JPS6011147A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPS6011147A JPS6011147A JP58119362A JP11936283A JPS6011147A JP S6011147 A JPS6011147 A JP S6011147A JP 58119362 A JP58119362 A JP 58119362A JP 11936283 A JP11936283 A JP 11936283A JP S6011147 A JPS6011147 A JP S6011147A
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- Japan
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- looper
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
木登ｔｇは、ライ／に走行する被検査体の表面状態を検
出する表面検査装置の改良に関する。
出する表面検査装置の改良に関する。
従来の表面検査装置は、ラインを走査する被検査体を検
査するためラインに沿って、各種検出器例えば厚み検出
器、表面検出器、穴検出器などを適宜配置し、被検査体
の等級判別の必要性からこれら俟出器からの検出信号（
検出データ）を、中央処理装置の各検出データとその被
検査体の検出位置との関係のとれるメモリいわゆるトラ
ッキング・リストに格納している。そして、このトラッ
キング・リストに格納された検出データに基づいて中央
処理装置で演算処理が行なわれて、被検査体の表面状態
の品質の検査を行なっている。
査するためラインに沿って、各種検出器例えば厚み検出
器、表面検出器、穴検出器などを適宜配置し、被検査体
の等級判別の必要性からこれら俟出器からの検出信号（
検出データ）を、中央処理装置の各検出データとその被
検査体の検出位置との関係のとれるメモリいわゆるトラ
ッキング・リストに格納している。そして、このトラッ
キング・リストに格納された検出データに基づいて中央
処理装置で演算処理が行なわれて、被検査体の表面状態
の品質の検査を行なっている。
帛
ところで、ライン終１／：！ｉｉ部で被検査体を婦接し
てコイル状に形成する。ところで、ラインの大め被検査
体の走行速度をラインの途中で久える必要があシ、ルー
パを設けだラインがある。このルーパを設けると、被検
立体の走行速度は、ルー・その入口側とルーツクの出口
側とで異なることになる。当然ルー・その形状も変化す
る。そうすると、各穂検出器からの検出データをその被
検査体の検出位置との関係をもってトラッキングリスト
に格納できなく々、ってしまう。このため、ルーパの存
在するラインの被検査体の表面扶育をするにあたって被
検査体の欠陥位置とそのュータを貯えた場所にズレが生
じる恐れがあシ、被検査体の表面の検査を正しく行えな
かった。
てコイル状に形成する。ところで、ラインの大め被検査
体の走行速度をラインの途中で久える必要があシ、ルー
パを設けだラインがある。このルーパを設けると、被検
立体の走行速度は、ルー・その入口側とルーツクの出口
側とで異なることになる。当然ルー・その形状も変化す
る。そうすると、各穂検出器からの検出データをその被
検査体の検出位置との関係をもってトラッキングリスト
に格納できなく々、ってしまう。このため、ルーパの存
在するラインの被検査体の表面扶育をするにあたって被
検査体の欠陥位置とそのュータを貯えた場所にズレが生
じる恐れがあシ、被検査体の表面の検査を正しく行えな
かった。
〔発明の目的〕
本発明は上記実イ’ｆｆに基づいてなされ／こもので、
ルーパが設けられたラインでも検出位置との関係のとれ
た各種検出器の検出データを得ることができる表面検査
装置を提供することを目的とする。
ルーパが設けられたラインでも検出位置との関係のとれ
た各種検出器の検出データを得ることができる表面検査
装置を提供することを目的とする。
本発明０、ルーパが設けられ、被検査体の走行速度が前
記ルーパの入口側と出口側とで異なるラインにあって、
前記ルーツｆの人口側および出口側に設けられた走行距
離検出手段からの検出信号に基づいて中央処理部によシ
前記被検査体の走行距離をめ、さらにこの走行距離に基
づいて前記被検査体上に設けられた各種検出器の検出ｒ
−夕の前記被検査体に対する検出位置をめて前記被検査
体の表面状態をめる表面検査装ｆｌ：；Ｃ。
記ルーパの入口側と出口側とで異なるラインにあって、
前記ルーツｆの人口側および出口側に設けられた走行距
離検出手段からの検出信号に基づいて中央処理部によシ
前記被検査体の走行距離をめ、さらにこの走行距離に基
づいて前記被検査体上に設けられた各種検出器の検出ｒ
−夕の前記被検査体に対する検出位置をめて前記被検査
体の表面状態をめる表面検査装ｆｌ：；Ｃ。
以下、本発明の一実施例について第１図ないし第４図を
参照して説明する。第１図は本発明に係る表面検査装置
の全体構成図である。第１図に示す如く被検査体ＳがＡ
方向に送られているラインには１例えば入口側の被検査
体の速度を一定にして被検査体Ｓをライン終端部でコイ
ル状にする必要性からその入側の走行速ル（を一定に保
ったまま出側の走行速度を変化させる緩衝帯いわゆるル
ーパＬＰが設けられている。このルーパＬＰは、第１図
に示す如＜ Ｂ 、 Ｂ’力方向移動することによシ、
出側における被検畳体Ｓの走行速度を変化させている。
参照して説明する。第１図は本発明に係る表面検査装置
の全体構成図である。第１図に示す如く被検査体ＳがＡ
方向に送られているラインには１例えば入口側の被検査
体の速度を一定にして被検査体Ｓをライン終端部でコイ
ル状にする必要性からその入側の走行速ル（を一定に保
ったまま出側の走行速度を変化させる緩衝帯いわゆるル
ーパＬＰが設けられている。このルーパＬＰは、第１図
に示す如＜ Ｂ 、 Ｂ’力方向移動することによシ、
出側における被検畳体Ｓの走行速度を変化させている。
また、このラインには、被検査体Ｓの表面を検査するた
めに各種検出器Ｄ１〜Ｄｎが例えば１ｍの間隔毎に配設
されている。これら各棟検出器ＤＩ〜Ｄｎは、例えば厚
み検出器、被検査体表側表面検出器、被検査体裏側表面
検出器、孔検出器および幅検出器等である。なお、各種
検出器Ｄ１〜Ｄｎの位置を定めるため、検出器Ｄ１の位
置を基準位置とする。
めに各種検出器Ｄ１〜Ｄｎが例えば１ｍの間隔毎に配設
されている。これら各棟検出器ＤＩ〜Ｄｎは、例えば厚
み検出器、被検査体表側表面検出器、被検査体裏側表面
検出器、孔検出器および幅検出器等である。なお、各種
検出器Ｄ１〜Ｄｎの位置を定めるため、検出器Ｄ１の位
置を基準位置とする。
さらに、このラインには、ルーパＬＰで蛇行している被
検査体Ｓの長さＡｘをめるため走行距離検出手段として
被検査体Ｓの溶接点を検出する溶接点検出器Ｙｌ、Ｙ２
およびパルスジェネレータＰＧＭ、ＰＣ，’が設けられ
ている。なお、走行距ＮＩＬ検出手段には、被検出体Ｓ
におけるマーク、記号あるいは材質の変化、板厚の変化
を検出する検出器を用いてもよい。
検査体Ｓの長さＡｘをめるため走行距離検出手段として
被検査体Ｓの溶接点を検出する溶接点検出器Ｙｌ、Ｙ２
およびパルスジェネレータＰＧＭ、ＰＣ，’が設けられ
ている。なお、走行距ＮＩＬ検出手段には、被検出体Ｓ
におけるマーク、記号あるいは材質の変化、板厚の変化
を検出する検出器を用いてもよい。
そして、これら検出器Ｄ１〜Ｄｎ、Ｙｌ。
Ｙ ２ （７） 検出信号およびｉ＋ルスジェネレータ
ＰＣＩ。
ＰＣＩ。
ＰＯ２のパルス信号は中央処理装置（以下、ＣＰＵと呼
ぶ）ｌＯに取込まれる。このＣＰＵ １０は第２図に示
すような構成となっている。溶接点判別部１１．１２は
、それぞれ溶接点検出器Ｙｌ、Ｙ２からの溶接点検出信
号Ｙ １ ｒ ”Ｉ ２と予め設定された溶接点レベル
値とを比較して溶接点レベル値′以上となった場合に溶
接点信号を出力する機能を持ったものである。
ぶ）ｌＯに取込まれる。このＣＰＵ １０は第２図に示
すような構成となっている。溶接点判別部１１．１２は
、それぞれ溶接点検出器Ｙｌ、Ｙ２からの溶接点検出信
号Ｙ １ ｒ ”Ｉ ２と予め設定された溶接点レベル
値とを比較して溶接点レベル値′以上となった場合に溶
接点信号を出力する機能を持ったものである。
パルス入力部１３．１４は、前記溶接点信号を受けヤパ
ルスジェネレータＰＧＭ、ＰＧ、？からのパルス信号を
取込み、走行距離演算要素１５へ送出するものである。
ルスジェネレータＰＧＭ、ＰＧ、？からのパルス信号を
取込み、走行距離演算要素１５へ送出するものである。
走行距離演算要素１５は、パルス入力部１３゜１４で取
込んだパルス信号に基づいてルーパＬＰでの長さｔＸを
めるもので、例えばアラ７゜ダウンカウンタなどが用い
られている。・ぐルス入力部ノ３で取込ん／とパルス信
号はアップカウントとなシ、パルス入力部１４で取込ん
だ・ぐルス信号はダウンカウントとなる。
込んだパルス信号に基づいてルーパＬＰでの長さｔＸを
めるもので、例えばアラ７゜ダウンカウンタなどが用い
られている。・ぐルス入力部ノ３で取込ん／とパルス信
号はアップカウントとなシ、パルス入力部１４で取込ん
だ・ぐルス信号はダウンカウントとなる。
ポインタ演算要素１６は、走行距離演算要素１５でめら
れた長さｔｘに基づいて各種検出器Ｄ１〜Ｄｎの検出信
号（本Ｑ出ｒ−タ）をトラッキングリストＭに格納する
位（Ｖｊのポインタをめるものである。ここで、トラッ
キングリストＭ ｉ−Ｊ：、検出データとその検出位置
との開係塗もって格納するもので、第３図に示すように
検出器Ｄ）から検出器Ｄｎまでの距離に対応した４１Ｙ
成となっている。仁のトラ、キングリストＭの制御語と
しては、リストサイズ、登録数、リードポインタ、ライ
トポインタがあシ、このリードポインタ、ライトポイン
タが変わることにより検出ｒ−夕の読込み、仕納位置が
変わる。第４図を参照して具体的に説明すると、例えば
ある時刻に検出器ＤＩの検出データをポインタＰノの位
ＩＮ、に格納したとする。次に被検査体Ｓが１ｍ走行す
ると、ポインタＰ１の位置に検出器Ｄ２の検出データを
格納し、ポインタＰ２の位置に検出器Ｄノの検出データ
を格納する。さらに被検査体Ｓが１ｍ走行すると、７Ｊ
？インクＰノの位置に検出器Ｄ３の検出データを格納し
、ｒインタＰ２の位置に検出器Ｄ２の検出データを格納
し、ポインタＰ３の位置に検出器ＤＪの検出データを格
納するものである。
れた長さｔｘに基づいて各種検出器Ｄ１〜Ｄｎの検出信
号（本Ｑ出ｒ−タ）をトラッキングリストＭに格納する
位（Ｖｊのポインタをめるものである。ここで、トラッ
キングリストＭ ｉ−Ｊ：、検出データとその検出位置
との開係塗もって格納するもので、第３図に示すように
検出器Ｄ）から検出器Ｄｎまでの距離に対応した４１Ｙ
成となっている。仁のトラ、キングリストＭの制御語と
しては、リストサイズ、登録数、リードポインタ、ライ
トポインタがあシ、このリードポインタ、ライトポイン
タが変わることにより検出ｒ−夕の読込み、仕納位置が
変わる。第４図を参照して具体的に説明すると、例えば
ある時刻に検出器ＤＩの検出データをポインタＰノの位
ＩＮ、に格納したとする。次に被検査体Ｓが１ｍ走行す
ると、ポインタＰ１の位置に検出器Ｄ２の検出データを
格納し、ポインタＰ２の位置に検出器Ｄノの検出データ
を格納する。さらに被検査体Ｓが１ｍ走行すると、７Ｊ
？インクＰノの位置に検出器Ｄ３の検出データを格納し
、ｒインタＰ２の位置に検出器Ｄ２の検出データを格納
し、ポインタＰ３の位置に検出器ＤＪの検出データを格
納するものである。
次に上記の如く構成された装置の動作について説明する
。ラインが稼動状態にあり、被検査体Ｓがラインに走行
している。そして、ルー／ぐＬＰがＢ 、 Ｂ’力方向
移動してその出側における被検査体Ｓの走行速度が変化
しているとする。
。ラインが稼動状態にあり、被検査体Ｓがラインに走行
している。そして、ルー／ぐＬＰがＢ 、 Ｂ’力方向
移動してその出側における被検査体Ｓの走行速度が変化
しているとする。
そこで、溶接点検出器Ｙノが被検査体Ｓの溶接点を検出
したとする。すると、溶接点判別部１ノから溶接点信号
が／？ルス入力部１３へ出力されて、パルスジェネレー
タＰＧＪの・ぐルス信号がパルス入力部１３により取込
まれて走行距離演算要素１５へ送られる。走行距離演算
要素１５ば、このパルス信号をアップカウントする。
したとする。すると、溶接点判別部１ノから溶接点信号
が／？ルス入力部１３へ出力されて、パルスジェネレー
タＰＧＪの・ぐルス信号がパルス入力部１３により取込
まれて走行距離演算要素１５へ送られる。走行距離演算
要素１５ば、このパルス信号をアップカウントする。
さらに被検査体Ｓが走行し、溶接点検出器Ｙ１で検出さ
れた溶接点が溶接点検出器Ｙ２で検出されると、溶接点
判別部１２から溶接点信号が・２ルス入力部１４へ出力
される。すると、・クルスジエネレータＰＧ２のパルス
信号が・９ルス入力部１４に取込まれて走行距自［１演
算要素１５へ送られる。これにより、走行距離演算要素
１５は、前記・クルスジエネレータＰＧＩからのパルス
・信号をアップカウントするとともにパルスジェネレー
タＰＧ２からの）４ルス信号でダウンカウントする。こ
の走行距離演算要素１５のカウント値により、長さｔｘ
がめられる。−ｆ：うして、ポインタ演算要素１６は、
この蛇行の長さｔｘに基づいて基準位置とした検出器Ｄ
Ｊから各検出器Ｄ２〜Ｄｎまでの距離をめる。そこで入
側の検出器Ｄ２〜Ｄｉは、予め所定の間隔毎に配置され
ているので、その検出ｒ−夕のポインタはｔ２〜ｔｉと
なる。一方、出側の４萌出器Ｄｉ＋ｌ〜Ｄｎは、基準位
置の検出器ＤＪから溶接点検出器Ｙノまでの距離ｔｙと
蛇行の長さｔｘと溶接点検出器Ｙ２から検出器Ｄｉ ＋
１〜Ｄｎまでの距離ｔｊ＋１〜Ａｎとの和ｔｚがポイン
タとなる。そうして、第４図に示す如く被検査体Ｓが１
ｍ走行する毎に各種検出器Ｄ Ｉ ”−＝ Ｄ ｎの検
出ｒ−りがポインタをずらしながら格納される。これに
よシ、ルー・”ＬＭ：移動し、蛇行の長さＡｘが変化し
たとしても出側の検出器Ｄｔ＋＋〜Ｄｎの検出データは
、そのポインタの位置に格納される。
れた溶接点が溶接点検出器Ｙ２で検出されると、溶接点
判別部１２から溶接点信号が・２ルス入力部１４へ出力
される。すると、・クルスジエネレータＰＧ２のパルス
信号が・９ルス入力部１４に取込まれて走行距自［１演
算要素１５へ送られる。これにより、走行距離演算要素
１５は、前記・クルスジエネレータＰＧＩからのパルス
・信号をアップカウントするとともにパルスジェネレー
タＰＧ２からの）４ルス信号でダウンカウントする。こ
の走行距離演算要素１５のカウント値により、長さｔｘ
がめられる。−ｆ：うして、ポインタ演算要素１６は、
この蛇行の長さｔｘに基づいて基準位置とした検出器Ｄ
Ｊから各検出器Ｄ２〜Ｄｎまでの距離をめる。そこで入
側の検出器Ｄ２〜Ｄｉは、予め所定の間隔毎に配置され
ているので、その検出ｒ−夕のポインタはｔ２〜ｔｉと
なる。一方、出側の４萌出器Ｄｉ＋ｌ〜Ｄｎは、基準位
置の検出器ＤＪから溶接点検出器Ｙノまでの距離ｔｙと
蛇行の長さｔｘと溶接点検出器Ｙ２から検出器Ｄｉ ＋
１〜Ｄｎまでの距離ｔｊ＋１〜Ａｎとの和ｔｚがポイン
タとなる。そうして、第４図に示す如く被検査体Ｓが１
ｍ走行する毎に各種検出器Ｄ Ｉ ”−＝ Ｄ ｎの検
出ｒ−りがポインタをずらしながら格納される。これに
よシ、ルー・”ＬＭ：移動し、蛇行の長さＡｘが変化し
たとしても出側の検出器Ｄｔ＋＋〜Ｄｎの検出データは
、そのポインタの位置に格納される。
そうして、このトラッキングリス）Ｍに格納された検出
データに基づいてＣＰ’Ｕ １０は演算処理および編集
を行なって５被検査体Ｓの表面状態例えば表面疵の敬や
穴の大きさなどがめられる。
データに基づいてＣＰ’Ｕ １０は演算処理および編集
を行なって５被検査体Ｓの表面状態例えば表面疵の敬や
穴の大きさなどがめられる。
このように本装置においては、ルー／′ＰＬＰの入側お
よび出側に設けられた溶接点検出器ＹＪ。
よび出側に設けられた溶接点検出器ＹＪ。
Ｙ２からの信号および／七ルスノエネレータＰＧＩ。
ＰＧ２からのノやルス信号に基づいてルーパＬＰによる
蛇行の長さｔＸを走行距離演算要素１５でめ、さらに、
この長さＡｘに基づいてトラッキングリストＭに格納す
る位置のポインタをポインタ演算要素１５でめて各種検
出器Ｄ１〜Ｄｎの検出データを格納するので、ルーパＬ
Ｐが移動し、出側における被検査体Ｓの走行速度が変化
しても、出側の仔ｊ出器Ｄｉ−Ｎ〜Ｄｎの検出ｒ−タと
その被検査体Ｓ上における検出位置との関係を持ってト
ラッキングリス）Ｍに格納することができる。これによ
り、ルーパＬＰの出側に配置された検出器Ｄｉ＋１〜Ｄ
１１の検出データは、被検検査体Ｓのどこの位置のデー
タなのかが判シ、ルーツ４ Ｌ Ｐの入口側および出口
側に配置された各種検出器Ｄ１〜Ｄｎの検出データによ
シ被検査体Ｓの表面状態の総合判断ができる。
蛇行の長さｔＸを走行距離演算要素１５でめ、さらに、
この長さＡｘに基づいてトラッキングリストＭに格納す
る位置のポインタをポインタ演算要素１５でめて各種検
出器Ｄ１〜Ｄｎの検出データを格納するので、ルーパＬ
Ｐが移動し、出側における被検査体Ｓの走行速度が変化
しても、出側の仔ｊ出器Ｄｉ−Ｎ〜Ｄｎの検出ｒ−タと
その被検査体Ｓ上における検出位置との関係を持ってト
ラッキングリス）Ｍに格納することができる。これによ
り、ルーパＬＰの出側に配置された検出器Ｄｉ＋１〜Ｄ
１１の検出データは、被検検査体Ｓのどこの位置のデー
タなのかが判シ、ルーツ４ Ｌ Ｐの入口側および出口
側に配置された各種検出器Ｄ１〜Ｄｎの検出データによ
シ被検査体Ｓの表面状態の総合判断ができる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではない
。たとえば浴接点検出器Ｙ １ 、 Ｙ ２をルーツ４
Ｌｐから見て、検出器Ｄ１〜Ｄｎの外側に配置しても
よい。これによシ、ポインタは、溶接点検出器Ｙ１．Ｙ
２の距ｇｔＬとなる。
。たとえば浴接点検出器Ｙ １ 、 Ｙ ２をルーツ４
Ｌｐから見て、検出器Ｄ１〜Ｄｎの外側に配置しても
よい。これによシ、ポインタは、溶接点検出器Ｙ１．Ｙ
２の距ｇｔＬとなる。
また、走行距離検出器は、溶接点検出器ＹＪ。
Ｙ２だけではなく、穴検出器、幅検出器等のもにしても
よい。さらに、この検出器は、入側と出１１１ｊとに同
じ検出器を設けなくてもよい。
よい。さらに、この検出器は、入側と出１１１ｊとに同
じ検出器を設けなくてもよい。
本発明によれは、走行距離検出器および測長器からの信
号に基づいて中央処理装置によシ被検査体の走行距離を
め、さらにこの走行距離にメト、づいて各種検出器の検
出データを、格納するメモリの位置をめて格納するので
、ルー・ぐが設けられたラインでも検出位置との関係の
とれた各種検出器の４１２出データを得ることができる
表面検査装置を提供できる。
号に基づいて中央処理装置によシ被検査体の走行距離を
め、さらにこの走行距離にメト、づいて各種検出器の検
出データを、格納するメモリの位置をめて格納するので
、ルー・ぐが設けられたラインでも検出位置との関係の
とれた各種検出器の４１２出データを得ることができる
表面検査装置を提供できる。
第１図は本発明に係る表面検査装置の一実施例を示す全
体構成図、第２図は本装置における中央処理装置の具体
的な構成図、第３図は本装置におけるトラッキングリス
トの構成図、第４図は本装置におけるトラッキングリス
トへの検出デ′−夕の格納を説明するための図である。 Ｄ１〜Ｄｎ・・・各種検出器、Ｙノ・・・溶接点検出器
、Ｙ２・・・溶接点検出器、ＰＧＩ、ＰＧ２・・・・や
ルスジェネレータ、１０・・・中央処理装置、１１．１
２・・・溶接点判別部、１３，１４・・・・ぐルス入力
部、１５・・・走行距離演算要素、１６・・・ポインタ
演算要素、１７・・・入力部、Ｍ・・・トラッキングリ
スト５Ｓ・・・被検査体。
体構成図、第２図は本装置における中央処理装置の具体
的な構成図、第３図は本装置におけるトラッキングリス
トの構成図、第４図は本装置におけるトラッキングリス
トへの検出デ′−夕の格納を説明するための図である。 Ｄ１〜Ｄｎ・・・各種検出器、Ｙノ・・・溶接点検出器
、Ｙ２・・・溶接点検出器、ＰＧＩ、ＰＧ２・・・・や
ルスジェネレータ、１０・・・中央処理装置、１１．１
２・・・溶接点判別部、１３，１４・・・・ぐルス入力
部、１５・・・走行距離演算要素、１６・・・ポインタ
演算要素、１７・・・入力部、Ｍ・・・トラッキングリ
スト５Ｓ・・・被検査体。
Claims (2)
- （１） ルーパによシ被検査体の走査速度を変化させて
いるラインでｈｕ記記構検査体表面な検査する表面検査
装置において、前記ルー・（の入口１１１１および出口
側の少なくとも一方に設けられ、前記被検査体の欠陥状
態を検出する複数の検出器と、前記ルーパの入ｌ側およ
び出側に設けられ前記ルー・鴫入側から出（；！＋１ま
での前記被皐査体の走行距離を被検査体の特定の状態か
ら検出する走行距離検出手段と、この走行距離検出手段
からの信号おまひ前記表面検出器からの信号に基づいて
前記被検査体に対する前記表面検出器の検出位置をめて
前記被検査体の状態をめる中央処理部とを具備したこと
を特徴とする表面検査装置。 - （２） 中央処理部は、前記走行距離検出手段からの信
号に基づいて前記ルーツ４の入側から出Ｉｌｌまでの前
記被検査体の走行距離をめる走行距離演算要素と、この
定行距離演算要素でめられた走行距離に基づいて前記表
面検出器からの検出ｒ−夕を格納する記憶部のアドレス
をめるポインタ演算要素とを有するものである特許請求
の範囲第（１）項記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119362A JPS6011147A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58119362A JPS6011147A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6011147A true JPS6011147A (ja) | 1985-01-21 |
Family
ID=14759614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58119362A Pending JPS6011147A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011147A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04222976A (ja) * | 1990-04-16 | 1992-08-12 | Internatl Paper Co | 混合不織布ディスケットライナ |
| US5572509A (en) * | 1992-05-26 | 1996-11-05 | Sony Corporation | Method for mounting magnetic plate to disc substrate |
| US5859834A (en) * | 1991-05-29 | 1999-01-12 | Sony Corporation | Optical disc with magnetic member in a recessed portion thereof and method for producing said optical disc |
| US5938873A (en) * | 1997-02-14 | 1999-08-17 | Racemark International, Inc. | Tooling and method for joining a heel pad to a floor mat |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP58119362A patent/JPS6011147A/ja active Pending
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