JPH0833415B2 - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH0833415B2 JPH0833415B2 JP63079966A JP7996688A JPH0833415B2 JP H0833415 B2 JPH0833415 B2 JP H0833415B2 JP 63079966 A JP63079966 A JP 63079966A JP 7996688 A JP7996688 A JP 7996688A JP H0833415 B2 JPH0833415 B2 JP H0833415B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- liquid crystal
- probe card
- crystal display
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Multi-Conductor Connections (AREA)
- Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
この発明は、例えば液晶ディスプレイの画像検査の場
合等に必要とされる、広い領域にわたって設けられた、
多数の電極群に対応可能なプローブカードに関するもの
である。
合等に必要とされる、広い領域にわたって設けられた、
多数の電極群に対応可能なプローブカードに関するもの
である。
従来、ウエハ内に多数形成されたウエハチップ等の半
導体素子のプロービング検査においては、金属製探針を
その先端部が各素子の個々の電極位置に対応するよう接
着固定したプローブカードを用いている。このプローブ
カードは、第５図および第６図における金属製の探針１
と、探針１を支承するセラミック等の電気絶縁体からな
る支持リング２と、プリント基板３で構成され、これら
を互いに接着剤によって固定している。 すなわち、上記金属製探針１の位置合わせを、素子の
電極座標と対応する位置に孔開け加工が施された、ガイ
ド等からなる適当な治具を用いて行なう。 探針１が適切な位置に並べられたところで、探針１と
支持リング２はエポキシ樹脂等の接着剤により相互に固
定される。そしてこの探針１が固定された支持リング２
は、それと同心的に孔開け加工がなされたプリント基板
３に接着され、探針１の後端はプリント基板３上に形成
された導体パターン４に半田固定される。概略的には、
上記のようにして半導体素子検査用のプローブカードが
製作される。
導体素子のプロービング検査においては、金属製探針を
その先端部が各素子の個々の電極位置に対応するよう接
着固定したプローブカードを用いている。このプローブ
カードは、第５図および第６図における金属製の探針１
と、探針１を支承するセラミック等の電気絶縁体からな
る支持リング２と、プリント基板３で構成され、これら
を互いに接着剤によって固定している。 すなわち、上記金属製探針１の位置合わせを、素子の
電極座標と対応する位置に孔開け加工が施された、ガイ
ド等からなる適当な治具を用いて行なう。 探針１が適切な位置に並べられたところで、探針１と
支持リング２はエポキシ樹脂等の接着剤により相互に固
定される。そしてこの探針１が固定された支持リング２
は、それと同心的に孔開け加工がなされたプリント基板
３に接着され、探針１の後端はプリント基板３上に形成
された導体パターン４に半田固定される。概略的には、
上記のようにして半導体素子検査用のプローブカードが
製作される。
しかしながら上述の場合、支持リング２の形状や探針
１の位置合わせの方法などから、複数個の素子の各電極
群へ同時に探針１を接触させる構造とするには限界があ
った。 さらに、第２図および第３図に示すようなガラス基板
17上に固定された液晶ディスプレイ16を検査する際に
は、ガラス基板17上のすべての電極部18と同時に信号の
やりとりを行ない、かつ液晶ディスプレイ16を目視によ
って検査することも必要となる。ここで従来の構造のプ
ローブカードを使用した場合、液晶ディスプレイ16と探
針１とが干渉し合う。またプリント基板３が液晶ディス
プレイ16を覆い隠す等の問題点が生じている。 この発明は、上記問題点を解決するためになされたも
ので、液晶ディスプレイの電極群が複数個所に分散配置
され、しかも液晶ディスプレイが電極群から突出してい
ても液晶ディスプレイと干渉することなく各電極群に同
時且つ確実に接触して液晶ディスプレイの電気的検査を
確実に行うことができるプローブカードを提供すること
を目的としている。
１の位置合わせの方法などから、複数個の素子の各電極
群へ同時に探針１を接触させる構造とするには限界があ
った。 さらに、第２図および第３図に示すようなガラス基板
17上に固定された液晶ディスプレイ16を検査する際に
は、ガラス基板17上のすべての電極部18と同時に信号の
やりとりを行ない、かつ液晶ディスプレイ16を目視によ
って検査することも必要となる。ここで従来の構造のプ
ローブカードを使用した場合、液晶ディスプレイ16と探
針１とが干渉し合う。またプリント基板３が液晶ディス
プレイ16を覆い隠す等の問題点が生じている。 この発明は、上記問題点を解決するためになされたも
ので、液晶ディスプレイの電極群が複数個所に分散配置
され、しかも液晶ディスプレイが電極群から突出してい
ても液晶ディスプレイと干渉することなく各電極群に同
時且つ確実に接触して液晶ディスプレイの電気的検査を
確実に行うことができるプローブカードを提供すること
を目的としている。
この発明の請求項１に記載のプローブカードは、液晶
ディスプレイを構成する電極に探針を電気的に接触させ
て信号を遣取りして上記液晶ディスプレイの電気的検査
を行なうプローブカードにおいて、上記液晶ディスプレ
イに対向して設けられた電気絶縁体の基板と、この基板
上において上記液晶ディスプレイの周囲に位置させてそ
れぞれ形成された信号用の導電性薄膜及び固定用の薄膜
と、これら両薄膜に端部がそれぞれ固定され且つこれら
両者間で突出屈曲部を形成してこれら両者を連結する金
属細線からなる探針を備え、上記金属細線の屈曲部を上
記電極に接触させることを特徴とするものである。 また、この発明の請求項２記載のプローブカードは、
請求項１記載の発明において、上記探針は、金属細線を
ブリッジ状に取り付けて形成してなるものである。 また、この発明の請求項３記載のプローブカードは、
請求項１または請求項２記載の発明において、上記金属
細線をワイヤボンダにより配線してなるものである。
ディスプレイを構成する電極に探針を電気的に接触させ
て信号を遣取りして上記液晶ディスプレイの電気的検査
を行なうプローブカードにおいて、上記液晶ディスプレ
イに対向して設けられた電気絶縁体の基板と、この基板
上において上記液晶ディスプレイの周囲に位置させてそ
れぞれ形成された信号用の導電性薄膜及び固定用の薄膜
と、これら両薄膜に端部がそれぞれ固定され且つこれら
両者間で突出屈曲部を形成してこれら両者を連結する金
属細線からなる探針を備え、上記金属細線の屈曲部を上
記電極に接触させることを特徴とするものである。 また、この発明の請求項２記載のプローブカードは、
請求項１記載の発明において、上記探針は、金属細線を
ブリッジ状に取り付けて形成してなるものである。 また、この発明の請求項３記載のプローブカードは、
請求項１または請求項２記載の発明において、上記金属
細線をワイヤボンダにより配線してなるものである。
この発明の請求項１に記載の発明によれば、プローブ
カードの探針を液晶ディスプレイの各電極に押圧する
と、基板上において導電性薄膜と固定用薄膜間を連結す
る金属細線からなる探針は屈曲部の突端で液晶ディスプ
レイと干渉することなく各電極に接触し、更に屈曲部が
弾性変形して各電極と弾力的に接触して電極との間で信
号の遣取りして液晶ディスプレイの電気的検査を確実に
行なうことができる。 また、この発明の請求項２記載の発明によれば、請求
項１記載の発明において、上記探針は金属細線をブリッ
ジ状に取り付けて形成してなるため、探針がより弾力的
に電極と接触することができる。 また、この発明の請求項３記載の発明によれば、請求
項１または請求項２記載の発明において、上記金属細線
をワイヤボンダにより配線してなるため、基板に対して
金属細線をワイヤボンダによって自動的に配線すること
によって探針を短時間で取り付けることができる。
カードの探針を液晶ディスプレイの各電極に押圧する
と、基板上において導電性薄膜と固定用薄膜間を連結す
る金属細線からなる探針は屈曲部の突端で液晶ディスプ
レイと干渉することなく各電極に接触し、更に屈曲部が
弾性変形して各電極と弾力的に接触して電極との間で信
号の遣取りして液晶ディスプレイの電気的検査を確実に
行なうことができる。 また、この発明の請求項２記載の発明によれば、請求
項１記載の発明において、上記探針は金属細線をブリッ
ジ状に取り付けて形成してなるため、探針がより弾力的
に電極と接触することができる。 また、この発明の請求項３記載の発明によれば、請求
項１または請求項２記載の発明において、上記金属細線
をワイヤボンダにより配線してなるため、基板に対して
金属細線をワイヤボンダによって自動的に配線すること
によって探針を短時間で取り付けることができる。
以下この発明のプローブカードの一実施例を図面に基
いて説明する。 図面はこの発明のプローブカードの一実施例を示し、
第１図はプローブカード内の探針群の１つを抜粋した斜
視図、第２図および第３図は液晶ディスプレイを固定し
た、ガラス基板上の電極をプロービングしている状態を
示す概略側面図、第４図はプローブカードの下面図であ
る。 上記第１図ないし第４図に示すように、この発明のプ
ローブカードは、透明な電気絶縁体の基板11,12、この
基板11,12上に形成された導電性薄膜13,13′、および導
電性薄膜13,13′間を連結する金属細線14からなる探針
を備えて構成されている。この金属細線14からなる探針
は、被検査基板としての液晶側のガラス基板17上に形成
された電極18に対応して複数個を一群として設けられて
いる。そしてこの探針群は、基板11,12上の所定の位置
に複数配設されている。上記金属細線14としては、タン
グステンやモリブデン、金合金その他のバネ弾性を有す
るものが望ましい。 素子としての液晶ディスプレイ16を載置した前記ガラ
ス基板17よりやや広い第１の基板11には、導電性の薄膜
13を形成してある。その形成手段としては、リソグラフ
ィの工程が用いられる。まずガラスや石英等で作成した
透明な電気絶縁体の基板11の全面に、金属蒸着やスパッ
タリング等によってアルミニウムやクロム膜等からなる
導電性薄膜の膜付けを行なう。次いで、その膜上にフォ
トレジストを塗布して、露光、現像により所定のマスク
パターンを形成する。最後に不要部分を腐食して除去す
る。なお導電性薄膜13の形成手段としては、化学メッキ
その他の方法を用いてもよいことは勿論である。 15は、第２の基板12を固定する位置を規定するための
目印で、必ずしも導電性である必要はないが、工程を簡
略化するためにこれも上記薄膜13と同質のものを薄膜13
の形成時に同時に形成すればよい。基板11上に載置した
第２の基板12に形成される薄膜13′は金属細線14を固定
する機能を有するもので、この薄膜13′は必ずしも導電
性である必要はないが、上記と同様にして形成すること
ができる。 第１の基板11上への第２の基板12を固定するには、基
板11上に形成された目印15を基準とし、シアノアクリレ
ート系接着剤等の浸透性のよい接着剤を用いて迅速かつ
強固に行なう。 プロービングされる液晶ディスプレイ16の電極18に直
接触れるのは、第１の基板11から第２の基板12へブリッ
ジ状に差し渡された且つ探針を形成する金属細線14の屈
曲部分の突端である。この金属細線14をどのような形状
においてブリッジ状に固定するのか、またその寸法はと
いった点については、被測定物等を勘案の上適宜決定さ
れるが、ワイヤボンダの使用により精度よく管理するこ
とが可能である。第２図および第３図に示した液晶ディ
スプレイの検査の場合には、基板11の薄膜形成面から金
属細線14の屈曲部の突端までの高さは、液晶ディスプレ
イ16の高さよりもやや大きくとっておく必要がある。実
際に、金属細線14と液晶側のガラス基板17上に形成され
た電極18とが接触する際には、金属細線14の弾性による
微小変形を利用することで、プローブカード全体にわた
り金属細線14と被測定物の電極18との接触を良好に行な
うことができる。 なお第２図において、21は、液晶側のガラス基板17を
保持してXYZ軸方向とθ方向へ駆動するための真空チャ
ック、22は、エッジセンサ23等からの液晶側のガラス基
板17の駆動用信号を読み取って、真空チャック21を駆動
制御するためのLSIである。 次にこの発明のプローブカードの動作について説明す
る。 真空チャック21を駆動制御しつつ、エッジセンサ23で
液晶側のガラス基板17の位置を確認し、液晶側のガラス
基板17をプローブカードに対して所定の位置におく。そ
してプローブカードを降下させ、金属細線14からなる探
針の屈曲部と液晶側のガラス基板17上に形成された電極
18とを接触させる。その際、ブリッジ状の金属細線14は
その弾性によって微小変形し、金属細線14と被測定物の
電極18とは非常に良好な接触状態で接触する。 上記接触状態は、第１の基板11と第２の基板12とがい
ずれも透明であるため、プローブカード上から目視で良
好に確認することができる。 以上説明したようにこの実施例によれば、ガラス基板
17上で電極群が複数箇所に分散配置されていても各電極
群を構成する電極18それぞれにブリッジ状に形成された
金属細線14からなる探針が弾力的に接触して良好な接触
状態を確保して素子との間で確実に信号を遣取りして正
確な電気的検査を行なうことができる。 また、この実施例によれば、ワイヤボンダによって金
属細線14を基板11の導電性薄膜13と基板12の導電性薄膜
13′を連結することによって探針を取り付けるようにし
たため、探針の基板11、12への取付作業を自動化するこ
とができ、従来のように探針を１本１本並べて半田付け
する場合と比較して格段に工数を削減することができ
る。 また、この実施例によれば、基板11、12を透明物質に
よって形成したため、電気的検査の際に、プローブカー
ド上から液晶ディスプレイ16を目視検査することができ
る。
いて説明する。 図面はこの発明のプローブカードの一実施例を示し、
第１図はプローブカード内の探針群の１つを抜粋した斜
視図、第２図および第３図は液晶ディスプレイを固定し
た、ガラス基板上の電極をプロービングしている状態を
示す概略側面図、第４図はプローブカードの下面図であ
る。 上記第１図ないし第４図に示すように、この発明のプ
ローブカードは、透明な電気絶縁体の基板11,12、この
基板11,12上に形成された導電性薄膜13,13′、および導
電性薄膜13,13′間を連結する金属細線14からなる探針
を備えて構成されている。この金属細線14からなる探針
は、被検査基板としての液晶側のガラス基板17上に形成
された電極18に対応して複数個を一群として設けられて
いる。そしてこの探針群は、基板11,12上の所定の位置
に複数配設されている。上記金属細線14としては、タン
グステンやモリブデン、金合金その他のバネ弾性を有す
るものが望ましい。 素子としての液晶ディスプレイ16を載置した前記ガラ
ス基板17よりやや広い第１の基板11には、導電性の薄膜
13を形成してある。その形成手段としては、リソグラフ
ィの工程が用いられる。まずガラスや石英等で作成した
透明な電気絶縁体の基板11の全面に、金属蒸着やスパッ
タリング等によってアルミニウムやクロム膜等からなる
導電性薄膜の膜付けを行なう。次いで、その膜上にフォ
トレジストを塗布して、露光、現像により所定のマスク
パターンを形成する。最後に不要部分を腐食して除去す
る。なお導電性薄膜13の形成手段としては、化学メッキ
その他の方法を用いてもよいことは勿論である。 15は、第２の基板12を固定する位置を規定するための
目印で、必ずしも導電性である必要はないが、工程を簡
略化するためにこれも上記薄膜13と同質のものを薄膜13
の形成時に同時に形成すればよい。基板11上に載置した
第２の基板12に形成される薄膜13′は金属細線14を固定
する機能を有するもので、この薄膜13′は必ずしも導電
性である必要はないが、上記と同様にして形成すること
ができる。 第１の基板11上への第２の基板12を固定するには、基
板11上に形成された目印15を基準とし、シアノアクリレ
ート系接着剤等の浸透性のよい接着剤を用いて迅速かつ
強固に行なう。 プロービングされる液晶ディスプレイ16の電極18に直
接触れるのは、第１の基板11から第２の基板12へブリッ
ジ状に差し渡された且つ探針を形成する金属細線14の屈
曲部分の突端である。この金属細線14をどのような形状
においてブリッジ状に固定するのか、またその寸法はと
いった点については、被測定物等を勘案の上適宜決定さ
れるが、ワイヤボンダの使用により精度よく管理するこ
とが可能である。第２図および第３図に示した液晶ディ
スプレイの検査の場合には、基板11の薄膜形成面から金
属細線14の屈曲部の突端までの高さは、液晶ディスプレ
イ16の高さよりもやや大きくとっておく必要がある。実
際に、金属細線14と液晶側のガラス基板17上に形成され
た電極18とが接触する際には、金属細線14の弾性による
微小変形を利用することで、プローブカード全体にわた
り金属細線14と被測定物の電極18との接触を良好に行な
うことができる。 なお第２図において、21は、液晶側のガラス基板17を
保持してXYZ軸方向とθ方向へ駆動するための真空チャ
ック、22は、エッジセンサ23等からの液晶側のガラス基
板17の駆動用信号を読み取って、真空チャック21を駆動
制御するためのLSIである。 次にこの発明のプローブカードの動作について説明す
る。 真空チャック21を駆動制御しつつ、エッジセンサ23で
液晶側のガラス基板17の位置を確認し、液晶側のガラス
基板17をプローブカードに対して所定の位置におく。そ
してプローブカードを降下させ、金属細線14からなる探
針の屈曲部と液晶側のガラス基板17上に形成された電極
18とを接触させる。その際、ブリッジ状の金属細線14は
その弾性によって微小変形し、金属細線14と被測定物の
電極18とは非常に良好な接触状態で接触する。 上記接触状態は、第１の基板11と第２の基板12とがい
ずれも透明であるため、プローブカード上から目視で良
好に確認することができる。 以上説明したようにこの実施例によれば、ガラス基板
17上で電極群が複数箇所に分散配置されていても各電極
群を構成する電極18それぞれにブリッジ状に形成された
金属細線14からなる探針が弾力的に接触して良好な接触
状態を確保して素子との間で確実に信号を遣取りして正
確な電気的検査を行なうことができる。 また、この実施例によれば、ワイヤボンダによって金
属細線14を基板11の導電性薄膜13と基板12の導電性薄膜
13′を連結することによって探針を取り付けるようにし
たため、探針の基板11、12への取付作業を自動化するこ
とができ、従来のように探針を１本１本並べて半田付け
する場合と比較して格段に工数を削減することができ
る。 また、この実施例によれば、基板11、12を透明物質に
よって形成したため、電気的検査の際に、プローブカー
ド上から液晶ディスプレイ16を目視検査することができ
る。
以上説明したようにこの発明の請求項１及び請求項２
に記載の発明によれば、液晶ディスプレイを構成する電
極に探針を電気的に接触させて信号を遣取りして上記液
晶ディスプレイの電気的検査を行なうプローブカードに
おいて、上記液晶ディスプレイに対向して設けられた電
気絶縁体の基板と、この基板上において上記液晶ディス
プレイの周囲に位置させてそれぞれ上記液晶ディスプレ
イの周囲に形成された信号用の導電性薄膜及び固定用の
薄膜と、これら両薄膜に端部がそれぞれ固定され且つこ
れら両者間で突出屈曲部を形成してこれら両者を連結す
る金属細線からなる探針を備え、上記金属細線の屈曲部
の突端を上記電極に接触させるようにしたため、液晶デ
ィスプレイの電極群が複数個所に分散配置され、しかも
液晶ディスプレイが電極群から突出していても液晶ディ
スプレイと干渉することなく各電極群に同時且つ確実に
接触して液晶ディスプレイの電気的検査を確実に行うこ
とができるプローブカードを提供することができる。 また、この発明の請求項３記載の発明によれば、請求
項１または請求項２記載の発明において、金属細線をワ
イヤボンダにより配線して探針を基板上に取り付けるよ
うにしたため、従来の探針を１本１本並べて半田付けす
る方法で製造されるプローブカードに比べて製造工程を
自動化し、工数を削減することができるプローブカード
を提供することができる。
に記載の発明によれば、液晶ディスプレイを構成する電
極に探針を電気的に接触させて信号を遣取りして上記液
晶ディスプレイの電気的検査を行なうプローブカードに
おいて、上記液晶ディスプレイに対向して設けられた電
気絶縁体の基板と、この基板上において上記液晶ディス
プレイの周囲に位置させてそれぞれ上記液晶ディスプレ
イの周囲に形成された信号用の導電性薄膜及び固定用の
薄膜と、これら両薄膜に端部がそれぞれ固定され且つこ
れら両者間で突出屈曲部を形成してこれら両者を連結す
る金属細線からなる探針を備え、上記金属細線の屈曲部
の突端を上記電極に接触させるようにしたため、液晶デ
ィスプレイの電極群が複数個所に分散配置され、しかも
液晶ディスプレイが電極群から突出していても液晶ディ
スプレイと干渉することなく各電極群に同時且つ確実に
接触して液晶ディスプレイの電気的検査を確実に行うこ
とができるプローブカードを提供することができる。 また、この発明の請求項３記載の発明によれば、請求
項１または請求項２記載の発明において、金属細線をワ
イヤボンダにより配線して探針を基板上に取り付けるよ
うにしたため、従来の探針を１本１本並べて半田付けす
る方法で製造されるプローブカードに比べて製造工程を
自動化し、工数を削減することができるプローブカード
を提供することができる。
第１図はこの発明のプローブカードの一実施例を示し、
プローブカード内の探針群の１つを抜粋した斜視図、第
２図および第３図は液晶ディスプレイを固定したガラス
基板上の電極をプロービングしている状態を示す概略側
面図、第４図はプローブカードの下面図、第５図および
第６図はそれぞれ従来のプローブカードの平面図および
断面図である。 １……探針、２……支持リング ３……プリント基板、４……導体パターン 11,12……透明絶縁体基板 13,13′……導電性薄膜 14……金属細線、15……目印 16……液晶ディスプレイ 17……ガラス基板、18……電極
プローブカード内の探針群の１つを抜粋した斜視図、第
２図および第３図は液晶ディスプレイを固定したガラス
基板上の電極をプロービングしている状態を示す概略側
面図、第４図はプローブカードの下面図、第５図および
第６図はそれぞれ従来のプローブカードの平面図および
断面図である。 １……探針、２……支持リング ３……プリント基板、４……導体パターン 11,12……透明絶縁体基板 13,13′……導電性薄膜 14……金属細線、15……目印 16……液晶ディスプレイ 17……ガラス基板、18……電極
Claims (3)
- 【請求項１】液晶ディスプレイを構成する電極に探針を
電気的に接触させて信号を遣取りして上記液晶ディスプ
レイの電気的検査を行なうプローブカードにおいて、上
記液晶ディスプレイに対向して設けられた電気絶縁体の
基板と、この基板上において上記液晶ディスプレイの周
囲に位置させてそれぞれ形成された信号用の導電性薄膜
及び固定用の薄膜と、これら両薄膜に端部がそれぞれ固
定され且つこれら両者間で突出屈曲部を形成してこれら
両者を連結する金属細線からなる探針を備え、上記金属
細線の屈曲部の突端を上記電極に接触させることを特徴
とするプローブカード。 - 【請求項２】上記探針は、金属細線をブリッジ状に取り
付けて形成してなることを特徴とする請求項１記載のプ
ローブカード。 - 【請求項３】上記金属細線をワイヤボンダにより配線し
てなることを特徴とする請求項１または請求項２記載の
プローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079966A JPH0833415B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079966A JPH0833415B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | プローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01250865A JPH01250865A (ja) | 1989-10-05 |
| JPH0833415B2 true JPH0833415B2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=13705054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63079966A Expired - Lifetime JPH0833415B2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0833415B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0429345A (ja) * | 1990-05-24 | 1992-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フラットディスプレイの検査方法 |
| JPH0433353A (ja) * | 1990-05-30 | 1992-02-04 | Fujitsu Ltd | Ｉｃチップの試験装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62187871U (ja) * | 1986-05-22 | 1987-11-30 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63079966A patent/JPH0833415B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01250865A (ja) | 1989-10-05 |
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