JPS59124025A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59124025A JPS59124025A JP57233744A JP23374482A JPS59124025A JP S59124025 A JPS59124025 A JP S59124025A JP 57233744 A JP57233744 A JP 57233744A JP 23374482 A JP23374482 A JP 23374482A JP S59124025 A JPS59124025 A JP S59124025A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- sputtering
- magnetic recording
- substrate
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）技術分野。
本発明は磁気記録媒体、特にコンタクト・スタート・ス
トップ手法で磁気ヘッドにアクセスされる磁気ディスク
等の磁気記録媒体に関するものである。
トップ手法で磁気ヘッドにアクセスされる磁気ディスク
等の磁気記録媒体に関するものである。
（ｂ）従来技術。
従来、磁気ディスク基板は次の様にして製造されている
。
。
第１番目に、Ａ１基盤をアルマイト処理してＡ１基盤上
に、厚さ２μ前後のＡｌ２Ｏ３の補強層を作成する。
に、厚さ２μ前後のＡｌ２Ｏ３の補強層を作成する。
第２番目に、Ａｌ２Ｏ３層上にスパッタ法によりαＦｅ
ｅ○３をスパッタ法により形成する。
ｅ○３をスパッタ法により形成する。
第３番目に、αＦｅ２０１ｓ層を還元して、磁気記録機
能を持つγＦｅ２Ｏ３層を生成する。
能を持つγＦｅ２Ｏ３層を生成する。
第４番目に、γＦ０２０３層上にスバ・ツタ法により、
ＳｉＯ２層を保護層として形成する。
ＳｉＯ２層を保護層として形成する。
以上の様にして形成された磁気記録媒体は、結局、Ａ１
基盤上に、γＦｅ２Ｏ３層を挾む形で、補強層としてＡ
ｌ２Ｏ：５層が更に、保護層としてＳｉＯ２層が形成さ
れた構造となっている。
基盤上に、γＦｅ２Ｏ３層を挾む形で、補強層としてＡ
ｌ２Ｏ：５層が更に、保護層としてＳｉＯ２層が形成さ
れた構造となっている。
しかしながら、磁気ディスク装置の高速化に従うヘッド
の低浮上量化に伴い、へ／ドと基盤°との接触が頻繁に
発生し、基板γＦｅ２Ｏ３損傷する危険が増加している
。これは、アルマイト処理により生成できるＡ１２０３
Ｎｌが極めて薄いためであり、逆にＡｌ２Ｏ３層の厚さ
を厚くするとその基板の作成のために多大の時間を要す
るという欠点を備えている。
の低浮上量化に伴い、へ／ドと基盤°との接触が頻繁に
発生し、基板γＦｅ２Ｏ３損傷する危険が増加している
。これは、アルマイト処理により生成できるＡ１２０３
Ｎｌが極めて薄いためであり、逆にＡｌ２Ｏ３層の厚さ
を厚くするとその基板の作成のために多大の時間を要す
るという欠点を備えている。
更に、他の手法として、補強層として、硬度の高いＮｉ
Ｐ にソケル燐）を基板上にスバ・ツタ手法で形成した
後にαＦｅ２Ｏ３を形成するという手法も考えられる。
Ｐ にソケル燐）を基板上にスバ・ツタ手法で形成した
後にαＦｅ２Ｏ３を形成するという手法も考えられる。
而るに、この手法は、αＦｅ２Ｏ３からγＦｅ２Ｏ３を
生成する際、高い温度（摂氏２９０度〜３５０度）にて
熱処理を施している。一方ＮｔＰは摂氏２００度前後で
磁性が発生する。このため、補強層が記録層に影響を及
ぼすという欠点を持っている。
生成する際、高い温度（摂氏２９０度〜３５０度）にて
熱処理を施している。一方ＮｔＰは摂氏２００度前後で
磁性が発生する。このため、補強層が記録層に影響を及
ぼすという欠点を持っている。
（ｃ）発明の目的。
本発明の目的は以上の従来の欠点を解消するべく、基板
の表面の強度を補強でき、且つ補強層の磁性に記録層の
記録性能が影響されることのない磁気記録媒体を提供す
ることにある。
の表面の強度を補強でき、且つ補強層の磁性に記録層の
記録性能が影響されることのない磁気記録媒体を提供す
ることにある。
（ｄ）発明の構成。
上記目的を達成するために本発明では、補強層と記録層
との間に非磁性層を設けて、補強層により基板の表面の
硬度を高め、且つ非磁性層により補強層による悪影響を
記録層に与えない要にしたものであり、以下実施例によ
り説明する。
との間に非磁性層を設けて、補強層により基板の表面の
硬度を高め、且つ非磁性層により補強層による悪影響を
記録層に与えない要にしたものであり、以下実施例によ
り説明する。
（ｅ）実施例。
第１図〜第４図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の各
製造工程における断面図である。
製造工程における断面図である。
尚、以下の工程は総て同一の真空槽内にて行われる。
第１工糧（第１図参照）：
ＡＩ基板１上に硬質膜２” としてＮｉＰを無電解メブ
キにより形成する。硬質膜２″の厚さは３０μｍ〜５０
μｍである。
キにより形成する。硬質膜２″の厚さは３０μｍ〜５０
μｍである。
第２工程（第２図参照）：
研磨装置により、硬質膜２”を研磨し、厚さ１５μｍ〜
３０μｍの硬質膜２を得る。
３０μｍの硬質膜２を得る。
第３工程（第３図参照）：
硬質膜２上に、非磁性材料であるＳｉＯ２をスペッタ法
により積層する。これにより非磁性層３が形成される。
により積層する。これにより非磁性層３が形成される。
第４工程（第４図参照）：
非磁性層３上に酸化鉄Ｆｅ２Ｏ３の層を、スパッタ法に
より形成する。
より形成する。
第５工程：
酸化鉄Ｆｅ２Ｏ３を熱処理し、Ｆｅ２０ｓを酸化させて
αＦｅ２Ｏ３とし、次に還元してγＦｅ２Ｏ３の磁気記
録層４を生成する。
αＦｅ２Ｏ３とし、次に還元してγＦｅ２Ｏ３の磁気記
録層４を生成する。
第６エ程：
磁気記録層４上に表面保ＭＮ５として、ＳｉＯ２の皮膜
をスパッタ法により形成する。
をスパッタ法により形成する。
この実施例においては、非磁性層３として５ｉ０２の層
をスパッタにより生成している。これにより、表面保護
層５と同じ材料が非磁性層として使用できるので、１気
デイスクを製造するための真空槽内に配置するスパッタ
材料の数は硬質膜を作成するための材料のみ配置すれば
よく製造装置も簡素化できる。また、非磁性層、硬質膜
共、スパッタ手法により形成しているので、記録媒体を
真空槽内から取り出すことな（製造できるという効果も
奏する。
をスパッタにより生成している。これにより、表面保護
層５と同じ材料が非磁性層として使用できるので、１気
デイスクを製造するための真空槽内に配置するスパッタ
材料の数は硬質膜を作成するための材料のみ配置すれば
よく製造装置も簡素化できる。また、非磁性層、硬質膜
共、スパッタ手法により形成しているので、記録媒体を
真空槽内から取り出すことな（製造できるという効果も
奏する。
（ｆ）発明の効果。
以上記載した様に本発明によれば、記録媒体の強度を補
強層により補強でき、更に補強層による記録層への影響
のない磁気記録媒体が得られる。
強層により補強でき、更に補強層による記録層への影響
のない磁気記録媒体が得られる。
第１図〜第４図は本発明の一実施例の記録媒体の製造工
程における断面図である。 図中、１は基盤、２は補強層、３は非磁性層、４は記録
層、５は表面保護層である。
程における断面図である。 図中、１は基盤、２は補強層、３は非磁性層、４は記録
層、５は表面保護層である。
Claims (1)
- （１）基盤と、該基盤上に形成された基盤強度の補強層
と、該補強層上に形成された非磁性層と、該非磁性層上
に形成された磁気記録層とを備えることを特徴とする磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233744A JPS59124025A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57233744A JPS59124025A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59124025A true JPS59124025A (ja) | 1984-07-18 |
Family
ID=16959892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57233744A Pending JPS59124025A (ja) | 1982-12-29 | 1982-12-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59124025A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4698716A (en) * | 1984-02-03 | 1987-10-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Support for magnetic recording disk and its production process |
-
1982
- 1982-12-29 JP JP57233744A patent/JPS59124025A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4698716A (en) * | 1984-02-03 | 1987-10-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Support for magnetic recording disk and its production process |
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