JPS63155002A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法Info
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- JPS63155002A JPS63155002A JP61301608A JP30160886A JPS63155002A JP S63155002 A JPS63155002 A JP S63155002A JP 61301608 A JP61301608 A JP 61301608A JP 30160886 A JP30160886 A JP 30160886A JP S63155002 A JPS63155002 A JP S63155002A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 45
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 claims abstract description 8
- 239000005018 casein Substances 0.000 claims abstract description 8
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 claims abstract description 8
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 claims abstract description 8
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 claims abstract description 8
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 claims abstract description 8
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 3
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 abstract description 2
- 239000001046 green dye Substances 0.000 abstract description 2
- 239000001044 red dye Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract 1
- 229920002189 poly(glycerol 1-O-monomethacrylate) polymer Polymers 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003721 gunpowder Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012192 staining solution Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
固体撮像装置（イメージセンサ）の複数の画素を多層構
造から単層構造にして平坦化を図り所定の分離を行ない
正常なカラーを出力させる。
造から単層構造にして平坦化を図り所定の分離を行ない
正常なカラーを出力させる。
本発明は固体撮像装置の製造方法係り、特に多層構造の
画素を単層構造にして平坦化を図る固体撮像装置の画素
平坦化法に関する。
画素を単層構造にして平坦化を図る固体撮像装置の画素
平坦化法に関する。
固体撮像装置はイメージセンサの性質上条（のホトセン
サとスイッチを必要とする。最近シリコンのＩＯＸＩＯ
ｍｍ”あるいはそれ以下の小さなチップの中に約５００
Ｘ ５００の画素をもったイメージセンサが製造可能と
なった。
サとスイッチを必要とする。最近シリコンのＩＯＸＩＯ
ｍｍ”あるいはそれ以下の小さなチップの中に約５００
Ｘ ５００の画素をもったイメージセンサが製造可能と
なった。
従来第２図に示すように拡散層２、Ａｌ配線層３が形成
されたシリコン基板１上にＰＳＧ層４その上にレジスト
のＰＧＭＡ （ポリプリシジルメタクリレート）平坦化
層５が設けられており、その平坦化層５上に例えば赤（
Ｒ）の画素６ 、ＰＧＭＡ層７、緑ＣＧ）の画素８、Ｐ
ＧＭＡ層８、そして青（Ｂ）の画素が順次３相構造で形
成されている。上記界、緑、青のそれぞれの画素はゼラ
チン又はカゼインにそれぞれの色の染色液を付着して形
成されていた。
されたシリコン基板１上にＰＳＧ層４その上にレジスト
のＰＧＭＡ （ポリプリシジルメタクリレート）平坦化
層５が設けられており、その平坦化層５上に例えば赤（
Ｒ）の画素６ 、ＰＧＭＡ層７、緑ＣＧ）の画素８、Ｐ
ＧＭＡ層８、そして青（Ｂ）の画素が順次３相構造で形
成されている。上記界、緑、青のそれぞれの画素はゼラ
チン又はカゼインにそれぞれの色の染色液を付着して形
成されていた。
第２図において赤の画素６は平らに形成されているが３
層構造のために緑の画素７、及び青の画素８はどうして
も傾斜面に形成されることになりその色が入射光による
屈折の理由から正常にアウトプットされなかった。
層構造のために緑の画素７、及び青の画素８はどうして
も傾斜面に形成されることになりその色が入射光による
屈折の理由から正常にアウトプットされなかった。
そこで本発明は全ての画素が平坦化された固体Ｉ最像装
置の形成方法を提供することを目的とする。
置の形成方法を提供することを目的とする。
上記問題点は本発明によれば半導体表面層に電荷結合デ
バイス（ＣＣＤ）が形成された基板上に絶縁層、更に平
坦化保護層を順次形成し、該保護層上に複数の画素を形
成する固体描像装置の製造方法において、前記平坦化層
上にゼラチン又はカゼインを塗布してカゼイン又はゼラ
チン画素層を形成し、次に該画素層をパターニングし複
数の画素部を形成し、次に所定の画素部に所定の色のみ
を順次染色して複数の画素を単層に形成することを特徴
とする固体↑最像装置の製造方法によって解決される。
バイス（ＣＣＤ）が形成された基板上に絶縁層、更に平
坦化保護層を順次形成し、該保護層上に複数の画素を形
成する固体描像装置の製造方法において、前記平坦化層
上にゼラチン又はカゼインを塗布してカゼイン又はゼラ
チン画素層を形成し、次に該画素層をパターニングし複
数の画素部を形成し、次に所定の画素部に所定の色のみ
を順次染色して複数の画素を単層に形成することを特徴
とする固体↑最像装置の製造方法によって解決される。
本発明によれば従来例えば３原色（Ｒ、Ｇ 、 Ｂ）の
各画素を３層構造で形成していたものが単層構造配置に
形成でき各画素の平坦化が図られる。
各画素を３層構造で形成していたものが単層構造配置に
形成でき各画素の平坦化が図られる。
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１Ａ図から第１Ｄ図は本発明の一実施例を説明するた
めの工程断面図である。
めの工程断面図である。
第１Ａ図において周知の方法により例えばＳｉの基板１
に拡散層２を形成し、次にＳｉＯ□層（図示せず）を形
成後アルミニウムを約９０００〜１０，０００人の厚さ
に蒸着しＲＩＥによりパターニングしアルミニウム配線
層３を形成し、ＣＣＤを作り、ＣＶＤ法により全面にＰ
２Ｏ層を約１０，０００〜２０，０００人の厚さに形成
し、更にその上にホトレジス） ＰＧＭＡを塗布しＰＧ
ＭＡ層５を形成し面を平坦化する。該ＰＧＭＡ層５上に
ゼラチン又はカゼインをそれぞれ１００ｃｃ、１０％の
材料を約５００人の厚さに塗布し、画素層１０を形成す
る。
に拡散層２を形成し、次にＳｉＯ□層（図示せず）を形
成後アルミニウムを約９０００〜１０，０００人の厚さ
に蒸着しＲＩＥによりパターニングしアルミニウム配線
層３を形成し、ＣＣＤを作り、ＣＶＤ法により全面にＰ
２Ｏ層を約１０，０００〜２０，０００人の厚さに形成
し、更にその上にホトレジス） ＰＧＭＡを塗布しＰＧ
ＭＡ層５を形成し面を平坦化する。該ＰＧＭＡ層５上に
ゼラチン又はカゼインをそれぞれ１００ｃｃ、１０％の
材料を約５００人の厚さに塗布し、画素層１０を形成す
る。
次に第１Ｂ図に示すように画素層ｌｌ上にホトレジスト
を塗布し、各画素に対応した位置にパターニングしレジ
ストパターン１２を形成する。
を塗布し、各画素に対応した位置にパターニングしレジ
ストパターン１２を形成する。
次に第１Ｃ図に示すように該レジストパターン１２をマ
スクとして例えば０２プラズマエツチングにより画素層
１１をパターニングしその後レジストパターン１２を除
去し各画素６，７．８を形成する。次に例えばＥＢ用の
レジストをＰＧＭＡ層５上で各画素６．７及び８を被覆
するように形成した後画素６のみ（緑の画素となる）を
露出させるようにレジストパターン１３を形成し、該レ
ジストパターン１３をマスクとして画素６のみに赤の染
料例えば日本火薬■製Ｒｅｄ １４Ｐを被着させる。
スクとして例えば０２プラズマエツチングにより画素層
１１をパターニングしその後レジストパターン１２を除
去し各画素６，７．８を形成する。次に例えばＥＢ用の
レジストをＰＧＭＡ層５上で各画素６．７及び８を被覆
するように形成した後画素６のみ（緑の画素となる）を
露出させるようにレジストパターン１３を形成し、該レ
ジストパターン１３をマスクとして画素６のみに赤の染
料例えば日本火薬■製Ｒｅｄ １４Ｐを被着させる。
染色方法としては水溶性でアニオン系の染料を水に溶か
し５０〜６０℃の温度にて約５分間浸漬する。
し５０〜６０℃の温度にて約５分間浸漬する。
以下同様にして画素８にのみ緑の染料例えば日本火薬Ｉ
Ｉ製Ｇｒｅｅｎ ＩＰを被着させ、次に画素１０にのみ
青の染料例えば日本火薬■製器ｕｅ ５Ｐを被着させる
。
Ｉ製Ｇｒｅｅｎ ＩＰを被着させ、次に画素１０にのみ
青の染料例えば日本火薬■製器ｕｅ ５Ｐを被着させる
。
このようにして各画素が平坦でしかも従来のように各画
素間は明確に分離されており、隣の画素の色との混色の
問題もない固体撮像装置が得られる。
素間は明確に分離されており、隣の画素の色との混色の
問題もない固体撮像装置が得られる。
以上説明したように本発明によれば各色の画素が確実に
平坦に形成されるので撮像のカラーアウトプットが正常
に行なわれ画像品位が向上する。
平坦に形成されるので撮像のカラーアウトプットが正常
に行なわれ画像品位が向上する。
第１Ａ図から第１Ｄ図迄は本発明の一実施例を説明する
ための工程断面図であり、第２図は従来技術を説明する
ための断面図である。 １・・・基板、 ２・・・拡散層、３・
・・アルミニウム配線層、４・・・Ｐ２Ｏ層、５・・・
ＰＧＭＡ層（平坦化層）、６・・・赤の画素、７．９・
・・ＰＧＭＡ層、 ８・・・緑の画素、１０・
・・青の画素、 １１・・・画素層、１２ 、
１３・・・レジストパターン。 第１８図 ′ 第１Ｄ図 ２ ０ °亦σ）ＩＩ！ＩＩ系 従来例 １・・・基板 ２・・・拡散層 訃°°アルミニウム層 ４・・・ＰＳＧ層 ５・・・平坦化層 ６・・・赤の画素 ７．９・・・ＰＧＭＡ層 ８・・・緑の画素 １０・・・青の画素
ための工程断面図であり、第２図は従来技術を説明する
ための断面図である。 １・・・基板、 ２・・・拡散層、３・
・・アルミニウム配線層、４・・・Ｐ２Ｏ層、５・・・
ＰＧＭＡ層（平坦化層）、６・・・赤の画素、７．９・
・・ＰＧＭＡ層、 ８・・・緑の画素、１０・
・・青の画素、 １１・・・画素層、１２ 、
１３・・・レジストパターン。 第１８図 ′ 第１Ｄ図 ２ ０ °亦σ）ＩＩ！ＩＩ系 従来例 １・・・基板 ２・・・拡散層 訃°°アルミニウム層 ４・・・ＰＳＧ層 ５・・・平坦化層 ６・・・赤の画素 ７．９・・・ＰＧＭＡ層 ８・・・緑の画素 １０・・・青の画素
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、半導体表面層に電荷結合デバイス（ＣＣＤ）が形成
された基板上に絶縁層、更に平坦化保護層を順次形成し
、該保護層上に複数の画素を形成する固体撮像装置の製
造方法において、 前記平坦化層上にゼラチン又はカゼインを塗布してカゼ
イン又はゼラチン画素層を形成し、次に該画素層をパタ
ーニングし複数の画素部を形成し、次に所定の画素部に
所定の色のみを順次染色して複数の画素を単層に形成す
ることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301608A JPS63155002A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301608A JPS63155002A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155002A true JPS63155002A (ja) | 1988-06-28 |
Family
ID=17898994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61301608A Pending JPS63155002A (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63155002A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02156567A (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-15 | Fujitsu Ltd | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| JPH03109768A (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-09 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| DE4007119A1 (de) * | 1989-12-02 | 1991-06-13 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zu seiner herstellung |
| US5470760A (en) * | 1993-02-17 | 1995-11-28 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solid state imaging device having partition wall for partitioning bottom portions of micro lenses and manufacturing method therefor |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP61301608A patent/JPS63155002A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02156567A (ja) * | 1988-12-08 | 1990-06-15 | Fujitsu Ltd | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| JPH03109768A (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-09 | Matsushita Electron Corp | カラー固体撮像装置の製造方法 |
| DE4007119A1 (de) * | 1989-12-02 | 1991-06-13 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zu seiner herstellung |
| US5470760A (en) * | 1993-02-17 | 1995-11-28 | Sharp Kabushiki Kaisha | Solid state imaging device having partition wall for partitioning bottom portions of micro lenses and manufacturing method therefor |
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