JPS5928364A - リ−ドフレ−ム - Google Patents
リ−ドフレ−ムInfo
- Publication number
- JPS5928364A JPS5928364A JP57138741A JP13874182A JPS5928364A JP S5928364 A JPS5928364 A JP S5928364A JP 57138741 A JP57138741 A JP 57138741A JP 13874182 A JP13874182 A JP 13874182A JP S5928364 A JPS5928364 A JP S5928364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- block
- good thermal
- thermal conductivity
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/433—Auxiliary members in containers characterised by their shape, e.g. pistons
- H01L23/4334—Auxiliary members in encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/013—Alloys
- H01L2924/0132—Binary Alloys
- H01L2924/01322—Eutectic Alloys, i.e. obtained by a liquid transforming into two solid phases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/10251—Elemental semiconductors, i.e. Group IV
- H01L2924/10253—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体装置用リードフレームに係シ、リード
フレームのIC塔載部下面を含むインナーリード部に良
熱伝導性ブロックを止着せしめた熱放散性と封止信頼性
を兼ね備えたリードフレームに関するものである。
フレームのIC塔載部下面を含むインナーリード部に良
熱伝導性ブロックを止着せしめた熱放散性と封止信頼性
を兼ね備えたリードフレームに関するものである。
近年、半導体装置においては、工Cの小型化の動向の中
で高密度化、高速化かつ熱放散性、高信頼性を兼ね備え
、しかも安価に生産できる量産りイブのリードフレーム
が要望されている。
で高密度化、高速化かつ熱放散性、高信頼性を兼ね備え
、しかも安価に生産できる量産りイブのリードフレーム
が要望されている。
ところが現状のリードフレームについてみると、夫々に
一長一短があって未だ上記諸性能を1^足する低コスト
、量産品は得られていない。
一長一短があって未だ上記諸性能を1^足する低コスト
、量産品は得られていない。
即ち、グラスチックパッケージはLi2立てを低温で行
うことができ、かつ安価で量産性は良いが、封止樹脂の
熱伝導に限界があって、ICの高集積化や高速化に伴な
う発熱量の増大に対して最も必要とされる熱放散性に欠
点がある。
うことができ、かつ安価で量産性は良いが、封止樹脂の
熱伝導に限界があって、ICの高集積化や高速化に伴な
う発熱量の増大に対して最も必要とされる熱放散性に欠
点がある。
またCer−DIPはICのマウントをセラミック上に
行うことから、熱放散性はグラスチックパッケージタイ
プのものよシ良好であり、気密性もあるが、ガラス刊工
程で450℃以上もの加熱を必要とすることから実装上
の制約がある11かコスト的に難点がある。
行うことから、熱放散性はグラスチックパッケージタイ
プのものよシ良好であり、気密性もあるが、ガラス刊工
程で450℃以上もの加熱を必要とすることから実装上
の制約がある11かコスト的に難点がある。
さらにセラミックパッケージは、熱放散性は良好である
が、セラミックによるパッケージ製造コストが大であっ
て量産性に欠け、互だメタライズされた電極を用いるこ
とからも製造コストが上昇する欠点がある。
が、セラミックによるパッケージ製造コストが大であっ
て量産性に欠け、互だメタライズされた電極を用いるこ
とからも製造コストが上昇する欠点がある。
上記の点に鑑みて本発明者らは低コスト、量産性でかつ
熱放散性のよいリードフレームについて検討を重ねた結
果、この発明に至ったものである。
熱放散性のよいリードフレームについて検討を重ねた結
果、この発明に至ったものである。
即ち、この発明は時にプラスチックパッケージ型リード
フレームの熱放散外を改善したものであって、リードフ
レームのIC塔載部下面にパッケージの外部まで貫通す
る良熱伝導性ブロックを鑞付、溶接あるいはガラス付に
て止着させたものである。
フレームの熱放散外を改善したものであって、リードフ
レームのIC塔載部下面にパッケージの外部まで貫通す
る良熱伝導性ブロックを鑞付、溶接あるいはガラス付に
て止着させたものである。
以下添付図面を参照しつつこの発明を説明する。
第1図はリードフレーム1のIC2塔載部下面に良熱伝
導性ブロック5をパッケージの外部まで貫通する形状で
鑞付または溶接したものであり、3はボンディングワイ
ヤー、4は封止樹脂である。
導性ブロック5をパッケージの外部まで貫通する形状で
鑞付または溶接したものであり、3はボンディングワイ
ヤー、4は封止樹脂である。
また第2図はリードフレーム1のインナーリード部7に
良熱伝導性ブロック5をガラス6を介して融着したもの
である。
良熱伝導性ブロック5をガラス6を介して融着したもの
である。
これを具体的に説明すると、インナーリードのワイヤー
ボンディング部にAgメッキを施したグイバット部を有
しない42アロイリードフレーム1に厚さ2喘1の平板
状に切シ出した良熱伝導性ブロック5としてのMo板を
リードフレームlのタイバーよシ内方のインナーリード
部7の下面に厚さ0.51ffの粉末ガラス6を用いて
止着することによってこの発明に基づくリードフレーム
表面製した。
ボンディング部にAgメッキを施したグイバット部を有
しない42アロイリードフレーム1に厚さ2喘1の平板
状に切シ出した良熱伝導性ブロック5としてのMo板を
リードフレームlのタイバーよシ内方のインナーリード
部7の下面に厚さ0.51ffの粉末ガラス6を用いて
止着することによってこの発明に基づくリードフレーム
表面製した。
なお前記Mo板の中央ダイボンディング部にはIC2と
してのSiチップを塔載するために厚さ1μmのNiメ
ッキを施したのち、19.さ0.7μmのAuメッキを
施したものを用いた。
してのSiチップを塔載するために厚さ1μmのNiメ
ッキを施したのち、19.さ0.7μmのAuメッキを
施したものを用いた。
このリードフレームを用いてMo板上にSiチップなA
u−8i共品でボンディングしたのち、通常のAu線ク
ワイヤーボンディング行い、次いでトランスファーモー
ルド方式でリードフレーム表面、裏面から夫々2゜5騨
の肉厚で樹脂封止を行ないICを作製した。
u−8i共品でボンディングしたのち、通常のAu線ク
ワイヤーボンディング行い、次いでトランスファーモー
ルド方式でリードフレーム表面、裏面から夫々2゜5騨
の肉厚で樹脂封止を行ないICを作製した。
その結果、ダイパッド直下に取付けた良熱伝導ブロック
としてのMo板はちょうどパッケージの外に直接あられ
れることになり、極めて熱放散性良好なるICを得るこ
とができ、従来の樹脂封止型ICではチップの限界発熱
量がIWであったものがこの発明のものでは5Wまで用
いることが可能となり、ICの高出力化に対応した安価
なノくツケージングが可能であることが実証された。
としてのMo板はちょうどパッケージの外に直接あられ
れることになり、極めて熱放散性良好なるICを得るこ
とができ、従来の樹脂封止型ICではチップの限界発熱
量がIWであったものがこの発明のものでは5Wまで用
いることが可能となり、ICの高出力化に対応した安価
なノくツケージングが可能であることが実証された。
この発明において用いる良熱伝導性ブロックとしては、
上記に使用したMOのにかCuXFe、Wなどの金属お
よびそれらの合金や複合材が用いられまたアルミナより
熱伝導性のよいセラミックスも使用しうる。そしてこれ
らの良熱伝導性ブロックは、ICチップ搭載部を除いて
周囲を絶縁処理して用いるものである。
上記に使用したMOのにかCuXFe、Wなどの金属お
よびそれらの合金や複合材が用いられまたアルミナより
熱伝導性のよいセラミックスも使用しうる。そしてこれ
らの良熱伝導性ブロックは、ICチップ搭載部を除いて
周囲を絶縁処理して用いるものである。
また上記においては樹脂封止したICを例にして説明し
たが、これに限定されるものではなく、IC全般にこの
発明が適用しうろことは勿論であるO 以上詳述のように、この発明はリードフレームのIC塔
載部下面にパッケージの外部まで貫通す □る良熱
伝導性ブロックを止着させたことによってICからの発
生熱は、この良熱伝導性ブロックを通して外部へ放出さ
れるため熱放散性が匝めて良好となシ、ICの限界発熱
量を5Wまで拡大することができること、またIC塔戦
後は通常のプンスチツクモールドで簡単にパッケージで
きるので昇温もなく組立て容易で量産できること、さら
に上記の放熱ブロックが既存パッケージの一部分を構成
するため、余分な体積(実装面積)をとらないから小型
化が可能であること、などの種々の利点を有するもので
あシ、この発明のリードフレームの工業的価値は非常に
犬である。
たが、これに限定されるものではなく、IC全般にこの
発明が適用しうろことは勿論であるO 以上詳述のように、この発明はリードフレームのIC塔
載部下面にパッケージの外部まで貫通す □る良熱
伝導性ブロックを止着させたことによってICからの発
生熱は、この良熱伝導性ブロックを通して外部へ放出さ
れるため熱放散性が匝めて良好となシ、ICの限界発熱
量を5Wまで拡大することができること、またIC塔戦
後は通常のプンスチツクモールドで簡単にパッケージで
きるので昇温もなく組立て容易で量産できること、さら
に上記の放熱ブロックが既存パッケージの一部分を構成
するため、余分な体積(実装面積)をとらないから小型
化が可能であること、などの種々の利点を有するもので
あシ、この発明のリードフレームの工業的価値は非常に
犬である。
第1シjはこの発明のリードフレームの一実施例を示す
断面図であり、第2図は同じく他の実施例を示す断面図
である。 ■・・・リードフレーム、 2・・・ICチップ、3
・・・ボンディングワイヤー、 4・・・耐重樹脂、5
・・・良熱伝導性ブロック、 6・・・ガラス特許出
願人 住友電気工業株式会社代゛
理人 弁桿士、和1)間 第1図 第2図 265−
断面図であり、第2図は同じく他の実施例を示す断面図
である。 ■・・・リードフレーム、 2・・・ICチップ、3
・・・ボンディングワイヤー、 4・・・耐重樹脂、5
・・・良熱伝導性ブロック、 6・・・ガラス特許出
願人 住友電気工業株式会社代゛
理人 弁桿士、和1)間 第1図 第2図 265−
Claims (7)
- (1) 半導体装置用リードフレームにおいて、該リ
ードフレームのIC塔載部下面にパッケージの外部まで
貫通する良熱伝導性ブロックを止着したことを特徴とす
るリードフレーム。 - (2) 良熱伝導性ブロックをリードフレームのイン
ナーリード部の一部または全面に止着したことを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のリードフレーム。 - (3) リードフレームへの良熱伝導性ブロックの止
着を鑞付にて行うことを特徴とする特許請求の範囲第1
項または第2項記載のリードフレーム0 - (4) リードフレームへの良熱伝導性ブロックの止
着を溶接にて行うことを特徴とする特許請求の範囲第1
項または第2項記載のリードフレーム0 - (5)リードフレームへの良熱伝導性ブロックの止着を
ガラス融着にて行うことを特徴とする特許請求の範囲M
1項または第2項記!W:のり−ドフレーム。 - (6) 良熱伝導性ブロックがIC搭載部を除いて絶
縁処理した金属よシなることを特徴とする特許請求の範
囲@1項または第2項記載のリードフレーム。 - (7)良熱伝導性ブロックがセラミックよりなることを
特徴とする特許nlt求の範囲第1項または第2項記戦
のリードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57138741A JPS5928364A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | リ−ドフレ−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57138741A JPS5928364A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | リ−ドフレ−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5928364A true JPS5928364A (ja) | 1984-02-15 |
Family
ID=15229084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57138741A Pending JPS5928364A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | リ−ドフレ−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5928364A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104458A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-09 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5488254A (en) * | 1991-08-05 | 1996-01-30 | Hitachi, Ltd. | Plastic-molded-type semiconductor device |
EP0838091A4 (ja) * | 1995-07-03 | 1998-05-06 |
-
1982
- 1982-08-09 JP JP57138741A patent/JPS5928364A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63104458A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-09 | Nec Corp | 半導体装置 |
US5488254A (en) * | 1991-08-05 | 1996-01-30 | Hitachi, Ltd. | Plastic-molded-type semiconductor device |
EP0838091A4 (ja) * | 1995-07-03 | 1998-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5296740A (en) | Method and apparatus for a semiconductor device having a radiation part | |
JP3009788B2 (ja) | 集積回路用パッケージ | |
KR100674548B1 (ko) | 반도체 장치 | |
US5841183A (en) | Chip resistor having insulating body with a continuous resistance layer and semiconductor device | |
JP4220641B2 (ja) | 樹脂モールド用回路基板と電子パッケージ | |
JP3336982B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP3816821B2 (ja) | 高周波用パワーモジュール基板及びその製造方法 | |
JPS5928364A (ja) | リ−ドフレ−ム | |
JPS60137041A (ja) | 樹脂封止形半導体装置 | |
JP3165139B1 (ja) | 気密封止型半導体パッケージ | |
CA1201211A (en) | Hermetically sealed semiconductor casing | |
JPH03129870A (ja) | リードフレーム | |
JPH06295971A (ja) | 半導体装置及びそのリードフレーム | |
JPH0333068Y2 (ja) | ||
JPH0312954A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP2000150725A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH088384A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
WO2022195865A1 (ja) | 四面冷却パワーモジュール | |
JPH03265161A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JPH07202067A (ja) | ヒートシンク付ピングリッドアレイ | |
JP2004172239A (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びその製法 | |
JPH03248449A (ja) | ヒートシンク搭載型半導体装置 | |
JPH04196471A (ja) | 半導体装置 | |
JP2503690B2 (ja) | ヒ―トシンク搭載型半導体装置 | |
JPS59101843A (ja) | 樹脂封止形電子部品 |