JPH01188092A - カラー固体撮像素子板 - Google Patents
カラー固体撮像素子板Info
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、カラー固体撮像素子板に関し、更に詳しくは
１個の固体撮像素子から２種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは２扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。 固体撮像カラーカメラはＣＣＤ、 ＭＯＳ、 ＢＢＤ
等の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状ある
いはストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
青（以後、それぞれＲ，Ｇ、Ｂと略記する）の各フィル
ター素子を配置することによりＲ，Ｇ、Ｂのカラー信号
を取り出している。固体撮像素子はＳｉ面上に複雑な電
極構造があり各電極の吸収等により、たとえば第１図に
示すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感
度が悪いという傾向がある。第１図はＣＯＤの分光感度
特性であるが、ＣＣＤ以外のＭＯＳ。 ＢＢＤ等でもＳｉを使用しているので短波長領域に吸収
を生じ分光感度は第１図に示したものと同様の傾向を示
す。 このような固体撮像素子を用いてカラーカメラを構成す
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第２図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、ダイクロイックフィルター等がある。 第３図に固体カラーカメラの光学系の一例を示すが、撮
像レンズ１により被写体を固体撮像素子４の感光部領域
に結像させる。色分離フィルター層３の各フィルター素
子は固体撮像素子４の各画素に対応させて配置する。色
分離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター
層を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像
素子の間にリレーレンズを介して対応させる方法（以下
、リレーレンズ法という）、色分離フィルター層を透明
支持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の
各画素に対応して接着剤により貼り合わせる方法（以下
、貼合せ法という）及び固体撮像素子上に直接色分離フ
ィルター層を加工配置する方法（以下、直接法という）
がある。第３図は直接法の例を示す。第３図示の如く、
固体撮像素子４に直接色分離フィルター層を設けた素子
を本明細書において便宜上カラー固体撮像素子板という
。また、固体撮像素子では特に近赤外部での感度が大き
いことと、色分離フィルターが近赤外部で透過特性を有
することのために、不要信号の重畳となって輝度及び色
度誤差を生じることを防ぐため通常赤外線カットフィル
ター２を色分離フィルター３と撮像レンズ１の間に配置
する。 第４図に赤外線カットフィルターの分光透過率特性を示
す。 以上より固体撮像カラーカメラの固体撮像素子の各カラ
ー信号の総合感度は第５図に示すようになる。さらに、
第６図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。 このように各カラー信号の出力レベルが大きく異なって
しまう。例えばＢ信号はＧ信号の１７３〜１／４の出力
となる。このような場合Ｒ信号あるいはＧ信号がＢ信号
へ混入したり、Ｂ信号が相対的に小さいために生じるＢ
信号のＳ／Ｎ劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。 本発明の目的は、上記のような各カラー信号出力レベル
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子板の提供にある。 本発明は、総合感度特性が各カラーの出力レベルが一定
になるようにするためモザイク状あるいはストライプ状
の色分離フィルターのフィルター素子の大きさを固体撮
像素子の分光感度特性による出力レベルの変化に応じた
ものとするため固体撮像素子の受光面に存在する感光部
（複数）上に形成したフィルター素子の上又は下に設け
た遮光層で調整することにより信号レベルを揃えるよう
にしたことを特徴とする。より具体的には固体撮像素子
は第１図に示す如く短波長領域の感度が悪いためＲフィ
ルター素子、Ｇフィルター素子の順にフィルター素子の
有効領域を遮光層を使って小さくしてＢフィルター素子
からの出力レベルと同じようにする。 以下、上記の本発明についてフレーム転送方式ＣＣＤの
場合を例にとり図面を参照しつつ詳細に説明する。第７
図（ａ）は本発明に係るカラー固体撮像素子板の一部切
欠平面図であり、第７図（ｂ）は第７図（ａ）における
■−■線切断部断面図である。固体撮像素子１１の受光
面に存在する感光部１４及び非感光部１５の少なくとも
感光部１４上にストライプ状色分離フィルターＲ，Ｇ、
Ｂが形成され、その上に遮光層１３が形成される。該遮
光層Ｉ３は非感光部１５をもおおうことにより非感光部
１５への光も遮断するごとができるので好ましい。尚、
図中、Ｑは感光部１４を構成する各画素を表わす。Ｒ，
Ｇ、Ｂのストライプ状色分離フィルター素子は各画素Ｑ
に対応して配置されている。第７図（ａ）及び（ロ）に
示す如く、固体撮像素子の感光部１４領域に配置される
フィルター素子Ｒ，Ｇ、Ｂの有効面積を遮光層の調整に
よりＢ、Ｇ、Ｒの順に大きくする。 本発明のカラー固体Ｉ最像素子板上に設ける色分離フィ
ルター層はストライプ状のものだけでなく第７図（Ｃ）
に示す如くモザイク状の場合も同様である。上記におい
てはフレーム転送方式ＣＣＤの固体撮像素子を例にとっ
て説明したが、インターライン転送方式ＣＣＤの場合、
第８図のような形状としても良い。尚、第８図は色分離
フィルター貼合せ後の一部切欠平面図である。 フレーム転送方式の場合も第８図の形状の色分離フィル
ターとしても良く、またインターライン転送方式〇ＣＤ
の場合も第７図（ａ）に示すごとくストライプ状として
も良い。上記色分離フィルター層には有機染色フィルタ
ー層あるいはグイクロイッタフィルター層などが適用で
きる。 このような本発明のカラー固体撮像素子板を用いて第３
図に示す光学素により被写体を撮像すると、Ｒ，Ｇ、Ｂ
各フィルター素子の分光透過率特性が第２図に示すもの
であるとすると、総合感度は第９図に示すようになり、
Ｒ，Ｇ、Ｂの各カラー信号は第１０図のようになり、各
出力信号が均一化し、出力レベルの高い信号が低出力レ
ベル信号へ混入する等の問題が改善でき高品質のカラー
画像が得られる。 次に、上記における遮光性のある材料及びその形成方法
を下記に分類して示す。 イ）有機高分子樹脂のブラック着色膜 通常の塗布技術により製膜後、製版しく焼きつけおよび
現像）パターン死後染料の染色あるいは転写紙による昇
華転写等の方法でブラックに着色する。あるいは製膜後
染色あるいは転写を行ないブラックに着色後レジスト製
版しプラズマエツチングあるいはスパッタエツチング等
によりパターン化を行なう。 具体的にはゼラチン、カゼイン、フィシュグリュー、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶
性樹脂に、感剤として重クロム酸塩、クロム酸塩あるい
はジアゾ化合物を添加し感光性樹脂として塗布、乾燥性
所定の形状をもつマスクにより露光、現像を行なった後
、ブラック染料である日本化薬社製カヤカランブラック
ＢＧＬ 、カヤノールミーリングブラックＴＬＢ 、住
友化学社製スミノールファーストブラックＢＲ１あるい
はニグロシン、ヘマチン等で染色する。あるいはブラッ
ク染料等だけでなく赤、青、緑の混合染料、あるいはブ
ラック染料との組み合せ等も可能である。その他膜厚小
でブラック濃度を出すためには酸性染料と塩基性染料の
組み合せあるいは酸性染料で染色後ヘマチン等で染色す
ると１μ程度の膜厚で濃度３．０以上を簡単に出せる。 その他セルローズ系樹脂、ビニル系樹脂、アクリル系樹
脂、ポリアミド、ポリエステル、ウレタン系樹脂等を層
設後、マスキング層形成し三井化学工業社製ミケトンポ
リエステルブラックＧ１ ミケトンポリエステルブラッ
ク３Ｇ、日本化薬社製ブラックＧ−ＳＦ、ブラックＴ１
ブラックＳ ｃｏｎｃ等の染料によりブラックに着色す
ることもできる。 口）有機染料、顔料のブラック膜 これは染料、顔料を真空蒸着等で製膜後レジスト製版し
プラズマエツチングあるいはスパッタエツチングにより
パターン化する方法である。具体的には例えば昇華性染
料として三井化学工業社、製ミケスレンダイレクトブラ
ックＢＳ、ミケスレンブラックＢＢＳ等を真空薫着後透
明なＳＶＲ等のレジストで製版後プラズマエツチングあ
るいはスパッタエツチング等でパターン化する。 ハ）無機質ブランク着色膜 たとえばＡｔを陽極酸化しＡｌ２Ｏ３とすることにより
絶縁性をもたせると同時に染色性を付与しアルマイト染
料によりブラック着色する。 パターン化は通常の方法による。 二）無機質ブラック薄膜 Ｃｒ、＾１． ＰｂＳ、 ＳｎＳ＋ ＣｕＳ、 ＦｅＳ
、 Ｃｕｂ、 ｔｌｇｓ。 ＭＯＳ２等を真空蒸着、スパッタリングにより製膜し、
通常の技術によりパターン化を行なう。 遮光層の光学的濃度は２．０以上、好ましくは３．０以
上となるように適宜選択しその厚みを定める。 以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する
。 〔実施例〕 通常のウェハープロセスである気相成長、不純物拡散、
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したＣＯＤ固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を１．２μの膜厚に
塗布した後、乾燥と固体撮像素子のボンディングパット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層膜を形成する。この被
着色膜を乾燥したのち、酸性染色を含む第１の黒色染浴
で染色後水洗し、再度ヘマチンを含む第２の黒色染浴で
染色し、再度水洗後、第３の浴で後処理し、更に水洗後
、乾燥することにより遮光層を形成する。 遮光層形成のための、染色浴組成ならびに染色条件は次
の通りである。 第１の黒色染浴・・・・・・８０°Ｃ，４分カヤカラン
・ブラック・ＢＧＬ ２５ｇ（日本化薬社製） 酢酸 ６０ｃｃ 水 ２，０００
ｃｃ第２の黒色染浴・・・・・・６０°Ｃ，２分ヘマチ
ン １０ｇ水
１ ＋ ０００ ｃｃ第３の黒
色染浴・・・・・・２５°Ｃ，２分重クロム酸カリウム
５０ｇ水
１，５００ｃｃ上記の方法で得られた黒色遮光
層の光学的濃度は３．０であった。次にタンニン酸及び
酒石酸アンチモニルカリウム溶液で防染処理をする。 ついで同様の方法で水性感光液を０．８μ塗布、乾燥、
所定形状マスクによる露光、現像、Ｒフィルター素子の
染色、防染処理を行ない、以下同様の工程をくり返し、
Ｇフィルター素子、Ｂフィルター素子を形成する。各フ
ィルター素子も固体撮像素子のボンディングパット部に
着色層形成されないようにする。補正フィルター層及び
各フィルター素子形成後、色分離フィルターの保護を目
的に日本合成ゴム■製の環化ブタジェン系ネガレジスト
である透明なＣＢＲレジス、 トを１．０μ塗布後、
所定形状をもつマスクを用い露光、現像を行ない保護膜
としてポンディングパノト部領域以外に形成した後、１
６０°Ｃ１３０陥熱処理して本発明のカラー固体撮像素
子板を作製した。この後、ダイニングによりチップ化、
ダイボンディング、ワイアーボンディング、パッケージ
ングを通常の方法で行ない単板方式のカラー固体カメラ
を作製した。 各フィルター素子の染色浴組成は下記の通りである。 Ｒ染浴 カヤノー；シミーリングレフトＲＳ（日本化薬味型）
ｔＧＢ （重ｌｌ）酢酸 ３部 水 １００
部Ｇ染浴 ブリリアントインブルー（ヘキスト社１）
１部スミノールイエａ−ＭＲ（住人
化学■ｌ） １部酢酸 ３部 水 １ｏｏ＠
ｉＢ染浴 カヤノー１１サイ７ニン６Ｂ （日本化薬ＣＩ製）
１部酢酸 ３部 水 １００部
１個の固体撮像素子から２種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは２扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。 固体撮像カラーカメラはＣＣＤ、 ＭＯＳ、 ＢＢＤ
等の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状ある
いはストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
青（以後、それぞれＲ，Ｇ、Ｂと略記する）の各フィル
ター素子を配置することによりＲ，Ｇ、Ｂのカラー信号
を取り出している。固体撮像素子はＳｉ面上に複雑な電
極構造があり各電極の吸収等により、たとえば第１図に
示すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感
度が悪いという傾向がある。第１図はＣＯＤの分光感度
特性であるが、ＣＣＤ以外のＭＯＳ。 ＢＢＤ等でもＳｉを使用しているので短波長領域に吸収
を生じ分光感度は第１図に示したものと同様の傾向を示
す。 このような固体撮像素子を用いてカラーカメラを構成す
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第２図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、ダイクロイックフィルター等がある。 第３図に固体カラーカメラの光学系の一例を示すが、撮
像レンズ１により被写体を固体撮像素子４の感光部領域
に結像させる。色分離フィルター層３の各フィルター素
子は固体撮像素子４の各画素に対応させて配置する。色
分離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター
層を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像
素子の間にリレーレンズを介して対応させる方法（以下
、リレーレンズ法という）、色分離フィルター層を透明
支持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の
各画素に対応して接着剤により貼り合わせる方法（以下
、貼合せ法という）及び固体撮像素子上に直接色分離フ
ィルター層を加工配置する方法（以下、直接法という）
がある。第３図は直接法の例を示す。第３図示の如く、
固体撮像素子４に直接色分離フィルター層を設けた素子
を本明細書において便宜上カラー固体撮像素子板という
。また、固体撮像素子では特に近赤外部での感度が大き
いことと、色分離フィルターが近赤外部で透過特性を有
することのために、不要信号の重畳となって輝度及び色
度誤差を生じることを防ぐため通常赤外線カットフィル
ター２を色分離フィルター３と撮像レンズ１の間に配置
する。 第４図に赤外線カットフィルターの分光透過率特性を示
す。 以上より固体撮像カラーカメラの固体撮像素子の各カラ
ー信号の総合感度は第５図に示すようになる。さらに、
第６図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。 このように各カラー信号の出力レベルが大きく異なって
しまう。例えばＢ信号はＧ信号の１７３〜１／４の出力
となる。このような場合Ｒ信号あるいはＧ信号がＢ信号
へ混入したり、Ｂ信号が相対的に小さいために生じるＢ
信号のＳ／Ｎ劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。 本発明の目的は、上記のような各カラー信号出力レベル
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子板の提供にある。 本発明は、総合感度特性が各カラーの出力レベルが一定
になるようにするためモザイク状あるいはストライプ状
の色分離フィルターのフィルター素子の大きさを固体撮
像素子の分光感度特性による出力レベルの変化に応じた
ものとするため固体撮像素子の受光面に存在する感光部
（複数）上に形成したフィルター素子の上又は下に設け
た遮光層で調整することにより信号レベルを揃えるよう
にしたことを特徴とする。より具体的には固体撮像素子
は第１図に示す如く短波長領域の感度が悪いためＲフィ
ルター素子、Ｇフィルター素子の順にフィルター素子の
有効領域を遮光層を使って小さくしてＢフィルター素子
からの出力レベルと同じようにする。 以下、上記の本発明についてフレーム転送方式ＣＣＤの
場合を例にとり図面を参照しつつ詳細に説明する。第７
図（ａ）は本発明に係るカラー固体撮像素子板の一部切
欠平面図であり、第７図（ｂ）は第７図（ａ）における
■−■線切断部断面図である。固体撮像素子１１の受光
面に存在する感光部１４及び非感光部１５の少なくとも
感光部１４上にストライプ状色分離フィルターＲ，Ｇ、
Ｂが形成され、その上に遮光層１３が形成される。該遮
光層Ｉ３は非感光部１５をもおおうことにより非感光部
１５への光も遮断するごとができるので好ましい。尚、
図中、Ｑは感光部１４を構成する各画素を表わす。Ｒ，
Ｇ、Ｂのストライプ状色分離フィルター素子は各画素Ｑ
に対応して配置されている。第７図（ａ）及び（ロ）に
示す如く、固体撮像素子の感光部１４領域に配置される
フィルター素子Ｒ，Ｇ、Ｂの有効面積を遮光層の調整に
よりＢ、Ｇ、Ｒの順に大きくする。 本発明のカラー固体Ｉ最像素子板上に設ける色分離フィ
ルター層はストライプ状のものだけでなく第７図（Ｃ）
に示す如くモザイク状の場合も同様である。上記におい
てはフレーム転送方式ＣＣＤの固体撮像素子を例にとっ
て説明したが、インターライン転送方式ＣＣＤの場合、
第８図のような形状としても良い。尚、第８図は色分離
フィルター貼合せ後の一部切欠平面図である。 フレーム転送方式の場合も第８図の形状の色分離フィル
ターとしても良く、またインターライン転送方式〇ＣＤ
の場合も第７図（ａ）に示すごとくストライプ状として
も良い。上記色分離フィルター層には有機染色フィルタ
ー層あるいはグイクロイッタフィルター層などが適用で
きる。 このような本発明のカラー固体撮像素子板を用いて第３
図に示す光学素により被写体を撮像すると、Ｒ，Ｇ、Ｂ
各フィルター素子の分光透過率特性が第２図に示すもの
であるとすると、総合感度は第９図に示すようになり、
Ｒ，Ｇ、Ｂの各カラー信号は第１０図のようになり、各
出力信号が均一化し、出力レベルの高い信号が低出力レ
ベル信号へ混入する等の問題が改善でき高品質のカラー
画像が得られる。 次に、上記における遮光性のある材料及びその形成方法
を下記に分類して示す。 イ）有機高分子樹脂のブラック着色膜 通常の塗布技術により製膜後、製版しく焼きつけおよび
現像）パターン死後染料の染色あるいは転写紙による昇
華転写等の方法でブラックに着色する。あるいは製膜後
染色あるいは転写を行ないブラックに着色後レジスト製
版しプラズマエツチングあるいはスパッタエツチング等
によりパターン化を行なう。 具体的にはゼラチン、カゼイン、フィシュグリュー、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶
性樹脂に、感剤として重クロム酸塩、クロム酸塩あるい
はジアゾ化合物を添加し感光性樹脂として塗布、乾燥性
所定の形状をもつマスクにより露光、現像を行なった後
、ブラック染料である日本化薬社製カヤカランブラック
ＢＧＬ 、カヤノールミーリングブラックＴＬＢ 、住
友化学社製スミノールファーストブラックＢＲ１あるい
はニグロシン、ヘマチン等で染色する。あるいはブラッ
ク染料等だけでなく赤、青、緑の混合染料、あるいはブ
ラック染料との組み合せ等も可能である。その他膜厚小
でブラック濃度を出すためには酸性染料と塩基性染料の
組み合せあるいは酸性染料で染色後ヘマチン等で染色す
ると１μ程度の膜厚で濃度３．０以上を簡単に出せる。 その他セルローズ系樹脂、ビニル系樹脂、アクリル系樹
脂、ポリアミド、ポリエステル、ウレタン系樹脂等を層
設後、マスキング層形成し三井化学工業社製ミケトンポ
リエステルブラックＧ１ ミケトンポリエステルブラッ
ク３Ｇ、日本化薬社製ブラックＧ−ＳＦ、ブラックＴ１
ブラックＳ ｃｏｎｃ等の染料によりブラックに着色す
ることもできる。 口）有機染料、顔料のブラック膜 これは染料、顔料を真空蒸着等で製膜後レジスト製版し
プラズマエツチングあるいはスパッタエツチングにより
パターン化する方法である。具体的には例えば昇華性染
料として三井化学工業社、製ミケスレンダイレクトブラ
ックＢＳ、ミケスレンブラックＢＢＳ等を真空薫着後透
明なＳＶＲ等のレジストで製版後プラズマエツチングあ
るいはスパッタエツチング等でパターン化する。 ハ）無機質ブランク着色膜 たとえばＡｔを陽極酸化しＡｌ２Ｏ３とすることにより
絶縁性をもたせると同時に染色性を付与しアルマイト染
料によりブラック着色する。 パターン化は通常の方法による。 二）無機質ブラック薄膜 Ｃｒ、＾１． ＰｂＳ、 ＳｎＳ＋ ＣｕＳ、 ＦｅＳ
、 Ｃｕｂ、 ｔｌｇｓ。 ＭＯＳ２等を真空蒸着、スパッタリングにより製膜し、
通常の技術によりパターン化を行なう。 遮光層の光学的濃度は２．０以上、好ましくは３．０以
上となるように適宜選択しその厚みを定める。 以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する
。 〔実施例〕 通常のウェハープロセスである気相成長、不純物拡散、
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したＣＯＤ固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を１．２μの膜厚に
塗布した後、乾燥と固体撮像素子のボンディングパット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層膜を形成する。この被
着色膜を乾燥したのち、酸性染色を含む第１の黒色染浴
で染色後水洗し、再度ヘマチンを含む第２の黒色染浴で
染色し、再度水洗後、第３の浴で後処理し、更に水洗後
、乾燥することにより遮光層を形成する。 遮光層形成のための、染色浴組成ならびに染色条件は次
の通りである。 第１の黒色染浴・・・・・・８０°Ｃ，４分カヤカラン
・ブラック・ＢＧＬ ２５ｇ（日本化薬社製） 酢酸 ６０ｃｃ 水 ２，０００
ｃｃ第２の黒色染浴・・・・・・６０°Ｃ，２分ヘマチ
ン １０ｇ水
１ ＋ ０００ ｃｃ第３の黒
色染浴・・・・・・２５°Ｃ，２分重クロム酸カリウム
５０ｇ水
１，５００ｃｃ上記の方法で得られた黒色遮光
層の光学的濃度は３．０であった。次にタンニン酸及び
酒石酸アンチモニルカリウム溶液で防染処理をする。 ついで同様の方法で水性感光液を０．８μ塗布、乾燥、
所定形状マスクによる露光、現像、Ｒフィルター素子の
染色、防染処理を行ない、以下同様の工程をくり返し、
Ｇフィルター素子、Ｂフィルター素子を形成する。各フ
ィルター素子も固体撮像素子のボンディングパット部に
着色層形成されないようにする。補正フィルター層及び
各フィルター素子形成後、色分離フィルターの保護を目
的に日本合成ゴム■製の環化ブタジェン系ネガレジスト
である透明なＣＢＲレジス、 トを１．０μ塗布後、
所定形状をもつマスクを用い露光、現像を行ない保護膜
としてポンディングパノト部領域以外に形成した後、１
６０°Ｃ１３０陥熱処理して本発明のカラー固体撮像素
子板を作製した。この後、ダイニングによりチップ化、
ダイボンディング、ワイアーボンディング、パッケージ
ングを通常の方法で行ない単板方式のカラー固体カメラ
を作製した。 各フィルター素子の染色浴組成は下記の通りである。 Ｒ染浴 カヤノー；シミーリングレフトＲＳ（日本化薬味型）
ｔＧＢ （重ｌｌ）酢酸 ３部 水 １００
部Ｇ染浴 ブリリアントインブルー（ヘキスト社１）
１部スミノールイエａ−ＭＲ（住人
化学■ｌ） １部酢酸 ３部 水 １ｏｏ＠
ｉＢ染浴 カヤノー１１サイ７ニン６Ｂ （日本化薬ＣＩ製）
１部酢酸 ３部 水 １００部
第１図はＣＣＤ固体撮像素子の分光感度特性を示すグラ
フ、第２図はＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第３
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第４図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第５図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第６図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第７図（ａ）は本発明に係る
カラー固体撮像素子板の構造例を示す一部切欠平面図、
第７図（ｂ）は第７図（ａ）における■−■線切断部断
面図、第７図（Ｃ）は本発明のカラー固体撮像素子板の
構造例を示す平面図、第８図は本発明のカラー固体撮像
素子板をインターライン転送方式ＣＣＤの固体撮像素子
に適用した状態を例示する一部切欠平面図、第９図は本
発明のカラー固体撮像素子板における固体撮像素子の各
カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに第１０図は
このような固体撮像素子から得られる各カラー信号の出
力を示すグラフである。 １１・・・固体撮像素子 １２・・・色分離フィルター層 １３・・・遮光層 １４・・・感光部 １５・・・非感光部 Ｑ・・・画 素 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第５図 第６図 第９図 第１０図 農憾（・畔 −；、 旭宍４＋紀 第７図 （ａ） （ｂ） 第７図 （Ｃ） 第８図 手続補正書 昭和６３年１１月 ５日 特許庁長官 吉 １）文 毅 殿 ■、事件の表示乙３−２こ３／７Ｆ 昭和６３年１０月７日提出の特許側（６）２、発明の名
称 カラー固体措像素子板 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 東京都新宿区市谷加賀町１丁目１番１号名称
（２８９）大日本印刷株式会社 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目１５番７号６、補正の
対象 ■明細書（全文） ■図面の第７図及び第８図 ７、補正の内容 ■明細書（全文）は別紙の通り ■図面の第７図及び第８図は別紙の通り明糸田で） １、発明の名称 カラー固体撮像素子板 ２、特許請求の範囲 固体撮像素子の受光面に存在する感光部（複数）上に色
分離フィルター層を有し、かつ該色分離フィルター層の
上又は下に、上記色分離フィルター層を構成するモザイ
ク ゛に６胃 た各色フィルター素子の分光透過率特
性を固体撮像素子の分光感度特性による出力レベルの変
化に応じて前記各フィルターの有効面積をＢ（青色）が
最も大きく、次いでＧ（緑色）、Ｒ（赤色）の順の大き
さになるような遮光層を前記各色フィルター素子夏冬１
１型缶に有することを特徴とするカラー固体撮像素子板
。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、カラー固体撮像素子板に関し、更に詳しくは
１個の固体撮像素子から２種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは２扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。 固体撮像カラーカメラはＣＣＤ、 ＭＯＳ、 ＢＢＤ
等の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状ある
いはストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
青（以後、それぞれＲ，Ｇ、Ｂと略記する）の各フィル
ター素子を配置することによりＲ，Ｇ、Ｂのカラー信号
を取り出している。固体撮像素子はＳｉ面上に複雑な電
極構造があり各電極の吸収等により、たとえば第１図に
示すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感
度が悪いという傾向がある。第１図はＣＣＤの分光感度
特性であるが、ＣＣＯ以外のＭＯＳ、ＢＢＤ等でもＳｉ
を使用しているので短波長領域に吸収を生じ分光感度は
第１図に示したものと同様の傾向を示す。 このような固体撮像素子を用いてカラーカメラを構成す
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第２図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、グイクロイッタフィルター等がある。 第３図に固体カラーカメラの光学系の一例を示すが、撮
像レンズ１により被写体を固体撮像素子４の感光部領域
に結像させる。色分離フィルター層３の各フィルター素
子は固体撮像素子４の各画素に対応させて配置する。色
分離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター
層を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像
素子の間にリレーレンズを介して対応させる方法（以下
、リレーレンズ法という）、色分離フィルター層を透明
支持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の
各画素に対応して接着剤により貼り合わせる方法（以下
、貼合せ法という）及び固体撮像素子上に直接色分離フ
ィルター層を加工配置する方法（以下、直接法という）
がある。第３図は直接法の例を示す。第３図示の如く、
固体撮像素子４に直接色分離フィルター層を設けた素子
を本明細書において便宜上カラー固体撮像素子板という
。また、固体撮像素子では特に近赤外部での感度が大き
いことと、色分離フィルターが近赤外部で透過特性を有
することのために、不要信号の重畳となって輝度及び色
度誤差を生じることを防ぐため通常赤外線カットフィル
ター２を色分離フィルター３と撮像レンズ１の間に配置
する。 第４図に７赤外線カツトフイルターの分光透過率特性を
示す。 以上より固体撮像カラーカメラの固体撮像素子の各カラ
ー信号の総合感度は第５図に示すようになる。さらに、
第６図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。 このように各カラー信号の出力レベルが大きく異なって
しまう。例えばＢ信号はＧ信号の１／３〜１／４の出力
となる。このような場合Ｒ信号あるいはＧ信号がＢ信号
へ混入したり、Ｂ信号が相対的に小さいために生じるＢ
信号のＳ／Ｎ劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。 本発明の目的は、上記のような各カラー信号出力レベル
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子板の提供にある。 本発明は、総合感度特性が各カラーの出力レベルが一定
になるようにするためモザイク状の色分離フィルターの
フィルター素子の有効面積を固体撮像素子の分光感度特
性による出力レベルの変化に応じたものとするため固体
撮像素子の受光面に存在する感光部（複数）上に形成し
たフィルター素子の上又は下に設けた遮光層で調整する
ことにより信号レベルを揃えるようにしたことを特徴と
する。より具体的には固体撮像素子は第１図に示す如く
短波長領域の感度が悪いためＲフィルター素子、Ｇフィ
ルター素子の順にフィルター素子の有効領域を遮光層を
使って小さくしてＢフィルター素子からの出力レベルと
同じようにする。 以下、上記の本発明についてフレーム転送方式ＣＣＤの
場合を例にとり図面を参照しつつ詳細に説明する。第７
図は第８図に示すモザイク状色分離フィルターを有する
固体撮像素子の縦方向又は横方向の模式断面図である。 第７図において、固体撮像素子１１の受光面に存在する
感光部１４及び非感光部１５の少なくとも感光部１４上
にモザイク状色分離フィルターＲ，Ｇ、Ｂが形成され、
その上に遮光層１３が形成される。該遮光層１３は非感
光部１５をもおおうことにより非感光部１５への光も遮
断することができるので好ましい。第８図は色分離フィ
ルター貼り合わせ後の固体撮像素子の一部切欠平面図で
ある。尚、図中、Ｑは感光部１４を構成する各画素を表
わす。 Ｒ，Ｇ、Ｂのモザイク状色分離フィルター素子は各画素
Ｑに対応して配置されている。本発明では、固体撮像素
子の感光部１４領域に配置されるフィルター素子Ｒ，Ｇ
、Ｂの有効面積を遮光層の調整によりＢ、Ｇ、Ｒの順に
大きくする。 本発明のカラー固体撮像素子板上に設ける色分離フィル
ター層はモザイク状のものだけでなくストライプ状であ
ってもよい。 また、本発明のよ・うに色分離フィルターがモザイク状
の場合は、固体撮像素子の電荷転送方式はインターライ
ン転送方式に限らず、フレーム転送方式にも適用できる
。上記色分離フィルター層には有機染色フィルター層あ
るいはダイクロイツタフィルター層などが適用できる。 このような本発明のカラー固体撮像素子板を用いて第３
図に示す光学素により被写体を撮像すると、Ｒ，Ｇ、Ｂ
各フィルター素子の分光透過率特性が第２図に示すもの
であるとすると、総合感度は第９図に示すようになり、
Ｒ，Ｇ、Ｂの各カラー信号は第１Ｏ図のようになり、各
出力信号が均一化し、出力レベルの高い信号が低出力レ
ベル信号へ混入する等の問題が改善でき高品質のカラー
画像が得られる。 次に、上記における遮光性のある材料及びその形成方法
を下記に分類して示す。 イ）有機高分子樹脂のブラック着色膜 通常の塗布技術により製膜後、製版しく焼きつけおよび
現像）パターン死後染料の染色あるいは転写紙による昇
華転写等の方法でブラックに着色する。あるいは製膜後
染色あるいは転写を行ないブラックに着色後レジスト製
版しプラズマエツチングあるいはスパッタエツチング等
によりパターン化を行なう。 具体的にはゼラチン、カゼイン、フィシュグリュー、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶
性樹脂に、感剤として重クロム酸塩、クロム酸塩あるい
はジアゾ化合物を添加し怒光性樹脂として塗布、乾燥性
所定の形状をもつマスクにより露光、現像を行なった後
、ブラック染料である日本化薬社製カヤカランブラック
ＢＧＬ 、カヤノールミーリングブラックＴＬＢ 、住
人化学社製スミノールファーストブラックＯＲ，あるい
はニグロシン、ヘマチン等で染色する。あるいはブラッ
ク染料等だけでなく赤、青、緑の混合染料、あるいはブ
ラック染料との組み合せ等も可能である。その他膜厚小
でブラック濃度を出すためには酸性染料と塩基性染料の
組み合せあるいは酸性染料で染色後ヘマチン等で染色す
ると１μ程度の膜厚で濃度３．０以上を簡単に出せる。 その他セルローズ系樹脂、ビニル系樹脂、アクリル系樹
脂、ポリアミド、ポリエステル、ウレタン系樹脂等を層
設後、マスキング層形成し三井化学工業社製ミケトンポ
リエステルブラックＧ１ ミケトンポリエステルブラッ
ク３Ｇ、日本化薬社製ブラックＧ−ＳＦ、ブラックＴ、
ブラックｓ ｃｏｎｃ等の染料によりブラックに着色す
ることもできる。 口）有機染料、顔料のブラック膜 これは染料、顔料を真空蒸着等で製膜後レジスト製版し
プラズマエツチングあるいはスパッタエツチングにより
パターン化する方法である。具体的には例えば昇華性染
料として三井化学工業社製ミケスレンダイレクトブラッ
クＢＳ、 ミケスレンブラックＢＢＳ等を真空蒸着後透
明なＳＶＲ等のレジストで製版後プラズマエツチングあ
るいはスパッタエツチング等でパターン化する。 ハ）無機質ブラック着色膜 たとえばＡＩを陽極酸化し＾１２０．とすることにより
絶縁性をもたせると同時に染色性を付与しアルマイト染
料によりブラック着色する。 パターン化は通常の方法による。 二）無機質ブラック薄膜 Ｃｒ、 八１＋ ＰｂＳ＋ ＳｎＳ＋ Ｃｕｂ
、 ＦｅＳ、 Ｃｕｂ、 ＨｇＳ＋Ｍｏ５２等を
真空蒸着、スパッタリングにより製膜し、通常の技術に
よりパターン化を行なう。 遮光層の光学的濃度は２．０以上、好ましくは３．０以
上となるように適宜選択しその厚みを定める。 以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する
。 〔実施例〕 通常のウェハープロセスである気相成長、不純物拡散、
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したＣＣＤ固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を１．２μの膜厚に
塗布した後、乾燥と固体撮像素子のボンディングバット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層膜を形成する。この被
着色膜を乾燥したのち、酸性染色を含む第１の黒色染浴
で染色後水洗し、再度ヘマチンを含む第２の黒色染浴で
染色し、再度水洗後、第３の浴で後処理し、更に水洗後
、乾燥することにより遮光層を形成する。 遮光層形成のための、染色浴組成ならびに染色条件は次
の通りである。 第１の黒色染浴・・・・・・８０°Ｃ，４分カヤカラン
・ブラック・ＢＧＬ ２５ｇ（日本化薬社製） 酢酸 ６０ｃｃ 水 ２，０００ｃ
ｃ第２の黒色染浴・・・・・・６０°Ｃ，２分ヘマチン
１０ｇ水
１，０００ｃｃ第３の黒色染浴・、
・・・・２５°Ｃ，２分重クロム酸カリウム
５０ｇ水 １
．５００ｃｃ上記の方法で得られた黒色遮光層の光学的
濃度は３．０であった。次にタンニン酸及び酒石酸アン
チモニルカリウム溶液で防染処理をする。 ついで同様の方法で水性感光液を０．８μ塗布、乾燥、
所定形状マスクによる露光、現像、Ｒフィルター素子の
染色、防染処理を行ない、以下同様の工程をくり返し、
Ｇフィルター素子、Ｂフィルター素子を形成する。各フ
ィルター素子も固体撮像素子のボンディングパット部に
着色層形成されないようにする。補正フィルター層及び
各フィルター素子形成後、色分離フィルターの保護を目
的に日本合成ゴム■製の環化ブタジェン系ネガレジスト
である透明なＣＢＲレジストを１．０μ塗布後、所定形
状をもつマスクを用い露光、現像を行ない保護膜として
ボンディングバット部領域以外に形成した後、１６０°
Ｃ１３０ｍｍ熱処理して本発明のカラー固体撮像素子板
を作製した。この後、ダイニングによりチップ化、グイ
ボンディング、ワイアーボンディング、パッケージング
を通常の方法で行ない単板方式のカラー固体カメラを作
製した。 各フィルター素子の染色浴組成は下記の通りである。 Ｒ染浴 カヤノールミーリングレフトＲＳ（日本化薬味製）
１部 （重量基準）酢酸 ３部 水 １００部Ｇ
染浴 ブリリアントインブルー（へキスト社製）
１部スミノールイＩローＭＲ（住人
化学■製） １部酢酸 ３部 水 １００部Ｂ
染浴 カヤノールサイ７ニン６Ｂ （日本化薬味製）
１部酢酸 ３部 水 １００部
フ、第２図はＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第３
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第４図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第５図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第６図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第７図（ａ）は本発明に係る
カラー固体撮像素子板の構造例を示す一部切欠平面図、
第７図（ｂ）は第７図（ａ）における■−■線切断部断
面図、第７図（Ｃ）は本発明のカラー固体撮像素子板の
構造例を示す平面図、第８図は本発明のカラー固体撮像
素子板をインターライン転送方式ＣＣＤの固体撮像素子
に適用した状態を例示する一部切欠平面図、第９図は本
発明のカラー固体撮像素子板における固体撮像素子の各
カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに第１０図は
このような固体撮像素子から得られる各カラー信号の出
力を示すグラフである。 １１・・・固体撮像素子 １２・・・色分離フィルター層 １３・・・遮光層 １４・・・感光部 １５・・・非感光部 Ｑ・・・画 素 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第５図 第６図 第９図 第１０図 農憾（・畔 −；、 旭宍４＋紀 第７図 （ａ） （ｂ） 第７図 （Ｃ） 第８図 手続補正書 昭和６３年１１月 ５日 特許庁長官 吉 １）文 毅 殿 ■、事件の表示乙３−２こ３／７Ｆ 昭和６３年１０月７日提出の特許側（６）２、発明の名
称 カラー固体措像素子板 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 性 所 東京都新宿区市谷加賀町１丁目１番１号名称
（２８９）大日本印刷株式会社 住 所 東京都港区虎ノ門１丁目１５番７号６、補正の
対象 ■明細書（全文） ■図面の第７図及び第８図 ７、補正の内容 ■明細書（全文）は別紙の通り ■図面の第７図及び第８図は別紙の通り明糸田で） １、発明の名称 カラー固体撮像素子板 ２、特許請求の範囲 固体撮像素子の受光面に存在する感光部（複数）上に色
分離フィルター層を有し、かつ該色分離フィルター層の
上又は下に、上記色分離フィルター層を構成するモザイ
ク ゛に６胃 た各色フィルター素子の分光透過率特
性を固体撮像素子の分光感度特性による出力レベルの変
化に応じて前記各フィルターの有効面積をＢ（青色）が
最も大きく、次いでＧ（緑色）、Ｒ（赤色）の順の大き
さになるような遮光層を前記各色フィルター素子夏冬１
１型缶に有することを特徴とするカラー固体撮像素子板
。 ３、発明の詳細な説明 本発明は、カラー固体撮像素子板に関し、更に詳しくは
１個の固体撮像素子から２種以上の色信号を取り出す単
板方式あるいは２扱方式のカラー固体撮像素子板に関す
る。 固体撮像カラーカメラはＣＣＤ、 ＭＯＳ、 ＢＢＤ
等の固体撮像素子の各画素に対向させてモザイク状ある
いはストライプ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
青（以後、それぞれＲ，Ｇ、Ｂと略記する）の各フィル
ター素子を配置することによりＲ，Ｇ、Ｂのカラー信号
を取り出している。固体撮像素子はＳｉ面上に複雑な電
極構造があり各電極の吸収等により、たとえば第１図に
示すごとく分光感度特性は可視域の短波長領域の分光感
度が悪いという傾向がある。第１図はＣＣＤの分光感度
特性であるが、ＣＣＯ以外のＭＯＳ、ＢＢＤ等でもＳｉ
を使用しているので短波長領域に吸収を生じ分光感度は
第１図に示したものと同様の傾向を示す。 このような固体撮像素子を用いてカラーカメラを構成す
るには色分離フィルターを介してカラー信号を得る必要
があるが、たとえばＲ，Ｇ、Ｂの各フィルター素子を配
置した色分離フィルターの各フィルター素子の分光特性
は一般に第２図に示す特性をもつ。このような色分離フ
ィルターとしては有機系樹脂を染料で着色した有機染色
フィルター、グイクロイッタフィルター等がある。 第３図に固体カラーカメラの光学系の一例を示すが、撮
像レンズ１により被写体を固体撮像素子４の感光部領域
に結像させる。色分離フィルター層３の各フィルター素
子は固体撮像素子４の各画素に対応させて配置する。色
分離フィルター層の配置法としては、色分離フィルター
層を透明基板上に形成した色分離フィルターと固体撮像
素子の間にリレーレンズを介して対応させる方法（以下
、リレーレンズ法という）、色分離フィルター層を透明
支持体上に形成した色分離フィルターを固体撮像素子の
各画素に対応して接着剤により貼り合わせる方法（以下
、貼合せ法という）及び固体撮像素子上に直接色分離フ
ィルター層を加工配置する方法（以下、直接法という）
がある。第３図は直接法の例を示す。第３図示の如く、
固体撮像素子４に直接色分離フィルター層を設けた素子
を本明細書において便宜上カラー固体撮像素子板という
。また、固体撮像素子では特に近赤外部での感度が大き
いことと、色分離フィルターが近赤外部で透過特性を有
することのために、不要信号の重畳となって輝度及び色
度誤差を生じることを防ぐため通常赤外線カットフィル
ター２を色分離フィルター３と撮像レンズ１の間に配置
する。 第４図に７赤外線カツトフイルターの分光透過率特性を
示す。 以上より固体撮像カラーカメラの固体撮像素子の各カラ
ー信号の総合感度は第５図に示すようになる。さらに、
第６図に固体撮像素子から得られる各カラー信号の出力
を示す。 このように各カラー信号の出力レベルが大きく異なって
しまう。例えばＢ信号はＧ信号の１／３〜１／４の出力
となる。このような場合Ｒ信号あるいはＧ信号がＢ信号
へ混入したり、Ｂ信号が相対的に小さいために生じるＢ
信号のＳ／Ｎ劣化が生じカラーカメラとしての色再現性
を著しく劣化させる。 本発明の目的は、上記のような各カラー信号出力レベル
が大きく異なる問題を改善したカラー固体撮像素子板の
提供、すなわち出力レベルを揃えるようにしたカラー固
体撮像素子板の提供にある。 本発明は、総合感度特性が各カラーの出力レベルが一定
になるようにするためモザイク状の色分離フィルターの
フィルター素子の有効面積を固体撮像素子の分光感度特
性による出力レベルの変化に応じたものとするため固体
撮像素子の受光面に存在する感光部（複数）上に形成し
たフィルター素子の上又は下に設けた遮光層で調整する
ことにより信号レベルを揃えるようにしたことを特徴と
する。より具体的には固体撮像素子は第１図に示す如く
短波長領域の感度が悪いためＲフィルター素子、Ｇフィ
ルター素子の順にフィルター素子の有効領域を遮光層を
使って小さくしてＢフィルター素子からの出力レベルと
同じようにする。 以下、上記の本発明についてフレーム転送方式ＣＣＤの
場合を例にとり図面を参照しつつ詳細に説明する。第７
図は第８図に示すモザイク状色分離フィルターを有する
固体撮像素子の縦方向又は横方向の模式断面図である。 第７図において、固体撮像素子１１の受光面に存在する
感光部１４及び非感光部１５の少なくとも感光部１４上
にモザイク状色分離フィルターＲ，Ｇ、Ｂが形成され、
その上に遮光層１３が形成される。該遮光層１３は非感
光部１５をもおおうことにより非感光部１５への光も遮
断することができるので好ましい。第８図は色分離フィ
ルター貼り合わせ後の固体撮像素子の一部切欠平面図で
ある。尚、図中、Ｑは感光部１４を構成する各画素を表
わす。 Ｒ，Ｇ、Ｂのモザイク状色分離フィルター素子は各画素
Ｑに対応して配置されている。本発明では、固体撮像素
子の感光部１４領域に配置されるフィルター素子Ｒ，Ｇ
、Ｂの有効面積を遮光層の調整によりＢ、Ｇ、Ｒの順に
大きくする。 本発明のカラー固体撮像素子板上に設ける色分離フィル
ター層はモザイク状のものだけでなくストライプ状であ
ってもよい。 また、本発明のよ・うに色分離フィルターがモザイク状
の場合は、固体撮像素子の電荷転送方式はインターライ
ン転送方式に限らず、フレーム転送方式にも適用できる
。上記色分離フィルター層には有機染色フィルター層あ
るいはダイクロイツタフィルター層などが適用できる。 このような本発明のカラー固体撮像素子板を用いて第３
図に示す光学素により被写体を撮像すると、Ｒ，Ｇ、Ｂ
各フィルター素子の分光透過率特性が第２図に示すもの
であるとすると、総合感度は第９図に示すようになり、
Ｒ，Ｇ、Ｂの各カラー信号は第１Ｏ図のようになり、各
出力信号が均一化し、出力レベルの高い信号が低出力レ
ベル信号へ混入する等の問題が改善でき高品質のカラー
画像が得られる。 次に、上記における遮光性のある材料及びその形成方法
を下記に分類して示す。 イ）有機高分子樹脂のブラック着色膜 通常の塗布技術により製膜後、製版しく焼きつけおよび
現像）パターン死後染料の染色あるいは転写紙による昇
華転写等の方法でブラックに着色する。あるいは製膜後
染色あるいは転写を行ないブラックに着色後レジスト製
版しプラズマエツチングあるいはスパッタエツチング等
によりパターン化を行なう。 具体的にはゼラチン、カゼイン、フィシュグリュー、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドンなどの水溶
性樹脂に、感剤として重クロム酸塩、クロム酸塩あるい
はジアゾ化合物を添加し怒光性樹脂として塗布、乾燥性
所定の形状をもつマスクにより露光、現像を行なった後
、ブラック染料である日本化薬社製カヤカランブラック
ＢＧＬ 、カヤノールミーリングブラックＴＬＢ 、住
人化学社製スミノールファーストブラックＯＲ，あるい
はニグロシン、ヘマチン等で染色する。あるいはブラッ
ク染料等だけでなく赤、青、緑の混合染料、あるいはブ
ラック染料との組み合せ等も可能である。その他膜厚小
でブラック濃度を出すためには酸性染料と塩基性染料の
組み合せあるいは酸性染料で染色後ヘマチン等で染色す
ると１μ程度の膜厚で濃度３．０以上を簡単に出せる。 その他セルローズ系樹脂、ビニル系樹脂、アクリル系樹
脂、ポリアミド、ポリエステル、ウレタン系樹脂等を層
設後、マスキング層形成し三井化学工業社製ミケトンポ
リエステルブラックＧ１ ミケトンポリエステルブラッ
ク３Ｇ、日本化薬社製ブラックＧ−ＳＦ、ブラックＴ、
ブラックｓ ｃｏｎｃ等の染料によりブラックに着色す
ることもできる。 口）有機染料、顔料のブラック膜 これは染料、顔料を真空蒸着等で製膜後レジスト製版し
プラズマエツチングあるいはスパッタエツチングにより
パターン化する方法である。具体的には例えば昇華性染
料として三井化学工業社製ミケスレンダイレクトブラッ
クＢＳ、 ミケスレンブラックＢＢＳ等を真空蒸着後透
明なＳＶＲ等のレジストで製版後プラズマエツチングあ
るいはスパッタエツチング等でパターン化する。 ハ）無機質ブラック着色膜 たとえばＡＩを陽極酸化し＾１２０．とすることにより
絶縁性をもたせると同時に染色性を付与しアルマイト染
料によりブラック着色する。 パターン化は通常の方法による。 二）無機質ブラック薄膜 Ｃｒ、 八１＋ ＰｂＳ＋ ＳｎＳ＋ Ｃｕｂ
、 ＦｅＳ、 Ｃｕｂ、 ＨｇＳ＋Ｍｏ５２等を
真空蒸着、スパッタリングにより製膜し、通常の技術に
よりパターン化を行なう。 遮光層の光学的濃度は２．０以上、好ましくは３．０以
上となるように適宜選択しその厚みを定める。 以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明する
。 〔実施例〕 通常のウェハープロセスである気相成長、不純物拡散、
写真蝕刻、金属蒸着技術等により製造したＣＣＤ固体撮
像素子受光面の感光部を含む部分にカゼイン−重クロム
酸アンモニウムからなる水性感光液を１．２μの膜厚に
塗布した後、乾燥と固体撮像素子のボンディングバット
部領域に上記カゼイン樹脂層が形成されないような所定
の形状をもつマスクを正確に位置合せ密着露光後、温水
により非露光部を除去し被着色層膜を形成する。この被
着色膜を乾燥したのち、酸性染色を含む第１の黒色染浴
で染色後水洗し、再度ヘマチンを含む第２の黒色染浴で
染色し、再度水洗後、第３の浴で後処理し、更に水洗後
、乾燥することにより遮光層を形成する。 遮光層形成のための、染色浴組成ならびに染色条件は次
の通りである。 第１の黒色染浴・・・・・・８０°Ｃ，４分カヤカラン
・ブラック・ＢＧＬ ２５ｇ（日本化薬社製） 酢酸 ６０ｃｃ 水 ２，０００ｃ
ｃ第２の黒色染浴・・・・・・６０°Ｃ，２分ヘマチン
１０ｇ水
１，０００ｃｃ第３の黒色染浴・、
・・・・２５°Ｃ，２分重クロム酸カリウム
５０ｇ水 １
．５００ｃｃ上記の方法で得られた黒色遮光層の光学的
濃度は３．０であった。次にタンニン酸及び酒石酸アン
チモニルカリウム溶液で防染処理をする。 ついで同様の方法で水性感光液を０．８μ塗布、乾燥、
所定形状マスクによる露光、現像、Ｒフィルター素子の
染色、防染処理を行ない、以下同様の工程をくり返し、
Ｇフィルター素子、Ｂフィルター素子を形成する。各フ
ィルター素子も固体撮像素子のボンディングパット部に
着色層形成されないようにする。補正フィルター層及び
各フィルター素子形成後、色分離フィルターの保護を目
的に日本合成ゴム■製の環化ブタジェン系ネガレジスト
である透明なＣＢＲレジストを１．０μ塗布後、所定形
状をもつマスクを用い露光、現像を行ない保護膜として
ボンディングバット部領域以外に形成した後、１６０°
Ｃ１３０ｍｍ熱処理して本発明のカラー固体撮像素子板
を作製した。この後、ダイニングによりチップ化、グイ
ボンディング、ワイアーボンディング、パッケージング
を通常の方法で行ない単板方式のカラー固体カメラを作
製した。 各フィルター素子の染色浴組成は下記の通りである。 Ｒ染浴 カヤノールミーリングレフトＲＳ（日本化薬味製）
１部 （重量基準）酢酸 ３部 水 １００部Ｇ
染浴 ブリリアントインブルー（へキスト社製）
１部スミノールイＩローＭＲ（住人
化学■製） １部酢酸 ３部 水 １００部Ｂ
染浴 カヤノールサイ７ニン６Ｂ （日本化薬味製）
１部酢酸 ３部 水 １００部
第１図はＣＣＤ固体撮像素子の分光感度特性を示すグラ
フ、第２図はＲ，ＧＳＢの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第３
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第４図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第５図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第６図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第７図は本発明に係るカラー
固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図、第８図は本
発明のカラー固体撮像素子板をインターライン転送方式
ＣＣＤの固体撮像素子に適用した状態を例示する一部切
欠平面図、第９図は本発明のカラー固体撮像素子板にお
ける固体撮像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラ
フ、さらに第１０図はこのような固体撮像素子から得ら
れる各カラー信号の出力を示すグラフである。 １１・・・固体撮像素子 １２・・・色分離フィルター層 １３・・・遮光層 １４・・・感光部 １５・・・非感光部 Ｑ・・・画 素 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第７図
フ、第２図はＲ，ＧＳＢの各フィルター素子を配置した
色分離フィルターの分光透過率特性を示すグラフ、第３
図は固体撮像カラーカメラの光学系の一例を示す説明図
、第４図は赤外線カットフィルターの分光透過率特性を
示すグラフ、第５図は、固体撮像カラーカメラの固体撮
像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラフ、さらに
第６図はこのような固体撮像素子から得られる各カラー
信号の出力を示すグラフ、第７図は本発明に係るカラー
固体撮像素子板の構造例を示す模式断面図、第８図は本
発明のカラー固体撮像素子板をインターライン転送方式
ＣＣＤの固体撮像素子に適用した状態を例示する一部切
欠平面図、第９図は本発明のカラー固体撮像素子板にお
ける固体撮像素子の各カラー信号の総合感度を示すグラ
フ、さらに第１０図はこのような固体撮像素子から得ら
れる各カラー信号の出力を示すグラフである。 １１・・・固体撮像素子 １２・・・色分離フィルター層 １３・・・遮光層 １４・・・感光部 １５・・・非感光部 Ｑ・・・画 素 特許出願人 大日本印刷株式会社 代理人 弁理士 平 木 祐 輔 同 弁理士 石 井 貞 次 第７図
Claims (1)
- 固体撮像素子の受光面に存在する感光部（複数）上に色
分離フィルター層を有し、かつ該色分離フィルター層の
上又は下に、上記色分離フィルター層を構成する￥モザ
イク状に配置された￥各色フィルター素子の分光透過率
特性を固体撮像素子の分光感度特性による出力レベルの
変化に応じて前記各フィルターの有効面積をＢ（青色）
が最も大きく、次いでＧ（緑色）、Ｒ（赤色）の順の大
きさになるような遮光層を前記各色フィルター素子￥の
各境界部￥毎に有することを特徴とするカラー固体撮像
素子板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63253188A JPH01188092A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63253188A JPH01188092A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9522579A Division JPS5619289A (en) | 1979-07-26 | 1979-07-26 | Color solid state image pickup element plate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188092A true JPH01188092A (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=17247771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63253188A Pending JPH01188092A (ja) | 1988-10-07 | 1988-10-07 | カラー固体撮像素子板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188092A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50156820A (ja) * | 1974-06-07 | 1975-12-18 | ||
| JPS52132630A (en) * | 1977-03-10 | 1977-11-07 | Toshiba Corp | Charge transfer color camera tube |
-
1988
- 1988-10-07 JP JP63253188A patent/JPH01188092A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50156820A (ja) * | 1974-06-07 | 1975-12-18 | ||
| JPS52132630A (en) * | 1977-03-10 | 1977-11-07 | Toshiba Corp | Charge transfer color camera tube |
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