部材は、バンプであり、前記撮像素子の表面に形成され、
前記基板の裏面の前記バンプと対向する部分には、当該基板に前記撮像素子が取り付けられる際に前記バンプと接合して前記撮像素子と前記基板とを電気的に接続するメッキバンプが形成されていることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の撮像装置。 - 請求項1に記載の撮像装置の製造方法であって、
前記基板の裏面及び前記撮像素子の表面の何れか一方の面に前記間隔変更部を形成する間隔変更部形成工程と、
前記基板の裏面側に前記撮像素子を取り付ける撮像素子取付工程と、
前記封止剤を充填する封止剤充填工程と、
を備えることを特徴とする撮像装置の製造方法。 - 前記間隔変更部は、セラミックからなる被膜であり、
前記基板の裏面側に設けられた配線を保護するために前記セラミックからなる保護被膜を形成する保護被膜形成工程を備え、
前記保護被膜形成工程は、前記間隔変更部形成工程として、前記基板の裏面に前記間隔変更部としての前記被膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項8に記載の撮像装置の製造方法。 - 光の通過部を有し、裏面側に前記通過部の少なくとも一部に撮像領域を対向させて撮像素子が取り付けられる撮像素子の取付用基板であって、
前記撮像素子が取り付けられる際に、前記撮像領域の周囲に設けられた接続部材により前記撮像素子と当該基板とが電気的に接続されるとともに当該基板の裏面と前記撮像素子の表面とが離間した状態とされ、
前記接続部材よりも前記撮像領域側に当該撮像領域を取り囲むように形成され、前記接続部材により規制される当該基板の裏面と前記撮像素子の表面の間隔を狭くする間隔変更部を備え、
前記撮像素子が取り付けられた後、前記撮像素子の端部側から前記撮像素子と当該基板の間に封止剤が充填されることを特徴とする撮像素子の取付用基板。 - 請求項1〜7の何れか一項に記載の撮像装置を、機器本体内に備えることを特徴とする電子機器。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7679669B2 (en) | 2006-05-18 | 2010-03-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Camera module package |
JP2017037962A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 大日本印刷株式会社 | イメージセンサモジュール |
JP2020113772A (ja) * | 2020-03-03 | 2020-07-27 | 大日本印刷株式会社 | インターポーザ基板 |
CN115041925A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-13 | 徐德富 | 一种保形加工方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6017703A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Sanyo Electric Co Ltd | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
JPH0997870A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | S I I R D Center:Kk | 電子装置及びその製造方法 |
JPH11121653A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-04-30 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JPH11220115A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置の製造方法 |
JP2000125212A (ja) * | 1998-08-10 | 2000-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像モジュ―ル |
JP2001250889A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光素子の実装構造体およびその製造方法 |
JP2002124654A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
-
2004
- 2004-01-30 JP JP2004023660A patent/JP4407296B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6017703A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Sanyo Electric Co Ltd | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
JPH0997870A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | S I I R D Center:Kk | 電子装置及びその製造方法 |
JPH11121653A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-04-30 | Fuji Film Microdevices Co Ltd | 半導体装置とその製造方法 |
JPH11220115A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置の製造方法 |
JP2000125212A (ja) * | 1998-08-10 | 2000-04-28 | Olympus Optical Co Ltd | 撮像モジュ―ル |
JP2001250889A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光素子の実装構造体およびその製造方法 |
JP2002124654A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Mitsubishi Electric Corp | 固体撮像装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7679669B2 (en) | 2006-05-18 | 2010-03-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Camera module package |
JP2017037962A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 大日本印刷株式会社 | イメージセンサモジュール |
JP2020113772A (ja) * | 2020-03-03 | 2020-07-27 | 大日本印刷株式会社 | インターポーザ基板 |
JP7014244B2 (ja) | 2020-03-03 | 2022-02-01 | 大日本印刷株式会社 | インターポーザ基板 |
JP2022040321A (ja) * | 2020-03-03 | 2022-03-10 | 大日本印刷株式会社 | インターポーザ基板およびその作製方法 |
JP7342979B2 (ja) | 2020-03-03 | 2023-09-12 | 大日本印刷株式会社 | インターポーザ基板およびその作製方法 |
CN115041925A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-13 | 徐德富 | 一种保形加工方法 |
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