JP2522335B2 - 集積回路部品の試験装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、集積回路部品の試験装置に関し、詳しく
は、特にフィルムキャリアに実装されたICもしくはLSI
等の集積回路部品の導通試験を、常温あるいは高温条件
で行なう場合に好適な集積回路部品の試験装置に関する
ものである。

〔従来の技術〕

近年、電子産業の技術的進歩は著しく、とりわけ、IC
やLSI等の集積回路部品においては、益々高密度化や多
ピン化等が進められると共に、一枚の基板に搭載される
半導体素子の個数も増大し、集積回路部品の信頼性に対
する要求はますます厳しさを増す状態となってきた。従
って、集積回路部品に対する試験の重要性および必要性
も一層高められている。

しかして、最近においては、多数の集積回路部品を列
状にフィルムキャリアに実装して連続的に組立工程に供
給するシステムが採用され、そのため斯かるいわばフィ
ルムキャリア型の集積回路部品の検査に好適な試験装置
の開発が望まれている。

集積回路部品の試験装置としては、従来、次のような
構成のものが知られている。

（１）配線パターンを施した試験用基盤上に集積回路部
品を搭載するための検査用ソケットを配置して構成した
試験装置。

（２）バネ性を有するコンタクトピンと加圧蓋とを備え
た匡体内に、集積回路部品を加圧固定して検査する検査
用ソケットを配置して構成したフラットパッケージIC用
の試験装置。

（３）上記（２）におけるコンタクトピンの代わりに、
検査電極を備えた検査用回路板と導電性弾性板とを用い
て構成した試験装置。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記（１）の装置では、検査用ソケッ
トにICやLSI等の集積回路部品を装着した状態でバーン
・イン・テスト等を実施する構成であるので、例えば幅
が35mmあるいは70mmの連続した一本の長尺なフィルムキ
ャリア上に適宜の間隔で実装されたフィルムキャリア型
の集積回路部品の試験には適用できない問題がある。

また、上記（２）の装置では、コンタクトピンを用い
るので、その製造上の制約から集積回路部品の被検査電
極における電極ピッチが例えば0.5mm以下の高密度の配
列になると、隣接する被検査電極間の絶縁が不十分とな
って正確な導通試験ができない問題がある。

また、上記（３）の装置では、上記（２）のような電
極ピッチによる制約は受けないが、試験を繰り返して行
なう場合、あるいは高温条件下で行なう場合において、
匡体の塑性変形等に起因するわずかな撓みにより十分な
加圧力を作用させることができなくなるため、検査電極
と被検査電極との接続不良が生じ、試験性能が劣る問題
があった。また、フィルムキャリア型の集積回路部品を
いわば連続的に搬送して試験する場合には、例えば匡体
の加圧蓋にフィルムキャリアの通路を構成する開口を設
けることが必要とされるが、この開口があるために被検
査電極に検査電極を十分均一に押圧することができず、
試験性能が劣る問題があった。

本発明は、以上の如き事情に基づいてなされたもので
あって、電極ピッチが微小な集積回路部品の導通試験
を、環境温度の影響を受けることなく十分な精度で繰り
返して多数回にわたり安定に行なうことができるフィル
ムキャリア型の集積回路部品の導通試験に好適な試験装
置を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の集積回路部品の試験装置は、フィルムキャリ
アに実装された集積回路部品の被検査電極群が配置され
た面にシート状導電性弾性体の上面を重ね合わせ、この
シート状導電性弾性体の下面に、検査用回路板の検査電
極群が配置された面を重ね合わせて積重体を形成し、こ
の積重体を、上蓋および下蓋を備えた挟圧手段により挟
圧することにより被検査電極と検査電極とを導通させて
集積回路部品の試験を行なう試験装置において、前記挟
圧手段の上蓋と前記積重体との間に、上下方向に進退自
在に保持された加圧板を配置し、当該加圧板の下面に
は、前記被検査電極群が位置する領域を含んで重なるよ
う配設される加圧用凸面部が形成されると共に、当該加
圧板の上面には、前記加圧用凸面部に対応する領域に上
面側凸面部が形成され、前記挟圧手段の上蓋と前記加圧
板との間に弾性板を配置し、前記シート状導電性弾性体
は、粒径１〜100μｍの磁性を有する金属粒子からなる
導電性磁性体粒子が厚み方向に配列した状態で含有され
てなることを特徴とする。

以下、本発明を具体的に説明する。

本発明に係る集積回路部品の試験装置の一例において
は、第１図および第２図に示すように、フィルムキャリ
アＢに実装されている集積回路部品Ａの被検査電極A1の
群が配置された面にシート状導電性弾性体１の一面（上
面）を重ね合わせ、このシート状導電性弾性体１の他面
（下面）に、検査用回路板２の検査電極21の群が配置さ
れた面を重ね合わせて積重体を形成し、この積重体を、
下蓋41および上蓋42を備えた挟圧手段を兼ねる匡体４に
より挟圧することにより被検査電極A1とそれぞれ対応す
る検査電極21とを導通させて集積回路部品Ａの試験を行
なう試験装置において、前記挟圧手段の上蓋42と前記積
重体との間に、弾性板６と、上下方向に進退自在に保持
された加圧板３とを配置して試験装置を構成する。そし
て当該加圧板３の下面には、前記被検査電極A1の群が位
置する領域を含んで重なるよう配設される加圧用凸面部
31が形成され、当該加圧板３の上面には、前記加圧用凸
面部31に対応する領域に上面側凸面部33が形成されてい
る。

図示の例の集積回路部品Ａは、フィルムキャリア型の
集積回路部品であって、例えば幅が35mmあるいは70mm等
の連続した一本の長尺なフィルムキャリアＢ上に多数の
集積回路部品Ａが適宜の間隔で列状に実装されている。
被検査電極A1の群の電極ピッチは例えば0.5mm以下であ
る。

本発明においては、加圧板３が加圧用凸面部31を有す
る点に特徴を有するものである。これにより、 匡体４（挟圧手段）による挟圧力が、被検査電極A1
の群の位置する領域に対して集中的に作用することにな
るため、当該挟圧力が小さいものであっても、被検査電
極A1に対し検査電極21を十分に均一に押圧させることが
できる。また、 加圧時において加圧板３自身に撓みを生じたとして
も、これによって、前記領域に作用する加圧力が影響を
受けることはない。さらに、 被検査電極A1の群の個々の電極を電極ピッチの間隔
にかかわらず位置ずれを起こすことなく加圧することが
できる。

また、本発明においては、当該加圧板３が上面側凸面
部33を有する点にも特徴がある。これにより、挟圧手段
の上蓋42から上面側凸面部33に作用する押圧力は、加圧
板３の全域に分散されることなく、下面側の対応領域に
形成されている加圧用凸面部31に対して集中的に伝達さ
れる。そして、この結果、前記被検査電極A1の群が位置
する領域に対して集中的に押圧力を作用させることがで
きるともに、加圧時における加圧板３自身の撓みを防止
することができる。

シート状導電性弾性体１は、加圧されたときに加圧部
分が厚み方向のみに導電性を示す特性を有する弾性体で
ある。このシート状導電性弾性体１の具体的構成として
は、粒径１〜100μｍの磁性を有する金属粒子からなる
導電性磁性体粒子を、弾性体シート中に厚み方向に配列
した状態で含有させた構成を採用することができる。

シート状導電性弾性体１としてこのような構成を採用
することにより、シート面における電気抵抗のばらつき
を小さくすることができるために安定した試験性能が得
られるとともに、隣接する被検査電極間に十分な絶縁性
を得ることができるために分解能を向上させることがで
き、加圧板３が加圧用凹面部31および上面側凸面部33を
有することによる上記の作用とも相まって、電極ピッチ
が微小な集積回路部品の導通試験を十分な精度で行なう
ことができる。

具体的に説明すると、弾性性シート中に厚み方向に配
列した状態で含有させる導電性磁性体粒子としては、例
えばニッケル、コバルト、鉄等の磁性を有する金属粒子
を用いることができ、またこれらの粒子の表面を金、
銀、パラジウム等により電解メッキしたものを用いても
よい。導電性磁性体粒子の弾性体シート中における体積
分率は、３〜15％の範囲が好ましい。当該体積分率が過
小のときには電気抵抗のばらつきが大きくなるため試験
性能が不安定となり、一方、当該体積分率が過大のとき
には隣接する被検査電極間の絶縁性が不十分となるため
分解能を1mm以下に保つことができず、その結果、電極
ピッチが例えば0.5mm以下の微小の被検査電極を有する
集積回路部品の試験を行なうことが困難となる。なお、
電極ピッチとは、電極幅と電極間の距離との和をいい、
分解能とは、電極ピッチの逆数で与えられる数値をい
う。

弾性体の構成材料としては、耐熱性に優れたシリコー
ンゴムを好ましく用いることができる。斯かるシリコー
ンゴムシート中に導電性磁性体粒子を所定の状態に含有
させる手段としては、（１）導電性磁性体粒子とシリコ
ーンゴムとからなる複合体未架橋物をシート状に成形
し、この成形物を表面が平坦な磁極板間に配置し、架橋
前または架橋時に磁場を作用させて成形物の厚み方向に
平行な磁束線を形成する方法（特開昭55−159578号公
報）、（２）導電性磁性体粒子とシリコーンゴムとから
なる複合体未架橋物をシート状に成形した後、この成形
物を凹凸のある磁極板により挟持し、架橋前または架橋
時に磁場を作用させて成形物の厚み方向に平行な磁束線
を形成する方法（特開昭53−147772号公報、特開昭54−
146873号公報）等を挙げることができる。

検査用回路板２は、一面に配設された検査電極21の群
と、これらの検査電極21と配線23によって接続された外
部接続端子22と、当該検査電極21の集積回路部品Ａの被
検査電極A1に対する位置を規定するための位置決め用ガ
イドピン５とを有してなる。なお、配線23には、必要に
応じて絶縁被膜24を設けてもよい。検査用回路板２基板
の構成材料としては、ガラスエポキシ樹脂、ガラスポリ
イミド樹脂等の耐熱性材料を挙げることができる。

加圧板３は、被検査電極A1の群が位置する領域を含ん
で重なるよう配設される加圧用凸面部31を下面に有し、
かつ、挟圧手段を兼ねる匡体４に対してシート状導電性
弾性体１の厚み方向に進退自在に保持されている。具体
的に説明すると、加圧板３のガイド穴32に加圧板３の移
動方向に伸びるガイドピン５が挿通されて、加圧板３が
当該ガイドピン５に沿って移動自在とされ、かつ加圧用
凸面部31の被検査電極A1の群に対する位置が規定されて
いる。すなわち、加圧板３は、匡体４には固定されてお
らず、ガイドピン５に沿った方向に相当自由に変位可能
に保持されている。従って、匡体４による挟圧時には加
圧板３の自由な変位により匡体４の塑性変形等に起因す
る撓みが吸収され、その結果集積回路部品Ａの被検査電
極A1の群とシート状導電性弾性体１と検査用回路板２の
検査電極21の群とを、多数回にわたり繰り返して均一な
挟圧力で挟圧することができ、長期間安定した試験性能
が発揮される。

加圧板３は、例えば第３図に示すような周辺部が連続
した２つの加圧用凸面部31を有し、中央に開孔部3Hを有
する形状のものを用いる。

第３図に示す加圧板３を用いた場合の加圧用凸面部31
の配設位置は、第２図の上方から見たときに被検査電極
A1の群が位置する領域を含んで重なる位置であることが
必要とされ、そして集積回路部品Ａの中心に加圧板３の
重心が概ね一致する位置であることが好ましい。このよ
うな位置に配置することにより、被検査電極A1の群が位
置する領域全体を均一に加圧することができる。また、
加圧用凸面部31の集積回路部品Ａに接する部分は、被検
査電極A1の群に対する加圧力をさらに均一化する観点か
らシリコーンゴム等の弾性体で構成することが好まし
い。

また、加圧板３は、加圧用凸面部31に対応する領域に
形成された上面側凸面部３を上面に有しており、これに
より、加圧板３自身の撓みを防止することができる。

なお、加圧板３は、集積回路部品Ａの一面側のみなら
ず、他面の検査用回路板２の外側にも配置してもよい。

この例の匡体４は、挟圧手段を兼用する構成であり、
具体的には、例えば下蓋41、上蓋42と、止め具43とを備
えてなる。42HはフィルムキャリアＢの通路を構成する
開口である。この匡体４により、集積回路部品Ａが脱着
可能に保持されると共に、導通試験の際には、検査用回
路板２の検査電極21の群と、シート状導電性弾性板１
と、被検査電極A1の群との積重体が加圧板３を介して挟
圧される。

匡体４の構成材料としては、特に限定されないが、具
体的には鉄、アルミニウム、真鍮等の金属材料、ガラス
エポキシ樹脂、ガラスポリイミド樹脂、ポリフェニレン
サルファイド、ポリアセタール、ビスマレイミドトリア
ジン共重合体等のエンジニアリングプラスチック等を挙
げることができる。

弾性板６は、挟圧の上蓋42と加圧板３との間に配置さ
れ、この弾性板６を配置することにより、繰り返し使用
や高温の環境条件での使用により、匡体４による挟圧力
が材料の塑性変形等に起因して減少したときに、当該挟
圧力の減少を補償する効果を発揮する。この弾性体６の
構成材料としては、金属を使用することもできるが、シ
リコーンゴム、フッ素ゴム等の耐熱性ゴムを好ましく用
いることができる。斯かるう耐熱性ゴムによれば、特に
高温下における試験において、耐久性が優れ、また弾性
板６自身の熱膨張による加圧力も発揮されるため、上記
挟圧力減少を補償する効果が格段に優れたものとなる。

また、上記構成要素には、特に高温下における試験時
に集積回路部品Ａの温度を一定に保つための通気口2H,3
H,4H,6Hが設けられている。

なお、本発明においては、挟圧手段の具体的構成は特
に限定されず、例えば匡体とは別個の挟圧手段を設けて
もよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、集積回路部品の被検査電極と、シー
ト状導電性弾性体と、検査用回路板の検査電極との積重
体を、特定の加圧用凸面部を有しかつシート状導電性弾
性体の厚み方向に進退自在に保持された加圧板を介して
挟圧手段により挟圧するので当該加圧板の作用により、
環境温度の変化に起因する伸縮疲労あるいは挟圧手段の
塑性変形等に起因する撓み等が吸収され、多数介にわた
り繰り返して均一な挟圧力で挟圧することができ、長期
間安定した試験性能が発揮される。

また、前記加圧板の下面には、被検査電極群が位置す
る領域を含んで重なるよう配設される加圧用凸面部が形
成されているので、挟圧手段による挟圧力を前記領域に
集中的に作用させることができ、これにより当該挟圧力
が小さいものであっても、被検査電極に検査電極を十分
均一に押圧させることができる。

また、当該加圧板の上面には、前記加圧用凸面部に対
応する領域に上面側凸面部が形成されているので、挟圧
手段を構成する上蓋からの押圧力を、被検査電極群が位
置する領域に集中的に作用させることができるともに、
加圧時における加圧板自身の撓みを防止することができ
る。

また、前記挟圧手段を構成する上蓋と前記加圧板との
間に弾性板を配置しているので、当該挟圧手段による挟
圧力が材料の塑性変形等に起因して減少したときに、当
該挟圧力の減少を補償することができる。

また、前記シート状導電性弾性体は、粒径１〜100μ
ｍの磁性を有する金属粒子からなる導電性磁性体粒子が
厚み方向に配列した状態で含有されてなるので、このよ
うなシート状導電性弾性体の優れた機能が十分に発揮さ
れ、電極ピッチが微小な集積回路部品の導通試験を、環
境温度によらずに十分な精度で繰り返して多数回にわた
り安定に行なうことができ、特にエージング試験に好適
である。

また、フィルムキャリア型の集積回路部品のように集
積回路部品が連続的に供給されるときには、フィルムキ
ャリアの通路を構成する開口を形成することが必要とさ
れるが、斯かる開口を設ける場合にも、加圧板の作用に
より挟圧力の均一化を十分図ることができるので、信頼
度の高い導通試験を実施することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明に係る集積回路部
品の試験装置の一例を示す説明用部分破断斜視図および
説明用断面図、第３図は加圧板の一例を示す説明用斜視
図である。 Ａ……集積回路部品、A1……被検査電極 Ｂ……フィルムキャリア １……シート状導電性弾性体 ２……検査用回路板、21……検査電極 22……外部接続端子、23……配線 24……絶縁被膜、３……加圧板 31……加圧用凸面部、32……ガイド穴 33……上面側凸面部、3H……開孔部 ４……匡体、41……下蓋 42……上蓋、43……止め具 42H……開口、５……ガイドピン ６……弾性板 2H,3H,4H,6H……通気口

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルムキャリアに実装された集積回路部
   品の被検査電極群が配置された面にシート状導電性弾性
   体の上面を重ね合わせ、このシート状導電性弾性体の下
   面に、検査用回路板の検査電極群が配置された面を重ね
   合わせて積重体を形成し、この積重体を、上蓋および下
   蓋を備えた挟圧手段により挟圧することにより被検査電
   極と検査電極とを導通させて集積回路部品の試験を行な
   う試験装置において、 前記挟圧手段の上蓋と前記積重体との間に、上下方向に
   進退自在に保持された加圧板を配置し、当該加圧板の下
   面には、前記被検査電極群が位置する領域を含んで重な
   るよう配設される加圧用凸面部が形成されると共に、当
   該加圧板の上面には、前記加圧用凸面部に対応する領域
   に上面側凸面部が形成され、 前記挟圧手段の上蓋と前記加圧板との間に弾性板を配置
   し、 前記シート状導電性弾性体は、粒径１〜100μｍの磁性
   を有する金属粒子からなる導電性磁性体粒子が厚み方向
   に配列した状態で含有されてなることを特徴とする集積
   回路部品の試験装置。