JP2936569B2 - 選別装置 - Google Patents

選別装置

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JP2936569B2
JP2936569B2 JP63309581A JP30958188A JP2936569B2 JP 2936569 B2 JP2936569 B2 JP 2936569B2 JP 63309581 A JP63309581 A JP 63309581A JP 30958188 A JP30958188 A JP 30958188A JP 2936569 B2 JP2936569 B2 JP 2936569B2
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carrier tape
tab
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tab carrier
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英一 紺野
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はTAB製品の製造工程のうち、その特性を検査
する選別装置に関し、特にTAB製品と接触させてテスタ
ーと、電気的接続をはかる測定機構に関する。
〔従来の技術〕
従来、その種のTAB製品選別装置の測定端子(検出
子)は第3図(a)に示すように、コンタクトプローブ
というものを使用していた。このコンタクトプローブは
約φ0.07mm以上の導電ワイヤー13が金属ガイドチューブ
1に保持されスリーブ15内のスプリングにより上下動可
能になっており、また、金属ガイドチューブ14は可撓性
をもつ構造となっていた。
第1図の使用例としては第3図(b)に示すように、
金属ガイドチューブ14の先端をTABキャリアテープ1の
配線リードパターン8に合せて絶縁板16の透孔16aに挿
入し、金属ガイドチューブ14の上方を曲げ、適当な間隔
で花束状に開かせ、エポキシ樹脂17でかためたコンタク
ト治具として構成し、このコンタクト治具の先端に出て
いる導電ワイヤー13をTABキャリアテープ1の配線リー
ドパターン8に接触させて選別テストを行っていた。ま
た、第2の使用例としては、第3図(c)のようにコン
タクトプローブをストレートにガイドする上下の絶縁板
16で固定させたコンタクト治具として構成し、この治具
を使用して前述と同様の選別テストを行うものであっ
た。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のTAB製品の選別装置のうち、コンタク
トプローブを使用した第3図(b)の従来例では プローブワイヤー先端からコネクタ端子までの長さ
が60mm位あるため、ノイズを拾いやすい。
このコンタクトプローブを包括するコンタクト治具
が大きいものになってしまう。
コンタクトプローブのスリーブにはプローブワイヤ
ーに接触圧をかけられるスプリングを有した機構を備
え、しかも金属ガイドチューブには絶縁コーティングが
施されているためコストがかかり、多ピン測定に使用す
る場合はかなり高価なものとなってしまう。
プローブワイヤーの配列ピッチは、金属ガイドチュ
ーブ外径がφ0.16mmの場合にそのピッチが0.25mm位でし
か組み込めない。
金属ガイドチューブ以降の引き回しの関係から同一
付近には密集して設置することはできない。
等の欠点がある。
また、第3図(c)の従来例では コンタクトプローブをストレートに固定した場合
は、スリーブがφ2mm位であり、その先端の導電ワイヤ
ーの配列ピッチは2mm以上になってしまうので、多ピンI
Cの測定用には使用できない等の欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決した選別装置を提供す
ることにある。
〔発明の従来技術に対する相違点〕
上述した従来の選別装置に対し、本発明はTABキャリ
アテープと測定端子(検出子)の間に、回転可能な円板
型の異方性導電ゴムを設け、確実に相互接続させること
により異方性導電ゴムを介してTABキャリアテープと測
定端子を通電させ、TABキャリアテープを定ピッチで移
動させることにより、次々製品の特性を測定し、かつ、
上記異方性導電ゴムは金属クズ,導電性ゴム等が付着し
て接触不良等測定上問題が生じる前に、自動で定角度回
転させることで清浄な測定領域に移動し、常時安定した
選別が可能であるという相違点を有する。
〔課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するため、本発明に係る選別装置は、
測定端子とTABキャリアテープ上の製品とを測定端子に
対する定位置に移動させる送り機構と、製品と測定端子
とを位置合せして固定する位置合せ及び固定機構と、TA
Bキャリアテープの間に回転可能に設けられ、測定端子
とTABキャリアテープ上の製品を電気的に導通させる円
板型の異方性導電ゴムとを有するものである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図により説明する。
(実施例1) 第1図(a),(b),(c)は本発明の実施例1を
示す図である。
TABキャリアテープ1は一定間隔に封入済TAB製品1a,1
a…を有し連続したフィルムシート形状になっている。
該TABキャリアテープ1は送り機構6により測定端子(P
WB)3上まで送られる。TABキャリアテープ1と測定端
子3の間には回転機構4により回転可能な円板型のプラ
スチック製枠に支持されたシリコンゴムシート9があ
る。該ゴムシート9にはTABキャリアテープ1の配線リ
ードパターン8のピッチ間隔に合せた位置に四角形状で
同形サイズ高さ約0.3mmの突起18をピン数分設けてあ
り、その突起18上には金属粒子10を凹状の微細電極とし
て擬集させた、異方性導電ゴム2を回転軸の回りに2ケ
以上有している。前記導電ゴム2は圧力がかかった面に
在する微細電極のみ通電することができるものである。
また、本装置の測定端子3はTABキャリアテープ1上の
配線リードパターン8のピッチに合ったリードパターン
を持ち、2ケ所以上に位置決めピン7が設けられてい
る。また、TABキャリアテープ1に面して真上には平ら
な面を持った絶縁された位置合せ及び固定機構5にTAB
キャリアテープ1の配線リードパターン8に接する範囲
のみ凹状突起5aを有するとともに、位置決めピン7が嵌
合する位置決め用孔を有し、その位置合せ及び固定機構
5は図示されないジグシリンダの先端に取付けられてい
る。
次に本発明に係る選別装置による選別テストについて
説明する。
まず、測定端子3が選別装置のステージ上に固定さ
れ、測定端子3上のコネクタよりテスターへリード結線
されている。測定端子3の位置決めピン7に合せて異方
性導電ゴム2がピンを通して挿入される。異方性導電ゴ
ム2は測定端子3に面接触した状態にある。リール巻き
されたTABキャリアテープ1上の封入済TAB半製品1aは送
り機構6により異方性導電ゴム2の乗せた測定端子3に
面接触させられる。その際、TABキャリアテープ1のテ
ープ送りと兼用している位置決め用孔11を測定端子3の
位置決めピン7に挿入し、位置決めされる。続いてTAB
キャリアテープ1の真上よりジグシリンダを下降させ、
位置合せ及び固定機構5をTABキャリアテープ1の配線
リードパターン8に押し付けている。
また金属クズ,導電性ゴミ等により、異方性導電ゴム
2が汚れた場合には自動で位置決めピン7を下降させて
定角回転させることで、また新しい清浄な状態にするこ
とが可能である。
(実施例2) 第2図は本発明の実施例2を示す縦断面図である。
回転可能な円板型の異方性導電ゴム2の中心軸をはさ
んでTABキャリアテープ1と反対側に異方性導電ゴム2
の上表面が接するようにブラシ12を設け、回転機構4に
より異方性導電ゴム2が回転することで付着したTAB製
品等の金属クズ,ゴミ等を拭き取ることが可能である。
その他の動作は、実施例1と同様である。
この実施例では常時清浄な異方性導電ゴム2でTABキ
ャリアテープ1と測定端子3を接続可能で安定した測定
及び選別が可能であるという利点を有する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は回転可能な円板型の異方
性導電ゴムをTABキャリアテープと測定端子(PWB)間に
はさみ込んで固定することより、常時半導体TAB製品とP
WB基板を確実に接続させ、安定した精度の良い選別を自
動で行う効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)は本発明に係るTAB製品の選別装置を示す
斜視図、(b),(c)は主要部を示す縦断面図、第2
図は本発明に係る実施例2を示す縦断面図、第3図
(a),(b),(c)は従来のTAB製品の選別装置を
示す図である。 1……TABキャリアテープ、2……異方性導電ゴム 3……測定端子(PWB)、4……回転機構 5……位置合せ及び固定機構、6……送り機構 7……位置決めピン、8……配線リードパターン 9……シリコンゴムシート、10……金属粒子 11……位置決め用孔、12……ブラシ 13……導電ワイヤー、14……金属ガイドチューブ 15……スリーブ、16……絶縁板 17……エポキシ樹脂、18……突起

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】TABキャリアテープ上の製品を測定端子に
    対する定位置に移動させる送り機構と、製品と測定端子
    とを位置合せして固定する位置合せ及び固定機構と、測
    定端子とTABキャリアテープの間に回転可能に設けら
    れ、測定端子とTABキャリアテープ上の製品とを電気的
    に導通させる円板型の異方性導電ゴムとを有するもので
    あることを特徴とする選別装置。
JP63309581A 1988-12-07 1988-12-07 選別装置 Expired - Lifetime JP2936569B2 (ja)

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JPH02156168A JPH02156168A (ja) 1990-06-15
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0943308A (ja) * 1995-07-28 1997-02-14 Nec Corp 半導体装置の検査装置
JP5471144B2 (ja) * 2009-08-07 2014-04-16 大日本印刷株式会社 基板検査用治具および基板検査方法
CN102749484A (zh) * 2012-07-20 2012-10-24 昆山迈致治具科技有限公司 在线测试治具

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6074066U (ja) * 1983-10-28 1985-05-24 日本電気株式会社 集積回路の電気試験用治具
JPH0518708Y2 (ja) * 1986-04-14 1993-05-18
JP2522335B2 (ja) * 1987-12-18 1996-08-07 日本合成ゴム株式会社 集積回路部品の試験装置

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