JPS61250906A - 導電性エラストマ−シ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品などの回路素子相互間の電気的接続
に、またはプリント回路基板の検査装置に好ましく用い
ることができる導電性エラストマチシートに関するもの
である。

〔従来の技術〕

厚み方向に導電性を有する導電性エラストマーシートは
、ハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずに
コンパクトな接続が可能であること、機械的な衝撃やひ
ずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特
徴を有し、例えば電子卓上計算器、電子式デジタル時計
、電子カメラ、コンピュータキーボードなどの分野にお
いて、回路素子、例えばプリント回路基板とリードレス
チップキャリアー、液晶パネルなどとの相互間を電気的
に接続するためのコネクタとして広く用いられている。

従来、この種の導電性エラストマーシートとしては、例
えば、 （イ）特公昭５６−４８９５１号公報に開示されている
ような、導電性カーボンを充填した導電性ゴムと絶縁性
ゴムとを積層したタイプのもの、（ロ）特開昭５１−９
３３９３号公報に開示されているような、金属粒子をエ
ラストマーに均一に分散して得られるタイプのもの、 （ハ）特開昭５３−１４７７７２号公報および特開昭５
４−１４６８７３号公報に開示されているような、導電
性磁性体粒子をエラストマーに不均一に分布させたタイ
プのもの、 などが知られている。

しかし、これらの導電性エラストマーシートにおいては
種々の問題がある。すなわち、上記（イ）の導電性エラ
ストマーシートにおいては、導電性粒子がカーボンであ
るため導電部の電気抵抗が大きく、電流容量゛が小さい
などの問題を有する。上記（ロ）の導電性エラストマー
シートにおいては、導通部における電気抵抗が大きくて
導電性が不十分であり、一方絶縁部における電気抵抗が
小さくて十分な耐電圧性を得ることができない問題を有
する。上記（ハ）の導電性エラストマーシートにおいて
は、（ロ）の導電性エラストマーシートにおける問題点
については改善されているが、シートの表面が平滑であ
るため、これを多接点のコネクターとして用いる場合に
はコネクターの表面全体に均一に大きな圧力を加える必
要があり、高度の接続信頌性を得ることができない問題
を有する。

また、従来より導電性エラストマーシートを用いたプリ
ント回路基板の検査装置が知られているが、検査すべき
プリント回路基板の検査点が規格からはずれた特殊な導
電部などを有する場合、特にユニバーサル型の検査装置
においては、従来の導電性エラストマーシートを用いる
と検査時に電気的接続が不確実であるという問題を存す
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、従来の導電性エラストマーシートが有する、
導電機能あるいは接続信頼性が不十分であるなどの問題
点を解決し、小さい圧接力で確実び電気的接続を達成す
ることができ、電子部品などの回路素子相互間の電気的
接続に、またはプリント回路基板の検査装置に好ましく
用いることのできる導電性エラストマーシートを提供す
ることを目的とする。　　　　。

〔問題点を解決するための手段〕

以上の問題点は、少なくとも厚み方向に、加圧状態でま
たは無加圧状態のままで導電路を形成しうる複数の導電
路形成部と、これら導電路形成部の相互間を絶縁する絶
縁部とを有する導電性エラストマーシートにおいて、 少なくとも一方の表面において、Ｒ電路形成部の表面と
絶縁部の表面の間に段差が形成されていることを特徴と
する導電性エラストマーシートによって解決される。

すなわち、本発明においては、導電路形成部を絶縁部よ
り突出した状態で形成させるかもしくは絶縁部を導電路
形成部より突出した状態で形成させることにより、導電
路形成部と接続すべき回路素子の接点や電極端子との接
触を確実にすることができる。

本発明において導電路形成部とは、エラストマーシート
の少なくとも厚み方向に、加圧状態でまたは無加圧状態
のままで導電路を形成しうる機能を有するものをいい、
例えば該シート中に金属、カーボンなどの導電体の粒子
あるいは繊維などを分散させて構成され、厚み方向に圧
力を加えることによりあるいは加えないで導電性を有す
るものをいう。ここにおける導電体の形状は特に限定す
るものではないが、導電路形成部の耐屈曲性を考慮する
と、導電体は粒子状のものが好ましい。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例によってさらに詳細に説明する。

第１図および第２図はそれぞれ本発明の導電性エラスト
マーシートの例を表し、（ａ）はその平面図、（ｂ）は
（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

第１図に示す導電性エラストマーシートＴは、面の一方
向に伸びる複数の板状導電路形成部１が互いに一定の間
隔をおいて平行に配置され、これら導電路形成部１の相
互間に絶縁部２が配置されて構成されている。そして、
各導電路形成部１はその表面がシー１−Ｔの両面におい
て絶縁部２より突出した状態にあり、しかも各導電路形
成部１の表面はほぼ同一平面上に位置するよう配置され
る。

第２図に示すＲ電性エラストマーシートＴは、円柱状の
導電路形成部１が絶縁部２を構成する基板中に島状に規
則正しく配列されて構成されている。

これらの導電性エラストマーシートＴにおいては、隣接
する導電路形成部１の相互間の離間間隔ｄは絶縁部２の
厚みｈの１／３以上であることが好ましい。導電路形成
部１の離間間隔ｄが絶縁部２の厚みｈの１／３より小さ
いと、隣接する導電路形成部１相互間に導電路が形成さ
れて絶縁不良を生じやすいという問題が発生しやすい、
また、導電路形成部！における絶縁部２より突出した部
分の高さｌは絶縁部２の厚みｈの３〜３０％の大きさを
有することが好ましい、導電路形成部１の突出部分の高
さｉが絶縁部２の厚みｈの３％より小さいと、本発明の
効果を発現しにくく、しかも製造上の歩留まりが低くな
り好ましくない、また導電路形成部１の突出部分の高さ
２が絶縁部２の厚みｈの３０％より大きいと、使用時に
不均一な歪を生じやすくなり好ましくない。

上述のような構成を有する導電性エラストマーシー）Ｔ
は以下に述べる方法によって有利に製造することができ
る。

すなわち、導電性磁性体粒子と、架橋によって高分子弾
性体となる粘性高分子（以下、「未架橋高分子」という
、）との混合物を調製したのち、未架橋高分子を架橋す
る時または架橋する前にこの混合物に導電路形成部１の
パターンに対応してエラストマーシートＴの厚み方向に
対して磁力線が平行な磁場（以下、「平行磁場」という
。）を作用させ、導電性磁性体粒子を磁場の作用してい
る部分に集めることにより、導電性磁性体粒子が高密度
で分布する導電路形成部１と導電性磁性体粒子がほとん
ど存在しないかもしくは低密度で分布する絶縁部２とを
形成することができる。このとき、混合物に平行磁場を
作用させる時間は、未架橋高分子が架橋反応によって硬
化するのに要する程度の時間とされ、例えば室温硬化型
（ＲＴＶ型）シリコーンゴムにおいては、室温で２４時
間程度、４０℃で２時間程度、８０℃で３０分間程度で
ある。

第３図は上述の方法によって第１図に示した導電性エラ
ストマーシートＴを形成するときに用いる磁極板３を表
し、この磁極板３は、製造すべき導電性エラストマーシ
ートＴの導電路形成部１のパターンに対応して強磁性体
３１を配置し、この強磁性体３１の間に導電性エラスト
マーシートＴの絶縁部２に対応して非磁性体３２を設け
て構成される。

そして、第４図に示すように、この磁極板３を対向して
配置し、両磁極板３．３の間に導電性磁性体粒子と未架
橋高分子との混合物Ｍを挟み、この状態で電磁石４を作
動させ強磁性体３１を介して混合物Ｍに平行磁場を作用
させた後または作用させながら未架橋高分子の架橋を行
うことにより、導電路形成部ｌの形成と同時に混合物Ｍ
の成形が行なわれ、導電性エラストマーシートＴを得る
ことができる。また、対向する磁極板３，３の間にスベ
ーナを介することにより、導電性エラストマーシートＴ
の厚みを調整することができる。

このような製造方法において用いられる磁極板は、導電
路形成部の形成に加えて導電性エラストマーシートを成
形するための金型として１機能し、導電性エラストマー
シートの導電路形成部および絶縁部に対応して強磁性体
および非磁性体が配置される。磁極板は、強磁性体と非
磁性体とを交互に積層したりあるいは非磁性体中に強磁
性体を埋め込むことにより形成することができる。また
、磁極板の強磁性体を構成する材料としては、磁場の作
用により残留磁気を生じないものが好ましく、特に軟鉄
が好ましく、非磁性体としては、強磁性を示さない材料
、例えば銅、真ちゅう、アルミニウムなどを挙げること
ができる。

この製造方法において用いる導電性磁性体粒子としては
、例えば、鉄、ニッケル、コバルトなどの金属もしくは
これらの合金の粒子、またはこれらの粒子に金、銀、パ
ラジウム、ロジウムなどのメッキをしたもの１．非磁性
金属粒子、ガラスピーズなどの無機質粒子またはポリマ
ー粒子にニッケル、コバルトなどの導電性強畢性体のメ
ツキラＳＳしたものなどを挙げることができる。これら
のうち、価格の点で特に鉄、ニッケルまたはこれらの合
金の粒子が好ましく、また接触抵抗が小さいなど電気的
特性および耐候性（温度、温度などの環境の変化によっ
て特性が変化しにくい特性）の点で金メッキされた粒子
を好ましく用いることができる。

導電性磁性体粒子の粒径は、好ましくは０．０１〜２０
０μｍ１導電性エラストマーシートの柔軟性などの点を
考慮すると、より好ましくは１〜１００μｍである。

また導電性磁性体粒子の混合割合は、導電性磁性体粒子
と未架橋高分子との混合物全体に対し体積分率で３〜４
０％が好ましい。導電性磁性体粒子の混合割合が３％よ
り小さいと、導電路形成部の電気的抵抗が大きくなる問
題があり、導電性磁性体粒子の混合割合が４０％より大
きいと、導電性エラストマーシートの硬度が大きくなっ
て柔軟性が不十分となり、また絶縁部の電気的抵抗が小
さくなって耐電圧性が低下するという問題を有する。

未架橋高分子としては、例えば、ポリブタジェン、天然
ゴム、ポリイソプレン、スチレン−ブタジェン共重合ゴ
ム、アクリロニトリル−ブタジェン共重合ゴム、エチレ
ン−プロピレン共重合ゴム、ウレタンゴム、ポリエステ
ル系ゴム、クロロブレンゴム、エピクロルヒドリンゴム
、シリコーンゴムなどを挙げることができ、耐候性が要
求される場合には非ジエン系ゴムが好ましい。また、未
架橋高分子は、これと導電性磁性体粒子の混合物の粘度
が、２５℃の温度において、１０’５ｅｃ−’の歪速度
で１０４〜１０７ボアズとなる程度の流体であることが
好ましい。混合物の粘度が１０４ポアズより小さいと導
電性磁性体粒子が拡散しやすく安定な分布状態を得るこ
とが困難であり、一方混合物の粘度が１０７ボアズより
大きいと、平行磁場を作用したときに導電性磁性体粒子
の配向に時間がかかり実用的でない。

また、導電性磁性体粒子と未架橋高分子との混合物には
必要に応じて添加剤を加えることができ、例えばコロイ
ドシリカ、シリカエアロゲル、カオリン、マイカ、タル
ク、ウォラスナイト、ケイ酸カルシウム、白亜、炭酸カ
ルシウム、ケイ酸カルシウム、酸化鉄、アルミナなどの
充填剤を混合物全体に対し３０容量％程度まで含んでい
てもよい。

これらの充填剤は、導電性磁性体粒子の再配列を防止し
て安定な分布状態を保持するのに役だつ。

ただし、充填剤の添加割合が３０容量％程度をこえると
、導電性エラストマーシートが圧縮永久歪を生じやすく
なったり、あるいは加圧導電性などの電気特性が低下し
て好ましくない。

なお、未架橋高分子を架橋するのに必要な架橋剤は、特
に限定するものではなく、一般的に使用されている架橋
剤を用いることができ、架橋剤の使用量も一般的な使用
量、例えば未架橋高分子１００重量部に対して３〜１５
重量部でよい。

第１図および第２図に示す、導電路形成部１が絶縁部２
より突出した状態で形成されたタイプの導電性エラスト
マーシートＴは、導電路形成部１が相互に絶縁を保った
状態でそれぞれ独立して配置されているので、小さい圧
接力で十分な導電路が形成され、しかもこの導電性エラ
ストマーシートＴの表面に局部的な圧接力の差が生じた
としてもこの圧接力の差の影響を受けに＜＜、高い接触
信顧性を得ることができる。したがって、この導電性エ
ラストマーシートＴは、多数の接点が配列されている大
面積の回路素子あるいは接点が平面的に配置された回路
素子のコネクタとして用いた場合であっても、小さい圧
接力で優れた接続信幀性を得ることができる。

第５図は、本発明の他の実施例を示し、（ａ）はその平
面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。

この例の導電性エラスト→−シートＴは、角柱状の導電
路形成部ｌが絶縁部２を構成する基板中に島状に規則正
しく配列され、かつ絶縁部２が導電路形成部ｌより突出
した状態で構成され、導電路形成部１のまわりに突縁部
分２１が形成されている。

この導電性エラストマーシートＴにおいては、隣接する
導電路形成部ｌ゛の相互間の離間間隔ｄは導電路形成部
１の厚みｇの１／３以上であることが好ましい、導電路
形成部１の離間間隔ｄが導電路形成部１の厚みｇの１／
３より小さいと、隣接する導電路形成部１相互間に導電
路が形成されて絶縁不良を生じやすいという問題が発生
しやすくなる、また、導電路形成部１における絶縁部２
より窪んだ部分の高さｉは導電路形成部ｌの厚みｇの３
〜２００％の大きさを有することが好ましい。

導電路形成部１の窪み部分の高さｉが導電路形成部１の
厚みｇの３％より小さいと、本発明の効果を発現しにく
く、しかも製造上の歩留まりが低くなり好ましくない。

また導電路形成部ｌの富み部分の高さｉが導電路形成部
ｌの厚みｇの２００％より大きいと、製造時の脱型が困
難となり、製造上の歩留まりが低くなり好ましくない。

このタイプの導電性エラストマーシートＴも既述の方法
により有利に製造することができる。

第６図は第５図に示す導電性エラストマーシートＴの製
造に用いられる磁極板３を表し、この磁極板３において
は強磁性体３１が導電性エラストマーシートＴの導電路
形成部１に対応して突出した状態で形成されている。

第７図は、第５図に示した導電性エラストマーシートＴ
をプリント回路基板の検査装置に適用した例を示す部分
断面図である。プリント回路基板の検査装置は、プリン
ト回路基板において所期のパターンの導電路が形成され
ているか否かを検査するために、プリント回路基板に形
成された、機能素子が差しこまれる孔（スルーホール）
の周囲などに形成された導電部（以下、これを「被検査
導電部」という、）の導通状態、被検査導電部の相互間
の絶縁状態などを検査する装置である。この検査装置を
用いた検査は、通常、検査すべきプリント回路基板の被
検査導電部の基本的な配列パターン、例えばピッチ２．
５４ｍｍあるいは１　、２７ｍｍで縦横に規則的に配列
される格子点の集合（以下、これを「基本格子」という
、）に対ボして検査用−子を配置し、これと被検査導電
部とを電気的に接続することにより行われる。

第７図において、Ｂは検査すべきプリント回路基板であ
り、このプリント回路基板Ｂは基本格子から変位した被
検査導電部Ｂｌ（Ｂ１３〜Ｂ１５）を含むものである。

５はユニバーサル端子板であり、このユニバーサル端子
板５は、アクリル樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂
などの絶縁性材料より形成された板体５１に検査すべき
プリント回路基板Ｂの基本格子のピッチに対応する間隔
ａ、例えば２．５４ａ＋ｍで縦横に並ぶ格子点において
検査用端子Ｅ　（Ｅｌ−８８）を埋設し固定して構成さ
れる。

そして、各検査用端子Ｅは、検査回路を介して図示しな
い検出部と電気的に接続されている。またＰ（ＰＩ〜Ｐ
７）はプリント回路基板Ｂの各被検査導電部Ｂ１とユニ
バーサル端子板５の検査用端子Ｅとをそれぞれ電気的に
接続するための導電性ビンであり、これらの導電性ピン
Ｐは図示しない支持手段によって摺動可能に保持され、
または導電性ピンＰを十分に短くして可とう性シートに
固定する・ことにより保持されている。そして、導電性
ピンＰとユニバーサル端子板５との間には、本発明の上
記導電性エラストマーシートＴが、また導電性ピンＰと
プリント回路基板Ｂとの間には、厚み方向に対して加圧
状態でまたは無加圧状態のままで導電機能を有する導電
性エラストマーシート６が介挿されている。上記導電性
ピンＰは、プリント回路基板Ｂの被検査導電部Ｂｌとユ
ニバーサル端子板５の検査用端子Ｅが対応した位置関係
にある場合には直線状のビンでよいが、第７図における
被検査導電部Ｂ１４．　Ｂ１５のように、被検査導電部
Ｂｌが基本格子より変位していてこれと検査用端子Ｅが
対応した位置関係にない場合には、導電性ピンＰ（Ｐ４
．Ｐ５）の先端部（図示の例の場合はユニバーサル端子
板５側の先端部）に例えばＬ字状の屈曲部１４．１５を
形成゛し、その先端面を隣接する検査用端子Ｅ（Ｂ４．
Ｂ５）の位置に対応させる必要がある。

以上のような構成のプリント回路基板の検査装置におい
て本発明の導電性エラストマーシートＴを用いると、導
電路形成部１のまわりに絶縁部２による突縁部分２１が
形成されていることから、この突縁部分２１に導電性ピ
ンＰ４．Ｐ５の屈曲部１４．１５を係合させることによ
り、この導電性ピンＰ４．Ｐ５を安定にしかも高い位置
精度で配置することができる。また、突縁部分２１によ
って形成される凹部、すなわち導電路形成部ｌにユニバ
ーサル端子板５の検査用端子Ｅを嵌合するようにすれば
、この検査用端子Ｅと導電性エラストマーシートＴの導
電路形成部１との電気的接触をより確実にすることがで
きる。さらに、導電性エラストマーシートＴは、隣接す
る導電路形成部１が絶縁部２によってそれぞれ絶縁状態
とされているので、導電性ビンＰを介してプリント回路
基板Ｂの被検査導電部Ｂｌとユニバーサル端子板５の検
査用端子Ｅとの電気的接続を確実に行うことができ、信
頼性の高い導通および絶縁検査を達成することができる
。

第８図は、第５図に示した導電性エラストマーシートＴ
を電子部品のコネクタに通用した例を示す部分・断面図
である。

突出した電極Ｅを有する電子部品りと、突出した電極Ｆ
を有する部品実装用プリント回路基板Ｃとの間に、本発
明の導電性エラストマーシートＴを配置し、止め具にで
圧接することにより、位置ずれを起こすことなく実装で
き、しかも振動や大きな温度変化に伴う寸法変化による
位置ずれに対しても優れた信頼性を持つ電気的接続を達
成することができ、自動車用の電子部品のコネクタなど
として好適に使用することができる。

つぎに、本発明の導電性エラストマーシートの製造例お
よび製造された導電性エラストマーシートの電気的特性
について行った試験結果について述べる。

（製造例１） 平均粒径１００μｍのニッケル粒子（シェリソト社製）
８体積分率（％）および１帽１％の架橋触媒を含有する
室温硬化型シリコーンゴム（ＫＥ１３００ＲＴ　Ｖ　：
信越化学社製）９２体積分率（％）を２０分間混合し、
この混合物について第４図に示す装置を用いて２０００
ガウスの平行磁場を作用させながら、４０℃で２時間に
わたって架橋を行いシリコーンゴムを硬化させた。なお
、金型でもある磁極板３としては、第３図に示すもの（
非磁性体３２（凸部）の幅：　０．６１１１１．強磁性
体３１（凹部）の幅：　０．６＋ｕ＋、凹凸の段差：０
．２２　ｍ＋ｓ）を用いた。

このようにして得られた本発明の実施例にかかる導電性
エラストマーシートは、大きさが１０ｃｍｘ８Ｃ−１厚
みが１　、５ａｍであり、第１図に示すように絶縁部２
の間に導電路形成部１が凸状をなして規則的に配列した
ものであった。そして、導電路形成部１の相互間の絶縁
は良好であり、また絶縁部２の電気抵抗は１０Ｉ４Ω以
上であって耐電圧は１５００Ｖ以上であった。

さらに、以下の方法（１）および（２）によってこの導
電性エラストマーシートの電気的特性を調べた。

（１）導電性エラストマーシートを１２．６−■Ｘ　２
１１１１の大きさのチップに切断し、これを２枚の１．
２　ｍｍピッチの櫛目基板（導体部の幅：０．６ｍｍ、
導体部の厚み８３０μｍ、導体部相互の間隔：０．６ｓ
＋ｍ）の間に位置決めした状態で挟み込み、種々の加圧
力に対する１０点の導電路形成部１における抵抗値を測
定し、その平均値、最大値および最小値を求めた。

その結果を第１表に示す。

（２）櫛目基板として導体部の相互間に厚さ５０μｍの
絶縁材を介在させて構成されたものを用い、上述と同様
の方法によって種々の加圧力に対する１０点の導電路形
成部１における抵抗値を測定し、その平均値、最大値お
よび最小値を求めた。その結果を第２表に示す。

（比較製造例１） 上述の製造例１におけると同様の組成を有する混合物を
ポリエステルフィルムによって挟んでシート状に成形し
たのちにこれを磁極板３．３間に配置する以外は、製造
例１゛と同様にして導電性エラストマーシートを製造し
た。

このようにして得られた導電性エラストマーシートは、
大きさが１０００ｗ×８Ｃ１１、厚みが１．５１Ｉ１１
で表面に凹凸のない平板状のものであり、そして導電路
形成部１と絶縁部２とが所定のパターンで形成されてい
た。しかし、この導電性エラストマーシートにおいては
、導電路形成部１の相互間に３本／ｃ−２の密度で導電
路が形成されていることが確認された。

さらに、この比較用導電性エラストマーシートについて
、製造例１において述べた方法（１）と同様にして電気
抵抗を調べた。その結果を第１表に示す、またこの比較
用導電性エラストマーシートについて、製造例１におい
て述べた方法（２）　と同様にして櫛目基板に対する導
通検査を行ったところ、シー）Ｔの導電路形成部１と櫛
目基板の導体部との接触が不十分であって導電路を形成
することができなかった。

第　　２　　表 第１表および第２表の結果より明らかなように、本発明
の導電性エラストマーシートにおいては、導電路形成部
１は小さい加圧力によっても高い導電機能を有し、しか
も各導電路形成部１における導通機能のバラツキが小さ
く、全般に優れた導電性を有することが確認された。こ
れに対して比較用の導電性エラストマーシートにおいて
は、第１表の結果より、加圧力が小さいときは導電路形
成部１の抵抗値が大きくて良好な導通機能を得ることが
できず、また各導電路形成部１における導通機能のバラ
ツキが大きいことが確認され、さらにこの導電性エラス
トマーシートは、導電部の周囲に絶縁材料を設けたタイ
プの櫛目基板に対しては十分な導通機能を発揮しえない
ことがわかった。

〔発明の効果〕

本発明の導電性エラストマーシートは、少なくとも一方
の表面において、導電路形成部の表面と絶縁部の表面の
間に段差が形成されているので、小さい圧接力で確実な
電気的接続を達成することができ、かつ、接点相互の絶
縁性を確実に保つことかで・きる、したがって、例えば
多数の接点が配列されている大面積の回路素子あるいは
接点が平面的に配置された回路素子などのコネクタとし
て用いた場合であっても、小さい圧接力で確実な電気的
接続を達成することができ、さらにプリント回路基板の
検査装置に好適に用いることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図および第５図はそれぞれ本発明の実施例
を表し、＜ａ）はその平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ
線断面図、第３図および第６図は本発明の導電性エラス
トマーシートの製造に用いられる磁極板を表す斜視図、
第４図は本発明の導電性エラストマーシートの製造に用
いられる装置を概略的に示す説明図、第７図および第８
図は本発明の導電性エラストマーシートの使用例を表す
説明用断面図である。 Ｔ・・・導電性エラストマーシート ト・・導電路形成部　　　　　２・・・絶縁部３・・・
磁極板　　　　　　　　３１・・・強磁性体３２・・・
非磁性体　　　　　　　４・・・電磁石５・・・ユニバ
ーサル端子板　　５２・・・検査用端子Ｐ・・・導電性
ピン　　Ｂ、Ｃ・・・プリント回路基板Ｄ・・・電子部
品　　　　　Ｅ、　Ｆ・・・電極第５図 （α） 傭６図 差７図 営８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）少なくとも厚み方向に、加圧状態でまたは無加圧状
   態のままで導電路を形成しうる複数の導電路形成部と、
   これら導電路形成部の相互間を絶縁する絶縁部とを有す
   る導電性エラストマーシートにおいて、 少なくとも一方の表面において、導電路形成部の表面と
   絶縁部の表面の間に段差が形成されていることを特徴と
   する導電性エラストマーシート。