JPS6014723A - 真空インタラプタの電極材料とその製造方法 - Google Patents

真空インタラプタの電極材料とその製造方法

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JPS6014723A
JPS6014723A JP12374583A JP12374583A JPS6014723A JP S6014723 A JPS6014723 A JP S6014723A JP 12374583 A JP12374583 A JP 12374583A JP 12374583 A JP12374583 A JP 12374583A JP S6014723 A JPS6014723 A JP S6014723A
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copper
stainless steel
powder
martensitic stainless
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JP12374583A
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佳行 柏木
泰司 野田
薫 北寄崎
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Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Meidensha Corp
Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、真空インタラプタの電極材料とその製造方法
に関する。
一般に、真空インタラプタの電極は。
υ 大電流をしゃ断する能力が高いこと、2)絶縁強度
が大きいこと、 8)耐溶着性が良好なこと、及び 4)小電流を良好にしゃ断できること(さい断電流値が
小さいこと) 等の電極条件を満足することが要求されている。
従来、上記のに他条件を満足すべく1種々の電極材料が
提案されている。が、いずれの電極材料も、上記の′W
L極条件を十分には満足しないのが現状である。
例えば、銅に微量の高蒸気圧材料(低融点材料ンを含有
せしめた徨々の電極1例えば、特公昭41−12131
号公報(米国特許証第8.24へ979号参照)に示さ
れている、銅にα6重量−のビスマスを含有せしめてな
るもの(以下、Cu−α5Bi 電極という)、または
、特公昭48−86071号公報(米国特許証第3,5
96,027号参照)に示されているもの等が知られて
いる。
これら高蒸気圧材料を含有してなる電極にあっては、上
8Cの電極条件から観て、大電流しゃ断能力、耐溶着性
及び導電率に優れているものの、絶縁強度、特に大電流
しゃ断部の絶縁強度が著しく低下する欠点があシ、シか
も、さい断電流値が1時 OAと高いために電流しゃ断勢にさい断サージを発生す
ることがあるので、遅れ小電流を良好にしゃ断し得ない
欠点かあり、したがって、負荷側の電気機器の絶縁破壊
を引起す虞れがあった。
萱た、例えば、上記高蒸気圧材料を含有する電極の上述
したような欠点を解消するのを企図した電極として、銅
を低蒸気圧材料(高融点相打)との合金からなるもの、
例えば、特公昭54−86121号公報(米国% #’
t’ Kc第8,811,989号参照)に示されてい
る%201jfJチの銅と80重量饅のタングステンと
からなるものJたけ、特開昭54−1572848号公
報(英国特許出願公開第2,024,257号公報参照
〕に示されているもの等が知られている。
これら低蒸気圧材料を含有してなる電極にあっては、上
記の電極条件から観て、絶H強度が大きくなる利点はあ
るものの、短絡電流のような大電流金しゃ断することが
困難となる欠点があった。
本発明は、上述した技術水準に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、耐溶着性を不都合とならない
程度に良好に維持しつつ、絶縁強度音大きくシ帰るとと
もに大電流および小電流のいずれをも良好にしゃ断し得
るようにした。真空インタラプタの電極材料とその製造
方法を提供することである。
関するものである。
特定発明は、電極材料を、29〜70重量−のマルテン
サイト系ステンレス鋼と1合岨で1−10重量%に達し
、かつ、一方が少なくとも0.5重i%含1れるモリブ
デンおよびタングステンと、残部銅との複合金属で構成
した。
また、電極材料に関する他の発明は、29〜70重it
%のマルテンサイト系ステンレス鋼粉末と、合計でt 
−i o重量%に達し、かつ、一方が少なくとも05重
量−含1れる、モリブデンおよびタングステン粉末とを
相互に拡散結合した多孔質基材に残シ重量−の銅を溶浸
させた複合金属で構成した。
そして特定発明にがかる電極拐科の製造方法に関する−
の発明は、1ず、非酸化性雰囲気中において、マルテン
サイト系ステンレス鋼とモリブデンとタングステンとの
混合粉末をマルテンサイト系ステンレス鋼の融点より低
い温度で加熱して。
上記混合粉末の各金属を相互に拡散結合することによシ
多孔質基@を形成し、ついで、非酸化性雰囲気中におい
て、上記多孔賀基材上に鋼材を置き1かつ、多孔質基材
および銅相をマルテンサイト系ステンレス鋼の融点より
低い温度で、かつ、銅の融点以上の温度で加熱して、鋼
材を多孔質基材に溶浸させて複合金属全形成する方法で
ある。
また、特定発明にかかる″RL極材料の製造方法に関す
る他の発明は、°マず、マルテンサイト系ステンレス鋼
とモリブデンとタングステンとの混合粉末と鋼材とを共
に非酸化性雰囲気中に納置し、ついで、これら混合粉末
および鋼材を銅の融点より低い温度で加熱して上記混合
粉末の各金属を相互に拡散結合することによシ多孔質基
材を形成し。
ついで、銅の融点以上で、かつ、マルテンサイト系ステ
ンレス鋼の融点よシ低い温度で上記多孔質基材および鋼
材を加熱することによシ銅材を上記多孔質基材に溶浸さ
せて複合金属を形成する方法である。
以下、図面および写真等の図を参照−して、本発明の実
施例を詳細に説明する。
第1図は、本発明にかかる電極を備えた真空インタ2ブ
タの縦断面図である。7c2!!インタラプタは、円筒
状に成形したガラスまだは絶縁セラミクス等の絶縁物か
ら成るa数(本実施例においては2本)の絶縁筒1.L
金、各絶縁筒lの両端に固着したFe −Ni −Co
合金等の金属から成る薄肉円環状の封着金具2,2・・
・の一方を介し、同軸的に接合することによシ、一体の
絶縁筒とするとともに、この一体の絶縁筒の両開口部を
、他方の封着金具2,2を介し、ステンレス鋼等から成
る円板状の両金属端板8,3により閉塞し、かつ、一体
の絶縁筒ビ両金属端板3,8とから成る容器の内部を高
真窒に排気して真空容器4t−形成し。
この真空容器4内に、一対の円板状の゛電極6,5を、
各金属端板3の中央部から、真空容器4の気密性ft保
持しつつ、相対的に接近離反自在に導入した対をなす″
NL極棒6,6を介し、接触離反(接離)自在に設けて
概略構成されている。
なお、第1図において、7は金属ベローズ%8は各電極
5等を同心状に囲繞する中間電位のシールドである。
各電極6は% 29〜70M1量−のマルテンサイト系
ステンレス鋼と、合計で1〜lO重i%に達し、かつ、
一方が少なくとも(16重it%含まJする、モリプデ
/およびタングステンと、残り@弓とめ1らなる複合金
属の電極材料から成る。
この電極倒斜は、−100メツシユのマノしテンサイド
系ステンレス鋼粉末29〜70′JILi%と、合計で
t−tomit%に達し、かつ、一方力(少なくともQ
、 5 Nl2 %含1れる。−100メツシユのモリ
ブデンおよびタングステン粉末とを相互に拡散結合する
ことにより多孔v1.基@全形成し、この基線に残υ重
量%の銅を一溶浸させた金属組織を有する。
なお、マルテンサイト系ステンレス鋼としては、例えば
、JI8規格で5US408.8US4LO,8U84
L6,5US420,5US481又はsus+4oc
が好適である。列挙したマルテンサイト系ステンレス鋼
は、いずれも、鉄及びクロムを主成分とし、炭素%硅素
、マンガン、リン、硫黄、モリブデン及びニッケルのう
ち幾つかを少量添加成分として含むものである。
以下、上述した電極材利金製造する方法について説明す
る。
第1の製造方法 まず、マルテンサイト系ステンレス鋼29〜70重量%
、モリブデンおよびタングステンの合計で1〜10直童
チに達し、かつ、一方が少なくとも0.51景係の組成
比となるように調整され、かつ1粒径を一100メツシ
ュとした、マルテンサイト糸ステンレス鋼粉末と、モリ
ブデン粉末と。
タングステン粉末とを所定音(例えば、加工しろを加味
した電極1昭分相当)枦械的に混合する。
ついで、優られた金属混合粉末を、マルテンサイト系ス
テンレス鋼、モリプディ、タングステン、および銅のい
ずれとも反応しない材料、例えば、アルミナから成る円
形断面の容器に収納し、この収納物を、非酸化性雰囲気
中(例えば、5XLO−5Torr 以下の圧力の真空
中、水素ガス中、窒素ガス中筒たけアルゴンガス中等)
において、マルテンサイト系ステンレス鋼の融点(約1
.500℃)よシ低い温度で加熱保持(例えば、600
〜l、000℃で5〜OO分間程度)シ、これにより、
マルテンサイト糸ステンレス鋼粉末とモリブデン粉末と
タングステン粉末とを相互に拡散結合して、多孔質基材
を製造する。
次に、上記拡散結合工程と同一または異なる非酸化性雰
囲気中において、上記多孔質基材上に銅ブロックまたは
銅粉末等の銅4′Aを置き、かつ、多孔質基材と鋼材と
を銅の融点(L、088℃)以上で、かつ、マルテンサ
イト系ステンレス鋼の融点(約り、 500℃)より低
い温度で5〜20分間程度加熱保持して、溶融した鋼材
を多孔質基材に溶浸させる。これにより、マルテンサイ
ト系ステンレス鋼、クロム、モリブデン、タングステン
および銅から成る複合金属拐料を製造する。
前述のgtの製造方法は、多孔質基材の形成(拡散結合
)工程と、この多孔質基材への銅材の溶浸工程とが完全
に分離していることに特徴がめシ、容器中で多孔質基材
を拡散結合形成している時には、この容器中に銅相は納
置されていない。
したがって、第りの製造方法では、多孔質基材の形成を
水素ガス、窒素ガス又はアルコ°ンガス等のガス中で行
い、この多孔質基材への銅相の溶浸を真空引き下で行う
ことでも良い。
また、各1非酸化性雰囲気中において電極多数閘分に相
当する多孔質の柱状基材を製造し、この多孔質の柱状晶
相を所要厚さ、および、形状に切断して例えば1時の電
極用の多孔質晶相に加工した後に、この多孔質基材への
鋼材の溶浸を真空引き下で行うことでも良い。
第2の製造方法 第2の製造方法は、マルテンサイト系ステンレス銅粉末
とモリブデン粉末とタングステン粉末との混合粉末と、
鋼材とを同一容器内に納置し、上記混合粉末の拡散結合
工程および銅相の溶浸工程を同−非酸化性雰囲気中での
加熱温度の変更のみで一貫して行う点に特徴がある。
すなわち、第2の製造方法にあっては、1ず、マルテン
サイト系ステンレス鋼が29〜70重量%、モリブデン
およびタングステンが合計で1〜10重量%に達すると
共に、一方が少なくともα5重i′−の組成比となるよ
うに調整され、かつ、粒径i−100メツシユとした、
マルテンサイト系ステンレス鋼粉末と、モリブデン粉末
と、およびタングステン粉末とを所定量機械的に混合す
る。
ついで、優られた金属混合粉末を、マルテンサイト系ス
テンレス鋼、モリブデン、タングステンおよび鋼のいず
れとも反応しない材料、例えば。
アルミナから成る円形断面の容器に収納するとともに、
金属混合粉末上に銅相全載置する。
ついで、容器中の収納物を非酸化雰囲気中(例えば、5
 X L OTorr以下の圧力のA壁中)において%
まず、銅の融点よシ低い温度で加熱保持(例えば、60
0〜t、ooo℃で5〜60分間程度ンし、これによシ
、マルテンサイト系ステンレス鋼粉末とモリブデン粉末
とタングステン粉末とを相互に拡散結合して、多孔質基
材を製造する。
ついで、得られた多孔質基材と鋼材とを銅の融点(L、
088℃)以上で、かつ、マルテンサイト系ステンレス
鋼の融点(約1,500℃)より低い温度(例えば1,
100℃)で%5〜20分間程度加熱保持し、溶融した
鋼材を多孔質基材に溶浸させる。これによシ、マルテン
サイト系ステンレス鋼、モリブデン、タングステンおよ
び銅から成る複合金属材料fc製造する。
なお、第1% 第2の方法いずれの場合にあっても、非
酸化性雰囲気としてはsAをの方が加熱保持の際に脱ガ
スが同時に行なえる利点があって好適なものである。も
ちろん真壁中以外のガス中にて製造した場合にあっても
真空インタラツタの電極として実用上問題はないもので
ある。また上記各金属粉末における各金属粒子の径’t
t−−1ooメラシユした理由は、各金属粒子が′HL
極拐料相打属組織中で均一に分散し、且つa互拡散結合
が良好となるようにするためである。
また、金pA粉末の相互拡散結合に要する、加熱温度と
時間は、炉の東件、形成する多孔質晶相の形状、大きさ
等の条件、及び作業性等を考慮し、且つ所望の電極相打
としての性質を満足するように加熱保持されAものであ
り、例えば600℃で60間、またはt、ooo℃で5
分間といった加熱条件で作業が行なわれるものである。
次に前述の第2の製造方法(ただし、非酸化性雰囲気は
、5XlO−ゞPO「「の真空中)により製造し九゛区
極材料の実施例にかかる金属組織を第2図(5)、 (
Bl 、 C) 、 (o 、(ト))および促)に示
す。
第2図囚、 (13) 、 (C) 、 CD) e(
ト))および(F′)は、マルテンサイト系ステンレス
鋼8U8410が42重量%、モリブデンが4重it%
、タングステンが4重量%、及び銅が50重量−の組成
比とした′ft極材料のX線マイクロアナライザによる
特性写真で、第2図(至)は、金属組織の二次電子像を
示す特性写真である。
また8US410の主成分である鉄に′e1クロムC「
の分散状態は、第2図(131、(C)から明らかであ
シ、第2図(B)の白い部分(白点)がFe1第1図(
C)の白い部分(白点)がCrである。更に第2図回は
分散したモリブデンMoft、’iた第2図(ト))は
分散したタングステンWを示す特性X線像であシ1点在
する白い部分(白点)がMo、Wである。
また第2図(ト)は、溶浸された銅Cuの特性X線像で
、白い部分がCuである。
この第2図から判るように、8084LO、モリブデン
M o 、タングステンWの各粉末(粉体ンは、相互拡
散結合して多孔質基材を形成しておplそしてこの多孔
質基材の孔(間隙)に銅Cuが溶浸されることによつ−
て全体として強固な結合体の複合金属を形成しているこ
とが判る。
以上の通多図示し詳述した金属組織を有する゛電極材料
を、直径50m、厚みa5mnの円板に形成し、かつ、
その周縁に几−4mmの丸味を付けた電極とし、この電
極を一対第1図に示す構成の真空インタラプタに組込ん
で、この真空インタラツタの諸性能を検証した。この検
証結果は、以下の通りであった。
L)電極材料の導゛成率(IAC8)8〜80%であっ
た。
2)耐溶着性 両電極5,5同士を180 kgfの力で加圧し。
これら電極5,6間に25 kArmsの電流を8秒間
通電した(IEC短時間電流規格)後に、両電極6.5
は、200kgfの静的な引外し力で問題なく引外すこ
とができ、その後の接触抵抗の増加は。
2〜8%に止1つだ。
また1両電極5.5同士をl、 C100kgfの力で
加圧し、これら1!極5,5間に50 kArms (
7) ?lt流を8秒間通電した後に1両電極5,5を
%200kgfの静的な引外しカで問題なく引外すこと
ができ、その後の接触抵抗の増加は2〜7チに止1つだ
したがって、耐溶着性は、実用上不都合とならない程度
に良好に維持された。
8)さい断電流値 試験電流として80AtJfil電して行なったところ
さい断′亀流値は、平均38A(標準偏差(jnwl、
4.標本数n−100)であった。
4)大電流しゃ断能力 11 kArmsの′電流をしゃ断することができた。
5)絶縁強度 極間ギャップk 8.0 mmに維持し、インパルス耐
電圧試験を行なったところ、±120kV(バラツキ±
toicv)の耐電圧値を示した。
6)シゃ断部の絶縁強度 LlkA を通電して複数回しゃ断した後に極間ギャッ
プt a Ommに維持し、インパルス耐電圧試験を行
なったところ、±ttokv(バラツキ1OkV)の耐
電圧値を示し、た。
7)小電流開閉彼の絶縁強度 電流80Aで小電流連続開閉試験をLQOOO回行なっ
た。耐電圧値は、初期〜t o、 o o o回の間に
おいて、はとんど変化しなかった。
8)進み小電流しゃ断能力 流しや断試験(JF3C181)elO,000回行な
った。両電極5,5間に再点弧は発生しなかった。
上記電極材料において、フルテンサイl−系ステンレス
鋼の挿類および組成比と、モリブデン+タングステン、
および銅の各組成比とを変更した場合のさい断電流値お
よびインパルス耐電圧値の変化を表に示す。
数種のマルテンサイト系SUE。
Mo、WおよびCuの各組成比と 表 さい断電流値およびインパルス耐 (以下余白) (注二組成比は3iLit%、極間ギャップは80.m
m)上述の1)〜8)項から判るように、本発明の電極
材料から成る′崗、極を有する真空インタラゲタは、優
れた諸性能を有するもので69、本発明にかかる電極と
同一形状のCu −0,5B i電極を有する真空イン
タラプタの諸性能と比較したところ、下記の通電であっ
た。
a)大゛亀流しゃ断能力 両者間−である。
b)絶縁強度 一対のCu −0,5B i ′電極が極間ギャップ1
0閤において示すインパルス耐電圧値と、本発明にかか
る一対の電極が極間ギャップ8.0間において示すイン
パルス耐電圧値とは同一であった。したがって、本発明
にかかる電極はs CuO−58+電極の8倍強の絶縁
強度を有する。
C)耐溶着性 本発明にかかる電極の耐溶着性は、Cu−α5Bi電極
の耐溶着性の70%である。が、実用上はとんど問題な
く、必要ならば、′t4L極開離瞬時の引外し力を若干
増加させればよい。
d)進み小電流しゃ断能力 本発明にがかる電極は、Cu−0,5Bili極に比較
して2倍のキャノくシタンス容量の負荷をしゃ断するこ
とができる。
e)さい断電流値 本発明にかかる電極のさい断゛亀流イ直lよ、Cu−0
、5B i を極のさい断電流値の80チと74%さく
なった。
壕だ、表に示す図示以外の組成の電極も、Cu−o、b
Bi電極との比較において、第2図(5)〜W)に示す
組成のものとほぼ同様の性肖訛を示した。
しかして、マルテンサイト系ステンレス鋼は、29重i
t%未満の場合にさい断電流ftm di急、激に大き
くなり、他方、70重量%を超える場合に大電流しや断
能力が急激に低下した。
また、モリブデンおよびタングステンが合計で1重量−
未満の場合には、絶縁節Kが急激に低下し、他方、10
重量%を超える場合には、大電流しゃ断能力が急激に低
下した。
しかして、モリブデンが0.5重1#チ未満の場合及び
タングステンが0.5重量%未満の場合には、ともにさ
い断電流値が大きくなると共に機械的強度が低下した。
また、銅が20重量−未満の場合には、短時間電流試験
の結果から判るように通電後の接触抵抗が急激に大きく
なシ、すなわち、電極の導電率が急激に低下するので、
定格電流通電時のジュール熱が急激に太きくなシ、銅2
0重量−未満の電極の実用性が低下した。
他方、銅が70重−M%を超える場合には、絶縁強度が
急激に低下するとともに、耐溶着性が急激に低下した。
以上の如く、特定発明は、28〜70’i量チのマルテ
ンサイト系ステンレス鋼と、合計で1−to重量%に達
し、かつ、一方が少なくともα5重量%含1れるモリブ
デンおよびタングステンと、20〜70重量%の鋼材と
の複合金属を材料とする真空インタラプタの電極である
から、この電極は、Cu−Q、5Hi電極のように高蒸
気圧材料を含有して成る従来の電極に比して、真空イン
タラプタの絶縁節Vt飛躍的に大きくシ、かつ、さい断
電流値を飛躍的に小さくすることができる。また従来の
20Cu−sow等の如き低蒸気圧材料を含有してなる
電極に比べて大電流しゃ断を良好罠行なうことかできる
。したがって、特定発明にがかる電極相打は、大電流し
ゃ断、進み小電流しゃ断および遅れ小電流しゃ断金良好
に行うことができる。
また、′電極相打に関する他の発明は、20〜70重f
it%のマルテンサイト糸ステンレス鋼粉末ト、合計で
1−10重量%に達し、かつ、一方が少なくとも06重
量%のモリブデンおよびタングステン粉末とを相互に拡
散結合した多孔質基材に20〜70重量係の鋼材を溶浸
させてなる、真空インタラプタの電極相打であるから、
上述した種々の効果に加えて、電極の機械的強度の向上
を図ることができる。
また、特定発明にかかる@極材料の製造方法に関するー
の発明は、マルテンサイト系ステンレス鋼とモリブデン
とタングステンとの混合粉末を非酸化性雰囲気中で、か
つ、所定温良で所定時間保持し、相互に拡散結合させて
多孔質水相とし、この基材上に調料l!i装置き、この
銅材を非酸化性雰囲気中で多孔質基材に溶浸させて電極
相打を製造するようKしているので、各金属間の結合が
良好に行われ、その分散状態を均一にでき、電極材料の
塩気的特性および機械的特性を優れたものとすることが
できる。
筐た、特定発明にかかる成極材料の製造方法に関する他
の発明は、マルテンサイト系ステンレス鋼とモリブテン
とタングステンとの混合粉末と銅材とを共に所定の容器
中に納置し、その後に、同一非酸化性雰囲気中で混合粉
末の相互拡散結合および銅材の溶浸を温度調節のみで一
貫して行うようにしているので、上記製造方法に関する
ーの発明に伴う効果に加えて1作業工程の一部を省略で
きる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第り図は、本発明にかかる′電極材料により成る電極を
有するA空インタシプタの縦断面図、第2図囚、 (+
3) 、 (C) 、 (D) 、 (E)および(1
1勺は、マルゾ゛ンサイト系ステンレス鋼)sUs 4
10カ42M1ti%、モリブデンが4重JN: % 
、タングステンが4 重iit %、および銅が50重
trr %の&11成を有する複合金属から成る電U・
材料のX線マイクロアナライザによる特性写真で、第2
図(5)は、′電極(A料の二次電子像を示し、第2図
(Bl 、 (C1、(D+ 、 (1’]lおよび(
19は、それぞれ分散状態にある、鉄、クロム、モリブ
デン、タングステンおよび溶浸剤の傷性X線像金示す。 第2図(A) 図(C) 1■ 第2図CB) 第2図CD) 1・呟ふ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)29〜70重Ik%のマルテンサイト系ステンレ
    ス鋼と5合計で1〜10重量%に達し、かつ、一方が少
    なくともα5mft%含1れる、モリブデンおよびタン
    グステンと、残部銅との複合金属から成る真空インタ2
    ブタの電極材料。
  2. (2)29〜70重量−のマルテンサイト系ステンレス
    鋼粉末と1合計で1〜lO承量チに達し、かつ、一方が
    少なくとも05重楓チ含1れる、そリプデンおよびタン
    グステン粉末とを相互に拡散結合した多孔質基材に残部
    銅を溶浸させた複合金属から成る真空インタラプタの電
    極材料。
  3. (3)まず、非酸化性雰囲気中においてマルテンサイト
    系ステンレス鋼粉末とモリブデン粉末とタングステン粉
    末との混合粉末を、マルテンサイト系ステンレス鋼の融
    点よシ低い温度で加熱して、上記混合粉末の各金属を相
    互に拡散結合することにより多孔質基材を形成し、つい
    で、非酸化性雰囲気中において上記多孔質基材上に鋼材
    を置くと共に、多孔質基材および鋼材をマルテンサイト
    系ステンレス鋼の融点よシ低い温度で、かつ、銅の融点
    以上の温度で加熱して、鋼材を多孔質晶相に溶浸させて
    複合金属とした真空インタラプタの電極材料の製造方法
  4. (4)マず、マルテンサイト系ステンレス鋼とモリブデ
    ンとタングステンとの混合粉末と、鋼材とを共に非酸化
    性雰囲気中に納置し、ついで、これら混合粉末および鋼
    材を銅の融点よシ低い温度で加熱して上記混合粉末の各
    金属を相互に拡散結合することによシ多孔質基材を形成
    し、ついで、銅の融点以上で、かつ、マルテンサイト系
    ステンレス鋼の融点よシ低い温度で上記多孔質基材およ
    び鋼材を加熱することによシ銅材を上記多孔質基材に溶
    浸させて複合金属とした真空インタラプタの電極材料の
    製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009041579A1 (ja) * 2007-09-27 2009-04-02 Nippon Steel Engineering Co., Ltd. 気泡塔型炭化水素反応器、及びスラリー液面検知方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5321777A (en) * 1976-08-13 1978-02-28 Hitachi Ltd Vacuum breaker electrode

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