JP2936569B2 - 選別装置 - Google Patents
選別装置Info
- Publication number
- JP2936569B2 JP2936569B2 JP63309581A JP30958188A JP2936569B2 JP 2936569 B2 JP2936569 B2 JP 2936569B2 JP 63309581 A JP63309581 A JP 63309581A JP 30958188 A JP30958188 A JP 30958188A JP 2936569 B2 JP2936569 B2 JP 2936569B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier tape
- tab
- measuring terminal
- product
- tab carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はTAB製品の製造工程のうち、その特性を検査
する選別装置に関し、特にTAB製品と接触させてテスタ
ーと、電気的接続をはかる測定機構に関する。
する選別装置に関し、特にTAB製品と接触させてテスタ
ーと、電気的接続をはかる測定機構に関する。
従来、その種のTAB製品選別装置の測定端子（検出
子）は第３図（ａ）に示すように、コンタクトプローブ
というものを使用していた。このコンタクトプローブは
約φ0.07mm以上の導電ワイヤー13が金属ガイドチューブ
１に保持されスリーブ15内のスプリングにより上下動可
能になっており、また、金属ガイドチューブ14は可撓性
をもつ構造となっていた。
子）は第３図（ａ）に示すように、コンタクトプローブ
というものを使用していた。このコンタクトプローブは
約φ0.07mm以上の導電ワイヤー13が金属ガイドチューブ
１に保持されスリーブ15内のスプリングにより上下動可
能になっており、また、金属ガイドチューブ14は可撓性
をもつ構造となっていた。
第１図の使用例としては第３図（ｂ）に示すように、
金属ガイドチューブ14の先端をTABキャリアテープ１の
配線リードパターン８に合せて絶縁板16の透孔16aに挿
入し、金属ガイドチューブ14の上方を曲げ、適当な間隔
で花束状に開かせ、エポキシ樹脂17でかためたコンタク
ト治具として構成し、このコンタクト治具の先端に出て
いる導電ワイヤー13をTABキャリアテープ１の配線リー
ドパターン８に接触させて選別テストを行っていた。ま
た、第２の使用例としては、第３図（ｃ）のようにコン
タクトプローブをストレートにガイドする上下の絶縁板
16で固定させたコンタクト治具として構成し、この治具
を使用して前述と同様の選別テストを行うものであっ
た。
金属ガイドチューブ14の先端をTABキャリアテープ１の
配線リードパターン８に合せて絶縁板16の透孔16aに挿
入し、金属ガイドチューブ14の上方を曲げ、適当な間隔
で花束状に開かせ、エポキシ樹脂17でかためたコンタク
ト治具として構成し、このコンタクト治具の先端に出て
いる導電ワイヤー13をTABキャリアテープ１の配線リー
ドパターン８に接触させて選別テストを行っていた。ま
た、第２の使用例としては、第３図（ｃ）のようにコン
タクトプローブをストレートにガイドする上下の絶縁板
16で固定させたコンタクト治具として構成し、この治具
を使用して前述と同様の選別テストを行うものであっ
た。
上述した従来のTAB製品の選別装置のうち、コンタク
トプローブを使用した第３図（ｂ）の従来例では プローブワイヤー先端からコネクタ端子までの長さ
が60mm位あるため、ノイズを拾いやすい。
トプローブを使用した第３図（ｂ）の従来例では プローブワイヤー先端からコネクタ端子までの長さ
が60mm位あるため、ノイズを拾いやすい。
このコンタクトプローブを包括するコンタクト治具
が大きいものになってしまう。
が大きいものになってしまう。
コンタクトプローブのスリーブにはプローブワイヤ
ーに接触圧をかけられるスプリングを有した機構を備
え、しかも金属ガイドチューブには絶縁コーティングが
施されているためコストがかかり、多ピン測定に使用す
る場合はかなり高価なものとなってしまう。
ーに接触圧をかけられるスプリングを有した機構を備
え、しかも金属ガイドチューブには絶縁コーティングが
施されているためコストがかかり、多ピン測定に使用す
る場合はかなり高価なものとなってしまう。
プローブワイヤーの配列ピッチは、金属ガイドチュ
ーブ外径がφ0.16mmの場合にそのピッチが0.25mm位でし
か組み込めない。
ーブ外径がφ0.16mmの場合にそのピッチが0.25mm位でし
か組み込めない。
金属ガイドチューブ以降の引き回しの関係から同一
付近には密集して設置することはできない。
付近には密集して設置することはできない。
等の欠点がある。
また、第３図（ｃ）の従来例では コンタクトプローブをストレートに固定した場合
は、スリーブがφ2mm位であり、その先端の導電ワイヤ
ーの配列ピッチは2mm以上になってしまうので、多ピンI
Cの測定用には使用できない等の欠点がある。
は、スリーブがφ2mm位であり、その先端の導電ワイヤ
ーの配列ピッチは2mm以上になってしまうので、多ピンI
Cの測定用には使用できない等の欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した選別装置を提供す
ることにある。
ることにある。
上述した従来の選別装置に対し、本発明はTABキャリ
アテープと測定端子（検出子）の間に、回転可能な円板
型の異方性導電ゴムを設け、確実に相互接続させること
により異方性導電ゴムを介してTABキャリアテープと測
定端子を通電させ、TABキャリアテープを定ピッチで移
動させることにより、次々製品の特性を測定し、かつ、
上記異方性導電ゴムは金属クズ，導電性ゴム等が付着し
て接触不良等測定上問題が生じる前に、自動で定角度回
転させることで清浄な測定領域に移動し、常時安定した
選別が可能であるという相違点を有する。
アテープと測定端子（検出子）の間に、回転可能な円板
型の異方性導電ゴムを設け、確実に相互接続させること
により異方性導電ゴムを介してTABキャリアテープと測
定端子を通電させ、TABキャリアテープを定ピッチで移
動させることにより、次々製品の特性を測定し、かつ、
上記異方性導電ゴムは金属クズ，導電性ゴム等が付着し
て接触不良等測定上問題が生じる前に、自動で定角度回
転させることで清浄な測定領域に移動し、常時安定した
選別が可能であるという相違点を有する。
前記目的を達成するため、本発明に係る選別装置は、
測定端子とTABキャリアテープ上の製品とを測定端子に
対する定位置に移動させる送り機構と、製品と測定端子
とを位置合せして固定する位置合せ及び固定機構と、TA
Bキャリアテープの間に回転可能に設けられ、測定端子
とTABキャリアテープ上の製品を電気的に導通させる円
板型の異方性導電ゴムとを有するものである。
測定端子とTABキャリアテープ上の製品とを測定端子に
対する定位置に移動させる送り機構と、製品と測定端子
とを位置合せして固定する位置合せ及び固定機構と、TA
Bキャリアテープの間に回転可能に設けられ、測定端子
とTABキャリアテープ上の製品を電気的に導通させる円
板型の異方性導電ゴムとを有するものである。
以下、本発明の実施例を図により説明する。
（実施例１） 第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例１を
示す図である。
示す図である。
TABキャリアテープ１は一定間隔に封入済TAB製品1a,1
a…を有し連続したフィルムシート形状になっている。
該TABキャリアテープ１は送り機構６により測定端子（P
WB）３上まで送られる。TABキャリアテープ１と測定端
子３の間には回転機構４により回転可能な円板型のプラ
スチック製枠に支持されたシリコンゴムシート９があ
る。該ゴムシート９にはTABキャリアテープ１の配線リ
ードパターン８のピッチ間隔に合せた位置に四角形状で
同形サイズ高さ約0.3mmの突起18をピン数分設けてあ
り、その突起18上には金属粒子10を凹状の微細電極とし
て擬集させた、異方性導電ゴム２を回転軸の回りに２ケ
以上有している。前記導電ゴム２は圧力がかかった面に
在する微細電極のみ通電することができるものである。
また、本装置の測定端子３はTABキャリアテープ１上の
配線リードパターン８のピッチに合ったリードパターン
を持ち、２ケ所以上に位置決めピン７が設けられてい
る。また、TABキャリアテープ１に面して真上には平ら
な面を持った絶縁された位置合せ及び固定機構５にTAB
キャリアテープ１の配線リードパターン８に接する範囲
のみ凹状突起5aを有するとともに、位置決めピン７が嵌
合する位置決め用孔を有し、その位置合せ及び固定機構
５は図示されないジグシリンダの先端に取付けられてい
る。
a…を有し連続したフィルムシート形状になっている。
該TABキャリアテープ１は送り機構６により測定端子（P
WB）３上まで送られる。TABキャリアテープ１と測定端
子３の間には回転機構４により回転可能な円板型のプラ
スチック製枠に支持されたシリコンゴムシート９があ
る。該ゴムシート９にはTABキャリアテープ１の配線リ
ードパターン８のピッチ間隔に合せた位置に四角形状で
同形サイズ高さ約0.3mmの突起18をピン数分設けてあ
り、その突起18上には金属粒子10を凹状の微細電極とし
て擬集させた、異方性導電ゴム２を回転軸の回りに２ケ
以上有している。前記導電ゴム２は圧力がかかった面に
在する微細電極のみ通電することができるものである。
また、本装置の測定端子３はTABキャリアテープ１上の
配線リードパターン８のピッチに合ったリードパターン
を持ち、２ケ所以上に位置決めピン７が設けられてい
る。また、TABキャリアテープ１に面して真上には平ら
な面を持った絶縁された位置合せ及び固定機構５にTAB
キャリアテープ１の配線リードパターン８に接する範囲
のみ凹状突起5aを有するとともに、位置決めピン７が嵌
合する位置決め用孔を有し、その位置合せ及び固定機構
５は図示されないジグシリンダの先端に取付けられてい
る。
次に本発明に係る選別装置による選別テストについて
説明する。
説明する。
まず、測定端子３が選別装置のステージ上に固定さ
れ、測定端子３上のコネクタよりテスターへリード結線
されている。測定端子３の位置決めピン７に合せて異方
性導電ゴム２がピンを通して挿入される。異方性導電ゴ
ム２は測定端子３に面接触した状態にある。リール巻き
されたTABキャリアテープ１上の封入済TAB半製品1aは送
り機構６により異方性導電ゴム２の乗せた測定端子３に
面接触させられる。その際、TABキャリアテープ１のテ
ープ送りと兼用している位置決め用孔11を測定端子３の
位置決めピン７に挿入し、位置決めされる。続いてTAB
キャリアテープ１の真上よりジグシリンダを下降させ、
位置合せ及び固定機構５をTABキャリアテープ１の配線
リードパターン８に押し付けている。
れ、測定端子３上のコネクタよりテスターへリード結線
されている。測定端子３の位置決めピン７に合せて異方
性導電ゴム２がピンを通して挿入される。異方性導電ゴ
ム２は測定端子３に面接触した状態にある。リール巻き
されたTABキャリアテープ１上の封入済TAB半製品1aは送
り機構６により異方性導電ゴム２の乗せた測定端子３に
面接触させられる。その際、TABキャリアテープ１のテ
ープ送りと兼用している位置決め用孔11を測定端子３の
位置決めピン７に挿入し、位置決めされる。続いてTAB
キャリアテープ１の真上よりジグシリンダを下降させ、
位置合せ及び固定機構５をTABキャリアテープ１の配線
リードパターン８に押し付けている。
また金属クズ，導電性ゴミ等により、異方性導電ゴム
２が汚れた場合には自動で位置決めピン７を下降させて
定角回転させることで、また新しい清浄な状態にするこ
とが可能である。
２が汚れた場合には自動で位置決めピン７を下降させて
定角回転させることで、また新しい清浄な状態にするこ
とが可能である。
（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す縦断面図である。
回転可能な円板型の異方性導電ゴム２の中心軸をはさ
んでTABキャリアテープ１と反対側に異方性導電ゴム２
の上表面が接するようにブラシ12を設け、回転機構４に
より異方性導電ゴム２が回転することで付着したTAB製
品等の金属クズ，ゴミ等を拭き取ることが可能である。
その他の動作は、実施例１と同様である。
んでTABキャリアテープ１と反対側に異方性導電ゴム２
の上表面が接するようにブラシ12を設け、回転機構４に
より異方性導電ゴム２が回転することで付着したTAB製
品等の金属クズ，ゴミ等を拭き取ることが可能である。
その他の動作は、実施例１と同様である。
この実施例では常時清浄な異方性導電ゴム２でTABキ
ャリアテープ１と測定端子３を接続可能で安定した測定
及び選別が可能であるという利点を有する。
ャリアテープ１と測定端子３を接続可能で安定した測定
及び選別が可能であるという利点を有する。
以上説明したように本発明は回転可能な円板型の異方
性導電ゴムをTABキャリアテープと測定端子（PWB）間に
はさみ込んで固定することより、常時半導体TAB製品とP
WB基板を確実に接続させ、安定した精度の良い選別を自
動で行う効果がある。
性導電ゴムをTABキャリアテープと測定端子（PWB）間に
はさみ込んで固定することより、常時半導体TAB製品とP
WB基板を確実に接続させ、安定した精度の良い選別を自
動で行う効果がある。
第１図（ａ）は本発明に係るTAB製品の選別装置を示す
斜視図、（ｂ），（ｃ）は主要部を示す縦断面図、第２
図は本発明に係る実施例２を示す縦断面図、第３図
（ａ），（ｂ），（ｃ）は従来のTAB製品の選別装置を
示す図である。 １……TABキャリアテープ、２……異方性導電ゴム ３……測定端子（PWB）、４……回転機構 ５……位置合せ及び固定機構、６……送り機構 ７……位置決めピン、８……配線リードパターン ９……シリコンゴムシート、10……金属粒子 11……位置決め用孔、12……ブラシ 13……導電ワイヤー、14……金属ガイドチューブ 15……スリーブ、16……絶縁板 17……エポキシ樹脂、18……突起
斜視図、（ｂ），（ｃ）は主要部を示す縦断面図、第２
図は本発明に係る実施例２を示す縦断面図、第３図
（ａ），（ｂ），（ｃ）は従来のTAB製品の選別装置を
示す図である。 １……TABキャリアテープ、２……異方性導電ゴム ３……測定端子（PWB）、４……回転機構 ５……位置合せ及び固定機構、６……送り機構 ７……位置決めピン、８……配線リードパターン ９……シリコンゴムシート、10……金属粒子 11……位置決め用孔、12……ブラシ 13……導電ワイヤー、14……金属ガイドチューブ 15……スリーブ、16……絶縁板 17……エポキシ樹脂、18……突起
Claims (1)
- 【請求項１】TABキャリアテープ上の製品を測定端子に
対する定位置に移動させる送り機構と、製品と測定端子
とを位置合せして固定する位置合せ及び固定機構と、測
定端子とTABキャリアテープの間に回転可能に設けら
れ、測定端子とTABキャリアテープ上の製品とを電気的
に導通させる円板型の異方性導電ゴムとを有するもので
あることを特徴とする選別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63309581A JP2936569B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63309581A JP2936569B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 選別装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02156168A JPH02156168A (ja) | 1990-06-15 |
| JP2936569B2 true JP2936569B2 (ja) | 1999-08-23 |
Family
ID=17994754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63309581A Expired - Lifetime JP2936569B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2936569B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0943308A (ja) * | 1995-07-28 | 1997-02-14 | Nec Corp | 半導体装置の検査装置 |
| JP5471144B2 (ja) * | 2009-08-07 | 2014-04-16 | 大日本印刷株式会社 | 基板検査用治具および基板検査方法 |
| CN102749484A (zh) * | 2012-07-20 | 2012-10-24 | 昆山迈致治具科技有限公司 | 在线测试治具 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074066U (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-24 | 日本電気株式会社 | 集積回路の電気試験用治具 |
| JPH0518708Y2 (ja) * | 1986-04-14 | 1993-05-18 | ||
| JP2522335B2 (ja) * | 1987-12-18 | 1996-08-07 | 日本合成ゴム株式会社 | 集積回路部品の試験装置 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP63309581A patent/JP2936569B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02156168A (ja) | 1990-06-15 |
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