JPS60179933A - 磁気記録デイスク用支持体とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３漂し困ｉ旦 本発明は、磁気記録ディスク用の新奇な支持体とその製
造方法とに関する。こｈは更に特定すわばコンビーータ
の磁気ディスク記憶装置に用いられるものである。

記録ディスク用の支持体は中心に穴を有する金属ウェー
ハであって、通常アルミニウム系合金から作られる厚さ
数ミリメートルの金属薄板から切削される。

情報を入りる磁気コーティングを施こす前に、前記支持
体は機械的および化学的の処理を受けて、それを覆う磁
気コーティングに欠陥ができるかぎり少くなるように表
面の状態を適当な品質ＶＣ整える。

機械的処理は、一般に、旋削によって二つの面を滑らか
にすることから成る。これにより微小な溝ができ、この
溝は微細なあらさを宵しているが、精密研磨または陽極
酸化によって除去することができる。

これらの作業は高価であるにもかかわらず、得られる表
面状態は記録密度の高い情報を含む磁気コーティングを
付着させるのには品質が不適当である。この記録密度を
増すために、金属ディスクに高分子層をかぶせることが
提案さねできた。この層は、まず、遠心動作によりプレ
ポリマの形に延ばされ、次いで重合の目的で加熱される
。このような手順は、たとえば、１９８２年７月１４日
に公開された「基板上に重合体材料の層を設ける方法」
と順するヨーロッパ特許００５５８１９に述べられてい
る。

このような手順でりよ、得られる支持体の品質は改善さ
れるが欠陥が除かわていない。それで、この手順で作ら
れる磁気ディスクの寿命は限られている。本山、願人は
このようなディスクに入っている情報か部分的にしかも
徐々に失わわるのは高分子層が比較的軟い材料であり、
高分子を覆っている磁気コーティングがディスクの面に
必然的に堆積する塵埃の微粒子を読取りヘッドがこする
とき読取りヘッドにより加えられる圧力のもとで変形す
ると層う事実ｔこよるものと考えている。この変形が繰
返さねると最後には磁気コーティングの部分が完全に破
壊されてしまう。

及呈２里力 本出願人は、金属ディスク上に予め付着している滑らか
な有機層に硬い材料の薄いコーティングを追加すること
によって、これら支持体を改善するという考えに到達し
た。これにより、先行技術による支持体の欠点を除去す
るに充分な硬さを有する新しい滑らかな表面が得られる
０さて・この硬いコーティングを形成するに使用する材
料は含水ケイ酸塩、すなわちＳ　ｓ　（Ｏｆ（）４、あ
るいは代用としてシリカである。

この硬いコーティングの厚さげ０．１と数ミクロン（た
とえば５ミクロン）との間である一有機コーティングは
樹脂が好ましい。

本発明は、また、このような支持体の製造方法に関する
。この方法では、有機コーティングは遠心法により金属
ディスク上に付着される。更に、本発明によれば、有機
コーティング上に含水ケイ酸塩（ケイ酸塩水和物）また
はシリカを主成分とする材料の薄い硬いコーティングが
付着される。

第一の実施例によれば、硬いコーティングは焼きなまし
またはベーキングの操作を組合わせた一つ以上の操作で
遠心法により付着される。

第二の実施例によれば、硬いコーティングはプラズマの
存在下にシランをガス分解して付着づれる。

実施例 第１図はアルミニウム・ディスク２の断面の拡大図であ
る一０従来の脱脂、清掃、およびブラッシングかけに続
いて、好ましくは写真リトグラフィ（平版法）に使用さ
れているのと同様な樹脂のコーティングを遠心法で付着
させる。樹脂の全体の厚さはディスク２の表面あらさを
完全に覆うようでなければならず１μ滑から３０μｍの
間である。

この目的で、樹脂を安定化させるために１００’ｅと１
５０℃との間の温度で焼きなまし操作を行って、幾つか
のバスに分けて財脂を広げることができる。

いくつかのバスにコーティングすることは表面欠陥の数
を帰少眼にする効果がある。支持体の表面あうさの関数
として１μｍと３０μｍとの間にある必要な厚さになっ
てから、コーティング６を更に高い温度でベークする。

この温度はコーティングを相互連結するため２２０℃に
達することがあり、これによりその硬さと安定性が増加
する。

樹脂コーティング６には本質的にならしく　１ｅｖｅｌ
　Ｉ　ｉｎｇ）の機能がある。しかし、前に説明したと
おり・その硬さは情報を収容する磁気コーティングを受
入わることができる程にはならない。こｈけ非常に薄く
てしかも読取り香込みヘッドが進行する間、あるいは保
合、解除の段階で、読取り・書込みヘッドの衝撃に耐え
ることができなけわばならない。

その硬このため、コーティング８によって情報収容磁気
コーティングは安だな基体を確実に得たことになる。コ
ーティング８を形成する材料は含水ケイ酸塩（有機基を
含むかあるいは含まない）であり、遠心法と１００℃と
２５０℃との間の温度で焼なまずこととによって液体の
形で付着する。

硬いコーティングの厚さハ０．１と数ミクロンとの間に
ある。表面欠陥の数をできるかぎり少ぐするには、硬い
コーティングをベーキングまたは焼なまし操作を混じえ
て多数のパスに分けて付着するのが好ましい。

硬いコーティング８はシリカとすることもでき、これは
プラズマの存在下にシランをガス分解して付着させる。

第２回は断面図で、磁気コーティング１０を加えること
により本発明による支持体から得られた磁気ディスクを
示す。一般に金属ディスク２の二つの面Ｖｊ同じ仕方で
処理される。

ディスクの軸１６に近接している中心穴１４の周りのガ
ードリング１２けディスク２の金属表面が課のｉｔ残る
ように、写真リトグラフィで作られる。ガードリンク１
２には二つの機能がある。

それは、ガードリングが図示してないディスク保持リン
グに対して、機械的に安定な表面に固定できることにな
る（圧力が掛るとコーティング８と６とがひび割れする
おそれかあるし、ヘッドの走行に害をなす可能性のおる
細かな粒子ができるおそれがある）。また、回転中磁気
コーティングにたまる可能性のある電荷をディスク２に
よって除去することができるようになるので前記コーテ
ィングがリング１２の一部を覆っている。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による支持体の拡大断面１ヌ１を示し、
第２図は本発明による支持体の助けで得られる磁気ディ
スクの断面図を示す。 特許出願人 コミッサリア　ア　レネルジイ　アトミック特許出頭代
理人 弁理士　山　本　恵　−

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）有接コーティングで覆わｈた金属ディスクから成
   り、有機コーティング上に、含水ケイ酸塩またはシリカ
   を主成分とする材料の薄く硬いコーティングが施さｈて
   いることを特徴とする磁気記録ディスク用支持体。
2. （２）硬いコーティングの厚さハ０．１と数ミクロンと
   の間にあることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
   載の支持体。
3. （３）有機コーティングは感光性樹脂から成ることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項に記載の支持体。
4. （４）金属ディスクはその中心にリング状部分を備え、
   この部分は有機コーティングおよび硬いコーティングで
   覆わわていないか、部分的に磁気コーティングで覆わわ
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   支持体。
5. （５）有機コーティングで覆わハた金属ディスクから成
   り、有機コーティング上に、含水ケイ酸塩またはシリカ
   を主成分とする材料の薄く硬いコーティングが施さｈて
   いる磁気記録ディスク用支持体の製造方法において、有
   機コーティングは遠心法により金属ディスク上に付着さ
   せ、有機コーティング上にけ更に含水ケイ酸塩またはシ
   リカを主成分とする材料の薄く硬いコーティングを付着
   させることを特徴とする磁気記録ディスク用支持体を製
   造する方ｌル。
6. （６）硬いコーティングは含水ケイ酸塩であり、且つ遠
   心法により付着させることを特徴とする特許請求の範囲
   第ぢ項に記載の方法。
7. （７）硬いコーティングはシリカであり、且つプラズマ
   の存在下にシランをガス分解することにより付着させる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の方法。