JPH01188091A - カラー固体撮像素子板 - Google Patents
カラー固体撮像素子板Info
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- JPH01188091A JPH01188091A JP63253187A JP25318788A JPH01188091A JP H01188091 A JPH01188091 A JP H01188091A JP 63253187 A JP63253187 A JP 63253187A JP 25318788 A JP25318788 A JP 25318788A JP H01188091 A JPH01188091 A JP H01188091A
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 2
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 1-O-galloyl-3,6-(R)-HHDP-beta-D-glucose Natural products OC1C(O2)COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC1C(O)C2OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 TUSDEZXZIZRFGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGHZXLIDFTYFHQ-UHFFFAOYSA-L Brilliant Blue Chemical compound [Na+].[Na+].C=1C=C(C(=C2C=CC(C=C2)=[N+](CC)CC=2C=C(C=CC=2)S([O-])(=O)=O)C=2C(=CC=CC=2)S([O-])(=O)=O)C=CC=1N(CC)CC1=CC=CC(S([O-])(=O)=O)=C1 SGHZXLIDFTYFHQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001263 FEMA 3042 Substances 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N Penta-digallate-beta-D-glucose Natural products OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-PPKXGCFTSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- WBTCZEPSIIFINA-MSFWTACDSA-J dipotassium;antimony(3+);(2r,3r)-2,3-dioxidobutanedioate;trihydrate Chemical compound O.O.O.[K+].[K+].[Sb+3].[Sb+3].[O-]C(=O)[C@H]([O-])[C@@H]([O-])C([O-])=O.[O-]C(=O)[C@H]([O-])[C@@H]([O-])C([O-])=O WBTCZEPSIIFINA-MSFWTACDSA-J 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- LRBQNJMCXXYXIU-NRMVVENXSA-N tannic acid Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)OC=2C(=C(O)C=C(C=2)C(=O)OC[C@@H]2[C@H]([C@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)[C@@H](OC(=O)C=3C=C(OC(=O)C=4C=C(O)C(O)=C(O)C=4)C(O)=C(O)C=3)O2)OC(=O)C=2C=C(OC(=O)C=3C=C(O)C(O)=C(O)C=3)C(O)=C(O)C=2)O)=C1 LRBQNJMCXXYXIU-NRMVVENXSA-N 0.000 description 1
- 229940033123 tannic acid Drugs 0.000 description 1
- 235000015523 tannic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920002258 tannic acid Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M thionine Chemical compound [Cl-].C1=CC(N)=CC2=[S+]C3=CC(N)=CC=C3N=C21 ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー固体撮像素子板に関し、更に詳しくは
1個の固体撮像素子から2種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは2扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。
1個の固体撮像素子から2種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは2扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。
固体撮像カラーカメラはCCD、 MO5XBBD等
の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状あるい
はストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、青
(以後、それぞれR,G、Bと略記する)の各フィルタ
ー素子を配置することによりR,G、Bのカラー信号を
取り出している。固体撮像素子はSt圃面上複雑な電極
構造があり各電極の吸収等により、たとえば第1図に示
すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感度
が悪いという傾向がある。第1図はCCDの分光感度特
性であるが、COD以外のMOS、BBD等でもSiを
使用しているので短波長領域に吸収を生じ分光感度は第
1図に示したものと同様の傾向を示す。
の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状あるい
はストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、青
(以後、それぞれR,G、Bと略記する)の各フィルタ
ー素子を配置することによりR,G、Bのカラー信号を
取り出している。固体撮像素子はSt圃面上複雑な電極
構造があり各電極の吸収等により、たとえば第1図に示
すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感度
が悪いという傾向がある。第1図はCCDの分光感度特
性であるが、COD以外のMOS、BBD等でもSiを
使用しているので短波長領域に吸収を生じ分光感度は第
1図に示したものと同様の傾向を示す。
このような固体撮像素子を用いてカラーカメラを構成す
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばR,G、Bの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第2図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、ダイクロイツタフィルター等がある。
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばR,G、Bの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第2図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、ダイクロイツタフィルター等がある。
第3図に固体カラーカメラの光学系の一例を示すが撮像
レンズ1により被写体を固体撮像素子4の感光部領域に
結像させる。色分離フィルター層3の各フィルター素子
は固体撮像素子4の各画素に対応させて配置する。色分
離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター層
を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像素
子の間にリレーレンズを介して対応させる方法(以下、
リレーレンズ法という)、色分離フィルター層を透明支
持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の各
画素に対応して接着剤により貼り合せる方法(以下、貼
合せ法という)及び固体撮像素子上に直接色分離フィル
ターを加工配置する方法(以下、直接法という)がある
。第3図は直接法の例を示す。
レンズ1により被写体を固体撮像素子4の感光部領域に
結像させる。色分離フィルター層3の各フィルター素子
は固体撮像素子4の各画素に対応させて配置する。色分
離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター層
を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像素
子の間にリレーレンズを介して対応させる方法(以下、
リレーレンズ法という)、色分離フィルター層を透明支
持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の各
画素に対応して接着剤により貼り合せる方法(以下、貼
合せ法という)及び固体撮像素子上に直接色分離フィル
ターを加工配置する方法(以下、直接法という)がある
。第3図は直接法の例を示す。
第3図示の如く、固体撮像素子4に直接色分離フィルタ
ー層を設けた素子を本明細書において便宜上カラー固体
撮像素子という。また、固体撮像素子では特に近赤外部
での感度が大きいことと、色分離フィルターが近赤外部
で透過特性を有することのために、不要信号の重畳とな
って輝度及び色度誤差を生じることを防ぐため通常赤外
線カットフィルター2を色分離フィルター3と撮像レン
ズ1の間に配置する。第4図に赤外線カットフィルター
の分光透過率特性を示す。
ー層を設けた素子を本明細書において便宜上カラー固体
撮像素子という。また、固体撮像素子では特に近赤外部
での感度が大きいことと、色分離フィルターが近赤外部
で透過特性を有することのために、不要信号の重畳とな
って輝度及び色度誤差を生じることを防ぐため通常赤外
線カットフィルター2を色分離フィルター3と撮像レン
ズ1の間に配置する。第4図に赤外線カットフィルター
の分光透過率特性を示す。
以上より固体撮像カラーカメラの固体撮像素子の各カラ
ー信号の総合感度は第5図に示すようになる。さらに、
第6図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。
ー信号の総合感度は第5図に示すようになる。さらに、
第6図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。
このように各カラー信号の出力レベルが大きく異なって
しまう。例えばB信号はG信号の173〜1/4の出力
となる。このような場合R信号あるいはG信号がB信号
へ混入したり、B信号が相対的に小さいために生じるB
信号のS/N劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。
しまう。例えばB信号はG信号の173〜1/4の出力
となる。このような場合R信号あるいはG信号がB信号
へ混入したり、B信号が相対的に小さいために生じるB
信号のS/N劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。
本発明の目的は、上記のような各カラー信号出力レベル
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子の提供にある。
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子の提供にある。
本発明は、総合感度特性が各カラーの出力レベルが一定
になるようにするため一定の、たとえば第2図に示す色
分離フィルター分光透過率特性をもつ、固体撮像素子の
受光面に存在する感光部(複数)上に設けるフィルター
素子の全面をおおうように補正フィルター層を色分離フ
ィルター層の上または下に層設することを特徴とする。
になるようにするため一定の、たとえば第2図に示す色
分離フィルター分光透過率特性をもつ、固体撮像素子の
受光面に存在する感光部(複数)上に設けるフィルター
素子の全面をおおうように補正フィルター層を色分離フ
ィルター層の上または下に層設することを特徴とする。
以下、上記の本発明についてフレーム転送方式CCDカ
ラー固体撮像素子への適用を例にとり図面に基づき詳細
に説明する。まず、第7図(a)〜(C)は、本発明に
係るカラー固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図で
ある。第7図(a)に示すカラー固体撮像素子板は固体
撮像素子の受光面に存在する感光部11上に色分離フィ
ルター層12 (−例としてR,G、Bの各色素子を設
けた場合を示す)を設け、さらにその上に補正フィルタ
ー層13を設けた構造をもつ。又、第7図ら)に示すカ
ラー固体撮像i子板は感光部11の上に補正フィルター
層13を設け、さらにその上に色分離フィルター層12
を設けた構造をもつ。又さらに、第7図(C)に示すカ
ラー固体撮像素子板は色分離フィルター層12の上下に
補正フィルター層13を有する。
ラー固体撮像素子への適用を例にとり図面に基づき詳細
に説明する。まず、第7図(a)〜(C)は、本発明に
係るカラー固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図で
ある。第7図(a)に示すカラー固体撮像素子板は固体
撮像素子の受光面に存在する感光部11上に色分離フィ
ルター層12 (−例としてR,G、Bの各色素子を設
けた場合を示す)を設け、さらにその上に補正フィルタ
ー層13を設けた構造をもつ。又、第7図ら)に示すカ
ラー固体撮像i子板は感光部11の上に補正フィルター
層13を設け、さらにその上に色分離フィルター層12
を設けた構造をもつ。又さらに、第7図(C)に示すカ
ラー固体撮像素子板は色分離フィルター層12の上下に
補正フィルター層13を有する。
上述の例において、色分離フィルター層は第8図(a)
に示す分光透過率特性を有し、さらに上記補正フィルタ
ー層が第8図(a)においてpで示す如き分光透過率特
性を有するような淡いシアン色であるとすると、該色分
離フィルターの分光透過率特性は第8図(b)に示すよ
うになる。
に示す分光透過率特性を有し、さらに上記補正フィルタ
ー層が第8図(a)においてpで示す如き分光透過率特
性を有するような淡いシアン色であるとすると、該色分
離フィルターの分光透過率特性は第8図(b)に示すよ
うになる。
従って、このような分光透過率特性を有するフィルタ一
部分をもつ本発明のカラー固体撮像素子板は赤外線カッ
トフィルターを介して被写体を撮像すると、総合感度は
第9図に示すようになり、固体撮像素子から得られるR
、G、Bの各カラー信号は第10図のようになり、各出
力信号が均一化し出力レベルの高い信号が低出力レベル
信号へ混入する等の問題を改善でき、高品質のカラー画
像が得られる。
部分をもつ本発明のカラー固体撮像素子板は赤外線カッ
トフィルターを介して被写体を撮像すると、総合感度は
第9図に示すようになり、固体撮像素子から得られるR
、G、Bの各カラー信号は第10図のようになり、各出
力信号が均一化し出力レベルの高い信号が低出力レベル
信号へ混入する等の問題を改善でき、高品質のカラー画
像が得られる。
本発明のカラー固体撮像素子板を製造する方法としては
、固体撮像素子の受光面の少なくとも感光部を含む部分
にカゼイン、ゼラチン、グリユー等の有機樹脂を製版し
有機染料により着色して各分光特性を有するフィルター
素子形成後、同様の方法で被着色性有機樹脂を形成後、
日本化薬0菊製染料であるカヤノールミーリングターキ
スブルー3G、カヤノールミーリングウルトラスカイS
F、カヤジオンターキスPGFあるいは三菱化成工業■
製ダイアシトブリリアントスカイブルーPW、ダイアシ
トライトブルー2A等により染色して補正フィルター層
を形成すると良い。あるいは補正フィルター層を形成後
各フィルター素子を形成する方法をとっても良い。ただ
し色分離フィルターは各色の分光特性を有するように着
色する場合には通常分光透過率特性を測定しながら着色
するため、補正フィルター層を形成後各フィルター層を
形成する方が製造しやすい。
、固体撮像素子の受光面の少なくとも感光部を含む部分
にカゼイン、ゼラチン、グリユー等の有機樹脂を製版し
有機染料により着色して各分光特性を有するフィルター
素子形成後、同様の方法で被着色性有機樹脂を形成後、
日本化薬0菊製染料であるカヤノールミーリングターキ
スブルー3G、カヤノールミーリングウルトラスカイS
F、カヤジオンターキスPGFあるいは三菱化成工業■
製ダイアシトブリリアントスカイブルーPW、ダイアシ
トライトブルー2A等により染色して補正フィルター層
を形成すると良い。あるいは補正フィルター層を形成後
各フィルター素子を形成する方法をとっても良い。ただ
し色分離フィルターは各色の分光特性を有するように着
色する場合には通常分光透過率特性を測定しながら着色
するため、補正フィルター層を形成後各フィルター層を
形成する方が製造しやすい。
上記においては有機染色フィルターについて説明したが
、色分離フィルター層又は補正フィルター層を多層干渉
薄膜により形成することも可能であることは明らかであ
り、多層干渉薄膜で色分離フィルター層を形成し、補正
フィルター層を有機染色フィルターで形成することも、
この逆も可能である。また、補正フィルター層をフタロ
シアニン等の顔料を蒸着して形成することも可能である
。
、色分離フィルター層又は補正フィルター層を多層干渉
薄膜により形成することも可能であることは明らかであ
り、多層干渉薄膜で色分離フィルター層を形成し、補正
フィルター層を有機染色フィルターで形成することも、
この逆も可能である。また、補正フィルター層をフタロ
シアニン等の顔料を蒸着して形成することも可能である
。
以下、実施例を示して本発明につきさらに具体的に説明
する。
する。
尚、以下の文中の「部」は「重量部」を示す。
実施例
通常のウェハープロセスである気相成長、不純物拡散、
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したCCO固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を0.4μの膜厚に
塗布した後、乾燥し固体撮像素子のボンディングパット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層を形成する。次に日本
化薬味製のカヤジオンターキスPGFの0608%水溶
液(60°C)で2分間染色して補正フィルター層を形
成後タンニン酸及び酒石酸アンチモニルカリウム溶液で
防染処理をする。ついで同様の方法で水性感光液を0.
8μ塗布、乾燥、所定形状マスクによる露光、現像、R
フィルター素子の染色、防染処理を行ない、以下同様の
工程をくり返し、Gフィルター素子、Bフィルター素子
を形成する。各フィルター素子も固体撮像素子のボンデ
ィングパット部に着色層形成されないようにする。補正
フィルター層及び各フィルター層及びフィルター素子形
成後、色分離フィルターの保護を目的に日本合成ゴム■
製の環化ブタジェン系ネガレジストである透明なCBR
レジストを1.0μ塗布後、所定形状をもつマスクを用
い露光、現像を行ない保護膜としてボンディングバット
部領域以外に形成した後160°C130min熱処理
して本発明のカラー固体撮像素子板を作製した。この後
、ダイシングによりチップ化、グイボンディング、ワイ
アーボンディング、パッケージングを通常の方法で行な
い、単板方式のカラー固体カメラを作製した。
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したCCO固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を0.4μの膜厚に
塗布した後、乾燥し固体撮像素子のボンディングパット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層を形成する。次に日本
化薬味製のカヤジオンターキスPGFの0608%水溶
液(60°C)で2分間染色して補正フィルター層を形
成後タンニン酸及び酒石酸アンチモニルカリウム溶液で
防染処理をする。ついで同様の方法で水性感光液を0.
8μ塗布、乾燥、所定形状マスクによる露光、現像、R
フィルター素子の染色、防染処理を行ない、以下同様の
工程をくり返し、Gフィルター素子、Bフィルター素子
を形成する。各フィルター素子も固体撮像素子のボンデ
ィングパット部に着色層形成されないようにする。補正
フィルター層及び各フィルター層及びフィルター素子形
成後、色分離フィルターの保護を目的に日本合成ゴム■
製の環化ブタジェン系ネガレジストである透明なCBR
レジストを1.0μ塗布後、所定形状をもつマスクを用
い露光、現像を行ない保護膜としてボンディングバット
部領域以外に形成した後160°C130min熱処理
して本発明のカラー固体撮像素子板を作製した。この後
、ダイシングによりチップ化、グイボンディング、ワイ
アーボンディング、パッケージングを通常の方法で行な
い、単板方式のカラー固体カメラを作製した。
各フィルター素子の染色浴組成は下記の通りである。
R染浴
カヤノールミーリングレフト R5(日本化薬Qt)り
1部酢酸 3部 水 100
部G染浴 ブリリアントブルー(ヘキスト社製)
HaBスミノールイエ■−MR(住
人化学0勾製) 1部酢酸 3部 水 100
部B染浴 カヤノールサイアニン6B (日本化−Nt)1m>
1部酢酸 3部 水 100
部
1部酢酸 3部 水 100
部G染浴 ブリリアントブルー(ヘキスト社製)
HaBスミノールイエ■−MR(住
人化学0勾製) 1部酢酸 3部 水 100
部B染浴 カヤノールサイアニン6B (日本化−Nt)1m>
1部酢酸 3部 水 100
部
第1図はCCO固体撮像素子の分光感度特性を示すグラ
フ、第2図はR,GSBの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第3
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第4図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第5図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第6図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第7図は本発明に係るカラー
固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図、第8図(a
)は本発明に係るカラー固体1最像素子板の色分離フィ
ルターと補正フィルター層の分光透過率特性を別々に示
すグラフ、同じ(第8図(b)は総合して示すグラフ、
第9図は上記カラー固体撮像素子板における固体撮像素
子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに第1
0図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー信
号の出力を示すグラフである。 11・・・固体撮像素子の感光部 12・・・色分離フィルター層 13・・・補正フィルター層 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第1図 第4図 木表(nm) 第5図 第。。 第7図 第8図 (a)(b) 第9図 第10図 手続補正書 昭和63年11月 5日 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 2、発明の名称 カラー固体描像素子板 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 東京都新宿区市谷加賀町1丁目1番1号名称
(289)大日本印刷株式会社 代表者北島義俊 4、代 理 人 住 所 東京都港区虎ノ門1丁目15番7号6、補正の
対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 7、補正の内容 (1) 明細書第5頁第12行「または」を削除する
。 (2)明細書第5頁第16行〜17行「(a)〜(C)
」を削除する。 (3)明細書第5頁第18行「第7図(a)」とあるを
「第7図」と補正する。 (4)明細書第5頁第20行「感光部11上に色分離フ
ィルター」とあるを「感光部11上に補正フィルター層
13を設け、その上に色分離フィルター」と補正する。 (5)明細書第6頁第3行「構造をもつ。」とあるを「
構造をもつものである。」と補正する。 (6)明細書第6頁第3行〜9行「又、第7図(b)・
・・・・・・・・・を有する。」を削除する。 (7)明細書第6頁第10行「フィルター層」とあるを
「フィルター層12」と補正する。 (8)明細書第6頁第12行「フィルター層」とあるを
「フィルター層13」と補正する。
フ、第2図はR,GSBの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第3
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第4図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第5図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第6図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第7図は本発明に係るカラー
固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図、第8図(a
)は本発明に係るカラー固体1最像素子板の色分離フィ
ルターと補正フィルター層の分光透過率特性を別々に示
すグラフ、同じ(第8図(b)は総合して示すグラフ、
第9図は上記カラー固体撮像素子板における固体撮像素
子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに第1
0図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー信
号の出力を示すグラフである。 11・・・固体撮像素子の感光部 12・・・色分離フィルター層 13・・・補正フィルター層 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第1図 第4図 木表(nm) 第5図 第。。 第7図 第8図 (a)(b) 第9図 第10図 手続補正書 昭和63年11月 5日 特許庁長官 吉 1)文 毅 殿 2、発明の名称 カラー固体描像素子板 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 東京都新宿区市谷加賀町1丁目1番1号名称
(289)大日本印刷株式会社 代表者北島義俊 4、代 理 人 住 所 東京都港区虎ノ門1丁目15番7号6、補正の
対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 7、補正の内容 (1) 明細書第5頁第12行「または」を削除する
。 (2)明細書第5頁第16行〜17行「(a)〜(C)
」を削除する。 (3)明細書第5頁第18行「第7図(a)」とあるを
「第7図」と補正する。 (4)明細書第5頁第20行「感光部11上に色分離フ
ィルター」とあるを「感光部11上に補正フィルター層
13を設け、その上に色分離フィルター」と補正する。 (5)明細書第6頁第3行「構造をもつ。」とあるを「
構造をもつものである。」と補正する。 (6)明細書第6頁第3行〜9行「又、第7図(b)・
・・・・・・・・・を有する。」を削除する。 (7)明細書第6頁第10行「フィルター層」とあるを
「フィルター層12」と補正する。 (8)明細書第6頁第12行「フィルター層」とあるを
「フィルター層13」と補正する。
Claims (1)
- 固体撮像素子の受光面に存在する感光部(複数)上に色
分離フィルター層を有し、かつ該色分離フィルター層の
上下に、上記色分離フィルター層を構成する各色フィル
ター素子の分光透過率特性を固体撮像素子の分光感度特
性による出力レベルの変化に応じたものにさせる分光透
過率特性をもつ淡いシアン色の全体に一様な材質の補正
フィルター層が前記色分離フィルター層を構成する各色
フィルター素子の全面をおおうように層設されているこ
とを特徴とするカラー固体撮像素子板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63253187A JPH01188091A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63253187A JPH01188091A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9522479A Division JPS5619288A (en) | 1979-07-26 | 1979-07-26 | Color solid state image pickup element plate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01188091A true JPH01188091A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=17247759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63253187A Pending JPH01188091A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01188091A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014075669A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Nikon Corp | マルチバンドカメラ |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS498133A (ja) * | 1972-05-10 | 1974-01-24 | ||
JPS50156820A (ja) * | 1974-06-07 | 1975-12-18 | ||
JPS5195729A (ja) * | 1974-08-23 | 1976-08-21 |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP63253187A patent/JPH01188091A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS498133A (ja) * | 1972-05-10 | 1974-01-24 | ||
JPS50156820A (ja) * | 1974-06-07 | 1975-12-18 | ||
JPS5195729A (ja) * | 1974-08-23 | 1976-08-21 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014075669A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Nikon Corp | マルチバンドカメラ |
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