JPS633256B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS633256B2 JPS633256B2 JP449478A JP449478A JPS633256B2 JP S633256 B2 JPS633256 B2 JP S633256B2 JP 449478 A JP449478 A JP 449478A JP 449478 A JP449478 A JP 449478A JP S633256 B2 JPS633256 B2 JP S633256B2
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- scanning
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- Expired
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 34
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、紙、鉄板等の帯状移動物体の表面
に生じた傷、汚損等の欠陥を光学的に検出する欠
陥検査装置に係り、特に外来ノイズの影響を受け
ることなく欠陥の大きさを測定可能にしたもので
ある。
に生じた傷、汚損等の欠陥を光学的に検出する欠
陥検査装置に係り、特に外来ノイズの影響を受け
ることなく欠陥の大きさを測定可能にしたもので
ある。
光学的手法により帯状移動物体（以下これを試
料と記す）の表面の欠陥を検出する場合、光を試
料表面に照射し、欠陥部における反射光の乱れを
検出することによつて行う方式のもの、すなわ
ち、具体的には、スポツト状の光を試料表面に走
査し、そのときに反射光の変化を光電素子により
検知する光学的飛点法と呼ばれる方法のものが従
来から広く利用されている。
料と記す）の表面の欠陥を検出する場合、光を試
料表面に照射し、欠陥部における反射光の乱れを
検出することによつて行う方式のもの、すなわ
ち、具体的には、スポツト状の光を試料表面に走
査し、そのときに反射光の変化を光電素子により
検知する光学的飛点法と呼ばれる方法のものが従
来から広く利用されている。
第１図は上記光学的飛点法における試料と光走
査軌跡（以下走査線と云う）の間の関係を相対
的、すなわち走行試料からみた走査線として示し
たものであり、また、第２図は第１図中の一本の
走査線lpに対して光学的に得られた信号波形の一
例である。
査軌跡（以下走査線と云う）の間の関係を相対
的、すなわち走行試料からみた走査線として示し
たものであり、また、第２図は第１図中の一本の
走査線lpに対して光学的に得られた信号波形の一
例である。
また、第１図において、符号１は試料、２は試
料表面に生じている欠陥、l1〜loは走査線を示し、
第１図の如く次々と試料１上を光が走査され、そ
の走査途中に欠陥２が生じていると、この欠陥２
にかかる走査線lpに対し得られる表面検査信号
は、第２図に示す如く欠陥２上を光スポツトが移
動するに要する時間tpだけのデイツプを伴つた信
号波形となる。この時、デイツプ幅tpは走査線lp
上の欠陥幅に対応しており、また、デイツプが発
生している走査線の本数が近似的に欠陥の長さに
相当していることも明らかである。したがつて、
デイツプの発生している走査線の数および各デイ
ツプ幅を測定すれば欠陥の大きさを判定できるこ
とは明らかであり、また周知の技術として利用さ
れている。
料表面に生じている欠陥、l1〜loは走査線を示し、
第１図の如く次々と試料１上を光が走査され、そ
の走査途中に欠陥２が生じていると、この欠陥２
にかかる走査線lpに対し得られる表面検査信号
は、第２図に示す如く欠陥２上を光スポツトが移
動するに要する時間tpだけのデイツプを伴つた信
号波形となる。この時、デイツプ幅tpは走査線lp
上の欠陥幅に対応しており、また、デイツプが発
生している走査線の本数が近似的に欠陥の長さに
相当していることも明らかである。したがつて、
デイツプの発生している走査線の数および各デイ
ツプ幅を測定すれば欠陥の大きさを判定できるこ
とは明らかであり、また周知の技術として利用さ
れている。
しかしながら、このような従来技術において、
測定中に信号波形にノイズが入ると、測定結果と
しての欠陥の大きさに信頼性が無くなり、実用上
の問題となつていた。すなわち、第２図の信号波
形にノイズが重畳されて第３図のような信号波形
となつた場合、実際の欠陥デイツプ幅tpにノイズ
のデイツプ幅t3，t4，t5が加わつたtp＋t3＋t4＋t5
が欠陥幅として測定されてしまい、このことは第
４図に示す如く走査線lp上の試料表面にあたかも
欠陥３，４，５が存在しているかの如くに相当す
る測定結果となつてしまうのである。
測定中に信号波形にノイズが入ると、測定結果と
しての欠陥の大きさに信頼性が無くなり、実用上
の問題となつていた。すなわち、第２図の信号波
形にノイズが重畳されて第３図のような信号波形
となつた場合、実際の欠陥デイツプ幅tpにノイズ
のデイツプ幅t3，t4，t5が加わつたtp＋t3＋t4＋t5
が欠陥幅として測定されてしまい、このことは第
４図に示す如く走査線lp上の試料表面にあたかも
欠陥３，４，５が存在しているかの如くに相当す
る測定結果となつてしまうのである。
この発明は上記のような従来の欠点を除去し、
ノイズ誤動作の少ない欠陥検査装置を提供するこ
とを目的としたもので、ノイズの重畳した走査線
に対する検査結果を、該ノイズ重畳走査線と時間
的空間的に一定の関係を有して他の走査線による
検査結果に置換え近似させるようにしたものであ
る。
ノイズ誤動作の少ない欠陥検査装置を提供するこ
とを目的としたもので、ノイズの重畳した走査線
に対する検査結果を、該ノイズ重畳走査線と時間
的空間的に一定の関係を有して他の走査線による
検査結果に置換え近似させるようにしたものであ
る。
以下、この発明の一実施例を第５図について説
明する。第５図において、１０は光電素子からの
試料表面検査信号の波形整形器であり、この波形
整形器１０の出力側にはその出力とクロツクを受
け入れて欠陥幅をパルス数に換算計数するカウン
タ１１が接続されていると共に、上記カウンタ１
１の出力を一時的に記憶するメモリー１２を有
し、さらにカウンタ１１の出力とメモリー１２の
出力のいずれかを選択するデータセレクタ１３を
備えている。また、１４は表面検査信号に重畳さ
れたノイズを検出するノイズ検出器であり、この
ノイズ検出器１４には、例えば光走査方向に検査
域を分割して分割単位毎の連続性をチエツクする
ことによりノイズを検出する方式のもの、あるい
はローパスフイルタを通して２値化した信号と、
フイルタを通過させない生信号を２値化した信号
との論理積をとることによりノイズ検出する方式
のものなどが利用され、これら各方式は周知のも
のである。そして該ノイズ検出器１４からは、メ
モリー１２に対してはデータ読出し制御信号が、
データセレクタ１３に対してはセレクタ用の制御
信号がそれぞれ送出されるようになつている。１
５はデータセレクタ１３の出力を順次加算する加
算器であり、１６は欠陥が重畳している走査線の
本数を計数する走査線カウンタである。
明する。第５図において、１０は光電素子からの
試料表面検査信号の波形整形器であり、この波形
整形器１０の出力側にはその出力とクロツクを受
け入れて欠陥幅をパルス数に換算計数するカウン
タ１１が接続されていると共に、上記カウンタ１
１の出力を一時的に記憶するメモリー１２を有
し、さらにカウンタ１１の出力とメモリー１２の
出力のいずれかを選択するデータセレクタ１３を
備えている。また、１４は表面検査信号に重畳さ
れたノイズを検出するノイズ検出器であり、この
ノイズ検出器１４には、例えば光走査方向に検査
域を分割して分割単位毎の連続性をチエツクする
ことによりノイズを検出する方式のもの、あるい
はローパスフイルタを通して２値化した信号と、
フイルタを通過させない生信号を２値化した信号
との論理積をとることによりノイズ検出する方式
のものなどが利用され、これら各方式は周知のも
のである。そして該ノイズ検出器１４からは、メ
モリー１２に対してはデータ読出し制御信号が、
データセレクタ１３に対してはセレクタ用の制御
信号がそれぞれ送出されるようになつている。１
５はデータセレクタ１３の出力を順次加算する加
算器であり、１６は欠陥が重畳している走査線の
本数を計数する走査線カウンタである。
上記構成の回路において、第２図に示す如く欠
陥デイツプ信号の重畳した表面検査信号が送出さ
れ、この検査信号が波形整形器１０に導入される
と、パルス幅tpを有する二値信号に変換される。
そしてこのパルス幅tpはカウンタ１１によつてtp
相当のクロツクパルス数に変換計数され、その計
数データはデータセレクタ１３とメモリー１２に
それぞれ送出される。このとき、メモリー１２は
新しいデータを受け入れて記憶すると共に、望ま
しくは１本前の走査線に対する欠陥のパルス幅デ
ータをデータセレクタ１３に送り出される。すな
わち、データセレクタ１３の２つの入力は連続す
る２本の走査線に対する検査結果となつている。
かかる状態において、ノイズ検出器１４は表面検
査信号に対しては動作せず、また、このときデー
タセレクタ１３はカウンタ１１からの出力データ
を選択するように設定されているため、カウンタ
１１の出力データはデータセレクタ１３に順次取
り込まれ、加算器１５に送出し、欠陥幅として加
算計数する。
陥デイツプ信号の重畳した表面検査信号が送出さ
れ、この検査信号が波形整形器１０に導入される
と、パルス幅tpを有する二値信号に変換される。
そしてこのパルス幅tpはカウンタ１１によつてtp
相当のクロツクパルス数に変換計数され、その計
数データはデータセレクタ１３とメモリー１２に
それぞれ送出される。このとき、メモリー１２は
新しいデータを受け入れて記憶すると共に、望ま
しくは１本前の走査線に対する欠陥のパルス幅デ
ータをデータセレクタ１３に送り出される。すな
わち、データセレクタ１３の２つの入力は連続す
る２本の走査線に対する検査結果となつている。
かかる状態において、ノイズ検出器１４は表面検
査信号に対しては動作せず、また、このときデー
タセレクタ１３はカウンタ１１からの出力データ
を選択するように設定されているため、カウンタ
１１の出力データはデータセレクタ１３に順次取
り込まれ、加算器１５に送出し、欠陥幅として加
算計数する。
一方、第３図のようにノイズが重畳した表面検
査信号が波形整形器１０を通してカウンタ１１に
入力されると、カウンタ１１はtp＋t3＋t4＋t5の
パルス幅に相当するクロツクパルスを計数し、こ
れをデータセレクタ１３に送出する。このとき、
ノイズ検出器１４が第３図の信号波形中のノイズ
に対し動作し、メモリー１２への上記ノイズを含
むクロツク計数データの取り込みを禁止すると共
に、データセレクタ１３はノイズ検出器からの制
御信号によりメモリー１２のデータを取り込むよ
うに設定され、そしてメモリー１２に対しては読
出し指令が与えられる。従つてデータセレクタ１
３の出力としてメモリー１２の出力、すなわち１
本前の走査線に対する測定結果を取出し、これを
加算器１５に送り出す。また走査線カウンタ１６
は欠陥の重畳している走査線の本数で計数する。
このことは欠陥の長さを走査線間隔を基準にして
計測していることに相当する。
査信号が波形整形器１０を通してカウンタ１１に
入力されると、カウンタ１１はtp＋t3＋t4＋t5の
パルス幅に相当するクロツクパルスを計数し、こ
れをデータセレクタ１３に送出する。このとき、
ノイズ検出器１４が第３図の信号波形中のノイズ
に対し動作し、メモリー１２への上記ノイズを含
むクロツク計数データの取り込みを禁止すると共
に、データセレクタ１３はノイズ検出器からの制
御信号によりメモリー１２のデータを取り込むよ
うに設定され、そしてメモリー１２に対しては読
出し指令が与えられる。従つてデータセレクタ１
３の出力としてメモリー１２の出力、すなわち１
本前の走査線に対する測定結果を取出し、これを
加算器１５に送り出す。また走査線カウンタ１６
は欠陥の重畳している走査線の本数で計数する。
このことは欠陥の長さを走査線間隔を基準にして
計測していることに相当する。
上記のような信号処理は、すなわちノイズが重
畳している走査線による測定データを破棄し、メ
モリー１２に記憶されている１本前の走査線のデ
ータに置換えることを意味する。すなわち、実際
の欠陥検査においては、欠陥分解能の観点から走
査線間隔を非常に小さくしているため、隣接する
走査線間での表面欠陥測定結果に大差が出る可能
性は非常に少なく、ノイズの重畳している走査線
のデータを隣接走査線のデータで近似できるもの
であり、したがつてノイズを読み込むことがな
く、測定結果の誤差も少なくすることができるの
である。
畳している走査線による測定データを破棄し、メ
モリー１２に記憶されている１本前の走査線のデ
ータに置換えることを意味する。すなわち、実際
の欠陥検査においては、欠陥分解能の観点から走
査線間隔を非常に小さくしているため、隣接する
走査線間での表面欠陥測定結果に大差が出る可能
性は非常に少なく、ノイズの重畳している走査線
のデータを隣接走査線のデータで近似できるもの
であり、したがつてノイズを読み込むことがな
く、測定結果の誤差も少なくすることができるの
である。
なお、この発明は上記第５図の実施例に限定さ
れるものではなく、具体的な回路構成上の機能追
加等の変更、さらにはブロツク構成においても隣
接する走査線のデータを利用するという概念に基
づく種々の変更、例えばブロツク間の信号の流れ
の順の変更、データセレクタを利用せずにノイズ
発生時にカウンタの読み込みを停止して新しいデ
ータを入れないようにするなどの変更、またはノ
イズの重畳した走査線のデータの代りに、どの走
査線のデータを利用するか等は任意であり、この
発明の特許請求の範囲を逸脱しない範囲内で任意
に変更し得るものである。
れるものではなく、具体的な回路構成上の機能追
加等の変更、さらにはブロツク構成においても隣
接する走査線のデータを利用するという概念に基
づく種々の変更、例えばブロツク間の信号の流れ
の順の変更、データセレクタを利用せずにノイズ
発生時にカウンタの読み込みを停止して新しいデ
ータを入れないようにするなどの変更、またはノ
イズの重畳した走査線のデータの代りに、どの走
査線のデータを利用するか等は任意であり、この
発明の特許請求の範囲を逸脱しない範囲内で任意
に変更し得るものである。
以上のようにこの発明においては、走査線に対
して得られる表面検査信号に対し、ノイズの重畳
の有無を判定しノイズが重畳した走査線に対する
測定結果を、ノイズの重畳されない隣接走査線に
対する測定結果で代用させるようにしたので、ノ
イズ成分を除去し正規の欠陥部分のみを抽出する
回路手段が不要となり、除去できないノイズへの
対応が可能になると共に、ノイズ誤動作が無く近
似誤差の少ない表面欠陥検査が可能となり実用性
に優れたものとなる。
して得られる表面検査信号に対し、ノイズの重畳
の有無を判定しノイズが重畳した走査線に対する
測定結果を、ノイズの重畳されない隣接走査線に
対する測定結果で代用させるようにしたので、ノ
イズ成分を除去し正規の欠陥部分のみを抽出する
回路手段が不要となり、除去できないノイズへの
対応が可能になると共に、ノイズ誤動作が無く近
似誤差の少ない表面欠陥検査が可能となり実用性
に優れたものとなる。
第１図は帯状走行試料と走査線との関係を示す
説明図、第２図および第３図は表面欠陥検査信号
の例を示す波形図、第４図はノイズを試料表面上
の欠陥に置換えた場合の説明図、第５図はこの発
明にかかる欠陥検査装置の一例を示すブロツク図
である。 １……帯状走行試料、２……欠陥、１０……波
形整形器、１１……カウンタ、１２……メモリ
ー、１３……データセレクタ、１４……ノイズ検
出器、１５……加算器、１６……走査線カウン
タ。
説明図、第２図および第３図は表面欠陥検査信号
の例を示す波形図、第４図はノイズを試料表面上
の欠陥に置換えた場合の説明図、第５図はこの発
明にかかる欠陥検査装置の一例を示すブロツク図
である。 １……帯状走行試料、２……欠陥、１０……波
形整形器、１１……カウンタ、１２……メモリ
ー、１３……データセレクタ、１４……ノイズ検
出器、１５……加算器、１６……走査線カウン
タ。
Claims (1)
- １ 被検査物体に光学的飛点法による走査線を走
査して欠陥部の面積判定により被検査物体の欠陥
検査を行うものにおいて、走査中の走査線からの
欠陥検査データを測定するカウンターと、該走査
中の走査線の１本前あるいは隣接する走査線によ
る被検査物体の欠陥検査データを記憶するメモリ
ーと、光走査による検査データ中に重畳されたノ
イズを検出するノイズ検出器と、上記ノイズ検出
器からの出力信号によつてノイズの重畳した走査
線に対する検査データを測定するカウンタからの
データの取り込みをカツトし、カツトされた走査
線に対するデータの代用として上記メモリーに記
憶された非ノイズ検査データを置換える手段とを
備え、これにより欠陥の大きさを近似的に測定す
るようにしたことを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP449478A JPS5497483A (en) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Defect inspector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP449478A JPS5497483A (en) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Defect inspector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5497483A JPS5497483A (en) | 1979-08-01 |
| JPS633256B2 true JPS633256B2 (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=11585620
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP449478A Granted JPS5497483A (en) | 1978-01-18 | 1978-01-18 | Defect inspector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5497483A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206241A (ja) * | 1988-02-12 | 1989-08-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 欠陥検出方法 |
| JP5450175B2 (ja) * | 2010-03-10 | 2014-03-26 | 本田技研工業株式会社 | 非破壊検査装置 |
-
1978
- 1978-01-18 JP JP449478A patent/JPS5497483A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5497483A (en) | 1979-08-01 |
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