JPH0357211A

JPH0357211A - 電子ビーム描画装置用試料ホルダー

Info

Publication number: JPH0357211A
Application number: JP19302489A
Authority: JP
Inventors: Futoshi Makita; 牧田　太
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1989-07-25
Filing date: 1989-07-25
Publication date: 1991-03-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は集積回路部品やフォトマスクの製造において、
電子線によるリソグラフィー工程に使用する電子ビーム
描画装置用試料ホルダーに関する．〔従来の技術〕電子ビーム描画装置は、電子線を試料であるウェハやマ
スクなどの上に塗布した電子線感光レジストに照射して
、高い位置精度の回路パターンを描画する装置である．
試料は、いろいろな大きさや厚さや形があるため、直接
電子ビーム描画装置のＸＹステージに固定するのは困難
である。このため試料の形状別に製作した試料ホルダー
にまず固定する．試料ホルダーは外形が同じなため、あ
らかじめその外形に合わせて設計されたＸＹステージに
容易に挿入，固定することができる。

従来の電子ビーム描画装置の試料ホルダー及ひ゜試料の
一例として、第３図（ａ）に試料ホルダー１及びマスク
２の斜視図を示す。試料ホルダー１は、全て導電性であ
る金属からできている。このマスク２を試料ホルダー１
上の溝に挿入，固定した斜視図を第３図（ｂ）に示す。

接地針３は、マスク２の表面にその先端が刺さっている
。

第３図（ｂ）のＩ−Ｉ間の断面図である第３図（ｃ）で
接地針３の機能を説明する。電子ビーム描画装置は、電
子線感光レジスト５と金属膜６と石英基板７からなるマ
スク２に電子Ｍ４を入射する。電子線４は、電子線感光
レジスト５に入射してこれを感光させる。入射後の電子
線４の電子は、金属膜６に流入する。金属膜６中の電子
は、下が絶縁体の石英基板７、上が絶縁体の電子線感光
レジスト５であるためこのままでは流出ができない。金
属ｐＡ６中に電子が蓄積されると、帯電して電界を発生
し、入射して来る電子線４を偏向させるので正確な露光
ができなくなる．これを防止するため、先端がとがった
金属性の接地針３が電子線感光レジスト５を刺し通して
金属膜６に接触されていて、ここから電子を試料ホルダ
ー１に流出させている。ただしこの接触は、接地針３の
先端が摩耗したり曲がったり異物が付着したりすると導
通が無くなったり、抵抗がＩＭΩ以上に大きくなるので
導通検査が必要であった。

第３図（ｄ）に従来の接地針３と金属膜６の間の導通検
査を説明する．抵抗計８〈所定の抵抗値以下で鳴るよう
に設定された導通検出器でも良い〉は、ブローブ９の先
端をマスク２の端面に接触させることにより電流を金属
Ｍ６に流し、接地針３を通して試料ホルダー１に流す．
試料ホルダー１は、抵抗計８のマイナス端子が接続され
ている金属テーブ１０が貼付けられた台の上に乗ってい
るのでマイナス端子へ電流が流れる。ブローブ９の先端
とマスク２の端面が導通が良いなら、接地針３と金属膜
６の間の抵抗値である３０Ω〜のだけが大きいので、こ
の測定系で接地針３と金属層６の間の抵抗値が測定でき
、所定の抵抗値以下であるかが検査できる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし従来の導通検査は、プローブ９の先端を手でマス
ク２の端面の厚さｌミクロン以下の金属膜の端に点接触
させなければならなかったので以下のような問題点があ
った。

■ブローブ９をマスク２上に直接接触させるため、手や
プローブ９から落ちた塵埃がマスク２の上に落ちて、露
光時に電子線４の妨げになる．■ブローブ９は、第３図
（Ｃ）のマスク２の端面の面取りした部分の厚さ１ミク
ロン以下の金属膜６に接触させなければならないので、
電子線感光レジスト５が表面に付着していたり、接触さ
せる角度が不適当だと接触不良になる。

■手の微動によるプローブ９の先端とマスク２の端面の
接触状態の変化により、測定している抵抗値の安定性が
悪い。

■露光前後の抵抗値の変化を測定する場合、プローブ９
の先端とマスク２の端面の接触点が同じ位置にできない
ので接触状態が変わってしまい、抵抗値の再現性が悪い
。

上述した従来の試料ホルダーに対し、本発明は抵抗計や
導通検出器の十一端子に対応して２群に分けられた接地
針を持つ試料ホルダーを提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、電子ビーム描画を行なう際に電子線感光レジ
ストを塗布した試料を固定する金属製の電子ビーム描画
装置用試料ホルダーにおいて、前記ホルダーに固定され
る２本の接地針のうち１本をホルダーと電気的に絶縁し
て固定し、この絶縁された端子を前記試料の金属膜の導
通検査を行なうための一方の接触端子とした電子ビーム
描画装置用試料ホルダーであ−る．〔実施例〕次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図（ａ）は、本発明の電子ビーム描画装置用試料ホ
ルダーの第１実施例の斜視図、第ｌ図（ｂ）はその■一
■における部分断面図である。

接地針ｌ１は、従来の試料ホルダーのものと同じである
．接地針１２は、絶縁体の板１３と絶縁体の接地針固定
板ｌ４の間を通っていて、ねじ１５を締めることにより
これらにはさまれて固定される。絶縁体の板１３及び接
地針固定板１４はテフロンなどでできている．これによ
り接地針ｌ２は、試料ホルダー１の他の金属部分と絶縁
された状態になる。

この試料ホルダー１にマスクを挿入し、固定した状態で
の導通検査を説明する。まず抵抗計又は導通検出器のプ
ラス端子のブローブを接地針１２に接触し電流を流す。

電流は、接地針１２→金属膜６→接地針１１→試料ホル
ダー１→金属テープ→マイナスのブローブ→抵抗計のマ
イナス端子と流れて接地針と金属膜の抵抗値が測定でき
る。

接地針１２を設けることにより従来の問題点を以下のよ
うに全て解決できる。

■プローブを直接マイナスに接触させる必要が無いので
、塵埃がマスク上に落ちない。

■ブローブの表面には絶縁体である電子線感光レジスト
が付着する可能性が無いので確実に導通する。

■１ミクロン以下の金属膜の端に接触することに比べて
、プローブと接地針との接触面積が大きいので抵抗が確
実に小さくなる。

■ブローブの接触角度が変わっても接触面が円なので接
触状態が変わらない． ■接触状態が良いので、露光前後の抵抗測定の再現性が
確実になる。

また新しい長所として、先がとがったプローブだけでな
く、わにロクリップや鈎ではさんで固定できるブローブ
（ピンチャーチップと呼ばれる）が使用できるので、手
の微動の影響を受けない安定した抵抗測定ができる。

第２図（ａ）は、本発明の電子ビーム描画装置用試料ホ
ルダーの第２実施例の斜視図である。接地針ｌ２は、そ
の端に電線ｌ６の端が巻き付けられて半田付けされてい
る。電線１６は、絶縁体で被覆されていて穴１７に入っ
ている。

第２図（ｂ）は、第２図（ａ）の■−■の部分の部分断
面図である。接地針１２と金属板１８は、電線１６によ
り接続されている。電線１６は、両端の接地針１２と金
属板１８のみを導通させていて、穴１７などの他の部分
とは被覆により絶縁されている。金属板工８は、絶縁体
の板１つの上にあり、電線１２により接地針１２とだけ
接続されている．この試料ホルダーの使用方法を説明する。まずこの試料
ホルダーのその台の定位置に置く。台には試料ホルダー
の底部の金属板１８に接触するプラス端子１９があって
、抵抗計のプラス端子に接続されている．また台には試
料ホルダーの底部の金属板１８以外の金属に接触するマ
イナス端子２０があって抵抗計のマイナス端子に接続さ
れている．電流は、抵抗計のプラス端子→プラス端子１
９→金属板１８→電線１６→接地針１２→金属膜６→接
地針１１→試料ホルダー１→マイナス端子２０→抵抗計
のマイナス端子と流れる．これにより試料ホルダーを台
の上に置ぎだけで、手でプローブやわにロクリップを取
り付けること無しに、接地針と金属膜の間の抵抗値を測
定することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、抵抗計の十一端子に対応
して２群に分けられた接地針を使って抵抗値の検査をす
ることにより、以下の効果を出すことができる． ■塵埃をマスクに落とさない。

■絶縁体である電子線感光レジストの影響を排除できる
。

■ブローブや端子と接地針との間の抵抗を小さくできる
． ■露光前後の抵抗測定の再現性が確実になる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図（ａ），（ｂ）は本発明の第ｌ実施例のそれぞれ
斜視図とその部分断面図、第２図（ａ＞，（ｂ）は、第
２実施例のそれぞれ斜視図とその部分断面図、第３図（
ａ＞．（ｂ）は従来の試料ホルダー及びマスクの斜視図
、第３図（ｃ）は従来の試料ホルダー及びマスクの断面
図、第３図（ｄ）は従来の抵抗値検査方法説明図である
。１・・・試料ホルダー、２・・・マスク、３・・・接地
針、４・・・電子線、５・・・電子線感光レジスト、６
・・・金属膜、７・・・石英基板、８・・・抵抗計、９
・・・ブローブ、１０・・・金属テープ、１１・・・接
地針、１２・・・接地針、■３・・・絶縁体の板、１４
・・・接地針固定板、１５・・・ねじ、１６・・・電線
、１７・・・穴、１８・・・金属板、１９・・・プラス
端子、２０・・・マイナス端子。

Claims

【特許請求の範囲】

電子ビーム描画を行なう際に電子線感光レジストを塗布
した試料を固定する金属製の電子ビーム描画装置用試料
ホルダーにおいて、前記ホルダーに固定される２本の接
地針のうち１本をホルダーと電気的に絶縁して固定し、
この絶縁された端子を前記試料の金属膜の導通検査を行
なうための一方の接触端子としたことを特徴とする電子
ビーム描画装置用試料ホルダー。