JPH01236649A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
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- JPH01236649A JPH01236649A JP63061791A JP6179188A JPH01236649A JP H01236649 A JPH01236649 A JP H01236649A JP 63061791 A JP63061791 A JP 63061791A JP 6179188 A JP6179188 A JP 6179188A JP H01236649 A JPH01236649 A JP H01236649A
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- Japan
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- solid
- layer
- photochromic material
- green component
- fluorescent lamp
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
固体撮像素子に関し、
電気的にホワイトバランスを取れる範囲を拡大して、多
様な使用条件下、特に螢光灯下でも優れた色再現性を発
揮する固体撮像素子を提供することを目的とし、 光検知部と色分解用フィルターとを含んで成る固体撮像
素子において、該光検知部よりも外側に逆フォトクロミ
ック材料含有層が設けられているように構成する。
様な使用条件下、特に螢光灯下でも優れた色再現性を発
揮する固体撮像素子を提供することを目的とし、 光検知部と色分解用フィルターとを含んで成る固体撮像
素子において、該光検知部よりも外側に逆フォトクロミ
ック材料含有層が設けられているように構成する。
本発明は固体撮像素子に関する。
固体撮像素子は、光エネルギーを電気信号に変換する光
検知要素(フォトダイオード等)をSi等の基板上にモ
ザイク状の配列で形成した光検知部を有する。更に、映
像のカラー化に対応するために、上記光検知要素のモザ
イク配列に対応した形で、各光検知要素より外側(入射
光側)に色分解用フィルター、すなわち原色系のR,G
、B各フィルター又は補色系のC,M、Y各フィルター
がモザイク状に配置されている。
検知要素(フォトダイオード等)をSi等の基板上にモ
ザイク状の配列で形成した光検知部を有する。更に、映
像のカラー化に対応するために、上記光検知要素のモザ
イク配列に対応した形で、各光検知要素より外側(入射
光側)に色分解用フィルター、すなわち原色系のR,G
、B各フィルター又は補色系のC,M、Y各フィルター
がモザイク状に配置されている。
各フィルターの形成方式には、基板上に形成するオンチ
ップ方式と、ガラス板上に形成したものをガラスと共に
裏返して基板上に貼り付けるガラスフィルタ一方式とが
ある。
ップ方式と、ガラス板上に形成したものをガラスと共に
裏返して基板上に貼り付けるガラスフィルタ一方式とが
ある。
固体撮像素子は従来からテレビカメラ等に使用されてお
り、特に近年普及してきた一体型VTRにも使用されて
いる。
り、特に近年普及してきた一体型VTRにも使用されて
いる。
そのため、使用条件が屋外の太陽光から屋内の人工照明
まで極めて多様になってきた。したがって、固体撮像素
子に入射する光線は、光の波長成分すなわち色成分毎の
光の強さに大きな不均一性がある場合もある。一般に色
成分毎の強弱の不均衡は電気的にホワイトバランスを取
ることによって解消させて、種々の使用条件下での色再
現性を確保している。
まで極めて多様になってきた。したがって、固体撮像素
子に入射する光線は、光の波長成分すなわち色成分毎の
光の強さに大きな不均一性がある場合もある。一般に色
成分毎の強弱の不均衡は電気的にホワイトバランスを取
ることによって解消させて、種々の使用条件下での色再
現性を確保している。
しかし、このような電気的にホワイトバランスを取れる
範囲を逸脱する場合があり、特に屋内照明として広く使
用されている螢光灯下では映像が全体的に緑色がかって
しまう、すなわち緑色成分が過剰になるという問題があ
った。
範囲を逸脱する場合があり、特に屋内照明として広く使
用されている螢光灯下では映像が全体的に緑色がかって
しまう、すなわち緑色成分が過剰になるという問題があ
った。
本発明は、電気的にホワイトバランスを取れる範囲を拡
大して、多様な使用条件下、特に螢光灯下でも優れた色
再現性を発揮する固体撮像素子を提供することを目的と
する。
大して、多様な使用条件下、特に螢光灯下でも優れた色
再現性を発揮する固体撮像素子を提供することを目的と
する。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、本発明によれば、光検知部と色分解用フ
ィルターとを含んで成る固体撮像素子において、該光検
知部よりも外側に逆フオトクロミンク材料含有層が設け
られていることを特徴とする固体撮像素子によって達成
される。
ィルターとを含んで成る固体撮像素子において、該光検
知部よりも外側に逆フオトクロミンク材料含有層が設け
られていることを特徴とする固体撮像素子によって達成
される。
逆フォトクロミック材料とは、逆フォトクロミ ・ズム
を示すフォトクロミンク材料を指す。
を示すフォトクロミンク材料を指す。
フォトクロミンク材料とは光可逆発消色材料であり、一
般に紫外線の照射によって無色から有色へ発色し、紫外
線の照射を停止すると有色から無色へ消色する可逆変化
をする、すなわちフォトクロミズムを示す、紫外線の照
射の有無に対する発消色の対応関係が逆になる現象が逆
フオトクロミズムであり、紫外線照射によって有色から
無色へ、照射停止によって無色から有色に変化する。
般に紫外線の照射によって無色から有色へ発色し、紫外
線の照射を停止すると有色から無色へ消色する可逆変化
をする、すなわちフォトクロミズムを示す、紫外線の照
射の有無に対する発消色の対応関係が逆になる現象が逆
フオトクロミズムであり、紫外線照射によって有色から
無色へ、照射停止によって無色から有色に変化する。
本発明においては、屋内、特に螢光灯下での映像から緑
色成分の過剰を解消する必要がある。すなわち、紫外線
の照射がない使用条件下で、螢光灯の光に含まれる過剰
な緑色成分を低減させることが重要である。そのため逆
フォトクロミック材料が適する。
色成分の過剰を解消する必要がある。すなわち、紫外線
の照射がない使用条件下で、螢光灯の光に含まれる過剰
な緑色成分を低減させることが重要である。そのため逆
フォトクロミック材料が適する。
逆フォトクロミック材料として代表的な物質は、たとえ
ば1.3.3−)ジメチル−8′−カルボキシ〔インド
リン−2,2′−ベンゾビラン〕であり、下記のように
8′−位にカルボキシ基を有する構造である。
ば1.3.3−)ジメチル−8′−カルボキシ〔インド
リン−2,2′−ベンゾビラン〕であり、下記のように
8′−位にカルボキシ基を有する構造である。
この物質は、紫外線照射のない状態で赤褐色であり、紫
外線照射によって無色になる。
外線照射によって無色になる。
第2図(a)および(b)にそれぞれ、一般的な白色螢
光灯の色分布および上記逆フォトクロミック材料の赤褐
色状態での分光特性を示す。
光灯の色分布および上記逆フォトクロミック材料の赤褐
色状態での分光特性を示す。
第2図(a)に示したとおり、一般的な白色螢光灯の光
は波長600nm付近の成分すなわち緑色成分が著しく
強い、このような色分布の螢光灯の光を、第2図(b)
のように緑色成分(600nm付近)の透過率が低い逆
フオトクロミンク材料を含有する層を通過させることに
よって、緑色成分の過剰が解消される。
は波長600nm付近の成分すなわち緑色成分が著しく
強い、このような色分布の螢光灯の光を、第2図(b)
のように緑色成分(600nm付近)の透過率が低い逆
フオトクロミンク材料を含有する層を通過させることに
よって、緑色成分の過剰が解消される。
逆フォトクロミック材料をたとえば粉末の状態でPGM
A 、 P聞A系等の樹脂中に溶解させて塗布すること
によって、上記層を形成することができる。
A 、 P聞A系等の樹脂中に溶解させて塗布すること
によって、上記層を形成することができる。
この層の厚さおよび逆フォトクロミック材料含有量は、
必要に応じて適宜選択することができる。
必要に応じて適宜選択することができる。
一般的には、厚さ0.5〜1−程度、含有!3〜6−t
%程度で十分である。
%程度で十分である。
逆フォトクロミック材料含有層は、光検知部よりも外側
(入射光側)に設ける必要がある。従来の固体撮像素子
の最表層の上に形成することが便利である。あるいは、
最表層である保護層を、逆フォトクロミック材料含有層
として形成することも有利である。
(入射光側)に設ける必要がある。従来の固体撮像素子
の最表層の上に形成することが便利である。あるいは、
最表層である保護層を、逆フォトクロミック材料含有層
として形成することも有利である。
本発明の固体撮像素子は、光検知部よりも外側に逆フォ
トクロミック材料含有層が設けられていることによって
、紫外線の少ない場所で、特に螢光灯による緑成分を低
減できる。
トクロミック材料含有層が設けられていることによって
、紫外線の少ない場所で、特に螢光灯による緑成分を低
減できる。
本発明に従って第1図に示したMO3型固体逼像素子を
製造した。 ゛ Si基板10上に、フォトダイオード21 、22 。
製造した。 ゛ Si基板10上に、フォトダイオード21 、22 。
および23、A1配線30、およびSingパフシベー
ション膜40膜上0ぞれ通常の方法で形成した。
ション膜40膜上0ぞれ通常の方法で形成した。
SiO□バンシベーション膜40膜上0PGMA膜60
膜厚01−に塗布した。
膜厚01−に塗布した。
その上にゼラチン膜を厚さ1−に塗布し、1/10縮小
投影露光装置でゼラチンパターンを焼き付け、40℃の
水で現像した後、R染料を含む水溶液中に浸漬すること
によって、Rフィルター51を形成した。
投影露光装置でゼラチンパターンを焼き付け、40℃の
水で現像した後、R染料を含む水溶液中に浸漬すること
によって、Rフィルター51を形成した。
その上にPGMA膜61膜厚11−に塗布した。
以下、ゼラチン膜の塗布・焼付・現像・染料浸漬および
PGMA膜の塗布を繰返すことによって、Gフィルター
52、PGM八膜へ2、Bフィルター53、PGMA膜
63全63順序で形成した。
PGMA膜の塗布を繰返すことによって、Gフィルター
52、PGM八膜へ2、Bフィルター53、PGMA膜
63全63順序で形成した。
別に、1.3.3−トリメチル−8′−力ルボキシ〔イ
ンドリン−2,2′−ベンゾピラン〕の粉末を4ivt
%の割合でPGMA中に溶解したものを用意し、上記P
GMA膜63の上に逆フォトクロミック層70として厚
さl−に塗布した。
ンドリン−2,2′−ベンゾピラン〕の粉末を4ivt
%の割合でPGMA中に溶解したものを用意し、上記P
GMA膜63の上に逆フォトクロミック層70として厚
さl−に塗布した。
本発明の固体撮像素子は、光検知部より外側に逆フォト
クロミック材料を含有する層が設けられているので、紫
外線の少ない場所で特に螢光灯による緑色成分を低減で
きるため、電気的にホワイトバランスを取れる範囲が格
段に拡がって優れた色再現性を発揮し、固体撮像素子の
適用分野が著しく拡大する。
クロミック材料を含有する層が設けられているので、紫
外線の少ない場所で特に螢光灯による緑色成分を低減で
きるため、電気的にホワイトバランスを取れる範囲が格
段に拡がって優れた色再現性を発揮し、固体撮像素子の
適用分野が著しく拡大する。
第1図(a)および(b)は、本発明にしたがう固体撮
像・素子の例を示す(a)色フィルター配置図および(
b)断面図、 第2図(a)および(b)は、それぞれ白色型光灯の色
分布および逆フォトクロミック材料の分光特性を示すグ
ラフである。 10・・・Si基板、 21 、22 、23・・・フォトダイオード、30・
・・Al配線、 40・・・Si0gパッシベーション膜、51、R・・
・Rフィルター、 52、G・・・Gフィルター、 53、B・・・Bフィルター、 60 、61 、62 、63・・・PGMA膜、70
・・・逆フオトクロミンク層。 (a) (b) 第1 回
像・素子の例を示す(a)色フィルター配置図および(
b)断面図、 第2図(a)および(b)は、それぞれ白色型光灯の色
分布および逆フォトクロミック材料の分光特性を示すグ
ラフである。 10・・・Si基板、 21 、22 、23・・・フォトダイオード、30・
・・Al配線、 40・・・Si0gパッシベーション膜、51、R・・
・Rフィルター、 52、G・・・Gフィルター、 53、B・・・Bフィルター、 60 、61 、62 、63・・・PGMA膜、70
・・・逆フオトクロミンク層。 (a) (b) 第1 回
Claims (1)
- 1、光検知部と色分解用フィルターとを含んで成る固体
撮像素子において、該光検知部よりも外側に逆フォトク
ロミック材料含有層が設けられていることを特徴とする
固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63061791A JP2578466B2 (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63061791A JP2578466B2 (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01236649A true JPH01236649A (ja) | 1989-09-21 |
JP2578466B2 JP2578466B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=13181275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63061791A Expired - Lifetime JP2578466B2 (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2578466B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2389001A2 (en) | 2010-05-20 | 2011-11-23 | Sony Corporation | Solid-State Imaging Device and Electronic Equipment |
US8605175B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-12-10 | Sony Corporation | Solid-state image capturing device including a photochromic film having a variable light transmittance, and electronic device including the solid-state image capturing device |
CN105670389A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-06-15 | 吉林大学 | 一种可逆固态光致变色荧光油墨材料及其应用 |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP63061791A patent/JP2578466B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8605175B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-12-10 | Sony Corporation | Solid-state image capturing device including a photochromic film having a variable light transmittance, and electronic device including the solid-state image capturing device |
US9219090B2 (en) | 2010-03-31 | 2015-12-22 | Sony Corporation | Solid-state image capturing device and electronic device |
EP2389001A2 (en) | 2010-05-20 | 2011-11-23 | Sony Corporation | Solid-State Imaging Device and Electronic Equipment |
US8754968B2 (en) | 2010-05-20 | 2014-06-17 | Sony Corporation | Solid-state imaging device and electronic equipment |
CN105670389A (zh) * | 2016-03-31 | 2016-06-15 | 吉林大学 | 一种可逆固态光致变色荧光油墨材料及其应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2578466B2 (ja) | 1997-02-05 |
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