RU2131624C1 - Элемент на поверхностных акустических волнах и способ изготовления демпфирующей структуры для него - Google Patents
Элемент на поверхностных акустических волнах и способ изготовления демпфирующей структуры для него Download PDFInfo
- Publication number
- RU2131624C1 RU2131624C1 RU97111815/28A RU97111815A RU2131624C1 RU 2131624 C1 RU2131624 C1 RU 2131624C1 RU 97111815/28 A RU97111815/28 A RU 97111815/28A RU 97111815 A RU97111815 A RU 97111815A RU 2131624 C1 RU2131624 C1 RU 2131624C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- epoxy resin
- surface acoustic
- acoustic waves
- substrate
- damping
- Prior art date
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 37
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 150000002118 epoxides Chemical class 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 claims description 4
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 4
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 4
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000013008 thixotropic agent Substances 0.000 claims description 3
- -1 aliphatic epoxides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 claims description 2
- YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-ylmethyl 7-oxabicyclo[4.1.0]heptane-4-carboxylate Chemical group C1CC2OC2CC1C(=O)OCC1CC2OC2CC1 YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims 1
- DJUWPHRCMMMSCV-UHFFFAOYSA-N bis(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-ylmethyl) hexanedioate Chemical compound C1CC2OC2CC1COC(=O)CCCCC(=O)OCC1CC2OC2CC1 DJUWPHRCMMMSCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 abstract 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 25
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 9
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 5
- 230000001698 pyrogenic effect Effects 0.000 description 5
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- HIPPBUJQSIICJN-UHFFFAOYSA-N 3385-61-3 Chemical compound C12CC=CC2C2CC(O)C1C2 HIPPBUJQSIICJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 2
- 238000006735 epoxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 235000012424 soybean oil Nutrition 0.000 description 2
- 239000003549 soybean oil Substances 0.000 description 2
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium Chemical compound [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 1 -dodecene Natural products CCCCCCCCCCC=C CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIYFBIOUBFTQJU-UHFFFAOYSA-N 1-phenyl-2-sulfanylethanone Chemical class SCC(=O)C1=CC=CC=C1 DIYFBIOUBFTQJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical class C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920004482 WACKER® Polymers 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 229940069096 dodecene Drugs 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- MBAKFIZHTUAVJN-UHFFFAOYSA-I hexafluoroantimony(1-);hydron Chemical compound F.F[Sb](F)(F)(F)F MBAKFIZHTUAVJN-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 150000008442 polyphenolic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000013824 polyphenols Nutrition 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/16—Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/162—Selection of materials
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/36—Devices for manipulating acoustic surface waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Для элемента на поверхностных акустических волнах предлагается демпфирующая структура из катионно отражаемой с УФ-инициированием эпоксидной смолы. Свободная от растворителя эпоксидная смола основана на циклоалифатическом эпоксиде и наносится на подложку шелкографией. При распиливании подложек демпфирующая масса может пропиливаться без отделения или отслоения. Указанный элемент на поверхностных акустических волнах может просто и надежно изготавливаться, показывает малое отражение на краях и имеет высокое демпфирование для сигналов рассеяния. Используется для обработки сигнала электромагнитных волн с информационным содержанием. 2 с. и 7 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил.
Description
Элементы на поверхностных акустических волнах, как например, фильтры на поверхностных акустических волнах являются электронными элементами, которые служат для обработки сигнала электромагнитных волн с информационным содержанием. В используемых, например, в радарных установках, телевизионных и видеоприборах элементах сигнал или соответственно несущий информацию электрический импульс или ток преобразуется в механических колебания, так называемые поверхностные акустические волны. За счет подходящей конструкции преобразователя, специально за счет подходящей конструкции преобразователя, специально за счет особого геометрического выполнения производящей звук поверхности преобразователя оказывается воздействие на акустические характеристики этого преобразователя. За счет этого можно желательным образом изменять акустический сигнал. Например, таким образом отфильтровывают промежуточную частоту порядка 38 МГц из всего спектра телевизионного или видеосигнала. Поверхностные волны, которые не были полностью преобразованы обратно в электрические сигналы, мешают работе элемента на поверхностных акустических волнах так же, как отражения на краях элементов или других структур. Для демпфирования (подавления) таких нежелательных поверхностных волн и для уменьшения отражений на краях и эхоэффектов поверхность преобразовательного элемента главным образом в области краев элементов снабжают демпфирующей массой, которая гасит энергию распространяющихся волн и уменьшает отражения и эхоэффекты.
Для изготовления таких демпфирующих структур требуются органические материалы с совершенно определенным профилем динамическо-механических характеристик. В EP 0 360 037 для этого предложено, например, использовать двухкомпонентные смолы на эпоксидной основе, которые являются основно катализированными карбоновыми кислотами и могут сшиваться кислыми сложными эфирами. Эти двухкомпонентные смолы могут акустически желаемым образом согласоваться и приводят к необходимому демпфированию, с другой стороны, однако, создают проблемы при переработке. Смешивание компонентов смол приводит в изготовлении к повышенным затратам, причем получаются смолы с ограниченным сроком годности к переработке. Содержание растворителя реакционных смол требует продолжительной процедуры вентиляции и отверждения, при которой, кроме того, существует опасность того, что напечатанные в особой трехмерной геометрии демпфирующие структуры расплываются и больше не имеют желательных демпфирующих характеристик.
В EP 0098599 A2 предлагается применять для демпфирующих структур элементов на поверхностных акустических волнах. УФ-отверждаемые смеси акриловых смол и оптимировать их до высокого модуля упругости и высокой плотности. Изготовленные и отвержденные таким образом демпфирующие структуры на практике, как правило, показывают слишком высокую хрупкость и слишком малое сцепление на материале кристалла и преобразователя.
Структуры изготавливают на подложках и затем разделяют путем распиливания. Необходимое при этом распиливание демпфирующих структур может приводить к их отслоению и отделению и таким образом к повреждению всего конструктивного элемента.
Задачей настоящего изобретения поэтому является указание элемента на поверхностных акустических волнах с акустически согласованной демпфирующей структурой, который может просто и надежно изготавливаться, показывает малое отражение на краях и имеет высокое демпфирование для сигналов рассеяния.
Эта задача согласно изобретению решается элементом на поверхностных акустических волнах с признаками пункта 1 формулы изобретения. Дальнейшие формы выполнения изобретения, а также способ изготовления акустической демпфирующей структуры следуют из других пунктов формулы изобретения.
В изобретении обычный пьезоэлектрический преобразователь комбинируют с новой акустической демпфирующей структурой, которая выгодным образом приводит к элементу на поверхностных акустических волнах с улучшенными характеристиками. Известный по себе пьезоэлектрический преобразователь состоит в основном из подложки из пьезоэлектрического материала и преобразовательных электродов на поверхности подложки. Преобразовательные электроды могут содержать передающие и приемные электроды, которые разделены друг от друга участком для распространения поверхностных волн. На этой поверхности нанесены акустические демпфирующие структуры так, что преобразовательные электроды покрыты ими только частично, и участки для распространения не покрыты.
Поскольку как линии контура покрытой демпфирующими структурами поверхности, так и сами демпфирующие структуры даже в поперечном сечении должны быть особенно сформованы, для нанесения демпфирующих структур является особенно пригодным способ печати, например шелкографии. Выполненные согласно изобретения из катионно oтверждаемой с УФ-инициированием эпоксидной смолы демпфирующие структуры являются особенно подходящими для переработки путем шелкографии. Соответствующие изобретению демпфирующие структуры могут изготавливаться поэтому очень точно в желаемом геометрическом выполнении. Соответственно элемент на поверхностных акустических волнах имеет также очень хорошее акустическое демпфирование. Сигналы помех подавляются примерно с 55 дБ относительно главного сигнала. Отражательные характеристики являются очень хорошими так, что практически не появляются никакие краевые отражения. Надежно наносимые демпфирующие структуры имеют хорошую адгезию на подложке, например на пьезокерамике. Она сохраняется также во время всего процесса изготовления, который содержит распиливание пьезокерамической пластины для разделения на элементы, причем пропил проходит через нанесенные на большой площади демпфирующие структуры отвержденной эпоксидной смолы. Осуществляемое просто и надежно за счет легкой перерабатываемости эпоксидной смолы изготовление элемента на поверхностных акустических волнах делает его особенно экономичным.
Демпфирующие структуры или соответственно отвержденная эпоксидная смола обладает температурой стеклоперехода больше 120oC так, что элемент имеет высокую климатическую стойкость и, таким образом, его эксплуатация возможна без недопустимого изменения акустических характеристик.
Примененные согласно изобретению для демпфирующих структур катионно отверждаемые с УФ-инициацией эпоксидные смолы являются доступными с электронным качеством. Это означает, что в смоле не содержатся или содержатся только очень малые количества способствующих коррозии веществ, которые во время срока службы конструктивно могли бы приводить к коррозии преобразовательных структур.
Способ для изготовления акустических демпфирующих структур охватывает следующие операции.
Печатание катионно отверждаемой с УФ-инициацией эпоксидной смолы в желаемой структуре на поверхности элемента на поверхностных акустических волнах, при необходимости соблюдение времени выдержки до 60 мин и отверждение путем воздействия УФ-излучения на структуру из смолы.
Для способа применяется эпоксидная смола, которая основана на циклоалифатическом эпоксиде. Для установления желаемой способности к переработке, в частности путем шелкографии, циклоалифатический эпоксид смешивают с более высоковязким продуктом реакции, который получен путем реакции обмена именно этого эпоксида с фенолом, предпочтительно многовалентным фенолом.
Наряду с этим продуктом, который опять-таки является эпоксидом, в эпоксидной смоле, кроме того, еще содержатся по меньшей мере один фотоинициатор для катионного процесса отверждения и при необходимости другие обычные для эпоксидных смол добавки.
Циклоалифатические эпоксиды отличаются достаточно высокой температурой стеклоперехода и могут изготавливаться с электронным качеством путем эпоксидирования соответствующих циклоалкенов. Имеющиеся в продаже циклоалифатические эпоксиды охватывают также смеси из многих различных циклоалифатических эпоксидов. Подходящие соединения соответствуют, например, следующим структурным формулам
которые имеются в продаже также под торговыми наименованиями ардалдит Ardaldit® CY 179 (Cida) или соответственно ERL 4221 и ERL 4299 (UCC) и CY 177.
которые имеются в продаже также под торговыми наименованиями ардалдит Ardaldit® CY 179 (Cida) или соответственно ERL 4221 и ERL 4299 (UCC) и CY 177.
Другой существенной компонентой эпоксидной смолы является названный предварительный продукт, который получен, например, реакцией обмена циклоалифатического эпоксида с полифенолом, предпочтительно с бисфенолом. Выбор бисфенола является произвольным, хорошо пригодным является, например, бисфенол A.
Ведущая к предварительному продукту реакция обмена происходит с основным катализированием при относительно мягких условиях. Предпочтительным предварительным продуктом является аддитивное соединение 2:1, причем из соответственно двух эпоксидных групп обоих циклоалифатических диэпоксидов каждый раз с бисфенолом прореагировала одна. В соответствии с этим 2:1 аддитивное соединение является также диэпоксидом. За счет 2:1 реакции обмена уже названного CY 179 с бисфенолом A, например, получают, в основном предварительный продукт со следующей формулой
Возможным является также производить ведущий к предварительному продукту обмен в молярном соотношении от 1:1 до 20:1, предпочтительно от 1:1 до 5:1. В частности, при более высокой доле циклоалифатического эпоксида после реакции обмена в реакционной смеси наряду с предварительным продуктом (2:1 аддитивное соединение) остается возрастающая доля непрореагировавшего и поэтому неизмененного циклоалифатического эпоксида. Если это молярное соотношение выбрано достаточно высоким, то содержащий циклоалифатический эпоксид предварительный продукт (реакционная смесь) можно использовать без дальнейшего примешивания циклоалифатического эпоксида.
Возможным является также производить ведущий к предварительному продукту обмен в молярном соотношении от 1:1 до 20:1, предпочтительно от 1:1 до 5:1. В частности, при более высокой доле циклоалифатического эпоксида после реакции обмена в реакционной смеси наряду с предварительным продуктом (2:1 аддитивное соединение) остается возрастающая доля непрореагировавшего и поэтому неизмененного циклоалифатического эпоксида. Если это молярное соотношение выбрано достаточно высоким, то содержащий циклоалифатический эпоксид предварительный продукт (реакционная смесь) можно использовать без дальнейшего примешивания циклоалифатического эпоксида.
В качестве дальнейшей обязательной составляющей эпоксидной смолы содержится фотоинициатор для катионного процесса отверждения. Его доля в общей эпоксидной смоле может составлять 0,1 - 5 вес.%. Эти фотоинициаторы освобождают при УФ-облучении реактивные катионы, например протоны, которые инициируют катионный процесс отверждения эпоксидной смолы. Фотоинициаторы при этом выведены из стабильных органических солей ония (Oniumsalze), в частности с азотом, фосфором, кислородом, серой, селеном или йодом в качестве центрального атома катиона. В качестве особенно предпочтительных проявили себя ароматические соли сульфония и йодония (Sulfonium-, Jodoniumsalze) с комплексными анионами. Возможным является также выделяющий кислоту Люиса (Lewissaure) и, например, реализованный в виде pi-донорского комплекса переходного металла фотоинициатор. Далее следует назвать соли фенацилсульфония, а также соли сульфония. Применимыми являются также соли ония, которые могут побуждаться к образованию кислоты не непосредственно, а через сенсибилизатор. Также органические соединения кремния, которые при УФ-облучении в присутствии алюминий-органических соединений освобождают силанол, могут использоваться в качестве фотоинициаторов для катионного процесса отверждения. Хорошо пригодной в качестве фотоинициатора является, например, следующая соль сульфония. Она является главной компонентной Cyracure® UVI 6974 (Union Carbid):
Для модификации другие эпоксиды могут являться составными частями соответствующей изобретению эпоксидной смолы или соответственно эпоксидной смолы для соответствующего изобретению элемента на поверхностных акустических волнах. В принципе могут использоваться любые эпоксиды, которые могут быть получены путем надкислотного эпоксидирования. Ими являются, например, длинноцепочечные α-эпоксиды, эпоксидированный полибутадиен, эпоксидированное соевое масло и некоторые другие.
Для модификации другие эпоксиды могут являться составными частями соответствующей изобретению эпоксидной смолы или соответственно эпоксидной смолы для соответствующего изобретению элемента на поверхностных акустических волнах. В принципе могут использоваться любые эпоксиды, которые могут быть получены путем надкислотного эпоксидирования. Ими являются, например, длинноцепочечные α-эпоксиды, эпоксидированный полибутадиен, эпоксидированное соевое масло и некоторые другие.
Возможным является далее добавлять также другие сополимеризуемые с эпоксидом соединения. Это могут быть, например, некоторые виниловые простые эфиры и спирты, предпочтительно многофункциональные виниловые простые эфиры и спирты, предпочтительным образом многофункциональные соединения. Так, например, можно добавлять гликоли, другие алифатические диоли, три- или тетрафункциональные спирты, как триметилолпропан или простой эфир гликолей с фенолами или бисфенолами. Другими походящими сополимеризуемыми соединениями являются полимерные многоатомные спирты, которые находят применение при изготовлении полиуретанов.
Дополнительно могут содержаться нереактивные, однако известные для эпоксидных смол добавки. Это, в частности, средства растекания, добавки, способствующие адгезии, тиксотропные средства, термические инициаторы отверждения и при необходимости красители или пигменты. Следует явно подчеркнуть, что они являются выбираемыми компонентами, которые не являются обязательно необходимыми для изобретения. Также и без этих добавок могут быть получены эпоксидные смолы, которые являются пригодными для соответствующего изобретению элемента на поверхностных акустических волнах.
Предпочтительными тиксотропным средством является пирогенная кремневая кислота, которая может содержаться в эпоксидной смоле в доле до 15 вес.%.
В последующем изобретение поясняется более подробно с помощью примеров выполнения в относящемся к ним чертеже.
На чертеже показан соответствующий изобретению конструктивный элемент на поверхностных акустических волнах в схематичном поперечном сечении.
Предварительные продукты, которые применяются для изготовления соответствующих изобретению смол для шелкографии, являются эпоксифункциональными. Исключением является предварительный продукт V3, который является гидроксильнофункциональными и синтезируется кислотно катализируемым.
Изготовление первого предварительного прореагировавшего продукта V1.
В круглодонную 500-мл колбу вводят 300 г циклоалифатического диэпоксида Araldit® CY 177, Ciba) вместе с 15 г бисфенола и мешают при 90oC до полного растворения. После добавления 1,0 г основного катализатора производят нагревание до 100oC и оставляют при этой температуре последующие 21 ч. Затем производят дегазацию примерно 1 ч при температуре 130oC в вакууме порядка 0,6 мбар. Полученная реакционная смесь является готовым к употреблению предварительным продуктом V1.
Изготовление второго предварительного продукта V2.
в круглодонной 500-мл колбе смешивают при 90oC 150 г циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179), 150 г второго циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179), и 30 г бисфенола А, пока бисфенол полностью растворится. После добавления 1,0 г катализатора производят нагревание до 100oC и оставляют при этой температуре на 21 ч. Затем производят дегазацию смеси при температуре 130oC при пониженном давлении порядка 0,6 мбар. Полученная реакционная смесь является готовым к употреблению предварительным продуктом V2.
Изготовление третьего предварительного продукта V3.
Для изготовления предварительного продукта V3 берут 232 г циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179 и 40 г циклоалифатического диалкоголя (TCD-спирт DM, Hoechst, смотри структурную формулу)
При помешивании медленно каплями добавляют 0,05 г HSbF6 (растворенный в 2 г TCD-спирта). После многочасового времени реакции производят нагрев до 110oC. мешают еще 1 ч и добавляют 0,07 г аминоэтанола. Возникает крайне высоковязкая при комнатной температуре масса, которая перерабатывается в качестве предварительного продукта V3.
При помешивании медленно каплями добавляют 0,05 г HSbF6 (растворенный в 2 г TCD-спирта). После многочасового времени реакции производят нагрев до 110oC. мешают еще 1 ч и добавляют 0,07 г аминоэтанола. Возникает крайне высоковязкая при комнатной температуре масса, которая перерабатывается в качестве предварительного продукта V3.
Изготовление следующего предварительного продукта V4 и V5.
Следующий предварительный продукт V4 изготавливают аналогичным образом, как, например, предварительные продукты V1 и V2 из 100 г циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179 и 20 г бисфенола A, в то время как следующий предварительный продукт V5 изготавливают по тому же правилу из 100 г Araldit® CY 179 и 15 г бисфенола A.
Изготовление первой пригодной для шелкографии эпоксидной смолы EH 1.
20 г предварительного продукта V1, 50 г предварительного продукта V2, 0,15 г пеногасителя (SH, фирмы Wacker), 0,1 средства, способствующего адгезии (A 186, фирмы Union Cardide) и 0,5 г фотоинициатора для катионного процесса отверждения Cyracure® UVI 6974, Union Cardide) однородно смешивают при комнатной температуре при помешивании. После 15 мин помешивания отвешивают 4,1 г первой пирогенной кремневой кислоты (Aerosil®A 380, (фирмы Degussa)) и 3,0 г другой пирогенной кремневой кислоты Aerosil® R 202, (фирмы Degussa)) и мешают еще 30 мин. После обезгаживания при давлении < 1 мбар получают готовую к употреблению эпоксидную смолу EH 1, которая при комнатной температуре имеет вязкость 42 Па•с.
Изготовление второй пригодной для шелкографии эпоксидной смолы EH 2.
Для этого аналогичным образом однородно смешивают и обезгаживают 88 г циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179, 150 г предварительного продукта V3 и 0,75 г фотоинициатора (Cyracureтм UVI 6974). Готовая к употреблению смесь эпоксидных смол EH 2 имеет вязкость 38 Па•с.
Изготовление третьей пригодной для шелкографии эпоксидной смолы EH 3.
Для этого однородно смешивают и обезгаживают 30 г циклоалифатического эпоксида Araldit® CY 179, 720 г предварительного продукта 4V, 200 г эпоксидированного соевого масла (Edenol D82, фирмы Henkel), 30 г пирогенной кремневой кислоты (Aerosil®A 380, фирмы Degussa), 2,5 г средства растекания (Modaflow, фирмы Monsanto), 1,5 г средства, способствующего адгезии (Silan A 186, Union Carbide) и 4,9 г фотоинициатора UVI 6974. Таким образом, получается способная к шелкографии эпоксидная смола с вязкостью 135 Па•с.
Изготовление пригодной для шелкографии эпоксидной смолы WH 4.
Из 650 г предварительного продукта V5, 25 г додеценоксида (фирмы Peroxid Chemie), 90 г TDC-спирта DM (фирмы Hoechst), 17 г этиленгликоля (фирмы Merck), 33 г пирогенной кремневой кислоты (Aerosil®A 380, фирмы Degussa) 2 г средства растекания (Modaflow, фирмы Monsanto) и 5 г фотоинициатора UVI 6974 аналогичным образом изготавливают однородную смесь и обезгаживают. Готовая к употреблению композиция имеет вязкость 21 Па•с.
Изготовленные таким образом эпоксидные смолы EH 1 - EH 5 теперь могут наносится посредством шелкографии на пьезоэлектрический преобразователь (конструктивный элемент на поверхностных акустических волнах). Вязкость является достаточно низкой так, что масса может проходить через применяемую для печати сетку. Одновременно вязкость является достаточно большой, чтобы не течь самой по себе через сетку. Эпоксидные смолы обладают достаточной тиксотропией так, что напечатанные структуры также после времени выдерживания 1 ч еще имеют желаемый профиль поперечного сечения и не расплываются. Времена выдерживания до 1 ч должны соблюдаться, чтобы при необходимости могли улетучиться заключенные в напечатанные структуры воздушные пузырьки. На подложке (пьезокерамике) масса имеет хорошую адгезию. Она также не является настолько липкой, чтобы он нее тянулись нитки при шелкографии.
На чертеже показано схематическое поперечное сечение через конструктивный элемент на поверхностных акустических волнах (фильтр на поверхностных акустических волнах), на котором, как уже описано, напечатаны демпфирующие структуры 5. Подложка 2 выполнена из пьезокерамики (например, ниобата лития) с толщиной примерно 500 мкм и склеена на своей нижней стороне по всей площади с медной ванной 1.
На верхней стороне подложки 2 находятся преобразовательные электроды 3 и 4. Чертеж показывает сечение через "зубы" гребенчато выполненных преобразовательных электродов 3, 4, причем каждый раз два гребенчатых преобразовательных электрода вдвинуты друг в друга своими "зубами" с различной полярностью (обозначенной + и -). Так, например, преобразовательные электроды 3 образуют передатчик поверхностных акустических волн, который преобразует приложенный к преобразовательным электродам 3 электрический сигнал в механические или соответственно сигналы колебаний. Преобразовательные электроды 4 представляют собой приемник поверхностных акустических волн. Он преобразует отфильтрованные через конструктивный элемент поверхностные акустические волны снова в электрические сигналы. Демпфирующие структуры 5 нанесены вне активной области преобразователя путем шелкографии. Как видно из чертежа, смола, например, нанесена на двух противоположных краях на поверхности подложки в направлении распространения поверхностных акустических волн. Однако эпоксидной смолой или соответственно демпфирующими структурами могут быть покрыты также все края поверхности подложки. Несмотря на не соответствующее масштабу изображение, можно хорошо видеть плоские углы откоса структур из смолы, чтобы дополнительно подавлялись отражения поверхностных акустических волн от краев шелкографии, так как таким образом облегчается переход волны от подложки 2 в демпфирующие структуры 5.
После названного времени выдержки снабженные таким образом покрытием элементы подвергают УФ-облучению. При интенсивности облучения порядка 55 мBт•см-2 в УФ-области A конструктивные элементы облучают примерно 1 мин.
Теперь демпфирующие структуры достаточно отверждены, чтобы можно было производить распиливание для разделения на элементы на поверхностных акустических волнах из подложки. При этом не происходит ни отслоения, ни повреждения демпфирующих структур. К любому более позднему моменту времени при необходимости также перед распиливанием, элементы или соответственно демпфирующие структуры доотверждают в течение нескольких минут при температуре, например, 130oC.
Готовые конструктивные элементы подвергают коррозионному испытанию при 110oC (влажность и постоянное напряжение). В испытанных элементах не наблюдаются никакие обусловленные коррозией или другие отказы. В тесте на функционирование, кроме того, определялось достигнутое согласно изобретения демпфирование фильтров на поверхностных акустических волнах в [дБ].
В таблице указаны некоторые измерительные значения изготовленных в примерах выполнения эпоксидных смол и покрытых ими фильтров на поверхностных акустических волнах. Температуры стеклоперехода определены c DSC.
Оказалось, что характеристики демпфирования покрытых в соответствии с изобретением УФ-отверждаемыми эпоксидными смолами элементов на поверхностных акустических волнах удовлетворяют требованиям.
Claims (9)
1. Элемент на поверхностных акустических волнах с подложкой (2) из пьезоэлектрического материала, с преобразовательными электродами (3, 4) на поверхности подложки и с напечатанными по меньшей мере на части поверхности акустическими демпфирующими структурами (5), с проходящим через акустические демпфирующие структуры (5) пропилом при разделении на элементы изготовленных на подложке (2) элементов на поверхностных акустических волнах, в котором демпфирующие структуры содержат катионно отверждаемую с УФ-инициированием эпоксидную смолу, изготовленную из циклоалифатического эпоксида, многовалентного фенола и фотоинициатора для катионного процесса отверждения.
2. Элемент на поверхностных акустических волнах по п. 1, при котором сигналы помех демпфированы с 50 дБ относительно главного сигнала.
3. Элемент на поверхностных акустических волнах по п. 1 или 2, при котором эпоксидная смола демпфирующих структур (5) основана на циклоалифатическом эпоксиде и свободна от растворителей.
4. Способ изготовления акустической демпфирующей структуры (5) на элементе на поверхностных акустических волнах (7) путем печати катионно отверждаемой с УФ-инициированием эпоксидной смолы в желаемой структуре (5) на поверхности элемента на поверхностных акустических волнах, при необходимости, выдерживания времени выдержки до 60 мин и отверждения за счет воздействия УФ-излучения на смоляную структуру (5), при котором используют эпоксидную смолу, которая содержит следующие составляющие: циклоалифатический эпоксид, продукт обмена циклоалифатического эпоксида и многовалентного фенола в молярном отношении реактивных групп 1 :1 до 20 :1, фотоинициатор для катионного процесса отверждения и, при необходимости, другие обычные для эпоксидных смол добавки.
5. Способ по п. 4, при котором используют эпоксидную смолу, имеющую вязкость 20 - 150 Па•с.
6. Способ по п. 4 или 5, при котором циклоалифатический эпоксид выбран из 3,4-эпоксициклогексилметил-3', 4'-эпоксициклогексанкарбоксилата и бис(3,4-эпоксициклогексилметил)адипата или смеси из них.
7. Способ по любому из пп. 4 - 6, при котором эпоксидная смола содержит другие составляющие, которые являются реактивными относительно УФ-инициированного катионного процесса отверждения и выбраны из алифатических эпоксидов и моно- и многофункциональных алифатических и аралифатических спиртов и простых виниловых эфиров.
8. Способ по любому из пп. 4 - 7, при котором обычные для эпоксидных смол добавки выбраны из средств растекания, средств, способствующих адгезии, тиксотропных средств и термических инициаторов отверждения.
9. Способ по любому из пп. 1 - 8, при котором множество элементов (7) изготавливают на одной подложке, и при котором после отверждения напечатанной структуры (5) производят процесс распиливания через части структуры для разделения элементов.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4443946 | 1994-12-09 | ||
| DEP4443946.6 | 1994-12-09 | ||
| PCT/DE1995/001738 WO1996018182A1 (de) | 1994-12-09 | 1995-12-05 | Oberflächenwellenbauelement und verfahren zur erzeugung einer dämpfungsstruktur dafür |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97111815A RU97111815A (ru) | 1999-05-27 |
| RU2131624C1 true RU2131624C1 (ru) | 1999-06-10 |
Family
ID=6535426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97111815/28A RU2131624C1 (ru) | 1994-12-09 | 1995-12-05 | Элемент на поверхностных акустических волнах и способ изготовления демпфирующей структуры для него |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5900286A (ru) |
| EP (1) | EP0796488B1 (ru) |
| JP (1) | JPH10510401A (ru) |
| KR (1) | KR987000636A (ru) |
| CN (1) | CN1122360C (ru) |
| DE (1) | DE59505535D1 (ru) |
| FI (1) | FI972392A (ru) |
| RU (1) | RU2131624C1 (ru) |
| WO (1) | WO1996018182A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3806993B2 (ja) * | 1996-10-28 | 2006-08-09 | 東洋インキ製造株式会社 | カチオン硬化性プレポリマーおよびそれを用いた活性エネルギー線硬化型塗料組成物 |
| DE19750147A1 (de) * | 1997-11-12 | 1999-05-27 | Siemens Ag | Einkomponenten-Epoxidharz zur Abdeckung von elektronischen Bauelementen |
| WO2000000961A1 (de) * | 1998-06-26 | 2000-01-06 | Epcos Ag | Verfahren zur dämpfenden beschichtung von oberflächenwellenbauelementen |
| DE19943149A1 (de) * | 1999-09-09 | 2001-04-05 | Siemens Ag | Verfahren zur Verkapselung von Bauelementen |
| DE10006446A1 (de) * | 2000-02-14 | 2001-08-23 | Epcos Ag | Verkapselung für ein elektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
| DE10023353A1 (de) * | 2000-05-12 | 2001-11-29 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
| WO2024024442A1 (ja) * | 2022-07-25 | 2024-02-01 | 株式会社日本触媒 | 樹脂組成物 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56149811A (en) * | 1980-04-23 | 1981-11-19 | Hitachi Ltd | Elastic surface wave device and its preparation |
| EP0097642A1 (en) * | 1981-12-14 | 1984-01-11 | Gte Products Corporation | Acoustical wax on a surface wave device |
| JPS598419A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
| JPS59210715A (ja) * | 1984-04-16 | 1984-11-29 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| CA1305823C (en) * | 1986-08-29 | 1992-07-28 | Union Carbide Corporation | Photocurable blends of cyclic ethers and cycloaliphatic epoxides |
| EP0360037B1 (de) * | 1988-09-19 | 1994-11-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Dämpfungsmasse für Oberflächen-wellenbauelemente |
| JPH02104011A (ja) * | 1988-10-12 | 1990-04-17 | Nec Corp | 表面弾性波素子の吸収帯形成方法 |
| KR100189642B1 (ko) * | 1991-02-18 | 1999-06-01 | 디어터 크리스트 | 전자 부품 및 조립체를 피복시키거나 접착시키는 방법 |
| US5328940A (en) * | 1992-07-20 | 1994-07-12 | Lord Corporation | Radiation-curable compositions containing hydroxy-terminated polyurethanes and an epoxy compound |
| TW269017B (ru) * | 1992-12-21 | 1996-01-21 | Ciba Geigy Ag |
-
1995
- 1995-12-05 WO PCT/DE1995/001738 patent/WO1996018182A1/de active IP Right Grant
- 1995-12-05 KR KR1019970703829A patent/KR987000636A/ko active IP Right Grant
- 1995-12-05 RU RU97111815/28A patent/RU2131624C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1995-12-05 JP JP8517247A patent/JPH10510401A/ja not_active Abandoned
- 1995-12-05 EP EP95940141A patent/EP0796488B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-05 DE DE59505535T patent/DE59505535D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-05 CN CN95197504A patent/CN1122360C/zh not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-12-05 US US08/849,465 patent/US5900286A/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-06-05 FI FI972392A patent/FI972392A/fi unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1174622A (zh) | 1998-02-25 |
| EP0796488B1 (de) | 1999-03-31 |
| DE59505535D1 (de) | 1999-05-06 |
| WO1996018182A1 (de) | 1996-06-13 |
| KR987000636A (ko) | 1998-03-30 |
| CN1122360C (zh) | 2003-09-24 |
| FI972392A0 (fi) | 1997-06-05 |
| US5900286A (en) | 1999-05-04 |
| JPH10510401A (ja) | 1998-10-06 |
| FI972392A (fi) | 1997-06-05 |
| EP0796488A1 (de) | 1997-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60105164T2 (de) | Nichtfliessende flussmittel-klebstoffzusammensetzungen | |
| US5856383A (en) | Snap-cure epoxy adhesives | |
| KR101344704B1 (ko) | 에폭시 수지 경화성 조성물 | |
| KR101971758B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 및 그의 경화물, 및 광학 부품 | |
| RU2131624C1 (ru) | Элемент на поверхностных акустических волнах и способ изготовления демпфирующей структуры для него | |
| JPH0413374B2 (ru) | ||
| KR20180081038A (ko) | 장쇄 알킬렌기함유 에폭시 수지 조성물 | |
| US5783713A (en) | Polyglycidylphenyl ethers of alkylene or alkyleneoxy chains for use in microelectronics adhesives | |
| CN106459381B (zh) | 光固化性组合物、以及包含该组合物的光学元件用粘接剂 | |
| JP2009263543A (ja) | エポキシ樹脂、エポキシ樹脂組成物及びその硬化物 | |
| JP2007153933A (ja) | 接着方法及び接着剤 | |
| JP2008305580A (ja) | 光後硬化性組成物、有機エレクトロルミネッセンス素子用封止剤、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法、及び、有機エレクトロルミネッセンス表示装置 | |
| KR20010050159A (ko) | 캐스팅용 에폭시 수지 조성물 | |
| JP5668659B2 (ja) | アンダーフィル材料、半導体装置及びその製造方法 | |
| KR0133065B1 (ko) | 표면파 부품을 감쇠시키기 위한 화합물 | |
| WO1990002768A1 (en) | Silicone-epoxy resin composition and conductive adhesive prepared therefrom | |
| TW201437275A (zh) | 熱固性樹脂組合物及塡充有該樹脂組合物的印刷電路板 | |
| KR20240036556A (ko) | 경화성 접착제 조성물, 및 경화성 접착 시트 | |
| JP6386907B2 (ja) | 硬化性エポキシ樹脂組成物 | |
| RU97111815A (ru) | Элемент на поверхностных акустических волнах и способ изготовления демпфирующей структуры для него | |
| KR20220089694A (ko) | 접착제 조성물 및 접착 시트 | |
| JPWO2020017141A1 (ja) | 反応性希釈剤、組成物、封止材、硬化物、基板、電子部品、エポキシ化合物、及び化合物の製造方法 | |
| TW202018052A (zh) | 防濕密封材用組成物 | |
| JP2011225654A (ja) | ジオレフィン樹脂、エポキシ樹脂、及び該組成物 | |
| JP7244177B2 (ja) | 硬化性組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20031206 |