JPS598419A

JPS598419A - 弾性表面波装置

Info

Publication number: JPS598419A
Application number: JP57116791A
Authority: JP
Inventors: Akitsuna Yuhara; 章綱湯原; Kazuo Nate; 和男名手; Tatsuo Toyama; 外山　立郎; Jun Yamada; 純山田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1982-07-07
Filing date: 1982-07-07
Publication date: 1984-01-17
Also published as: EP0098599B1; EP0098599A3; DE3378283D1; US4510410A; EP0098599A2; JPH0335850B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は不要弾性波吸収体の効果を高め、かつその形成
作業を容易にした弾性表面波装置に関する。

弾性表面波装置では、弾性表面波伝搬路の延長上の基板
端面からの弾性表面波の反射により、振幅周波数特性の
リップル、位相周波数特性のリップルが生ずる。従って
上記不要反射波を防止する必要があり、従来から、弾性
表面波伝搬路の延長−ヒ、基板端面の近傍に弾性表面波
吸収体を設けることが行なわれていた。第１図はかかる
吸収体を設けた表面弾性波装置の平面図、１は圧電性基
板、２は電気信号を弾性表面波に変換する入力電極、３
は弾性表面波を電気信号に変換する出力電極、４及び４
′は弾性表面波を減衰または消滅させるための弾性表面
波吸収体、５．５′は基板端面である。入力電極２によ
り励振された弾性表面波のエネルギーの半分は出力電極
６方向へ進むが、残りの半分は逆方向に進み、入力電極
側の基板端面５′で反射されて出力電極３に達する。ま
た上記最初から出力電極５方向へ進んだ弾性表面波も、
その全部が直ちに出力電極で電気信号に変換されず、こ
の方向へ進んだ弾性表面波エネルギーの半分は出力電極
側の基板端面５に向い、そこで反射して再度出力電極３
に達する。すなわち、これらの端面による反射波は、主
信号に対し遅れ時間を持つ不要信号となるため前記周波
数特性上のリップルが現われる。弾性表面波吸収体４．
４′は弾性表面波を減衰させて端面５，５′に伝え、そ
こからの反射波を再変更に減衰させて、主信号に害を及
ぼさないように十分減衰または消滅させるために設けら
れている。

従来の弾性表面波装置では、弾性表面波吸収体として、
エポキシ樹脂などの熱硬化形樹脂が用いられている。例
えば特公昭５６−５６８１８号公報には、各種材料を比
較した結果、エポキシ樹脂が優れた弾性表面波減衰特性
を示すこと、更に、エポキシ樹脂中に、セメント、ニッ
ケル、鍜、Ａ１２Ｕ５、Ｂｉ２（Ｊ３　、　ＷＯ５など
の粉末を充填剤とし混合分散させると減衰特性が向上す
ることが述べられている。ただし、この公報中には「本
発明の原理に従い」という記載はあるが、該原理の説明
は全くされていない。

しかし、エポキシ樹脂には下記の如き二つの欠点がある
。その第１は、エポキシ樹脂の弾性表面波吸収体は、そ
れ自体の端部での反射が大きく、主信号に対して一４Ｑ
　ｄＥ以下にならないことである。本発明者の実験結果
では一２５〜５５ｄＢ程度となった。この主信号に対し
て一４０ｄＥ以下という値は、ＴＶ−ＩＦ用用件性表面
波フィルタへの応用において、ゴーストの検知限という
観点から設定された不要信号波レベルの基準である（例
えば１９７８年米国電気電子学会の超音波討論会議事録
第５０４〜５０８頁）。

そのため、例えば米国特許第４．１８８．５９６号、又
は特開昭５３−１０９４５８号、特開昭５４−４０５４
号公報に示される如く、エポキシ樹脂の弾性表面波吸収
体端部を折線状にして散乱させる、あるいは減衰量は少
ないが吸収体端部での反射の小さいシリコーン樹脂等を
エポキシ樹脂の端部等に隣接させて設ける、あるいはエ
ポキシ樹脂上に設けるなどの対策が行なわれている。し
かし、これは弾性表面波装置の基板を大きくし、吸収体
を２種類設けるため工数を増し、価格を上昇させるとい
う欠点につながる。この欠点は、動作周波数が低く、弾
性表面波波長が長く、弾性表面波吸収体の伝搬方向への
幅を大きくせざるを得す、基板寸法が大きくなる場合に
特に顕著になる。エポキシ樹脂の欠点の第２は、熱硬化
形であるため硬化時間が長く、製造工程の自動化が困難
で、量産性に劣り、また、加熱により圧電性基板が割れ
る又はクラックし易くなると共に硬化温度のばらつきで
硬化不良が発生するなど、低量産性、価格上昇の点で多
くの問題を有する。

本発明の目的は上記の様な欠点の無い、従来のものより
も優れた弾性表面波減衰特性を有し、しかも量産性良好
な弾性表面波吸収体を設けた弾性表面波装置を提供する
ことにある。

上記目的を達成するために本発明においては３、紫外線
硬化形樹脂を基体とする弾性表面波吸収体を用いること
とした。これは比較的短時間かつ低温で容易に硬化させ
ることができ量産性良好で低原価となるからである。更
に樹脂材料の弾性表面波吸収能力を決定する主要因子が
、その弾性定数に和尚する硬度および比重であるとの考
察から、主剤のみの基本組成による紫外線硬化形樹脂の
吸収体が良好な吸収特性を持つ優れた基本材料であるこ
とを見出し、かつ、主剤中のベースレジン種類の選択に
よる硬度の増加、ならびに充填剤の添加による比重の増
加につれて、実際に吸収能力が向上することを見出して
、上記考察が材料選択指針として正当であることを確め
た。その上で紫外線硬化形樹脂を用いれば、弾性表面波
吸収体自身の端部における反射が小さく、従来のエポキ
シ樹脂使用の場合の如き欠点がないことを確めた。

まず材料自体の適性については、紫外線硬化形樹脂を種
々検討の結果、紫外線硬化形樹脂としては、末端にアク
リロイルオキシ基またはメタクリロイルオキシ基を持つ
１，２−ポリブタジェン樹脂、末端にアクリロイルオキ
シ基またはメタクリロイルオキシ基を持つオルガノポリ
シロキサン、エポキシアクリレート系樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂または不飽和ウレタン樹脂などの光重合可
能な樹脂のうち少なくとも一種を１００重量部と、少な
くとも一個以上のＣＨ２＝Ｃ基を有し、かつ常圧におけ
る沸点が１００υ以上の付加重合性単量体１０〜７０重
量部と、光増感剤０．０５〜５重量部とからなり、要す
ればこれに充填剤、揺変剤、接着性付与剤、熱重合開始
剤、着色剤などを混合したものが良いことを見出した。

この紫外線硬化形樹脂を基体とする吸収体は取扱い容易
でスクリーン印刷法などにより、弾性表面波装置に意の
ままに塗布できる。なお上記材料の検討に際し、圧電性
基板としては、主として、実積のあるリチウムナイオベ
イト（Ｌｉｌ’ｌｂ（ハ）単結晶１２Ｚ９度回転Ｙ切断
Ｘ伝搬（以後これを単にＬｉＮｈ０５基板と略称）を用
いた。

本発明で使用する光重合可能な樹脂としては、例えば分
子量４００〜１０．０００の末端にアク＋７０イルオキ
シ基またはメタクリロイルオキシ基を持つ１，２−ポリ
ブタジェン樹脂やオルガノシロキサン、エポキシアクリ
レート系樹脂などが好ましい。分子量が４００より小さ
いと紫外線硬化性に劣り好ましくなく、また、分子量が
１０，０００より太きいと紫外線硬化性樹脂組成物が高
粘度となり、作業性が悪く好ましくない。なお印刷法に
より塗布する場合などには分子量２．０００〜５、００
０のものが良す。

付加重合性単量体としては少なくとも１個のＣ１１２＝
　Ｃ基を有し、かつ常圧における沸点が１００℃以上の
ものが望ましく、沸点が１００℃より低い付加重合性単
量体では作業時に樹脂の粘度が上昇したり、光硬化する
時に揮発することがあり、安全性の点でも好ましくない
。この付加重合性単量体としては例えばスチレン、ビニ
ルトルエンなどのスチレン誘導体、アクリル酸、アクリ
ル酸ブチル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸２−ヒド
ロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピルなど
のアクリル酸系化合物、メタクリル酸、メタクリル酸エ
チル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸２−ヒドロ
キシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシプロピルなど
のメタクリル酸系化合物、１，６−ヘキサンシオールジ
メタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート
、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレートなどの２個以上の不飽
和基を有する多官能アクリル酸エステル系化合物あるい
は多官能メタクリル酸エステル系化合物、その他ジビニ
ルベンゼン、シアクリフタレートなどの多官能ビニル単
量体などがあげられ、これらの単量体は単独もしくは二
種以上の混合物として使用される。これらの単量体は光
重合可能な樹脂１００重量部に対して１０〜７０重量部
の範囲で使用するのが効果的である。１０重量部より少
ない場合には硬化塗膜の機械的強度が低く実用上好まし
くなく、また、光硬化反応の速度が遅く不都合であり、
また７０重量部より多い場合には硬化塗膜の機械的強度
および耐熱性が低下するために好ましくなく、いずれの
場合も実用に供し難い。

光増感剤としてはベンゾインとその誘導体、ベンゾイン
メチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルなど
のベンゾインエーテル類、ベンジルとその誘導体、アリ
ールジアゾニウム塩、アントラキノンと２−メチルアン
トラキノンなどのその誘導体、アセトフェノンとその誘
導体、ジフェニルジスルフィドなどのイオウ化合物、ペ
ンツフェノンと４−メトキシジンシフエノンなどのその
誘導体などがあげられ、これらの光増感剤は単独または
二種以上の混合物として使用される。これらの光増感剤
は光重合可能な樹脂１００重量部に対して００５〜５重
量部の範囲で使用するのが効果的である。０．０５重量
部より少ない場合は光硬化性樹脂の光硬化速度が遅いう
えに、機械的強度のすぐれた硬化゛塗膜が得られず、好
ましくなく、また５重量部より多い場合はかえって高分
子量の樹脂硬化物が得られず好ましくなく、いずれの場
合も実用に供し難い。なお光増感剤の添加量は特に０．
３〜５重量部が効果的である。

充填剤としてはα−アルミナ粉末をはじめ、二酸化ケイ
素、炭酸カルシウム、二酸化チタン、硫酸バリウム、酸
化バリウム、ニッケル、鉄、酸化コバルト、酸化ジルコ
ニウム、酸化鉛、二酸化鉛タングステン、酸化タングス
テン、酸化ビスマス、雲母などの粉末が使用可能である
。

揺変剤としては比表面、ｆｉ１００〜４５０　ｎ？／ｌ
の二酸化ケイ素微粉末が良い。接着性付与剤としては、
ｒ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリス（β−メトキシェトキ７シ）シラン、ｒ−アミ
ノプロピルトリメトキシシランなどのシランカップリン
グ剤などがよい。着色剤としてはフタロシアニングリー
ン、フタロシアニンブルーを始め通常の顔料および染料
が使用可能である。熱重合Ｍ始剤としては、過酸化ベン
ゾイル、過酸化アセチル、過酸化ラウリルなどの有機過
酸化物およびアゾビスイソブチロニトリルなどの通常の
ラジカル重合開始剤が用いられる。その他、必要に応じ
て酸化防止剤や表面硬化促進剤が使用でき、酸化防止剤
としてはハイドロキノン、ハイドロキノンメチルエーテ
ル、カテコール、２，６−ジーｔ−ブチル−４−メチル
ツーノールなどの通常の熱重合禁止剤が有効であり、表
面硬化促進剤としてはナフテン酸コバルト、オクチル酸
マンガンナトの有機酸金属塩などが良い。

本発明における樹脂硬化用光源としては高圧水銀ランプ
、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、カーボン
アークランプ、キセノンランプなどが有効である。本発
明弾性表面波装置の製造において、その弾性表面波吸収
体となる紫外線硬化形樹脂を硬化させる場合、上記光源
を用いて照射するわけであるが、紫外線照射の前後に必
要に応じてプリベークあるいはポストベークを行なって
もよい。

次に本発明に際し考察した弾性表面波吸収体による弾性
表面波減衰機構、及び着目した吸収体材料特性を述べる
。

弾性表面波の減衰は次の５つの作用による。

ａ）弾性表面波が吸収体にあたり一部モード変換する寡
Δ）吸収体へ弾性表面波が侵入する（吸収体に一部エネ
ルギーが移行する）ＩＣ）吸収体の粘弾性により、侵入
した弾性表面波のエネルギーが熱エネルギーに変換され
る。

α）モード変換ではバルク波等としてｆｉ＆中に放射さ
れるが、これが伝搬方向の非常に短い範囲で生ずるよう
な場合は、当然弾性表面波の反射も大きくなる。前記の
如く熱硬化エポキシ樹脂を用いた吸収体では吸収体端部
における反射が大きいが、これは上記事情による。本発
明で求めるべき吸収体材料は、バルク波等への変化の割
合が大きく、モード変換が、ある範囲にわたって連続的
に生じ、位相の揃った弾性表面波の反射が生じないもの
である。

ｂ）弾性表面波の吸収体への侵入は、弾性表面波が吸収
体に行き当った場所で生じ始め、弾性表面波の進行に従
い吸収体中にも圧電性基板と結合した弾性表面波が伝搬
するよ５になる。

この遷移領域ではσ）のモード変換が生ずる；圧電性基
板内の弾性表面波エネルギー密度に対する吸収体内の弾
性表面波エネルギー密度の比率が大きくなるほど吸収体
としては望ましい。

この比率は、吸収体の音響特性インピーダンスＺｌが圧
電性基板の弾性表面波モードの音響特性インピーダンス
ＺＳに近い場合に、大きくなり易い。音響特性インピー
ダンスは、密度と弾性定数の積の平方根であり、吸収体
に用いる樹脂主剤の密度ＰＡおよび弾性定数ＥＡは、圧
電性基板のこれらに対応する値Ｐｓ　、　Ｅｓ　（代表
的なもの）に比して小さく、インピーダンス整合をはか
るには、吸収体材料の密度ＰＩを太きくし、かつ弾性定
数Ｅｉの大きなものを選べばよい。ただし、吸収体の音
響特性インピーダンスＺＡが大き過ぎる場合、あるいは
圧電性基板の弾性表面波モードの音響特性インピーダン
スとほぼ等しい場合でも、弾性表面波に対して、基板の
急峻で大きな段差とｌ−て撮舞うような断面形状を持つ
吸収体の場合は、弾性表面波の反射が大きくなることに
注意を要する。

Ｃ）吸収体の粘弾性は次の動的な複素弾性率＊ＥＶＣより表現される。

Ａ”＝　　Ｅ’−４−ｊＥ’＝　　Ｅ’　十　ｊｗｎ　
　　＝　　ｆ／　　ｓ＊　　−−−＝−−−−（１）ノ
゛は虚数単位、ｎは動的粘性、Ｗは角周波数、−は複素
応力、？は複素歪である。（１）式の虚数部は歪の時間
微係数に比例した項で、吸収体における損失の主因であ
る。一般に吸収体に用いる樹脂では、ｎは圧電性基板の
場合に比し大きい。前記の如く、吸収体の音響特性イン
ピーダンスＺＡを圧電性基板の音響特性インピーダンス
ＺＳに近付けるため、吸収体の弾性係数ＥＡは大きい方
が望ましいとしたが、吸収特性を向上させるためには、
（１）式で示すようにｎも大きい方が望ましいのである
。ただし、一般には剛性が大（Ｅが大）であることと、
ｎが大きいこととは必ずしも一致しない。ｎが犬であっ
てもＥが小さい場合は、弾性表面波は吸収体に侵入して
行かないので弾性表面波の減衰は大きくならない。

上記考察から本発明者は、弾性表面波吸収体の材料の選
定基準を、弾性定数の大きいこと、比重の大きいことと
した。

Ｍ記紫外線硬化形樹脂の組成群から、ベースレジン、付
加重合性単ｌｉｔ体、光増感剤の主材のみの組合せを含
む、弾性定数、比重を制御し得ろ組合せを適宜に選んで
作成し、その特性を調べた。これらの紫外線硬化形樹脂
の組成と吸収係数α−，、ｄＢ／λ、ならびに比較例と
して市販のエポキシ樹脂（「セメダイン１５００」、６
０で、２時間硬化）を第１表（第１７頁）に示す。第１
表の弾性表面波吸収係数αは、圧電性基板として既述の
Ｌ　ｉＮ　ｈｏ　３基版を用い、中心周波数１４．７４
　ｋｆＥ　ｚで測定された。このαは第１図に示した構
成の弾性表面波フィルタにおいて、入力電極と出力電極
の中間に厚さ３０〜２００μｍの弾性表面波吸収体を設
けて減衰量の増分をｄＥ単位で測定し、弾柱表面波の１
波長当りの減衰量増分に換算したものである。

まず弾性定数の効果を確かめる。樹脂系の材料では、弾
性率は硬度の形で測定するのが容易なので、ゴム硬度測
定などにも広く用いられている押し込み硬さを測定する
ジュロメータ（ＤＬｒ。

ｍｇｔｔ丁）Ｄ形を用いて測定した。横軸にジュロメー
タ硬度を、縦軸に吸収系数αをとって第２図に示した。

第２図では、第１表に示した樹脂の中で、主剤のみの組
成による紫外線硬化形樹脂を主体に示しであるが、明ら
かに、硬度が大きなものほど吸収係数は大きく、当初の
考察が裏付けられている。ベースレジンが１，２−ポリ
ブタジェンジメタクリレートの系よりも、エポキシジア
クリレートの系の方が硬度が太きいため、吸収係数αが
大きくなる（減衰効果が大きい）ことが示されている。

付加重合性単量体を変更することによっても硬度は変る
が、ベースレジンがエポキシジアクリレート系で、付加
重合性単量体が第１表α−１とは異なる主剤のみの樹脂
を用いても、硬度と吸収係数は、誤差の範囲でａ　−１
と同様でおった。またエポキシジアクリレートの系で、
添加剤をその他加えたものも硬度は第１表α−１と同等
あるいはそれ以上であった（ジュロメータでは指示値８
０以上での差は不明）。更に第２図で注目すべきことは
、相対的に硬度が小さく、吸収系数の小さな１．２−ポ
リブタジェンジメタクリレートの系で、しかも主剤のみ
であっても、前記した特公昭５６−３６８１８号公報の
中に市販例として示されているエポキシ樹脂（テバ社「
アラルダイト」）の減衰を波長層りに換算した値１．７
４ｄＥ／λと同程度の能力を有していることでおる。こ
のことは紫外線硬化形樹脂の系が、弾性表面波吸収体と
して優れた能力を持つこと、添加物を加えること忙より
、更に良い特性が得られることを明らかにしている。

次に樹脂の比重の効果を確める。第３図に第１表に示し
た樹脂の比重を水中置換法で測定して横軸にとり、吸収
係数ａを縦軸にとって、両者の関係を示した。ベースレ
ジンがエポキシジアクリレートの系、及び、１．２−ポ
リブタジェンジメタクリレートの系それぞれにおいて、
収載係数が樹脂の比重増加と共に増大しているこれは尚
初の比重建関する考察を裏付けたものである。またベー
スレジンの差により、吸収係数と比重の関係が異なる直
線上に乗っているがこれは硬度の差に起因する。第５図
の測定に際し、種々充填剤を加えた樹脂を作成し、弾性
表面波吸収体としたが、第３図の結果から、充填剤の添
加は、笑は弾性表面波吸収体の比重を増大させろことに
他ならないことがわかった。前記特公昭５６−５６８１
８号公報にはエポキシ樹脂に充填剤を添加することが述
べられているがその「発明の原理」に関しては全く説明
されていない。

また先に弾性表面波吸収体として、それ自体の端部かも
の弾性表面波反射が少ないことを重要な条件としてあげ
たが、第１表に示した紫外線硬化形樹脂を用いた弾性表
面波吸収体では、後に実施例として示すように、どの場
合でも反射は一４５ｄＢ以下で十分小さかった。

この様に本発明に係る紫外線硬化形樹脂を用。　　いた
弾性表面波吸収体は、従来のものに比し、吸収が大きい
こと、反射が少ないことなどの性能面で優れているが、
更に従来のエポキシ樹脂、　　が熱硬化形で、処理時間
の長いこと、加熱による基板割れ発生、硬化温度むらに
よる硬化不良発生など、量産性に種々問題があったのに
対し、本発明に係る吸収体を設ける作業は短時間の紫外
線照射ですみ、その際基板温度の大きい上昇がないので
基板割れなどの問題がなく１作業の自動化が容易で、生
産性が非常に向上した。これはＴＶ−ＩＦフィルタなど
家電品の場合忙は極めて大きな利点となる。

以下実施例忙より更に詳細に説明する。

実施例１分子末端にメタクリロイルオキシ基を持つ分子量約２．
６００の１，２−ポリブタジェン樹脂１００重量部、エ
チレングリコールジメタクリレート１５重量部、トリメ
チロールプロパン１５ｉｔｉ部、２−メチルアントラキ
ノン１重量部、表面積５８０ｄ／ｆの二酸化ケト素微粉
末５０重量部、粒径約１μｍのα−アルミナ粉末５０重
量部、ｌ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン
３重量部を攪拌し均一に混合して樹脂組成物とし、これ
を通常のスクリーン印刷機で、第１図に弾性表面波吸収
体４，４と示した位置に約５０μｍ厚に塗布した。圧電
性基板１にはｌ、１ＮｈＵｔ、基板を用い、入力電極は
、電極幅８．６μｍ、二重電極構造で１５対の正規形電
極、出力電極は、電極幅８６μｍ、二重電極構造で６０
対の重み付き電極とし、電極材質はアルミニウム、電極
膜厚０８μｍで、ホトエツチングで形成した。上記吸収
体塗布後、アーク長当り１２０　Ｗ／（Ｘのメタルハラ
イドランプで、１５傭の距離で約４０秒間照射して上記
組成の弾性表面波吸収体を硬化させた。弾性表面波吸収
体の幅は伝搬方向に１ｆｍとした。こうして製作した弾
性表面波装置の端面反射信号レベルを測定しｊ９．とこ
ろ主信号に対し一４ＱｄＢで、本発明に係る吸収体が吸
収特性が良く、吸収体自体による反射も少ないことが実
証された。吸収体の硬化が紫外線照射により、短時間、
低温で行なわれるため基板割れ不良なども生ぜず生産性
が大幅に向上した。

実施例２分子末端にメタクリロイルオキシ基を持つ分子量約２，
６００の１，２−ポリブタジェン樹脂１００重量部、エ
チレングリコールジメタクリレート５０重量部、２−メ
チルアントラキノン１重量部、表面積５８０ｔｒ？／９
の二酸化ケイ素微粉末５重量部、粒径約１μｍのα−ア
ルミナ粉末５０重量部、７−メタクリロキシプロピルト
リメトキシシラン３暫量部を攪拌して均一に混合した樹
脂組成物とし、実施例１と同様に弾性表面波装置基板端
部に同様な手法と形状で約５０μｍ厚に塗布した。

これに１００℃、３０分間プリベークを施したのち、１
２０Ｆ／３のメタルハライドランプで距離１５Ｃ１１で
約３０秒間照射して弾性表面波吸収体を硬化させた。こ
うして製作した弾性表面波装置の端面反射信号レベルを
測定したところ、主信号九対して−４５ｄＢで、本発明
に係る吸収体の優ねた特性が確認され、また周波数特性
のリップルが極めて小さく、かつ信頼性の高い弾性表面
波装置が得られた。

実施例５分子末端にメタクリロイルオキシ基を持つ分子ｉ約２．
ｓｏｏの１，２−ポリブタジェン樹脂１００重量部、エ
チレングリコールジメタクリレート１０重量部、２−ヒ
ドロキシエチルメタクリレート３０重量部、２−メチル
アントラキノン１重量部、表面積３８０硝りの二酸化ケ
イ素微粉末５重量部、粒径的１μｍのα−アルミナ粉末
５０重量部、ｒ−メタクリロキシプロビルトメトキシシ
ラン３重量部を均一に混合攪拌して樹脂組成物とし、こ
れを実施例１と同様な位置、形状に同手法で約５０μｍ
厚に塗布した。これに１３Ｑυで５０分間プリベークを
施したのち、　　１２０１Ｆ／ｃＲメタルハライドラン
プで距離１５１で約４０秒間照射して弾性表面波吸収体
を硬化させた。こうして製作した弾性表面波装置の端面
反射信号レベルを測定す体の優れた効果が確認された。

実施例４〜１５第２表（第２７頁）に示す樹脂組成物１０種類、実施例
４〜１５を作成し、実施例１と同様な弾性表面波装置に
、実施例１と同様にして約５０μｍ厚忙弾性表面波吸収
体を形成した。これに紫外線照射を約１分間行ない弾性
表面波吸収体を硬化させた。こうして作成した弾性表面
波装置の端面反射信号レベルの測定結果は全実施例とも
一４０ｄＥ以下で５本発明弾性表面波装置が、リップル
の極めて小さい優れた特性を持つことが確認された。

実施例１４〜１９第１表（第１８頁）Ｉｃ示した本発明に係る樹脂組成物
の中からａ　−１、ａ　−２、α−３，２−５、ｂ−６
，Ａ−７を作成し、実施例１と同様に弾性表面波装置端
部に約５０μｍ厚に塗布した（それぞれ実施例１４〜１
９）。これに紫外ｌｌＪ照射を約１分間行ない弾性表面
波吸収体を硬化させた。実施例１４．１５．１６（それ
ぞれ樹脂ａ　−１、ａ　−２、ａ−６）では弾性表面波
吸収体幅を伝搬方向ＫＯ１７曙、実施例１７．１日、１
９（それぞれ樹脂ｂ−５、Ａ−６、ｈ−７）では弾性表
面波吸収体幅を伝搬方向ＶＣ１ｍとした。こうして作成
した弾性表面波装置の端面反射信号レベルの測定結果は
全実施例とも一４０ｄＢ以下であり５本発明弾性表面波
装置がリップルの小さな優れた特性を持つことが確認さ
れた。特忙実施例１４．１５．１６では伝搬方向にとっ
た弾性表面波吸収体幅が小さく、基板面積が節約でき、
価格的利点′が大きい。

実施例２０Ｓ２７第１表に示した本発明に係る樹脂組成物α−１ないしａ
　−４、Ａ−５ないしｂ−Ｂを作成し、これを実施例１
と同様に弾性表面波装置端部Ｋ。

１００〜２００μｍ厚さに塗布あるいはスクリーン印刷
した（それぞれ実施例２０〜２７）。各実施例とも圧電
性基板とはＬ　ｔＮｂ０５基板を用い、入力電極、出力
電極とも材質はアルミニウム、電極幅３２９μｍ、電極
膜厚０８μｍ、二重電極構造で５対の正規電極構造とし
、ホトエツチングで形成し、その動作の中心周波数は１
４．７４ＭＨｚである。上記の如く弾性表面波装置上に
形成した樹脂組成物ヲ１００　ｔ、　５０分間プリベー
クしたのち紫外線照射を行なって硬化させた。実施例２
０．２１．２ｚ２５．２７では弾性表面波吸収体幅を伝
搬方向に２鴎とし、実施例２４．２５．２６では弾性表
面波吸収体幅を伝搬方向に５咽とした。こうして作成し
た弾性表面波装置の端面反射信号レベルを測定したが、
各実施例とも一４ＱｄＢ以下であり、本発明弾性表面波
装置がリップルの小さな優れた特性を持つことが確認さ
れた。特に、実施例２１．２２．２５は反射信号のレベ
ルが特に小さく、かつ、弾性表面波吸収体幅が伝搬方向
に２１１１１１と、低い周波数（１４，７４ＡｆＨ２）
の弾性表面波装置としては、狭くすることができた。す
なわち、とかく基板の伝搬方向サイズが大きくなりやす
い低い周波数の弾性表面波装置の基板サイズを小さくで
きて弾性表面波装置を低価格化できた。これは本発明に
おける弾性表面波吸収体材料選択に対する考察、指針が
正しいことを示すものと思われる。

なお上記各実施例に対する比較例として、市販されてい
る熱硬化形エポキシ樹脂をベースにした例を示す。すな
わち、ビスフェノール形エポキシレジン（エポキシ当ｆ
ｔ１９０　）　＋００７とポリアミド樹脂（ヘンケル日
本株式会社製「パーサミド１１１０　Ｊ　、アミン価３
９０　）　７５１を混合したものを実施例１と同様位置
、状態に塗付し、１００で、５０分間放置して硬化させ
た。こうして作成した弾性表面波装置の振幅リップルは
、０．５〜１ｄＥであり、端面反射信号のレベルとして
は、基板端面によるものが−３０〜−５５ｄＢ、弾性表
面波吸収体の端部によるものが−２５〜−５Ｑ　ｄＥで
あり、実施例に比して、弾性表面波の吸収効果が悪く、
かつ、弾性表面波吸収体自体の反射が大きいことが確認
された。また、この樹脂組成物の可使時間が数分〜数十
分と短く、硬化時間が逆に数十分と長いために、量産性
如劣っており、実用忙供し難いことがわかった。

以上説明したように本発明によれば、弾性表面波吸収体
の形成が比較的低温、短時間ですむようＫなって工程の
自動化可能となり、量産に極めて好都合となり、しかも
弾性表面波吸収特性良好で、特に弾性表面波吸収体自体
の端部における反射が格段釦減少し、弾性表面波装置の
小形化が、特１ｃ　５０ＭＨｚ以下の低周波の場合にも
。

容易忙行なえるよ５ＩＣなって、性能価格化が向上する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は弾性表面波装置の平面図、第２図は吸収体のジ
ーロメータ硬度と吸収係数αの関係を示す特性図、第３
図は吸収体の比重と吸収係数αの関係を示す特性図であ
る。１・・・圧電性基板、２・・・入力電極、５・・・出力
電極、４．４′・・・弾性表面波吸収体、５，５′・・
・基板端面。第１図オ　２　図ジ゛ユロメータ不更皮

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　　圧電性基板の表面に１組以上の送受波器を備
えた弾性表面波装置において、前記圧電性基板上の不要
弾性表面波が伝搬する領域の少なくとも一部分に、紫外
線硬化形樹脂を基体とする弾性表面波吸収体を設けたこ
とを特徴とする弾性表面波装置。
（２）前記弾性表面波吸収体が、光重合可能な樹脂すな
わち、末端にアクリロイルオキシ基あるいはメタクリロ
イルオキシ基を持つ１，２−ポリブタジェン樹脂、末端
にアクリロイルオキシ基あるいはメタクリロイルオキシ
基を持つオルガノポリシロキサン、エポキシアクリレー
ト系樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、あるいは不飽和ウ
レタン樹脂のりちの少なくとも一種を１００重量部と、
少なくとも一個以上のＣＢ２＝Ｃ基を有し、かつ常圧に
おける沸点が１００で以上の付加重合性単量体１０〜７
０重量部と、光増感剤０．０５〜５重量部とからなる特
許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。
（３）弾性表面波吸収体成分として、更に、充填剤、揺
変剤、接着性付与剤を添加した特許請求の範囲第２項記
載の弾性表面波装置。
（４）弾性表面波吸収体成分として、更に熱重合開始剤
を添加した特許請求の範囲第３項記載の弾性表面波装置
。
（５）弾性表面波吸収体成分として、更に着色剤を添加
した特許請求の範囲第５項記載の弾性表面波装置。
（６）弾性表面波吸収体成分として、更に熱重合開始剤
と着色剤を添加した特許請求の範囲第３項記載の弾性表
面波装置。（ハ　充填剤として、α−アルミナ、二酸化ケイ素、炭
酸カルシウム、二酸化チタン、硫酸バリウム、酸化バリ
ウム、ニッケル、鉄、酸化コバルト、酸化ジルコニウム
、酸化鉛、二酸化鉛、タングステン、酸化タングステン
、酸化ビスマス、雲母の群から選んだ１種以上の粉末を
用いた特許請求の範囲第６項、または第４項、または第
５項、または第６項記載の弾性表面波装置。