JPH067562B2 - プロ−バ用載置台の構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ウエハやプリント基板等の被測定物を測定す
るためのプローバ用の載置台に関し、特に、微小電流で
動作する半導体のウエハを測定するウエハプローバ用載
置台の特殊構造に関するものである。

（従来技術とその問題点） 最近、半導体集積回路は高集積化が著しく、１Ｍビット
や２Ｍビットのものが開発されている。このような微細
化により、流れる電も著しく小さな微小電流となる。

従って、この種の半導体ウエハを測定する場合、微小電
流で測定するため、ノイズを極力少なくし、かつ、絶縁
抵抗を大きくする必要がある。

ところで、従来のプローバ用の載置台は、アルミニュウ
ム製の基台上面を真空金蒸着したものである。この載置
台を用いて上記集積化ＩＣを測定した結果、リークが多
く測定困難であることが判った。

そこで、種々検討した結果、基台から電流がリークした
り、プローバ匡体内の駆動系のモータ等の静電気に影響
されて微小電流による被測定物の測定には、全く適さな
いものであることが判った。

本発明は、上記の点に対処してなされたもので、微小電
流の測定にも適するプローバ用の載置台の構造を提供す
るものである。即ち、微小電流による測定に際し、ノイ
ズを除去し、しかも、絶縁抵抗を大きくして静電気をシ
ールドするようにして高精度の測定を行えるプローバ用
の載置台を提供せんとするものである。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、被測定物を載置
する基台を適宜の厚さを持った石英ガラスで形成し、こ
の基台の載置面上に導電性材料を金蒸着した導電体層を
設け、かつ基台の前記載置面に対向した他面にシールド
部材を設けると共に、前記導電体層とプローバ用のテス
トヘツドとをテスト回路用のラインを介して接続する構
成を採用した。

（作用） 本発明によると、絶縁材で形成した基台上にウエハ、プ
リント基板等の被測定物を載置し、例えば、ウエハプロ
ーバにおけるテストヘッドに設けたプローブカードのプ
ローブ針を被測定物に接触させて測定する場合、基台の
上面に設けた導電体層の載置面と上記したテストヘッド
とがテスト回路により接続されているので、被測定物の
下面も微小電流により確実に測定することができること
は勿論のこと、基台を石英ガラス又はポリテトラフルオ
ロエチレン等の絶縁材で形成し、この基台の下面をシー
ルド部材で被損するようにしたので、基台から電流がリ
ークしたりすることなく、しかも、ノイズが極力少なく
なり、又、プローバ匡体内の駆動系のモータ等の静電気
に影響されることもなく、絶縁抵抗が保持されて静電気
を確実にシールドするようにしたので、微小電流による
ウエハ等の測定が高精度に行われることになる。

（実施例） 次に、本発明におけるウエハ載置台の構造の一実施例を
図面を参照して説明する。

基台１は絶縁材例えば石英ガラス又はポリテトラフルオ
ロエチレン等で構成する。この基台１は、ウエハ、プリ
ント基板等の被測定物２を載置して測定するためのもの
であり、この基台１の下部には図示しないＸＹＺ駆動系
が配置される。上記基台１の一面上には、導電体層例え
ば金蒸着等の手段で導電性素材を被覆して載置面３を設
ける。この載置面３は、ウエハ等の被測定物２の下面を
電気的に測定する場合、この載置面３とテストヘッド４
がテスト回路５を介して接続されており、テストヘッド
４には、プローブ針６を有するプローブカード７が設け
られている。しかも、この載置面３は被測定物をバキュ
ーム等の手段でフラット状態で高精度に固着するための
機能を有している。

更に、上記基台１の下面には、金属性のシールド部材８
を積層しており、このシールド部材８はアース回路９に
よりアースされ、静電気をシールドするようにしてい
る。

次に上記実施例の作用を説明する。

絶縁材で形成した基台１上に集積回路の形成された半導
体ウエハやプリント基板等の被測定物２を載置する。例
えば、ウエハプローバにおいてはテストヘッド４に設け
たプローブカード７のプローブ針６を上記被測定物２の
電極パッドに接触させて測定する。この実施例では、基
台１の上面に設けた導電体層の載置面３と上記したテス
トヘッド４とがテスト回路５により接続されているの
で、被測定物２の下面を微小電流（１０ｆＡ）により確
実に測定することができる。しかも、基台１を石英ガラ
ス又はポリテトラフルオロエチレン等の絶縁材で形成し
たので、絶縁抵抗を保持し、かつ、この基台１の下面を
シールド部材８で被覆するようにしたので、基台１から
電流がリークするおそれもなく、ノイズも極力少なくな
り、又、プローブ匡体内の駆動系のモータ等の静電気に
影響されることもなく、静電気を確実にシールドし、微
小電流（１０ｆＡ）によって動作するウエハ等の測定物
を確実に測定することができる。

（発明の効果） 以上のことから明らかなように、ウエハ、プリント基板
等の被測定物を載置する基台を石英ガラスで形成し、こ
の基台上に導電体層を設け、基台の下面をシールド部材
で被覆するようにしたから、基台から電流がリークする
ことなく、又、ノイズもなく、しかも、プローバ匡体内
の駆動系のモータ等の静電気に影響されることもないの
で、絶縁抵抗が保持され、静電気を確実にシールドする
ため、微小電流によって動作する半導体の被測定物を高
精度に測定することができる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明の一実施例を示したプローバにおける載
置台の縦断面図である。 １・・・基台、２・・・ウエハ等の被測定物 ３・・・載置面、８・・・シールド部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定物を載置する基台を適宜の厚さを持
   った石英ガラスで形成し、この基台の載置面上に導電性
   材料を金蒸着した導電体層を設け、かつ基台の前記載置
   面に対向した他面にシールド部材を設けると共に、前記
   導電体層とプローバ用のテストヘッドとをテスト回路用
   のラインを介して接続したことを特徴とするプローバ用
   載置台の構造。