JPS5997060A - プロ−ブ装置 - Google Patents

プロ−ブ装置

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Publication number
JPS5997060A
JPS5997060A JP20741382A JP20741382A JPS5997060A JP S5997060 A JPS5997060 A JP S5997060A JP 20741382 A JP20741382 A JP 20741382A JP 20741382 A JP20741382 A JP 20741382A JP S5997060 A JPS5997060 A JP S5997060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
measured
main body
probe
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP20741382A
Other languages
English (en)
Inventor
Takuya Nishimura
拓也 西村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP20741382A priority Critical patent/JPS5997060A/ja
Publication of JPS5997060A publication Critical patent/JPS5997060A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は電子回路における電気信号測定用のプローブ装
置の改良に関する。
[発明の技術的背景] 従来この種のプローブ装置としては、第1図に示すよう
に、絶縁性のスリーブからなるプローブ本体1の先端か
ら検出針2を突出させ、この検出針2先端を回路基板3
上に形成された回路パターンの電極4に接触して測定す
る構成のものが知られている。
また一方、第2図に示すように、プローブ本体1から先
端を鍵形に折曲した検出針5を突出させ、その検出針5
先端を回路基板3の電極4に半田付けされた電子部品6
のリードピン7に引掛けるように接触させて測定する構
成もある。
[背景技術の問題点コ しかしながら、このような従来のプローブ装置にあって
は、検出針2.5先端を回路基板3上の電極4に点接触
するかもしくは電子部品6のり−ドビン7に引掛けるよ
うにして使用するので、目的とする電極4やリードピン
7と接触もしくは離間することは簡単であるが、電極4
やリードピン7との接触不良を起こし易い欠点がある。
[発明の目的] 本発明はこのような従来の欠点を解決するためになされ
たもので、電子回路における電極等の被測定部へ接触不
良なく確実に接触することの可能で構造の簡単なプロー
ブ装置の提供を目的とする。
[発明の概要] すなわち本発明は、少なくとも被測定部に接続する接触
部に中空部を形成したプローブ本体と、この中空部に連
結されその中空部内を減圧する排気手段とを具備し、上
記接触部を上記被測定部部分に吸着させてその被測定部
の信号を測定可能に構成してなることを特徴とする。
[発明の実施例] 以下本発明の詳細を図面を参照して説明する。
第3図は本発明のプローブ装置の一実施例を示す図であ
る。図においてプローブ本体8は、例えばアルミニウム
によって中空部9を有する筒形に成形され、先端部が小
径となっている。
プローブ本体8の外周には、測定中の作業者や他の電子
部品が接触しても安全かつ正確な測定が実施できるよう
に、プローブ本体8先端部すなわち後述する被測定部と
接触する接触部10を除いて絶縁層(図示省略)を形成
するとよい。
プローブ本体8の中空部9には中空部9内を減圧する排
気装置11が連結されている。この排気装置11は1、
プローブ本体8の接触部10を回路基板3上に形成した
回路パターンの電極4すなわち被測定部へ接触させた時
に中空部9内を減圧して接触部10を電極4に吸着させ
る機能を有するとともに、測定後、中空部9内の減圧を
解除する解除手段を備えている。
また、プローブ本体8には接触部10に接続され、電極
4の電流や電圧等の電気信号を測定する従来公知の測定
装置12が接続される。なお、測定装置12は、排気装
置11内に組込むことも可能である。
このように構成された本発明のプローブ装置は、第3図
を参考にして説明するならば、プローブ本体8の接触部
10を、回路基板3の電極4に当接させ、排気装置11
を動作させて中空部9内を減圧する。
すると、プローブ本体8の接触部10は電極4に吸着す
るので、プローブ本体8の接触部10が自動的に電極4
に圧接して、測定装置12で正確かつ安定な測定がなさ
れる。
このように本発明のプローブ装置は、プローブ本体8の
中空部9に連結した排気装置11によって中空部9内を
減圧するので、接触部10と電極4が自動的に圧着され
、接触不良を生じ難くなる。
第4図および第5図は本発明のプローブ装置の他の実施
例を示すもので、第4図に示すプローブ装置は、プロー
ブ本体8の先端をラッパ状に拡開して構成したものであ
る。
このようにプローブ本体8の接触部10を拡開するよう
に構成すれば、プローブ本体8の接触部10と被測定部
との圧着が極めて確実となる。
また、第5図に示すプローブ装置は、プローブ本体8の
先端部に、別部材としての接触部13をばね部材14を
介して嵌め合せることにより、プローブ本体8の接触部
13と被測定部を弾性的に圧着することが可能となり、
被測定部の損傷を防止することが可能である。
なお、本発明の実施にあたっては、プローブ本体8内す
べてに中空部9を形成する必要はなく、電極4等の被測
定部に接触する接触部10.13部分に少なくとも中空
部9を形成し、この中空部9を減圧するように排気手段
としての排気装置11を連結すれば本発明の目的達成は
可能である。
さらにまた、被測定部と接触する接触部13は、第5図
に示すようにばね部材によって弾性的に接触可能に構成
する場合に限らず、導電ゴム等の弾力性の良好な材料を
選択して構成することによっても可能であり、任意に選
定することができる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明のプローブ装置は、プローブ
本体の少なくとも被測定部に接続する接触部に中空部を
形成し、この中空部内を減圧する排気手段を連結し、そ
の接触部をその被測定部部分に吸着させて測定可能に構
成したので、プローブ本体の接触部を被測定部へ正確か
つ確実に圧接することができる。そのためプローブ本体
と被測定部の接触不良が生じ難く、確実かつ安定した測
定を行なうことができる。
また、プローブ本体の接触部を被測定部へ弾性的に接触
可能に構成する場合には、被測定部の損傷を防止できる
のみならず、被測定部に多少の凹凸があっても、接触部
と被測定部間の圧着状態を維持することが可能となり、
色々な状態の被測定部の測定も容易となる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来のプローブ装置を示す正面図
、第3図は本発明のプローブ装置の一実施例を示す図、
第4図および第5図は本発明のプローブ本体の他の実施
例を示す断面図である。 1.8・・・・・・プローブ本体 2.5・・・・・・検出針 3・・・・・・・・・・・・回路基板 4・・・・・・・・・・・・電 極 6・・・・・・・・・・・・電子部品 9・・・・・・・・・・・・中空部 10.13・・・接触部 11・・・・・・・・・・・・排気手段(排気装置)代
理人弁理士   須 山 佐 −

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)少なくとも被測定部に接続する接触部に中空部を
    形成したプローブ本体と、前記中空部に連結されその中
    空部内を減圧する排気手段とを具備し、前記接触部を前
    記被測定部に吸着させてその被測定部の信号を測定可能
    に構成してなることを特徴とするプローブ装置。
  2. (2)接触部が被測定部に弾性的に接触可能に構成され
    てなることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のプ
    ローブ装置。
JP20741382A 1982-11-26 1982-11-26 プロ−ブ装置 Pending JPS5997060A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20741382A JPS5997060A (ja) 1982-11-26 1982-11-26 プロ−ブ装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP20741382A JPS5997060A (ja) 1982-11-26 1982-11-26 プロ−ブ装置

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Publication Number Publication Date
JPS5997060A true JPS5997060A (ja) 1984-06-04

Family

ID=16539329

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20741382A Pending JPS5997060A (ja) 1982-11-26 1982-11-26 プロ−ブ装置

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JP (1) JPS5997060A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009014357A3 (en) * 2007-07-25 2009-03-19 Korea Mach & Materials Inst Concentric buckling based vertical probe and its fabrication method

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