JPS583291B2 - 浮動ヘツドスライダ - Google Patents
浮動ヘツドスライダInfo
- Publication number
- JPS583291B2 JPS583291B2 JP14774877A JP14774877A JPS583291B2 JP S583291 B2 JPS583291 B2 JP S583291B2 JP 14774877 A JP14774877 A JP 14774877A JP 14774877 A JP14774877 A JP 14774877A JP S583291 B2 JPS583291 B2 JP S583291B2
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- Japan
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- magnetic recording
- recording medium
- floating head
- head slider
- slider
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- Expired
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、磁気記録媒体の表面精度を効率良く改善で
きるようにした浮動ヘソドスライダに関するものである
。
きるようにした浮動ヘソドスライダに関するものである
。
磁気ディスク装置用の磁気記録媒体は、その製造法から
大別すると２種類に分類される。
大別すると２種類に分類される。
一つは塗布形の磁気記録媒体であり、他の一つは連続薄
膜の磁気記録媒体である。
膜の磁気記録媒体である。
前者は表面精度の良いアルミ円板上にプラスチックの結
合材中に磁性粉およびアルミナ等のフイラーを混入した
塗液をスピンコートし、乾燥した後にラツピング，ポリ
ツシイングにより電磁変換特性から要求される厚さ（通
常は１μｍ前後）に仕上げることにより作られる。
合材中に磁性粉およびアルミナ等のフイラーを混入した
塗液をスピンコートし、乾燥した後にラツピング，ポリ
ツシイングにより電磁変換特性から要求される厚さ（通
常は１μｍ前後）に仕上げることにより作られる。
後者は表面精度の良いアルミ基板に対して表面の活性化
処理を施した後に、メッキ，スパツタ等の技術により連
続磁性薄膜を表面上に生成し、場合によってはその上に
さらに保護膜を形成することにより作られる。
処理を施した後に、メッキ，スパツタ等の技術により連
続磁性薄膜を表面上に生成し、場合によってはその上に
さらに保護膜を形成することにより作られる。
ここで磁気ディスク装置の信頼性の観点から磁気記録媒
体に要求される特性について説明すると、最悪な結果と
なるヘッドクラッシュ（浮動ヘッドと磁気記録媒体が衝
突して浮動ヘッド，磁気記録媒体ともに破損すること）
を防ぐためには、磁気記録媒体の表面精度を極めて良い
ものでなければならない。
体に要求される特性について説明すると、最悪な結果と
なるヘッドクラッシュ（浮動ヘッドと磁気記録媒体が衝
突して浮動ヘッド，磁気記録媒体ともに破損すること）
を防ぐためには、磁気記録媒体の表面精度を極めて良い
ものでなければならない。
このような観点から塗布形の磁気記録媒体を見ると表面
粗さ，うねり等は妥当な大きさになっているが、高さが
０．５μｍに達する突起（ピッチの小さい突発的なうね
りと考えてもよい）が比較的多く、０．５μｍ以下の浮
上量を要求される昨今の磁気ディスク装置にはこのまま
では用いることができない。
粗さ，うねり等は妥当な大きさになっているが、高さが
０．５μｍに達する突起（ピッチの小さい突発的なうね
りと考えてもよい）が比較的多く、０．５μｍ以下の浮
上量を要求される昨今の磁気ディスク装置にはこのまま
では用いることができない。
また連続薄膜の磁気記録媒体では基板の表面精度が良け
れば、その製造法から考えて膜そのものの厚さの均一性
は良いので問題が生じないはずであるが、実際には磁性
膜製造工程中に微細なゴミが磁性膜中に混入し、これが
強固に付着して突起を形成し、やはりこのままでは使用
することができない。
れば、その製造法から考えて膜そのものの厚さの均一性
は良いので問題が生じないはずであるが、実際には磁性
膜製造工程中に微細なゴミが磁性膜中に混入し、これが
強固に付着して突起を形成し、やはりこのままでは使用
することができない。
このような突起を除去するために、従来は、第１図に示
すようにアルミナ，サファイヤ等の硬い材質でできた浮
動ヘツドスライダ（バーニツシュ用スライダ）１を磁気
記録媒体表面３上に浮上させ、浮動ヘツドスライダ１の
スライダ表面２にぶつかる比較的大きな突起４を除去し
ていた。
すようにアルミナ，サファイヤ等の硬い材質でできた浮
動ヘツドスライダ（バーニツシュ用スライダ）１を磁気
記録媒体表面３上に浮上させ、浮動ヘツドスライダ１の
スライダ表面２にぶつかる比較的大きな突起４を除去し
ていた。
しかしこの方法では０．３μｍ以下の小さな突起５に対
しては単に押しつける効果のみしか生じない。
しては単に押しつける効果のみしか生じない。
そのため塗布形の磁気記録媒体のような比較的軟らかい
性質の塗膜の磁気記録媒体の突起４，５に対しては、比
較的大きな突起４はすぐに除去できても、０．３μｍ以
下の突起５に対しては効果が小さく、全く除去できない
か、またできたとしても長時間を要し、実質的でないと
いう欠点があった。
性質の塗膜の磁気記録媒体の突起４，５に対しては、比
較的大きな突起４はすぐに除去できても、０．３μｍ以
下の突起５に対しては効果が小さく、全く除去できない
か、またできたとしても長時間を要し、実質的でないと
いう欠点があった。
この発明は、これらの欠点を除去するために、浮動へッ
ドスライダの表面を任意形状の多数の凹部を形成する加
工を施したものである。
ドスライダの表面を任意形状の多数の凹部を形成する加
工を施したものである。
以下この発明について詳細に説明する。
第２図ａ，ｂはこの発明の一実施例を示すもので、第２
図ａは側面図、第２図ｂは平面図である。
図ａは側面図、第２図ｂは平面図である。
この実施例においては、浮動へッドスライダ１のスライ
ダ表面２を市松模様に加工している。
ダ表面２を市松模様に加工している。
その詳細を第３図に示す。
すなわち、スライダ表面２に多数の凹部２′をイオン・
エッチング等により形成する（凹部底面を基準にすれば
凸部が形成されたとみることができる）。
エッチング等により形成する（凹部底面を基準にすれば
凸部が形成されたとみることができる）。
このような浮動へッドスライダ１を突起のある磁気記録
媒体の表面上に浮上させた場合を想定すると第４図に示
すようになる。
媒体の表面上に浮上させた場合を想定すると第４図に示
すようになる。
との図に示すようにスライダ表面２に多数の凹部２′が
ある場合には磁気記録媒体表面３上に形成された突起５
は単に押しつけられるのみではなく、スライダ表面２と
凹部２′とで形成される稜線部分により削られる。
ある場合には磁気記録媒体表面３上に形成された突起５
は単に押しつけられるのみではなく、スライダ表面２と
凹部２′とで形成される稜線部分により削られる。
しかもスライダ表面２には凹部２′が多数あるので削ら
れる効果が非常に大きい。
れる効果が非常に大きい。
それ故、従来の平坦な表面のバーニツシュ用スライダに
較べて短時間で磁気記録媒体表面３上の突起５を除去す
ることができる。
較べて短時間で磁気記録媒体表面３上の突起５を除去す
ることができる。
なお、６は中央の溝を示す。
また第２図ではスライダ表面２を市松模様に加工した実
施例を示したが、上記除去機構から考えて、スライダ表
面２の一部しか加工しなくとも、また第５図ａ，ｂに示
すように凹部２′の形状が市松模様と異なっても同様の
効果が得られることは明らかである。
施例を示したが、上記除去機構から考えて、スライダ表
面２の一部しか加工しなくとも、また第５図ａ，ｂに示
すように凹部２′の形状が市松模様と異なっても同様の
効果が得られることは明らかである。
さらに凹部２′の数は任意に選定できることはもちろん
である。
である。
このような浮動へッドスライダ１は、特願昭５０−３９
３５５号に示されているイオン・エツチング加工法によ
り簡単に製造できる。
３５５号に示されているイオン・エツチング加工法によ
り簡単に製造できる。
つぎに実際の効果について述べる。
ＩＢＭ３３３０形サファイア浮動へッドスライダを用い
て、最大０．４μｍの突起を有する塗布形の磁気記録媒
体を３０００回転で５分間バーニツシュした場合、０．
２８μｍ以下の突起は除去できなかった。
て、最大０．４μｍの突起を有する塗布形の磁気記録媒
体を３０００回転で５分間バーニツシュした場合、０．
２８μｍ以下の突起は除去できなかった。
一方、同じ形状の浮動へッドライダの表面を高さ１．６
μｍ，基定部の直径が１０〜１５μｍの円錐が５０μｍ
のピッチで並ぶように加工した浮動ヘソドスライダを用
いて同一種類の磁気記録媒体を同一条件でバーニツシュ
した場合には０．２０μｍの突起まで除去することがで
きた。
μｍ，基定部の直径が１０〜１５μｍの円錐が５０μｍ
のピッチで並ぶように加工した浮動ヘソドスライダを用
いて同一種類の磁気記録媒体を同一条件でバーニツシュ
した場合には０．２０μｍの突起まで除去することがで
きた。
突起が０．２μｍ以下になれば、高記録密度用磁気ディ
スク装置の磁気記録媒体として用いることができ、この
発明の効果が非常に大きいことがわかる。
スク装置の磁気記録媒体として用いることができ、この
発明の効果が非常に大きいことがわかる。
またこの発明による浮動へッドスライダの使用による効
果は、メッキ媒体のような連続薄膜の磁気記録媒体にお
いても実験的に得られている。
果は、メッキ媒体のような連続薄膜の磁気記録媒体にお
いても実験的に得られている。
以上説明したようにこの発明によれば、ディスク装置用
磁気記録媒体の表面の突起を、小さな突起まで効率良く
除去することができるので、表面精度改善用の浮動へッ
ドスライダとしてきわめて有効である。
磁気記録媒体の表面の突起を、小さな突起まで効率良く
除去することができるので、表面精度改善用の浮動へッ
ドスライダとしてきわめて有効である。
第１図は従来の浮動へッドスライダの側面図で磁気記録
媒体上を浮上している場合を示す説明図、第２図ａ，ｂ
はこの発明における浮動へッドスライダの一実施例を示
すもので、第２図ａは側面図、第２図ｂは平面図、第３
図は第２図の浮動へッドスライダのスライダ表面におけ
る凹部を示す部分拡大斜視図、第４図は同じく浮動へッ
ドスライダが磁気記録媒体上を浮上している場合を示す
説明図、第５図ａ，ｂはこの発明における浮動へッドス
ライダの他の実施例を示すもので、第５図ａは側面図、
第５図ｂは平面図である。 図中、１は浮動へッドスライダ、２はスライダ表面、２
′は凹部、３は磁気記録媒体表面、４，５は突起である
。
媒体上を浮上している場合を示す説明図、第２図ａ，ｂ
はこの発明における浮動へッドスライダの一実施例を示
すもので、第２図ａは側面図、第２図ｂは平面図、第３
図は第２図の浮動へッドスライダのスライダ表面におけ
る凹部を示す部分拡大斜視図、第４図は同じく浮動へッ
ドスライダが磁気記録媒体上を浮上している場合を示す
説明図、第５図ａ，ｂはこの発明における浮動へッドス
ライダの他の実施例を示すもので、第５図ａは側面図、
第５図ｂは平面図である。 図中、１は浮動へッドスライダ、２はスライダ表面、２
′は凹部、３は磁気記録媒体表面、４，５は突起である
。
Claims (1)
- １ 回転するディスク形の磁気記録媒体の表面からわず
かな距離のとろに浮上させ、それに衝突または接触する
前記磁気記録媒体表面の突起、うねり等を削り取り前記
磁気記録媒体の表面精度を改善するために用いる浮動へ
ッドスライダにおいて、前記磁気記録媒体に接する前記
浮動へッドスライダの表面に任意形状の凹部を形成する
加工を施したことを特徴とする浮動ヘツドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14774877A JPS583291B2 (ja) | 1977-12-10 | 1977-12-10 | 浮動ヘツドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14774877A JPS583291B2 (ja) | 1977-12-10 | 1977-12-10 | 浮動ヘツドスライダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5480728A JPS5480728A (en) | 1979-06-27 |
| JPS583291B2 true JPS583291B2 (ja) | 1983-01-20 |
Family
ID=15437242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14774877A Expired JPS583291B2 (ja) | 1977-12-10 | 1977-12-10 | 浮動ヘツドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583291B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5577039A (en) * | 1978-12-07 | 1980-06-10 | Fujitsu Ltd | Production of magnetic disc medium |
| JPS6022415B2 (ja) * | 1979-08-21 | 1985-06-01 | 日本電信電話株式会社 | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
| JPH0687301B2 (ja) * | 1986-01-24 | 1994-11-02 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US4845816A (en) * | 1986-07-18 | 1989-07-11 | Xebec Corporation | Burnishing head for memory disk drive |
| JPH0719459B2 (ja) * | 1987-12-03 | 1995-03-06 | 日立金属株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5980369A (en) | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Marburg Technology, Inc. | Level flying burnishing head with circular burnishing pads |
| US6611400B1 (en) * | 1999-01-22 | 2003-08-26 | Seagate Technology Llc | Texture structure for optimizing head disc interface |
| US6619105B1 (en) | 2000-04-12 | 2003-09-16 | Seagate Technology Llc | Glide head with anti-collapsing protection feature |
| US6920015B2 (en) * | 2001-04-03 | 2005-07-19 | Seagate Technology Llc | Disc head slider designs to reduce particle sensitivity |
-
1977
- 1977-12-10 JP JP14774877A patent/JPS583291B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5480728A (en) | 1979-06-27 |
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