JPS59232693A - セラミツクと金属等との接合用クラツドろう材及びこれを用いたセラミツクと金属等との複合体 - Google Patents
セラミツクと金属等との接合用クラツドろう材及びこれを用いたセラミツクと金属等との複合体Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はセラミックと金ノ)、ガラスもしくはセラミッ
クの如き材料(本発明ではこれらを総称するときは金属
等という)とを接合するために使用されるクラッド型の
ろう材及びこれを用いて接合した複合体に関するもので
ある。
クの如き材料(本発明ではこれらを総称するときは金属
等という)とを接合するために使用されるクラッド型の
ろう材及びこれを用いて接合した複合体に関するもので
ある。
従来セラミックと金属等との接合法は高融点金属法によ
るアルミナセラミックとコバールの接合や酸化物ソルダ
ー法によるアルミナセラミックとニオブとの接合等が知
られている。
るアルミナセラミックとコバールの接合や酸化物ソルダ
ー法によるアルミナセラミックとニオブとの接合等が知
られている。
前者の高融点金属法は例えば焼結アルミナセラミックに
、Mo−Mnメタライズペーストを塗布し、水素炉Vこ
で1,300〜1.70 Q”cで加熱焼付けした後、
ニッケルメッキを施して、水素炉中で約800°Cで処
理しメタライズし、銀−銅共晶ろうにてコバールと結合
する方法である。
、Mo−Mnメタライズペーストを塗布し、水素炉Vこ
で1,300〜1.70 Q”cで加熱焼付けした後、
ニッケルメッキを施して、水素炉中で約800°Cで処
理しメタライズし、銀−銅共晶ろうにてコバールと結合
する方法である。
又後者の酸化物ソルダー法はOaQ −MgO−Al2
O3”203の混和物を焼結アルミナセラミックに塗布
し、金属ニオブをセットした後、1Q’−5T□rrの
真空中にて約1500 ”Cで加熱する接合方法である
。
O3”203の混和物を焼結アルミナセラミックに塗布
し、金属ニオブをセットした後、1Q’−5T□rrの
真空中にて約1500 ”Cで加熱する接合方法である
。
どちらの方法もDgh係数の近い物同志の接合に限られ
ている他、前者の方法は工程が複雑であり、後者の方法
も真空を使用するためVC接合品の!I’C産化には難
のある方法である。
ている他、前者の方法は工程が複雑であり、後者の方法
も真空を使用するためVC接合品の!I’C産化には難
のある方法である。
又、非酸化物系のセラミックの接合に関して述べれば金
属の蒸着や硫化銅法によりメタライズした後、ろう付け
する接合法があるが、この方法はメタライズとろう付け
の両者が全く別工程で行なう必要のあるため、複数の加
熱操作を要し煩々(Gである。
属の蒸着や硫化銅法によりメタライズした後、ろう付け
する接合法があるが、この方法はメタライズとろう付け
の両者が全く別工程で行なう必要のあるため、複数の加
熱操作を要し煩々(Gである。
本発明はこうした従来の接合法の難点に着目しこれを解
決したもので、特に加熱操作を単純化し、熱膨張係数の
相当異なる物でも接合することを可能ならしめたもので
ある。
決したもので、特に加熱操作を単純化し、熱膨張係数の
相当異なる物でも接合することを可能ならしめたもので
ある。
本発明へは、具体的にはセラミックと金属等を接合する
クラッドろう材とこのろう材を用いて接合した複合体で
ある。
クラッドろう材とこのろう材を用いて接合した複合体で
ある。
そして第1の発明は銀(A g)、銅(Cu)もしくは
銀−銅(Ag −Ou )合金層Ag層及びC1u層と
これに詔℃い 隣接するチタン(T1)層とからなシ、 Ti含)鋒
は肉層の総量に対し3〜80重[4係であるところのセ
ラミックと金属等との接合用ろう材である。
銀−銅(Ag −Ou )合金層Ag層及びC1u層と
これに詔℃い 隣接するチタン(T1)層とからなシ、 Ti含)鋒
は肉層の総量に対し3〜80重[4係であるところのセ
ラミックと金属等との接合用ろう材である。
セラミックは一般に8融金属の濡れ性が悪いが、Ag
−Ti 、 C!u −TiもしくはAg −Ou −
Tiの合金はセラミックに対し濡れ性がよく、特に後者
のAg −OuとT1は加熱によって三元素の共晶とな
勺、セラミックに対し良く接合するとともに炭素鋼 M
l、 Ou等とも接合し、結局Ag −cu及びTiの
2つの層は1つのろう材として働きセラミックと金属の
複合部材を得ることができる。そして本発明に於てはA
g −Cu層の2つに分けて加熱によって共晶となる場
合も同様な作用効果を持つので選択の範囲としており、
後者のようにAE層とCu層の2層に分けた場合はいづ
れが11層と瞬接してもよい。
−Ti 、 C!u −TiもしくはAg −Ou −
Tiの合金はセラミックに対し濡れ性がよく、特に後者
のAg −OuとT1は加熱によって三元素の共晶とな
勺、セラミックに対し良く接合するとともに炭素鋼 M
l、 Ou等とも接合し、結局Ag −cu及びTiの
2つの層は1つのろう材として働きセラミックと金属の
複合部材を得ることができる。そして本発明に於てはA
g −Cu層の2つに分けて加熱によって共晶となる場
合も同様な作用効果を持つので選択の範囲としており、
後者のようにAE層とCu層の2層に分けた場合はいづ
れが11層と瞬接してもよい。
但し、T1がAE層、Cu層もしくはAg −Cu層と
Ti層の総置に対し3〜50重聞係に限定した理由は6
重1%以下では、セラミックに対する活性が少ないため
に慄合強度が弱いことと80重−11%を越えた場合に
は合金(ろう材)が脆くなり複合体の接合強度が弱く実
用的ではないためである。
Ti層の総置に対し3〜50重聞係に限定した理由は6
重1%以下では、セラミックに対する活性が少ないため
に慄合強度が弱いことと80重−11%を越えた場合に
は合金(ろう材)が脆くなり複合体の接合強度が弱く実
用的ではないためである。
又第2の発明は第1の発明のろう材に更に低膨張率メタ
ル層、もしくは低ヤング率メタル層、もしくはそれら両
方を順不同で積層しクラッド411V ’lj:、−と
したろう材を含み、場合により更に他のろう4−」を複
合させた複合型のクラッドろう・(」である。そしてこ
こに低膨張率メタル層にはW 、 Mo 、コバール、
pe −Ni 42アロイ、インバー、Ou −Mo合
金、0r−W合金等の膨張係数の比較的小さい金属を含
み、膨張係数の違ったものの接合の場合VC41:1衝
作用をなすものである。
ル層、もしくは低ヤング率メタル層、もしくはそれら両
方を順不同で積層しクラッド411V ’lj:、−と
したろう材を含み、場合により更に他のろう4−」を複
合させた複合型のクラッドろう・(」である。そしてこ
こに低膨張率メタル層にはW 、 Mo 、コバール、
pe −Ni 42アロイ、インバー、Ou −Mo合
金、0r−W合金等の膨張係数の比較的小さい金属を含
み、膨張係数の違ったものの接合の場合VC41:1衝
作用をなすものである。
又低ヤング率メタルとしてはCu 、 Ag等がJ:”
1用される。そしてこれらの低膨張メタルJ1/)や低
ヤング率メタルの層は接合体の寸法や形状に合わせて任
意に選択することができる。又特にセラミックの熱膨張
係数に近い金属を選択することにより、冷却後セラミッ
クにかXる残留応力を少なく−J−ることができる。又
更にヤング−91の低い金属は接合に使用した場合に冷
却後接合体の歪を少くする効果がある。
1用される。そしてこれらの低膨張メタルJ1/)や低
ヤング率メタルの層は接合体の寸法や形状に合わせて任
意に選択することができる。又特にセラミックの熱膨張
係数に近い金属を選択することにより、冷却後セラミッ
クにかXる残留応力を少なく−J−ることができる。又
更にヤング−91の低い金属は接合に使用した場合に冷
却後接合体の歪を少くする効果がある。
次に本発明のろう材を図面を参照しつつ説明する。なお
ろう材を理解すれば当然に本発明の複合体も理解される
であろう。
ろう材を理解すれば当然に本発明の複合体も理解される
であろう。
第1図は第1の発明に係るものでAg層、Cu層又はA
g −Cu合金層a1にT1層a2をクラッドしたろう
利で複合体を構成する際はいづれの側をセラミックに接
するようにしてもよい。なお図示してないがAg −C
u層に代えてAg層及びCu層を併用してもよくこの場
合もいづれの」111がTi層と接してもよい。
g −Cu合金層a1にT1層a2をクラッドしたろう
利で複合体を構成する際はいづれの側をセラミックに接
するようにしてもよい。なお図示してないがAg −C
u層に代えてAg層及びCu層を併用してもよくこの場
合もいづれの」111がTi層と接してもよい。
第2図は第2の発明に係るもので、翰は前記第1図のク
ラッドろう拐のa21’;’二″:側に低膨張メタル層
すを設けた場合、(ロ)は前記第1図のり2ツドろう材
の82層側に低ヤング率メタル層Cを設けた」胎を示し
ている。又、e)は前記第1図のクラッドろう材の32
層の次に低膨張メタル層すと低ヤング率メタル層Cとを
順次設けた場合を示している。
ラッドろう拐のa21’;’二″:側に低膨張メタル層
すを設けた場合、(ロ)は前記第1図のり2ツドろう材
の82層側に低ヤング率メタル層Cを設けた」胎を示し
ている。又、e)は前記第1図のクラッドろう材の32
層の次に低膨張メタル層すと低ヤング率メタル層Cとを
順次設けた場合を示している。
なお本発明は上記の第2図(イ)、(ロ)及びe→の外
、al側にす、cもしくはそれらの複合層を設けてもよ
いことは勿論であシ、又、第2図(ハ)における場合と
はbとCの順序を逆にしてもよいし、Qyこ、bとCの
他に更に他の接合用金層を設けてもよいことは当然であ
る。
、al側にす、cもしくはそれらの複合層を設けてもよ
いことは勿論であシ、又、第2図(ハ)における場合と
はbとCの順序を逆にしてもよいし、Qyこ、bとCの
他に更に他の接合用金層を設けてもよいことは当然であ
る。
次に本発明の応用実施例に係るろう旧A1゛・Y成を第
3図及び第4図により説明する。
3図及び第4図により説明する。
先づ第3図はAE −Cu合金h’j a 1と、Tj
層a2と、低膨張性メタル例えばMOからなるbと低ヤ
ング率メタル例えばOuからなるCと、Ag−CU合金
a1とが順次重なりクラッドされている。ここで1i1
a2、b% Cの各層の作用効果は既述のとおりである
が、最後(一番下)のal層はステンレス高炭?、鏑、
セラミック以外の金属例えば4・す系合金一般鉄、ニッ
ケル等には滴れ性もよく良く接合するがステンレス、高
炭素鋼、セラミックの場合には、−1fi下のAg−C
uからなるa1ハi ノずぐ内イll’l VC’i’
]−yr−p)なる32層を設ければal 、”2両
者はhjsi局一つの合金として働き濡れ性もよく接合
強度も強くなイ)。
層a2と、低膨張性メタル例えばMOからなるbと低ヤ
ング率メタル例えばOuからなるCと、Ag−CU合金
a1とが順次重なりクラッドされている。ここで1i1
a2、b% Cの各層の作用効果は既述のとおりである
が、最後(一番下)のal層はステンレス高炭?、鏑、
セラミック以外の金属例えば4・す系合金一般鉄、ニッ
ケル等には滴れ性もよく良く接合するがステンレス、高
炭素鋼、セラミックの場合には、−1fi下のAg−C
uからなるa1ハi ノずぐ内イll’l VC’i’
]−yr−p)なる32層を設ければal 、”2両
者はhjsi局一つの合金として働き濡れ性もよく接合
強度も強くなイ)。
又第4図は更に他の応用例でT1からなる42層、Ag
からなるa1層%Cu−W合金からなるυ層、 Agか
らなるal#Mが順次重ねられてクラッドされており上
側のa2 + alは一つの合金系として作用しセラミ
ックとよく接合し、下側のAgからなるalJmはセラ
ミック及び各種金属への濡れ性もよいので接合強度の強
い複合体が得られる。
からなるa1層%Cu−W合金からなるυ層、 Agか
らなるal#Mが順次重ねられてクラッドされており上
側のa2 + alは一つの合金系として作用しセラミ
ックとよく接合し、下側のAgからなるalJmはセラ
ミック及び各種金属への濡れ性もよいので接合強度の強
い複合体が得られる。
こ\に適用されるセラミックはアルミナ、ジルコニア窒
化珪素、炭化珪素等、酸化物系、非酸化物系を問わずす
べてのセラミックに適用可能である。
化珪素、炭化珪素等、酸化物系、非酸化物系を問わずす
べてのセラミックに適用可能である。
次に本発明のろう材によりセラミックと金属等との接合
を行ない剪[(11強度を測定した結果を示せば次表1
のとおりである。但し、同時に比較例を示しであるが、
これはろう4Jの構成を本発明とは異にしているか、複
合体をつくる接合段階を酸化雰囲気で行なう等本発明の
複合体形成手段の範囲を外れた場合である。
を行ない剪[(11強度を測定した結果を示せば次表1
のとおりである。但し、同時に比較例を示しであるが、
これはろう4Jの構成を本発明とは異にしているか、複
合体をつくる接合段階を酸化雰囲気で行なう等本発明の
複合体形成手段の範囲を外れた場合である。
炭化珪素(5in)
(3) 気孔率3乃アルミナ含有率95俤のアルミナ
焼結4本(A−/20s ) (4)気孔率1係ジルコニア含有率90%のイツトリア
部+安定化ジルコニア焼結体(ZrO2)上記各焼結体
を15X15X10+++、mの寸法VCダイヤモンド
砥石で加工しセラミックとした。
焼結4本(A−/20s ) (4)気孔率1係ジルコニア含有率90%のイツトリア
部+安定化ジルコニア焼結体(ZrO2)上記各焼結体
を15X15X10+++、mの寸法VCダイヤモンド
砥石で加工しセラミックとした。
セラミックの表面(15X15mmの而)を洗剤、アセ
トンにて洗滌した後光I VC記載されているクラッド
ろう材をセラミック側に第1の層がくるように設置し、
表1記載の金属19と、それぞれ記11.父の如き温度
、雰囲気で加熱接合した。
トンにて洗滌した後光I VC記載されているクラッド
ろう材をセラミック側に第1の層がくるように設置し、
表1記載の金属19と、それぞれ記11.父の如き温度
、雰囲気で加熱接合した。
クラッドろう材の寸法はi5x15xtym(tは厚さ
で表1に記載しである)接合する金属雪の寸法は15X
15X10層である。表1VC於て胤1〜患13は本発
明の実JIM例、jhl 4は比1ツ例である。隘1〜
Nh13はろう材のセラミックに対する濡れ性が良好で
あり、セラミックのクラック等の異常は発生しなかった
が、淘14は第1) 1!・1の゛1゛1含量が本発明
の範囲を外れて多過ぎることによってセラミックに対す
る濡れ性が悪くな9接合しなかったものである。凪15
〜隘18は水素雰囲気で加熱した例で、いづれも本発明
の実施例であるが隘19は大気中で加熱した比較例でせ
ん断強度は0である。
で表1に記載しである)接合する金属雪の寸法は15X
15X10層である。表1VC於て胤1〜患13は本発
明の実JIM例、jhl 4は比1ツ例である。隘1〜
Nh13はろう材のセラミックに対する濡れ性が良好で
あり、セラミックのクラック等の異常は発生しなかった
が、淘14は第1) 1!・1の゛1゛1含量が本発明
の範囲を外れて多過ぎることによってセラミックに対す
る濡れ性が悪くな9接合しなかったものである。凪15
〜隘18は水素雰囲気で加熱した例で、いづれも本発明
の実施例であるが隘19は大気中で加熱した比較例でせ
ん断強度は0である。
なお複合体(接合体)のせん断強度は第5図に示すよう
にセラミック1と相手方の合金等2とを接合用ろう材3
で結合し、これを金属等2の部分を治具4に嵌着固定し
、セラミック1に矢印方向に荷重を加えて測定する。荷
重速度は2 F:F/minである。
にセラミック1と相手方の合金等2とを接合用ろう材3
で結合し、これを金属等2の部分を治具4に嵌着固定し
、セラミック1に矢印方向に荷重を加えて測定する。荷
重速度は2 F:F/minである。
次に実施例1で使用したアルミナ、窒化珪素と同材質の
セラミックを用いて抵抗値と引張強度を測定し表2にし
である。試料は1.2 (1;)X 15 X 50肪
(但し七−厚さ)の大きさに加工しこのセラミック(図
示せず)の上に第6図(ロ)に示すように例えばAg
−Cuからなる合金MlとT1層■からなるろう材層の
両(fi11端に、タテ5Q711mヨコ201mの上
に電極例えば00層111.Cu又はN1層1vを(各
10馴幅)に設ける。第6図(イ)は正面図で電極■の
表面側から見たところで5は空洞部でその横方向の中央
点線は切断線を示しており、ここで切[Otしたものを
それぞれ試料とし、テスターで各メタライズ層の抵抗を
測定したところ隘20〜隘24はそれぞれ7箇所すべて
抵抗は0であった。
セラミックを用いて抵抗値と引張強度を測定し表2にし
である。試料は1.2 (1;)X 15 X 50肪
(但し七−厚さ)の大きさに加工しこのセラミック(図
示せず)の上に第6図(ロ)に示すように例えばAg
−Cuからなる合金MlとT1層■からなるろう材層の
両(fi11端に、タテ5Q711mヨコ201mの上
に電極例えば00層111.Cu又はN1層1vを(各
10馴幅)に設ける。第6図(イ)は正面図で電極■の
表面側から見たところで5は空洞部でその横方向の中央
点線は切断線を示しており、ここで切[Otしたものを
それぞれ試料とし、テスターで各メタライズ層の抵抗を
測定したところ隘20〜隘24はそれぞれ7箇所すべて
抵抗は0であった。
なお、切断した電極VこφD、 5 vryrのNi
線を半11]付けし、接合部の引張強度を測定した。
線を半11]付けし、接合部の引張強度を測定した。
荷重速度は20η1/I//minである。これらの結
果はすべて表2に示ず通シでいづれも満足すべきデータ
を示している。
果はすべて表2に示ず通シでいづれも満足すべきデータ
を示している。
以上のように本発明はそのろう材j、l、シ成によやセ
ラミックとその相手方となる金属等を強固に接合するこ
とができ、しかも比較的簡単な手段で強固な接合構造を
有する複合体を提供するものである。
ラミックとその相手方となる金属等を強固に接合するこ
とができ、しかも比較的簡単な手段で強固な接合構造を
有する複合体を提供するものである。
示す断面図、第2図((イ)fp)及びe→は第2の発
明によるクラッドろう材の各実施例の断面図 第3図、及び第4図は本発明の他の応用例を示す断面図
、第5図は接合試料をろう材の剪11h強度測定のため
治具に取付けた状態の断面図、第6因り)は電極の正面
図、(ロ)はろう材と電極の接合断面図である。
明によるクラッドろう材の各実施例の断面図 第3図、及び第4図は本発明の他の応用例を示す断面図
、第5図は接合試料をろう材の剪11h強度測定のため
治具に取付けた状態の断面図、第6因り)は電極の正面
図、(ロ)はろう材と電極の接合断面図である。
al:Ag層、Cu層又はAg−Co合金層 a2:T
ijIjb:低膨張メタル層 C:低ヤング率メタル層 代理人 弁理士 竹 内 守 第1図 第2図 第5図 第6図 (づ)
ijIjb:低膨張メタル層 C:低ヤング率メタル層 代理人 弁理士 竹 内 守 第1図 第2図 第5図 第6図 (づ)
Claims (2)
- (1) 銀(Ag)層、銅(Cり層もしくは銀−銅(
Ag−Cり合金層或はAg層及びCu層yこれに隣接す
るチタSれうつ ン(Ti)層とからなシ、T1含11Lは両層の総量に
対し6〜80重貝%であることを特徴とするセンミック
と金属等との接合用ろうイJ - (2) 銀(Ag)層、S”lnl (Ou)層も(
7くは銀−集、 (Ag−Cu )合金j1ル或はAg
:r<1及びCox層とこg vc 14接するチタ
これい ン(T1)届とからなり、 Ti含量は1〜層の総量に
ヌ1し6〜80重用、易としたろう材と、少なくも低膨
層とT1層のいづれかのバクと低j膨張メタル層もしく
は低ヤング串メタルgfjのいづれかが隣接されて各層
が一体化されているクラッド接合用ろう拐(3) 銀
(Ag)層、銅(Cu)ハ9もしくは銀−銅(Ag−C
u)合金層Ag層及びC11層とこれVCFi接するチ
タン3〜80重量%にして前記Ag層、Cu層もしくは
Ag −Cu合金層とTi層のいづれかの旧とセラミッ
クとを接するようにして非酸化性雰囲気下で加熱接合さ
れたセラミックと金属等との複合体(4)銀(Ag)層
、銅(Cu)層もしくは銀〜銅(Ag−0u)合金層A
g層及びCu層とこれvc tH接するチタン(T、)
層とからなり、 Ti含量はtπ1の総:・i’、
VCλ1し3〜80重量%にして前記Ag層、Cu層も
しくはAg −Cu合金層とT1層のいづれかの層とセ
ラミックとを接するようにするとともに、少なくもイJ
(膨張メタル層もしくは低ヤング率メタル層の一方もし
くは両方を含み、この低膨朱メタル層もしくは低ヤング
率メタル層がAg層、Cu層もしくはAg−0u合金層
とTi層のうちセラミック1clfしてい)7[い層と
隣接されて各層が一体化されているクラッド接合用ろう
材によシ、非酸化jIJU:雰囲気下で接イ)されたセ
ラミックと金属等との複合体
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58107650A JPS59232693A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | セラミツクと金属等との接合用クラツドろう材及びこれを用いたセラミツクと金属等との複合体 |
US06/618,784 US4624897A (en) | 1983-06-17 | 1984-06-08 | Clad brazing filler for bonding ceramic to metal, glass, or other ceramic and composites using such filler |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58107650A JPS59232693A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | セラミツクと金属等との接合用クラツドろう材及びこれを用いたセラミツクと金属等との複合体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59232693A true JPS59232693A (ja) | 1984-12-27 |
Family
ID=14464562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58107650A Pending JPS59232693A (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | セラミツクと金属等との接合用クラツドろう材及びこれを用いたセラミツクと金属等との複合体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4624897A (ja) |
JP (1) | JPS59232693A (ja) |
DE (1) | DE3422329A1 (ja) |
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JPS58125673A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-07-26 | 新明和工業株式会社 | 拡散接合方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61169190A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-30 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 複合ろう材 |
JPS61275512A (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-05 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | エンジン用部品及びその製造方法 |
JPH01313371A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-18 | Sumitomo Cement Co Ltd | 金属母材とセラミックスとの中間緩衝構造体および接合方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4624897A (en) | 1986-11-25 |
DE3422329C2 (ja) | 1989-06-15 |
DE3422329A1 (de) | 1985-01-17 |
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