JP3500260B2 - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP3500260B2 JP3500260B2 JP33211596A JP33211596A JP3500260B2 JP 3500260 B2 JP3500260 B2 JP 3500260B2 JP 33211596 A JP33211596 A JP 33211596A JP 33211596 A JP33211596 A JP 33211596A JP 3500260 B2 JP3500260 B2 JP 3500260B2
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Description
面を高精度に研磨するための研磨装置に関する。
るシリコン等のウエハは、その表面の平滑度と粗さが製
品品質を決める重要な要素となる。そのため、インゴッ
トから切り出されたシリコンウエハは、通常はまずダイ
ヤモンド砥石による機械研削により表面を平滑にした
後、シリカを溶かしたアルカリ水溶液を供給しながら定
盤上の研磨布で研磨することにより、必要な平滑度と表
面粗さを得ていた。
研磨装置では、研削後のウエハを定位置で1枚ずつヘッ
ドに吸着して研磨が行われ、また研削後のウエハを収容
したカセットから1枚ずつヘッドに吸着して研磨洗浄し
た後、ヘッドから外して再びカセットに収容するまでの
工程が1回毎に行われるため、生産性が低いという課題
があった。また、研磨洗浄後のウエハをロボットやベル
トで搬送する際に破損したり、汚したりする問題があ
り、生産性が低いという課題があった。
るものであり、生産性の高い研磨装置を提供することを
目的とする。
成するために、カセット内に収容された複数枚のウエハ
を、カセットから研磨ヘッドに吸着して研磨洗浄し、再
びカセット内に収容するまでの工程を連続して行えるよ
うにしたものであり、複数枚のウエハを同時に研磨でき
るように複数の研磨ヘッドの位置を割り出すインデック
ス部を備え、また研磨洗浄後のウエハを破損したり汚さ
ないように、水流を利用してカセットまで搬送してカセ
ット内に収容するので、生産性の高い研磨装置を実現す
ることができる。
ト内に収容された研削後のウエハを吸着して垂直方向に
180度回転してウエハ搬送部へ受け渡すローディング
部と、ローディング部から受け取ったウエハをローディ
ング位置から着脱・洗浄位置へ搬送するとともに、研磨
洗浄後のウエハを着脱・洗浄位置で受け取ってアンロー
ディング位置へ搬送するウエハ搬送部と、着脱・洗浄位
置でウエハを吸着して水平方向に180度回転して研磨
位置まで搬送するインデックス部と、研磨位置でウエハ
に接触して研磨液と研磨布によりウエハを研磨する定盤
と、研磨後のウエハを着脱・洗浄位置で洗浄するウエハ
洗浄部と、アンローディング位置でウエハを吸着して垂
直方向に180度回転してカセット収納位置まで搬送す
るアンローディング部とを備えたものであり、カセット
に収容された複数枚のウエハを、カセットから研磨ヘッ
ドに吸着して研磨洗浄し、再びカセット内に収容するま
での工程を連続して行うことができ、生産性の高い研磨
装置を実現することができる。
グ部が、複数枚のウエハをそれぞれの段に収容したカセ
ットを上下方向に移動する昇降手段と、カセットの各段
からウエハを受け取って待機位置へ1枚ずつ搬送するコ
ンベアベルトと、待機位置でウエハの下面を吸着して垂
直方向に180度回転させ、ローディング位置でウエハ
搬送装置の仮受け部へ受け渡すロボットアームとを備え
たものであり、カセット内のウエハを連続してウエハ搬
送装置へ搬送することができる。
送部が、ローディング部からウエハを受け取って保持す
るウオータプールおよび開閉可能なチャックを有する仮
受け部と、仮受け部をローディング位置からアンローデ
ィング位置の間で移動する搬送手段と、ウエハの受け渡
しに際しチャックを開くとともに、着脱・洗浄位置で仮
受け部を上下方向に移動させる昇降手段とを備えたもの
であり、ウエハを破損したり汚したりすることなく搬送
することができるとともに、ウエハの受け渡しをスムー
ズに行うことができる。
ス部が、インデックス部全体を割り出しのために水平方
向に回転させる手段と、ウエハを吸着して独立に回転す
る複数の研磨ヘッドと、各研磨ヘッドを上下方向に移動
させるとともに、下方の定盤に対する加圧荷重を独立に
制御する手段とを備えたものであり、複数のウエハを一
方では着脱・洗浄し、他方では研磨することにより、生
産性を高めることができる。
部が、インデックス部の研磨ヘッドに吸着された複数の
ウエハを同時に洗浄する複数の洗浄手段を備えたもので
あり、複数のウエハを同時に洗浄できるので、生産性を
高めることができる。
ィング部が、アンローディング位置でウエハ搬送部の仮
受け部からウエハの上面を吸着して垂直方向に180度
回転して水流板上にウエハを乗せるロボットアームと、
水流板上を流れるウエハを下流位置でカセットの各段に
収容するための押圧手段と、カセットを上下方向に移動
させる昇降手段とを備えたものであり、研磨洗浄後のウ
エハを水流を利用して搬送するので、ウエハを破損した
り汚したりすることなしにカセット内に収容することが
でき、生産性を高めることができる。
例について図面を参照して説明する。まず始めに研磨装
置全体の構成および動作について説明する。図1は本実
施例における研磨装置の概略平面図、図2は同装置の概
略正面図である。100は研削後の複数枚のウエハ1を
収容したカセット2からウエハ1を1枚ずつ吸着して、
垂直方向に180度回転してウエハ搬送部200へ受け
渡すローディング部である。200はローディング部1
00から受け取ったウエハをローディング位置P3から
着脱・洗浄位置P4、P5へ搬送するとともに、研磨洗
浄後のウエハを着脱・洗浄位置P4、P5で受け取って
アンローディング位置P8へ搬送するウエハ搬送部であ
る。300は着脱・洗浄位置P4、P5でウエハを吸着
して水平方向に180度回転して研磨位置P6、P7ま
で搬送するインデックス部である。400は研磨位置P
6、P7でウエハを研磨液と研磨布により研磨する定盤
である。500は研磨後のウエハを着脱・洗浄位置P
4、P5で洗浄するウエハ洗浄部である。600はアン
ローディング位置P8でウエハを吸着して垂直方向に1
80度回転してカセット収納位置まで搬送するアンロー
ディング部である。700は基端部を中心に揺動して定
盤400上の研磨布の表面をドレッシングする研磨布調
整部である。
1をそれぞれの段に収容したカセット2を上下方向に移
動する昇降手段101と、カセット2内のウエハ1をセ
ット位置P1から待機位置P2へ搬送する一対のコンベ
アベルト102と、待機位置P2のウエハ1を下側から
吸着して垂直方向に180度回転するロボットアーム1
03とを備えている。ロボットアーム103は、一対の
コンベアベルト102の間に配置されて真空ポンプに接
続された吸引パッド104を先端部に有し、基端部がブ
ラケット105に回転可能に支持されている。
00からウエハを受け取る仮受け部201と、仮受け部
201をローディング位置P3から着脱・洗浄位置P
4、P5およびアンローディング位置P8までの間をガ
イド202に沿って直線的に移動させるボールねじ方式
の駆動部203とを備えている。仮受け部201は、ウ
エハを保持するウオータプール204と、ウオータプー
ル204上のウエハの周囲を保持して芯出しを行う開閉
可能なチャック205と、ウオータプール204を上下
方向に移動させる昇降手段206とを有する。
全体を割り出しのためにインデックステーブル327を
水平方向に回転させるテーブル駆動部301と、ウエハ
を吸着して回転する4軸の研磨ヘッド302、303、
304、305と、各研磨ヘッドの回転を独立に制御す
る研磨ヘッド駆動部307、308、309、310
と、ウエハを吸着して下方の定盤400に対する加圧力
を独立に制御する吸引・加圧部311、312、31
3、314を備えている。
磨位置P6、P7にまたがる下方の位置に配置され、そ
の上面には研磨布が取り付けられ、水平方向に回転させ
る手段を備えている。また、図示されない手段により、
ガイド202に沿って所定の範囲で往復運動ができるよ
うになっている。
01を有する2軸の回転軸502と、回転軸502を回
転させるモータ503と、回転軸502をインデックス
部300の着脱・洗浄位置P4、P5に向けて進退させ
る直動搬送装置504を備えている。
グ部100の一対のコンベアベルト102の代わりに一
対の水流板602を備え、同様な昇降手段601と、先
端部に吸引パッド604を有し基端部をブラケット60
5に回転可能に支持されたロボットアーム603を備え
ている。さらに、一対の水流板602の間を移動してウ
エハ3をカセット4内に押し込むためのアシストピン6
06と、これを駆動する直動搬送装置607とを備えて
いる。
01により回転する砥石702を有し、基端部には、先
端部を揺動させるために揺動レバー703を介してエア
シリンダ704が連結されている。
動作について説明する。カセット2は、中央部に桟を有
し前後を切り欠いた10段から25段前後の棚が形成さ
れており、その各段に研削後のウエハ1が収納されてセ
ット位置P1で昇降手段101にセットされる。この状
態から昇降手段101が少し降下すると、一番下の段の
ウエハが、回転しているコンベアベルト102上に乗っ
て待機位置P2まで搬送される。待機位置P2に来る
と、一対のコンベアベルト102の間の下側から吸引パ
ッド104が上昇してウエハ1を下側の裏面(以下、研
磨する面を表面、研磨しない面を裏面という。)を吸着
して基端部を中心に180度回転して、先端部に吸着し
たウエハを裏返して、ローディング位置P3に位置する
ウエハ搬送部200の仮受け部201に引き渡す。この
状態では、仮受け部201のウエハは表面が下側になっ
ている。
チャック205を開いた状態で位置P3で待機してお
り、ローディング部100のロボットアーム10は、反
転して仮受け部201のウオータプール204の上でウ
エハに対する吸着を開放し、ウエハをウオータプール2
04の上に浮かべる。すなわち、ウエハの表面は、常に
水が溢れ出ているウオータプール204上の水に接触す
ることになるので、汚れることがない。その後、チャッ
ク205が閉じて、仮受け部201をガイド202およ
び駆動部203により位置P4まで搬送し、そこで停止
する。この状態では、位置P4の上に研磨ヘッド302
が位置しているので、ウエハ搬送部200は、ウオータ
プール204を上昇させて、ウエハの裏面を研磨ヘッド
302に吸着させる。その後、仮受け部201は、下降
して再び位置P4からP3に戻り、そこで次のウエハが
来るまで待機する。なお、チャック205は、以降の工
程において、ウエハを受け渡す際には開き、ウエハを保
持している時は閉じるように制御される。
アーム103は、もとの待機位置P2に戻っており、昇
降手段101が再び所定量下降すると、カセット2の下
から2段目のウエハ1がコンベアベルト102上に乗っ
て位置P1からP2へ搬送され、同様にしてロボットア
ーム103によりウエハ1が位置P3の仮受け部201
へ引き渡される。仮受け部201は、今度は位置P3か
ら位置P5へ移動し、そこに待機している研磨ヘッド3
03にウエハを吸着させた後、もとの位置P3へ戻る。
吸着されると、研磨ヘッド302および303が上昇
し、インデックス部300が水平方向に180度回転
し、研磨ヘッド302および303は、それぞれ研磨位
置P6およびP7に移動する。同時に、反対側にあった
研磨ヘッド304および305が、着脱・洗浄位置P4
およびP5に移動する。研磨ヘッド302および303
は、研磨位置P6およびP7に移動すると、回転しなが
ら下降して、同様に回転する定盤400上の研磨布にウ
エハを所定の圧力で圧接させ、研磨液を供給しながらウ
エハの表面を研磨する。
した研磨ヘッド304、305に対して、上記したと同
様に、カセット2内のウエハ1が、ローディング部10
0によりウエハ搬送部200へ渡され、次いでウエハ搬
送部200により位置P4、P5へ搬送され、そこでウ
エハが研磨ヘッド304、305に吸着される。
磨ヘッド302および303は、上昇して定盤400か
ら離れるとともに、インデックス部300が水平方向に
180度回転し、研磨ヘッド302および303をもと
の着脱・洗浄位置P4およびP5に移動させる。同時
に、ウエハを吸着した反対側の研磨ヘッド304、30
5が、研削位置P6、P7に移動する。
ッド302、303に対し、ウエハ洗浄部500の直動
搬送装置504が位置P4、P5に向けて回転軸502
を移動させ、モータ503により回転するブラシ501
が、研磨ヘッド302、303に吸着されたウエハの表
面を洗浄する。
2がもとの位置に戻るとともに、位置P3に待機してい
た仮受け部201が、位置P5に移動して研磨ヘッド3
03からウエハを受け取り、アンローディング位置P8
に搬送する。アンローディング位置P8では、アンロー
ディング部600のロボットアーム603が、その先端
部の吸引パッド604で仮受け部201の研磨後のウエ
ハ3の裏面を吸着して180度反転して、受け渡し位置
P9でウエハ3を水流板602の上に乗せる。この状態
では、ウエハ3は表面を上側に向けている。水流板60
2は、下流側に向けて少し傾斜しているので、ウエハ3
は水流に乗って移動し、収納位置P10で待機している
カセット4の最上段の棚に中に、アシストピン606に
より押し込まれる。
って研磨ヘッド302からウエハを受け取り、アンロー
ディング位置P8に移動する。そして同様に、アンロー
ディング部600のロボットアーム603が、その先端
部の吸引パッド604で仮受け部201のウエハ3を吸
着して180度反転して、ウエハ3を水流板602上に
乗せ、昇降手段601により下降していたカセット4内
の上から2段目の棚に収容する。以下、上記した工程を
カセット4内にすべての棚にウエハ3が収容されるまで
繰り返す。
に、上記したインデックス部300の詳細について説明
する。図3はインデックス部300の概略平面図であ
り、301はテーブル駆動部、302〜305は研磨ヘ
ッドである。306はインデックス部300を回転駆動
するインデックスモータ、307から310は各研磨ヘ
ッド302〜305を回転駆動するヘッド駆動部、31
1から314は各研磨ヘッド302〜305のための一
対の吸引・加圧部である。315は増圧ユニットであ
り、重量のあるインデックス部300を上下動させるに
際して空気圧を油圧に変換する装置である。
る。インデックスモータ306の回転軸には電磁クラッ
チ316を介して駆動ギヤ317が固定され、駆動ギヤ
317には従動ギヤ318が噛み合っている。従動ギヤ
318は連結リング319を介して駆動軸320に固定
されている。駆動軸320には、油圧シリンダ321の
内筒322が固定され、油圧シリンダ321の外筒32
3は、懸架ディスク324に固定されている。外筒32
3には、給排油のためのポート325、326が形成さ
れて、図示されない油圧制御回路に接続されている。駆
動軸320の下端部のフランジ320aには、インデッ
クステーブル327およびカービックカップリング32
8の一方のギヤ板329が固定され、他方のギヤ板33
0は懸架ディスク324に固定されている。
つ正転、反転を繰り返し、その回転力は、電磁クラッチ
316、駆動ギヤ317、従動ギヤ318、連結リング
319を通して駆動軸320に伝えられる。モータ30
6が回転するとき、油圧シリンダ321により駆動軸3
20が上昇して、カービックカップリング328のギヤ
板329と330の係合が外れ、インデックステーブル
327が回転する。インデックステーブル327が18
0度近くまで回転すると、電磁クラッチ316および油
圧シリンダ321がオフ状態になり、インデックステー
ブル327は自身の慣性力により回転を続け、カービッ
クカップリング328のギヤが噛み合う位置でインデッ
クステーブル327の回転が停止し、割り出しが行われ
る。このカービックカップリング328によって、ウエ
ハ搬送部200の仮受け部201に保持されたウエハに
対する着脱・洗浄位置P4、P5を正確に割り出すこと
ができ、ウエハの受け渡しを確実に行うことができる。
ヘッド駆動部307〜310および吸引・加圧部311
〜314の概略断面図である。331は駆動モータ、3
32は駆動モータ331に連結された減速機であり、懸
架ディスク324に固定されている。333は電磁クラ
ッチであり、減速機332からの回転軸334の断続を
行う。電磁クラッチ333の下側の回転軸334には、
駆動ギヤ335が固定され、従動ギヤ336に噛み合っ
ている。回転軸334の下部は、インデックステーブル
327に固定されたスラスト軸受337により支持され
ている。従動ギヤ336は、インデックステーブル32
7に回転可能に支持されたスプライン軸受338に固定
されており、スプライン軸受338には、吸引回転軸3
39が軸方向に摺動可能に結合されている。
40に回転可能に支持され、下部には真空チャック34
6が固定されている。ケーシング340の内部には、吸
排気ポート341、342が形成され、図示されない空
気圧回路に接続されている。ケーシング340は、アー
ム343の中心部に固定され、アーム343の両端部
は、一対の加圧シリンダ344のそれぞれのピストン棒
345に連結されている(図3参照)。一対の加圧シリ
ンダ344は、それぞれインデックステーブル327に
固定され、図示されない空気圧回路に接続されている。
302、303が着脱・洗浄位置P4、P5に位置する
時、仮受け部201が順番にP4、P5に移動してき
て、仮受け部201に保持したウエハを研磨ヘッド30
2、303に順番に引き渡す。その際、仮受け部201
が上昇して、図5の真空チャック346の下面に位置す
ると、ケーシング340の給排気ポート341、342
を通じて真空吸引が行われ、仮受け部201のウエハが
真空チャック346に吸着される。その後、仮受け部2
01は下降し、ホームポジションに戻る。そして研磨ヘ
ッドが180度回転して研磨位置P6、P7に位置する
と、駆動モータ331が回転し、駆動ギヤ335、従動
ギヤ336、スプライン軸受338および吸引回転軸3
39を通じて真空チャック346が回転するとともに、
加圧シリンダ344により真空チャック346が下降し
て、真空チャック346に吸着されたウエハを定盤40
0に押し付けて研磨を行う。定盤400に対する加圧荷
重は、加圧シリンダ344を制御することにより行われ
る。
たものである。真空チャック346は、吸引回転軸33
9を固定するための取付リング347と、ケーシング3
48、349、350と、吸着パッド351を保持した
パッドリング352と、吸着パッド351の外周に近接
してパッドリング352に固定されたリテーナリング3
53と、リテーナリング固定具354とを備えている。
リテーナリング353は、図7に示すように、放射状に
等間隔に複数のスリット355を設けたものである。3
56はスリット355の凹みを利用した取付ねじを挿入
するための取付穴である。
吸引回転軸339を通じた真空吸引により吸着パッド3
51に吸着される。吸着されたウエハを定盤の研磨布に
押圧して研磨液を供給しながら研磨を行うが、その際に
ウエハが研磨布に沈み、外周部分が余計に研磨される傾
向がある。そのため、従来からウエハの外側にリテーナ
リングを設けて、リテーナリングにより研磨布を押さえ
て、研磨布を平坦な状態にして研磨を行っているが、従
来のリテーナリングは、環状部の下面が平坦であるた
め、これが壁になって外側から供給される研磨液が内側
のウエハ面へ流入するのを阻止することになり、ウエハ
の研磨に時間が掛かっていた。これに対し、本実施例に
おけるリテーナリング353は、環状部の下面に放射状
の複数のスリット355を備えているので、このスリッ
ト355を通じて外側から内側へ研磨液が流入するの
で、ウエハの研磨が効率よく行える利点がある。
次にアンローディング部600について、図2、図8お
よび図9を参照して説明する。昇降手段601は、カセ
ット4を固定するための受台608を備え、受台608
は、図2に示すように、2本の支柱609の上端部に固
定され、支柱609の下端部は、水槽610の底板を通
過してボールねじのナット部611に固定されている。
ボールねじのねじ部612はサーボモータ613に結合
されている。図8および図9において、下流側に傾斜し
て配置された左右一対の水流板602には、その表面に
縦方向に樋状の3本の溝614が設けられ、これらの溝
614の上流側の底部には、横方向に設けられた通水路
615に連通する穴616が設けられている。また、ロ
ボットアーム603の先端部の吸引パッド604には、
ウエハ3を真空吸引するために空気圧回路が接続され、
ロボットアーム603の基端部のブラケット605に
は、サーボモータが連結されて、ロボットアーム603
を180度ずつ正転、反転を繰り返すようになってい
る。アシストピン606は、一対の水流板602の間に
位置するように、水流板602の下を移動するアーム6
17に2本固定されており、アーム617は、ガイドロ
ッド618を移動する直動搬送装置607に固定されて
いる。
16から純水が吐出されて溝614を溢れながら水流板
602の表面を流下する。したがって、その上にロボッ
トアーム603の吸引パッド604により吸着したウエ
ハ3を吸引パッド604から外して乗せると、ウエハ3
は水流に乗って下方に搬送される。このウエハ3は、研
磨を終了したものであり、研磨面を上にして流れて行く
ので、何ものも研磨面にいっさい触れることなく搬送す
ることができる。ウエハ3がカセット4が待機している
位置にくると、ウエハ3とともに移動していたアシスト
ピン606がウエハをカセット4の内部に押し込み、一
連の工程を終了する。
よれば、カセット内に収容された複数枚のウエハを、カ
セットから研磨ヘッドに吸着して研磨、洗浄し、再びカ
セット内に収容するまでの工程を連続して行えるように
したものであり、複数枚のウエハを同時に研磨できるよ
うに複数の研磨ヘッドの位置を割り出すインデックス部
を備え、また研磨洗浄後のウエハを破損したり汚さない
ように、水流を利用してカセットまで搬送してカセット
内に収容するので、生産性の高い研磨装置を実現するこ
とができる。
図。
略断面図。
吸引・加圧部の概略断面図。
断面図。
図(a)と下面図(b)。
図。
Claims (6)
- 【請求項1】 カセット内に収容された研削後のウエハ
を吸着して垂直方向に180度回転してウエハ搬送部へ
受け渡すローディング部と、ローディング部から受け取
ったウエハをローディング位置から着脱・洗浄位置へ搬
送するとともに、研磨洗浄後のウエハを着脱・洗浄位置
で受け取ってアンローディング位置へ搬送するウエハ搬
送部と、着脱・洗浄位置でウエハを吸着して水平方向に
180度回転して研磨位置まで搬送するインデックス部
と、研磨位置でウエハに接触して研磨液と研磨布により
ウエハを研磨する定盤と、研磨後のウエハを着脱・洗浄
位置で洗浄するウエハ洗浄部と、アンローディング位置
でウエハを吸着して垂直方向に180度回転してカセッ
ト収納位置まで搬送するアンローディング部とを備えた
研磨装置。 - 【請求項2】 ローディング部が、複数枚のウエハをそ
れぞれの段に収容したカセットを上下方向に移動する昇
降手段と、カセットの各段からウエハを受け取って待機
位置へ1枚ずつ搬送するコンベアベルトと、待機位置で
ウエハの下面を吸着して垂直方向に180度回転させ、
ローディング位置でウエハ搬送装置の仮受け部へ受け渡
すロボットアームとを備えた請求項1記載の研磨装置。 - 【請求項3】 ウエハ搬送部が、ローディング部からウ
エハを受け取って保持するウオータプールおよび芯出し
を行う開閉可能なチャックを有する仮受け部と、仮受け
部をローディング位置からアンローディング位置の間で
移動する搬送手段と、ウエハの受け渡しに際しチャック
を開くとともに、着脱・洗浄位置で仮受け部を上下方向
に移動させる昇降手段とを備えた請求項1または2記載
の研磨装置。 - 【請求項4】 インデックス部が、インデックス部全体
を割り出しのために水平方向に回転させる手段と、ウエ
ハを吸着して独立に回転する複数の研磨ヘッドと、各研
磨ヘッドを上下方向に移動させるとともに、下方の定盤
に対する加圧荷重を独立に制御する手段とを備えた請求
項1から3のいずれかに記載の研磨装置。 - 【請求項5】 ウエハ洗浄部が、インデックス部の研磨
ヘッドに吸着された複数のウエハを同時に洗浄する複数
の洗浄手段を備えた請求項1から4のいずれかに記載の
研磨装置。 - 【請求項6】 アンローディング部が、アンローディン
グ位置でウエハ搬送部の仮受け部からウエハの上面を吸
着して垂直方向に180度回転して水流板上にウエハを
乗せるロボットアームと、水流板上を流れるウエハを下
流位置でカセットの各段に収容するための押圧手段と、
カセットを上下方向に移動させる昇降手段とを備えた請
求項1から5のいずれかに記載の研磨装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33211596A JP3500260B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP33211596A JP3500260B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH10172930A JPH10172930A (ja) | 1998-06-26 |
JP3500260B2 true JP3500260B2 (ja) | 2004-02-23 |
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Family Applications (1)
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JP33211596A Expired - Fee Related JP3500260B2 (ja) | 1996-12-12 | 1996-12-12 | 研磨装置 |
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JP (1) | JP3500260B2 (ja) |
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JP4413882B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2010-02-10 | 株式会社荏原製作所 | ポリッシング装置 |
KR102052006B1 (ko) * | 2018-05-23 | 2019-12-04 | 주식회사 앤아이윈 | Oled용 대면적 글라스 연마시스템 |
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-
1996
- 1996-12-12 JP JP33211596A patent/JP3500260B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH10172930A (ja) | 1998-06-26 |
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