JPS59157507A - 形状欠陥検出装置 - Google Patents
形状欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS59157507A JPS59157507A JP3230383A JP3230383A JPS59157507A JP S59157507 A JPS59157507 A JP S59157507A JP 3230383 A JP3230383 A JP 3230383A JP 3230383 A JP3230383 A JP 3230383A JP S59157507 A JPS59157507 A JP S59157507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- delay circuit
- correlator
- unevenness
- television camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は例えば日時形物体のような少なくとも一方向に
ついて凹凸変化のない被検量面を有する被検査物の形状
欠陥を検出するようにした形状欠陥検出装置に関するも
のである。
ついて凹凸変化のない被検量面を有する被検査物の形状
欠陥を検出するようにした形状欠陥検出装置に関するも
のである。
従来、物体の形状測定を行なうに際しては、まず２次元
受光素子（例えば撮像管）を用いて把えた画像に対して
Ａ／Ｄ変換を行ない、ｉｔｔ算機内のメ七り上に物体の
被検査面の状態を画像データとして取込んで、その後画
像処理の技法を用いて図形認識を行ない欠陥部を捜すも
のである。しかるにこの方法では画像データを記憶する
ために、一般に５００ｘ５００＝２５０にピット程度の
大容量のメ七りが必要であり、筐だ画素間の論理演算等
の処理に膨大な時間とメｔす′ｇ量が心安とされるとい
う問題があった。
受光素子（例えば撮像管）を用いて把えた画像に対して
Ａ／Ｄ変換を行ない、ｉｔｔ算機内のメ七り上に物体の
被検査面の状態を画像データとして取込んで、その後画
像処理の技法を用いて図形認識を行ない欠陥部を捜すも
のである。しかるにこの方法では画像データを記憶する
ために、一般に５００ｘ５００＝２５０にピット程度の
大容量のメ七りが必要であり、筐だ画素間の論理演算等
の処理に膨大な時間とメｔす′ｇ量が心安とされるとい
う問題があった。
本発明は上述のような問題点を解決するため忙為された
ものであり、被検査物の形状を比較的簡単なものに絞り
、処理の簡易化および高速化を実現できるようにした形
状欠陥検出装置を提供することを目的とするものである
。
ものであり、被検査物の形状を比較的簡単なものに絞り
、処理の簡易化および高速化を実現できるようにした形
状欠陥検出装置を提供することを目的とするものである
。
以下不発り」の構成を図示実施例について説明すると、
第１図に示すように少なくとも一方向について凹凸変化
のない被検査面を有する被検査′物（１）の被検査面に
対して光を照射する点光源（２）と、点光源（２）と被
検査物＋１）との間に配設され、被検査面の凹凸変化の
ない方向と平行な遮光性のある格子線を多数本有する格
子フィルタ（３）と、被検査物（１）からの反射光を格
子フィルタ（３）を介して受光するテレビカメラ（４）
と、テレビカメラ（４）からの映像信号出力を水平走査
期間の整数倍の時間だけ遅延させる遅延回路（５）と、
テレビカメラ（４）および遅延回路（５）の各出力の相
関値を算出する相関器（６）とを有するものである。本
実施例にあっては被検査物ｉ１１は円筒状の物体であり
、高さ方向については凹凸変化がないものである。この
被検査物（１）は］コシベア７）上を水平方向に移送さ
れるようになっており、コシベア（７）の移送方向側方
に設けられだ点光源（２）から格子フィルタ（３）を介
して光を照射されるものである。被検査物（１）からの
反射光は再び格子フィルタ（３）を通ってテレビカメラ
（４）により受光きれる。このテレビカメラ（４）によ
って撮像される画像には第２図に不すように七アレ縞に
よる等高線Ｓが生じる。テレビカメラ（４）から出力さ
れる映像信号は、ＣＣＩ〕遅延線よりなる遅延回路（５
）によって水平走査期間のＮ倍（Ｎ＝１．２．３、・・
・・・・・・・）の期間だけ遅延される。この遅延回路
（５）からの出力およびテレビカメラ（４）からの映像
信号−出力は、それぞれＡ／Ｄ変換器（８）および（９
）によってｎピットのデジタル信号に変換され、相関器
（６）によって相関値を算出される。そしてこの相関値
は］シバレータ１１０１に入力されて、所定の基準値よ
りも大きいかどうかを比較され、相関値が基準値よりも
高ければ良品（ＧＯ）、低ければ不良品（Ｎｏ）と判定
されるものである。第２図は本発明の動作説明図である
。壕ず第２図（ａ）は良品の場合における七アレ縞によ
る等高線Ｓと、ラインＡ、Ｂにおける各映像信号の波形
を示している。同図より明らかなように、良品の場合に
は等高線Ｓは互いに平行になり、したがって任意の２つ
のラインＡ。
第１図に示すように少なくとも一方向について凹凸変化
のない被検査面を有する被検査′物（１）の被検査面に
対して光を照射する点光源（２）と、点光源（２）と被
検査物＋１）との間に配設され、被検査面の凹凸変化の
ない方向と平行な遮光性のある格子線を多数本有する格
子フィルタ（３）と、被検査物（１）からの反射光を格
子フィルタ（３）を介して受光するテレビカメラ（４）
と、テレビカメラ（４）からの映像信号出力を水平走査
期間の整数倍の時間だけ遅延させる遅延回路（５）と、
テレビカメラ（４）および遅延回路（５）の各出力の相
関値を算出する相関器（６）とを有するものである。本
実施例にあっては被検査物ｉ１１は円筒状の物体であり
、高さ方向については凹凸変化がないものである。この
被検査物（１）は］コシベア７）上を水平方向に移送さ
れるようになっており、コシベア（７）の移送方向側方
に設けられだ点光源（２）から格子フィルタ（３）を介
して光を照射されるものである。被検査物（１）からの
反射光は再び格子フィルタ（３）を通ってテレビカメラ
（４）により受光きれる。このテレビカメラ（４）によ
って撮像される画像には第２図に不すように七アレ縞に
よる等高線Ｓが生じる。テレビカメラ（４）から出力さ
れる映像信号は、ＣＣＩ〕遅延線よりなる遅延回路（５
）によって水平走査期間のＮ倍（Ｎ＝１．２．３、・・
・・・・・・・）の期間だけ遅延される。この遅延回路
（５）からの出力およびテレビカメラ（４）からの映像
信号−出力は、それぞれＡ／Ｄ変換器（８）および（９
）によってｎピットのデジタル信号に変換され、相関器
（６）によって相関値を算出される。そしてこの相関値
は］シバレータ１１０１に入力されて、所定の基準値よ
りも大きいかどうかを比較され、相関値が基準値よりも
高ければ良品（ＧＯ）、低ければ不良品（Ｎｏ）と判定
されるものである。第２図は本発明の動作説明図である
。壕ず第２図（ａ）は良品の場合における七アレ縞によ
る等高線Ｓと、ラインＡ、Ｂにおける各映像信号の波形
を示している。同図より明らかなように、良品の場合に
は等高線Ｓは互いに平行になり、したがって任意の２つ
のラインＡ。
−５＝
Ｂにおける映像信号同士の相関値は高い。一方第２図（
ｂ）は不良品の場合における七アレ縞による等高線Ｓと
ラインＣ，Ｄにおける各映像信号波形を示している。同
図より明らかなように、不良品の場合には、ふくれや凹
みのような形状欠陥Ｐの存在する部分において七アレ縞
による等高線Ｓが乱れ、したがって２つのラインＣ，Ｄ
における映像信号出力の相関は低い。このラインＡ、Ｂ
やラインＣ，Ｄの間隔は、遅延回路（５）を構成するＣ
ＣＤ遅延線の直列接続により調整可能であり、形状欠陥
の平均的な大きさと同じ程度あるいはそれよりも少し小
さい程度に設定しておけばよい。また相関値がどの程度
以上あれば良品と判定するかは］シバレータ（１０）に
おいて任意に設定できるものである。なお七アレ縞によ
る等高線Ｓは良品の場合において互いに平行であれはよ
く、等間隔である必要はない。したがって本発明にあっ
ては、少なくとも一方向について凹凸変化のない被検査
面を有する被検査物ｆｉ＋であれば形状欠陥の有無を検
査できるものであり、被検査物ｆ１１の形状は円筒形の
物４一 体に限らず、また被検査面は凹面でも凸面でもかまわな
いものである。
ｂ）は不良品の場合における七アレ縞による等高線Ｓと
ラインＣ，Ｄにおける各映像信号波形を示している。同
図より明らかなように、不良品の場合には、ふくれや凹
みのような形状欠陥Ｐの存在する部分において七アレ縞
による等高線Ｓが乱れ、したがって２つのラインＣ，Ｄ
における映像信号出力の相関は低い。このラインＡ、Ｂ
やラインＣ，Ｄの間隔は、遅延回路（５）を構成するＣ
ＣＤ遅延線の直列接続により調整可能であり、形状欠陥
の平均的な大きさと同じ程度あるいはそれよりも少し小
さい程度に設定しておけばよい。また相関値がどの程度
以上あれば良品と判定するかは］シバレータ（１０）に
おいて任意に設定できるものである。なお七アレ縞によ
る等高線Ｓは良品の場合において互いに平行であれはよ
く、等間隔である必要はない。したがって本発明にあっ
ては、少なくとも一方向について凹凸変化のない被検査
面を有する被検査物ｆｉ＋であれば形状欠陥の有無を検
査できるものであり、被検査物ｆ１１の形状は円筒形の
物４一 体に限らず、また被検査面は凹面でも凸面でもかまわな
いものである。
本発明は叙上のように構成てれており、少なくとも一方
向について凹凸変化のない被検査面を有する被検査物の
被検査面に対して光を照射する点光源と、点光源と被検
査物との間に配設され、被検査面の凹凸変化のない方向
と平行な遮光性のある格子線を多数本有する格子フィル
タと、被検査物からの反射光を格子フィルタを介して受
光するテレビカメラと、テレビカメラからの映像信号出
力を水平走査期間の整数倍の時間だけ遅延はせる遅延回
路と、テレビカメラおよび遅延回路の各出力の相関値を
算出する相関器とを有するものであるから、遅延回路と
相関器という比較的簡単な回路構成によって画像処理を
行なうことができ、従来のように大容量の画像メ七りや
複雑な論理論算回路を必要とせず、構成を簡単化するこ
とができると共に処理速度が高速化されて実時間処理（
リアルタイム処理）が可能となるという効果があり、昔
た七アレ縞を作るだめの格子フィルタとして適当な格子
間隔のものを使用すれば、数十μｍ〜数ｍｍ程度の凹凸
を容易に検出することができ、コンベア上を流れる被検
査物の良否判定を充分に実用的な絹度でしかも迅速に行
なうことができるという効果がある。
向について凹凸変化のない被検査面を有する被検査物の
被検査面に対して光を照射する点光源と、点光源と被検
査物との間に配設され、被検査面の凹凸変化のない方向
と平行な遮光性のある格子線を多数本有する格子フィル
タと、被検査物からの反射光を格子フィルタを介して受
光するテレビカメラと、テレビカメラからの映像信号出
力を水平走査期間の整数倍の時間だけ遅延はせる遅延回
路と、テレビカメラおよび遅延回路の各出力の相関値を
算出する相関器とを有するものであるから、遅延回路と
相関器という比較的簡単な回路構成によって画像処理を
行なうことができ、従来のように大容量の画像メ七りや
複雑な論理論算回路を必要とせず、構成を簡単化するこ
とができると共に処理速度が高速化されて実時間処理（
リアルタイム処理）が可能となるという効果があり、昔
た七アレ縞を作るだめの格子フィルタとして適当な格子
間隔のものを使用すれば、数十μｍ〜数ｍｍ程度の凹凸
を容易に検出することができ、コンベア上を流れる被検
査物の良否判定を充分に実用的な絹度でしかも迅速に行
なうことができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は同上
の動作説明図である。 ＋１１は被検査物、（２）は点光源、（３）は格子フィ
ルタ、（４）はテレビカメラ、（６）は遅延回路、（６
）は相関器である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 （ａ） Ｓ ／ ２図 （ｂ） ＼
の動作説明図である。 ＋１１は被検査物、（２）は点光源、（３）は格子フィ
ルタ、（４）はテレビカメラ、（６）は遅延回路、（６
）は相関器である。 代理人 弁理士 石 １）長 七 （ａ） Ｓ ／ ２図 （ｂ） ＼
Claims (1)
- ［１１少なくとも一方向について凹凸変化のない被検食
面を有する被検査物の被検査面に対して光を照射する点
光源と、点光源と被検査物との間に配設され、被検査面
の凹凸変化のない方間と平行な遮光性のめる格子線を多
数本有する格子フィルタと、被検食物からの反射光を格
子フィルタを介して受光するテレビカメラと、テレビカ
メラからの映像信号出力全水平走置期間の整数倍の時間
たけ遅延させる遅延回路と、テレビカメラおよび遅延回
路の各出力の相関１直を算出する相関器とを有して成る
ことを特徴とする形状欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3230383A JPS59157507A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 形状欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3230383A JPS59157507A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 形状欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59157507A true JPS59157507A (ja) | 1984-09-06 |
Family
ID=12355176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3230383A Pending JPS59157507A (ja) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | 形状欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59157507A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60152907A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Anritsu Corp | 物体の形状もしくは配列の不整検出装置 |
| JPS60152908A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Anritsu Corp | 物体の形状不整検出装置 |
| JPS60174908A (ja) * | 1984-02-21 | 1985-09-09 | Anritsu Corp | 表面の規則性検査装置 |
| US5383025A (en) * | 1990-04-23 | 1995-01-17 | European Vision Systems Centre Limited | Optical surface flatness measurement apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52127351A (en) * | 1976-04-19 | 1977-10-25 | Agency Of Ind Science & Technol | Automatic roughness detector |
| JPS5498291A (en) * | 1978-01-20 | 1979-08-03 | Toshiba Corp | Simple type sonic flaw detector |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP3230383A patent/JPS59157507A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52127351A (en) * | 1976-04-19 | 1977-10-25 | Agency Of Ind Science & Technol | Automatic roughness detector |
| JPS5498291A (en) * | 1978-01-20 | 1979-08-03 | Toshiba Corp | Simple type sonic flaw detector |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60152907A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Anritsu Corp | 物体の形状もしくは配列の不整検出装置 |
| JPS60152908A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Anritsu Corp | 物体の形状不整検出装置 |
| JPH041848B2 (ja) * | 1984-01-20 | 1992-01-14 | Anritsu Corp | |
| JPH041847B2 (ja) * | 1984-01-20 | 1992-01-14 | Anritsu Corp | |
| JPS60174908A (ja) * | 1984-02-21 | 1985-09-09 | Anritsu Corp | 表面の規則性検査装置 |
| US5383025A (en) * | 1990-04-23 | 1995-01-17 | European Vision Systems Centre Limited | Optical surface flatness measurement apparatus |
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