JPS59227361A - 平面研削装置 - Google Patents
平面研削装置Info
- Publication number
- JPS59227361A JPS59227361A JP58101398A JP10139883A JPS59227361A JP S59227361 A JPS59227361 A JP S59227361A JP 58101398 A JP58101398 A JP 58101398A JP 10139883 A JP10139883 A JP 10139883A JP S59227361 A JPS59227361 A JP S59227361A
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- JP
- Japan
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- workpiece
- carrying
- arm
- head
- worked
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は平面研削装置に関するものである。
従来、ワークの片面研削加工を行う場合には、複数のプ
レッシャプレートの下面にワークを取付け、該ワークに
圧力を加えながら定盤によシ加工するようにしていたが
、ワークの装填及び取出しを全て人手に頼っていたため
、迅速に作業を進めることができなかった。しかも、バ
ッチ処理的な加工しかできないため、非能率的であると
同時に非量産的でもあシ、そのうえ作業者自身が汚染源
となったシ、ワークの加工面に接触して品質低下を来し
易い等の欠点があった。
レッシャプレートの下面にワークを取付け、該ワークに
圧力を加えながら定盤によシ加工するようにしていたが
、ワークの装填及び取出しを全て人手に頼っていたため
、迅速に作業を進めることができなかった。しかも、バ
ッチ処理的な加工しかできないため、非能率的であると
同時に非量産的でもあシ、そのうえ作業者自身が汚染源
となったシ、ワークの加工面に接触して品質低下を来し
易い等の欠点があった。
本発明はワークの装填から加工及び取出しまでを連続的
且つ自動的に行うことのできる平面研削装置の提供を目
的とする′ものである。
且つ自動的に行うことのできる平面研削装置の提供を目
的とする′ものである。
上記目的を達成するため、本発明においては、ワークの
加工面を上面に備えた定盤の周りにワーク移送台を回転
自在に配設すると共にワークの保持用ヘッドを備えだ複
数の加工アームを揺動自在に配設し、上記移送台上に、
未加工ワーク用載置部と加工済ワーク用載置部とを備え
だステーションを加工アームと同数形設し、該移送台の
外側に、上記ステーションへの未加工ワークの搬入を行
うための搬入装置と、ステーショ／からの加工済ワーク
の搬出を行うための搬出装置とを設けたことを特徴とし
ている。
加工面を上面に備えた定盤の周りにワーク移送台を回転
自在に配設すると共にワークの保持用ヘッドを備えだ複
数の加工アームを揺動自在に配設し、上記移送台上に、
未加工ワーク用載置部と加工済ワーク用載置部とを備え
だステーションを加工アームと同数形設し、該移送台の
外側に、上記ステーションへの未加工ワークの搬入を行
うための搬入装置と、ステーショ／からの加工済ワーク
の搬出を行うための搬出装置とを設けたことを特徴とし
ている。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
。
ツ１図において、１は機体、２は該機体の中央に回転自
在に配設した定盤であって、該定盤２の上面にパッド３
を接着することによりワーク４（第２図）の加工面を形
成している。
在に配設した定盤であって、該定盤２の上面にパッド３
を接着することによりワーク４（第２図）の加工面を形
成している。
上記定盤２の周りには、リング状のワーク移送台５をベ
アリング等の支持機構５αを介して回転自在に配設し、
該移送台５を第２図に示すモータ６によって所望の角度
だけ回転可能に構成すると共に、該移送台５の上面に、
未加工ワーク用載置部８と加工済ワーク用載置部９、及
びブラシによる洗浄部１０とを備えた複数のステーショ
ン７を一定間隔で形設している。上記載置部８，９は、
凹所１１内に支持台１２を設け、この支持台１２上にワ
ーク４を載置するようにしｊたものである。
アリング等の支持機構５αを介して回転自在に配設し、
該移送台５を第２図に示すモータ６によって所望の角度
だけ回転可能に構成すると共に、該移送台５の上面に、
未加工ワーク用載置部８と加工済ワーク用載置部９、及
びブラシによる洗浄部１０とを備えた複数のステーショ
ン７を一定間隔で形設している。上記載置部８，９は、
凹所１１内に支持台１２を設け、この支持台１２上にワ
ーク４を載置するようにしｊたものである。
また、上記移送台５の周りには、上記ステーション７と
同数の加工アーム１３を一定間隔で配設し、この加工ア
ーム１３ケ、第２図に具体的に示すように、機体１上に
スリーブ１４を介して回転自在に立設置７た支柱１５と
、該支柱１５の上端に速結１７た横枠１６とを備え、該
横枠１６の先端にシリンダ１７を同定すると共に、該シ
リンダ１７のロッド１７ （Ｌにペア１ノング１８を介
してワーク保持用ヘッド１９を回転自在にを付ゆ、該口
７ド１７αに固定した台板加上にモータ２１を載置して
、該モータ２１に取付けた歯車ｎと−＼７ド１９に取付
けだ歯車ｎとを互いに噛合させ、上記シリンダ１７とモ
ータ２１とによってへ一／）”１９を昇降自在且つ回転
自在としたもので、訪へラド１９の下面にはフィルタ５
を備えたワークの吸着面列を設け、該吸着面列を吸引孔
Ｕαを介して図示しない真空ポンプに接続している。そ
して、上記支柱１５の下端には歯車部を取付け、この歯
車部を内歯歯車２７に１ｗ合させている。
同数の加工アーム１３を一定間隔で配設し、この加工ア
ーム１３ケ、第２図に具体的に示すように、機体１上に
スリーブ１４を介して回転自在に立設置７た支柱１５と
、該支柱１５の上端に速結１７た横枠１６とを備え、該
横枠１６の先端にシリンダ１７を同定すると共に、該シ
リンダ１７のロッド１７ （Ｌにペア１ノング１８を介
してワーク保持用ヘッド１９を回転自在にを付ゆ、該口
７ド１７αに固定した台板加上にモータ２１を載置して
、該モータ２１に取付けた歯車ｎと−＼７ド１９に取付
けだ歯車ｎとを互いに噛合させ、上記シリンダ１７とモ
ータ２１とによってへ一／）”１９を昇降自在且つ回転
自在としたもので、訪へラド１９の下面にはフィルタ５
を備えたワークの吸着面列を設け、該吸着面列を吸引孔
Ｕαを介して図示しない真空ポンプに接続している。そ
して、上記支柱１５の下端には歯車部を取付け、この歯
車部を内歯歯車２７に１ｗ合させている。
上記内歯歯車υは、第３図からも明らかなように、上記
定盤２の周シにベアリング等の支持機構２７αに支持さ
せてそれと同心状に配設し、エアモータ四によって正逆
方向に駆動できるようにしたもので、との内歯歯車２７
の外側面には突起２９ 、３０を形設し、とれらの突起
２９ 、３０と機体１に取付けたリミットスイッチ３１
α、３１ｈ及び３２とによって加工アーム１３の回動範
凹制御［１１を構成している。
定盤２の周シにベアリング等の支持機構２７αに支持さ
せてそれと同心状に配設し、エアモータ四によって正逆
方向に駆動できるようにしたもので、との内歯歯車２７
の外側面には突起２９ 、３０を形設し、とれらの突起
２９ 、３０と機体１に取付けたリミットスイッチ３１
α、３１ｈ及び３２とによって加工アーム１３の回動範
凹制御［１１を構成している。
即ち、リミットスイッチ３１α、３１ｂは、エアモータ
公の回転方向を正逆に９押えるだめのものであって、突
起四がこれらのリミットスイ・７チ３１α。
公の回転方向を正逆に９押えるだめのものであって、突
起四がこれらのリミットスイ・７チ３１α。
３１ ｂを押圧すると、エアモータあの回転方向が交互
に切換えられ、それによって、加工アーム１３が第１図
に１つの加工アームで代表的に示すａ、ｈの範囲内を揺
動する。また、リミットスイッチ３２は、加工アーム１
３によるワーク４の吸着及び解放時に該加工アーム１３
の位置決めを行うためのもので、突起（９）が該リミッ
トスイッチ３２を押圧したとき、加工アーム１３が第１
図に示すＣの位置に停止するようになっている０ さらに、上記移送台５の外側に社、ステーション７への
未加工ワークの搬入とステーション７からの加工済ワー
クの搬出とを行うだめの搬入装置３３及び搬出装置莫を
設けている。これらの装置３３゜あけ、第４図及び第５
図にそれぞれ示すように、ワーク４を吸着保持するため
の吸盤３６α、３６ｈを先端に備え且つシリンダ３７α
、３７ｈにより前後進自在の把持アームあα、３５ｂと
、モータ３９σ、３９ｂにより昇降自在の台板間α、３
８ｂとからなり、該台板間σ、３８ｂ上にワーク収納用
カセツ） ４０ （Ｌ 。
に切換えられ、それによって、加工アーム１３が第１図
に１つの加工アームで代表的に示すａ、ｈの範囲内を揺
動する。また、リミットスイッチ３２は、加工アーム１
３によるワーク４の吸着及び解放時に該加工アーム１３
の位置決めを行うためのもので、突起（９）が該リミッ
トスイッチ３２を押圧したとき、加工アーム１３が第１
図に示すＣの位置に停止するようになっている０ さらに、上記移送台５の外側に社、ステーション７への
未加工ワークの搬入とステーション７からの加工済ワー
クの搬出とを行うだめの搬入装置３３及び搬出装置莫を
設けている。これらの装置３３゜あけ、第４図及び第５
図にそれぞれ示すように、ワーク４を吸着保持するため
の吸盤３６α、３６ｈを先端に備え且つシリンダ３７α
、３７ｈにより前後進自在の把持アームあα、３５ｂと
、モータ３９σ、３９ｂにより昇降自在の台板間α、３
８ｂとからなり、該台板間σ、３８ｂ上にワーク収納用
カセツ） ４０ （Ｌ 。
４０ Ａを載置したもので、該カセット４０α、４０ｈ
にはワーク収納部を多段状に形成し、台板間α、：３８
ｋによってそれを１段ずつ上下動させ得るようにしてい
る。この場合、特に搬出装置３４においては、上記台板
、３８ｈを水槽４１上に配置し、加工済ワークがカセッ
ト４Ｆｌ ｈ内に収納される毎に合板３８ｈが収納部１
段分下降し、取出されたワークが水中に浸漬されてその
乾燥が防止されるようになっている。
にはワーク収納部を多段状に形成し、台板間α、：３８
ｋによってそれを１段ずつ上下動させ得るようにしてい
る。この場合、特に搬出装置３４においては、上記台板
、３８ｈを水槽４１上に配置し、加工済ワークがカセッ
ト４Ｆｌ ｈ内に収納される毎に合板３８ｈが収納部１
段分下降し、取出されたワークが水中に浸漬されてその
乾燥が防止されるようになっている。
なお、図中４２（第１図）はステーション７に水を供給
するだめの給水管、４３（第２図）は加工液が定盤２の
周りに離散するのを防止するだめの隔壁である。
するだめの給水管、４３（第２図）は加工液が定盤２の
周りに離散するのを防止するだめの隔壁である。
上記構成を有する平面研削装置において、多数の未加工
ワークを収納したカセット４０αが搬入装置３３におけ
る台板間α上にａ置されると、把持アームあａが作動し
て吸盤３６αにより捷ずカセット上段のワークが吸着さ
れ、該ワークが第一送台５上のステーション７における
未加工ワーク用載置部８に搬入される。続いて、移送台
５の回転により隣接するステーション７が、次々に搬入
装置３３との対向位簡に移動し、同様にして未加工ワー
クの搬入が行われる。
ワークを収納したカセット４０αが搬入装置３３におけ
る台板間α上にａ置されると、把持アームあａが作動し
て吸盤３６αにより捷ずカセット上段のワークが吸着さ
れ、該ワークが第一送台５上のステーション７における
未加工ワーク用載置部８に搬入される。続いて、移送台
５の回転により隣接するステーション７が、次々に搬入
装置３３との対向位簡に移動し、同様にして未加工ワー
クの搬入が行われる。
各ステーション７の未加工ワーク用載筒部８への未加工
ワークの搬入が終了すると、移送台５が一定角度だけ回
転し、未加工ワーク用載置部８が加工アームＩ３のヘッ
ド１９の真下に移動する。このとき加工アーム１３は、
内歯歯車２７が突起層によるリミットスイッチ３２の押
圧位ｉｔで回転することによって第１図のＣの位置に回
動し、この位置に待機しておシ、未加工ワークがヘッド
１９の真下に来ると、シリンダ１７により該ヘッド１９
が下降してその吸着面列にワークが吸着保持される。
ワークの搬入が終了すると、移送台５が一定角度だけ回
転し、未加工ワーク用載置部８が加工アームＩ３のヘッ
ド１９の真下に移動する。このとき加工アーム１３は、
内歯歯車２７が突起層によるリミットスイッチ３２の押
圧位ｉｔで回転することによって第１図のＣの位置に回
動し、この位置に待機しておシ、未加工ワークがヘッド
１９の真下に来ると、シリンダ１７により該ヘッド１９
が下降してその吸着面列にワークが吸着保持される。
ワーク４を保持したへ７ド１９が再び上昇すると、加工
アーム１３鉱内歯歯車２７の回転により第１図のαの位
置まで移動し、ここでヘッド１９が下降してワーク４が
回転する定盤２の加工面に押しつけられると共に、モー
タ２】によりヘッド１９が回転せしめられ、ワーク４の
加工が行われる。このとき、各加工アーム１３は、内歯
歯車ｎ上の突起２９とエアモータ列の回転方向を正逆に
切換えるリミットスイッチ３１ （ｔ 、 ３１ ｈと
の作用によって第１図に示すσ、ｈの間を自動的に揺動
する。この揺動は全ての加工アーム１３において同期的
に行われ、それらが互いに接触することはない。
アーム１３鉱内歯歯車２７の回転により第１図のαの位
置まで移動し、ここでヘッド１９が下降してワーク４が
回転する定盤２の加工面に押しつけられると共に、モー
タ２】によりヘッド１９が回転せしめられ、ワーク４の
加工が行われる。このとき、各加工アーム１３は、内歯
歯車ｎ上の突起２９とエアモータ列の回転方向を正逆に
切換えるリミットスイッチ３１ （ｔ 、 ３１ ｈと
の作用によって第１図に示すσ、ｈの間を自動的に揺動
する。この揺動は全ての加工アーム１３において同期的
に行われ、それらが互いに接触することはない。
上記加工が行わわている間、移送台５における各未加工
ワーク用！置部８にり１、搬入装置３３によりカセット
４０αから次の未加工ワークが搬入され、移送台５は第
１図に示す位置に待機している。
ワーク用！置部８にり１、搬入装置３３によりカセット
４０αから次の未加工ワークが搬入され、移送台５は第
１図に示す位置に待機している。
加工が終了すると、ヘッド］９が上昇すると同時にその
回転が停止さね、各加工アーム１３１ｃｊ ２１図のＣ
の位置に移動する。そし７て、この位置でヘッド１９が
再び下降し、ワークを加工済ワーク用載置部９における
支持台」２上に９置する。この載置部９においては、凹
所１１内に給水管４２を辿じて水が充填されており、上
記加工済のワークは、少なくともその加工面が水に浸漬
さｔまた状態で支持台１２上に載置されるととになる。
回転が停止さね、各加工アーム１３１ｃｊ ２１図のＣ
の位置に移動する。そし７て、この位置でヘッド１９が
再び下降し、ワークを加工済ワーク用載置部９における
支持台」２上に９置する。この載置部９においては、凹
所１１内に給水管４２を辿じて水が充填されており、上
記加工済のワークは、少なくともその加工面が水に浸漬
さｔまた状態で支持台１２上に載置されるととになる。
次に、移送台５が回転して洗浄部１０がヘッド１９の真
下に移動し、ブラシによって吸着面列の洗浄が行われる
。このとき、ブラシにｉは給水管４２を通じて水が供給
され、へ７ド１９はモータ２１により回転される。
下に移動し、ブラシによって吸着面列の洗浄が行われる
。このとき、ブラシにｉは給水管４２を通じて水が供給
され、へ７ド１９はモータ２１により回転される。
上記吸着面Ｕの洗浄が終了すると、移送台５が回転し、
前述した要領によって未加工ワーク用載置部８に載置さ
れていＺ未加工ワークがヘッド１９に吸着保持され、そ
の加工が開始される。
前述した要領によって未加工ワーク用載置部８に載置さ
れていＺ未加工ワークがヘッド１９に吸着保持され、そ
の加工が開始される。
上記加工の間、移送台５が一定角度ずつ回転し、各加工
済ワーク用載置部９における加工済ワークが搬出装置３
４により順次取出されてカセ”／ ） ４（ｌ ｂに１
ヌ納されると同時に、搬入装置３３によって新たな未加
工ワークが未加工ワーク用載置部８に搬入される。この
場合、搬出装置３４においては、把持アーム３５ｂが前
進して加工済ワークを吸着した後、該把持アーム３５ｈ
が後退して該ワークをカセット４０ｈ’に最下段から順
次収納する。このときカセ７） ４０ ｂ ｌｄ、加工
済ワークが収納される毎に合板３８ ｂと共に１段ずつ
下降【７、収納された加工済ワークは水槽４１内の水に
ｌｌＦ’１次浸漬される。
済ワーク用載置部９における加工済ワークが搬出装置３
４により順次取出されてカセ”／ ） ４（ｌ ｂに１
ヌ納されると同時に、搬入装置３３によって新たな未加
工ワークが未加工ワーク用載置部８に搬入される。この
場合、搬出装置３４においては、把持アーム３５ｂが前
進して加工済ワークを吸着した後、該把持アーム３５ｈ
が後退して該ワークをカセット４０ｈ’に最下段から順
次収納する。このときカセ７） ４０ ｂ ｌｄ、加工
済ワークが収納される毎に合板３８ ｂと共に１段ずつ
下降【７、収納された加工済ワークは水槽４１内の水に
ｌｌＦ’１次浸漬される。
上述したルυ作を繰り返すことによって１力セツト分の
ワークの加工が終了すると、搬出装置３４における加工
済ワークの収納カセットが合板３８ ｈの上昇により水
槽４１から持ち−ヒげられ、新たなカセットと交撫され
る。
ワークの加工が終了すると、搬出装置３４における加工
済ワークの収納カセットが合板３８ ｈの上昇により水
槽４１から持ち−ヒげられ、新たなカセットと交撫され
る。
上叩実施例では、加工アーム１３の回動を内歯歯車２７
により行うようにしているが、この内歯歯車２７に・代
えてタイミングベルトを使用することもできる。
により行うようにしているが、この内歯歯車２７に・代
えてタイミングベルトを使用することもできる。
このように、本発明によりは、ワークの装填から加工及
び取出し７１で建続的且つ自動的に行うことができ、そ
れによって加工時間の知給仕と省力化とを図ることがで
きる。
び取出し７１で建続的且つ自動的に行うことができ、そ
れによって加工時間の知給仕と省力化とを図ることがで
きる。
４ し１佃の節片な詣、明
テ１１図は本発明の一丈７１ｉｔＨ例を示す平面図、第
２図＆：ｌ二その要部拡大断面図、第３図は同平面図、
第４図及び第５図はそれぞれ搬入装置及び搬出装置の断
面図である。
２図＆：ｌ二その要部拡大断面図、第３図は同平面図、
第４図及び第５図はそれぞれ搬入装置及び搬出装置の断
面図である。
２・・・定盤、 ４・・・ワーク、 ５・・・移送
台、７・・・ステーション、 ８・・・未加工ワーク用將置部、 ９・・・加工済ワーク用載置部、 １３°俸・力ｎ エアーム、１９拳・・へ・ンド、３；
３・・・搬入装置、 ３４・・・搬出装置。
台、７・・・ステーション、 ８・・・未加工ワーク用將置部、 ９・・・加工済ワーク用載置部、 １３°俸・力ｎ エアーム、１９拳・・へ・ンド、３；
３・・・搬入装置、 ３４・・・搬出装置。
Ｍｉｔｔｓ願人 スピードフ了ム株式会社第１ｗＪＡ
第２図
７
Claims (1)
- １、 ワークの加工面を上面に備えた定盤の周りにワー
ク移送台を回転自在に配設すると共にワークの保持用ヘ
ッドを備えた複数の加工アームを揺動自在に配設し、上
記移送台上に、未加工ワーク用載置部と加工済ワーク用
載置部とを備えたステーションを加工アームと同数形設
し、該移送台の外側に、上記ステーションへの未加工ワ
ークの搬入を行うための搬入装置と、ステーションから
の加工済ワークの搬出を行うための搬出装置とを設けた
ことを特徴とする平面研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58101398A JPS59227361A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 平面研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58101398A JPS59227361A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 平面研削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59227361A true JPS59227361A (ja) | 1984-12-20 |
| JPH0455826B2 JPH0455826B2 (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=14299624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58101398A Granted JPS59227361A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 平面研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59227361A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0647655A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-22 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウエーハ面取部研磨方法及び装置 |
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-
1983
- 1983-06-07 JP JP58101398A patent/JPS59227361A/ja active Granted
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