JPS62136365A - ポリシング装置 - Google Patents
ポリシング装置Info
- Publication number
- JPS62136365A JPS62136365A JP60273066A JP27306685A JPS62136365A JP S62136365 A JPS62136365 A JP S62136365A JP 60273066 A JP60273066 A JP 60273066A JP 27306685 A JP27306685 A JP 27306685A JP S62136365 A JPS62136365 A JP S62136365A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- polished
- tank
- workpieces
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は例えばシリコンウェーハ等のワークを研磨加
工するポリシング装置に関し、特にその加工後に搬出し
たポリシング済ワークを乾燥させずに保管するように工
夫したポリシング装置に関する。
工するポリシング装置に関し、特にその加工後に搬出し
たポリシング済ワークを乾燥させずに保管するように工
夫したポリシング装置に関する。
一般に、この種のポリシング装置により研磨したポリシ
ング済ワークは、機外に搬出して適当な場所に貯えて次
工程での要求があるまで保管して置くか、その保管状態
に何ら工夫がなされておらず、従来は単にケースに入れ
て放置しておく場合が多い。この為にポリシング済ワー
クが研磨剤によって腐蝕を起こしたり、また一旦乾燥し
てしまうと洗浄によるよごれの除去が困難となったりす
る不都合かあった。
ング済ワークは、機外に搬出して適当な場所に貯えて次
工程での要求があるまで保管して置くか、その保管状態
に何ら工夫がなされておらず、従来は単にケースに入れ
て放置しておく場合が多い。この為にポリシング済ワー
クが研磨剤によって腐蝕を起こしたり、また一旦乾燥し
てしまうと洗浄によるよごれの除去が困難となったりす
る不都合かあった。
この発明は上記事情に鑑みなされたもので、装置本体か
ら搬出されるポリンング済ワークを貯えて乾燥させずに
保管できて、該ワークの腐蝕防止を図ると共に、汚れを
洗浄して容易に除去し得るようになせる効果的なポリタ
ング装置を提供することを目的とする。
ら搬出されるポリンング済ワークを貯えて乾燥させずに
保管できて、該ワークの腐蝕防止を図ると共に、汚れを
洗浄して容易に除去し得るようになせる効果的なポリタ
ング装置を提供することを目的とする。
この発明のポリタング装置は、上記目的を達成すべく、
ポリタング装置の装置本体からポリシング済ワークを搬
出するワーク搬出手段と、この搬出手段により搬出され
て貯えられるポリシング済ワークの乾燥防止手段とを具
備して、ポリシング済ワークを乾燥させずに保管できる
ようになしたものである。
ポリタング装置の装置本体からポリシング済ワークを搬
出するワーク搬出手段と、この搬出手段により搬出され
て貯えられるポリシング済ワークの乾燥防止手段とを具
備して、ポリシング済ワークを乾燥させずに保管できる
ようになしたものである。
〔発明の実施例〕
以下この発明の一実施例を図面に従い説明する。
まず第1図及び第2図において、1は両面加工用ポリタ
ング装置の本体を示し、2は該装置本体1に対するワー
ク搬入及び搬出を行う手段を示している。
ング装置の本体を示し、2は該装置本体1に対するワー
ク搬入及び搬出を行う手段を示している。
ここで前記装置本体1の構成を簡単に説明すると、機台
3の上方に立設した支柱4のアーム4aに上下動機構4
bにより上下動可能に吊持する状態で円板状の上定盤5
が設けられ、この真下の機台3上面部にやはり円板状を
した下定盤6が設けられている。この上下定盤5,6は
互いに上下で対向する面がポリシング面(研磨布を貼り
付けた構成)5a、6aとされ、その間に研磨剤が供給
されるようになっていて、該上定盤5が下定盤6上方に
大きく離間(開放)した状態から上下動機構4bにより
下降して該下定盤6と接近(開成)した状態で回転駆動
されることにより、両者のポリシング面5a、5aで後
述するワークを挟んでポリタングするようになっている
。
3の上方に立設した支柱4のアーム4aに上下動機構4
bにより上下動可能に吊持する状態で円板状の上定盤5
が設けられ、この真下の機台3上面部にやはり円板状を
した下定盤6が設けられている。この上下定盤5,6は
互いに上下で対向する面がポリシング面(研磨布を貼り
付けた構成)5a、6aとされ、その間に研磨剤が供給
されるようになっていて、該上定盤5が下定盤6上方に
大きく離間(開放)した状態から上下動機構4bにより
下降して該下定盤6と接近(開成)した状態で回転駆動
されることにより、両者のポリシング面5a、5aで後
述するワークを挟んでポリタングするようになっている
。
つまり、下定盤6は回転駆動機構7によ″り回転駆動さ
れるように設けられ、この中央部に別に回転駆動される
太陽歯車8が突設されていると共に、この太陽歯車8の
中央上部に突出しされに別に駆動されるジヨイント9か
設けられて、これに前記上定盤5か下降することで係合
して回転するようになっている。また前記機台3上面部
には前記下足ff16の外周を取囲むように位置して大
径な内歯歯車10が設けられている。そして前記下定盤
6上に前記太陽歯車8と内歯歯車10とに噛合して自転
しながら公転する遊星歯車の如き薄い板状のキャリア1
1が設けられ、このキャリア11にそれぞれ丸穴状に開
口した複数(例えば6個)のワーク保持部11aが円周
方向に等間隔を存して形成され、そこに搬入出手段2に
よりシリコンウェーハ等のワーク12が装填されるよう
になっている。その各ワーク保持部11aに一枚ずつワ
ークを保持した状態で、研磨剤が供給されながら、前記
キャリア11が前記回転駆動機構7による太陽歯車8の
回転により上下定盤5.6間にて自転しながら公転する
ことにより、該各ワーク12の上下両面を上下定盤5.
6のポリシング面(研磨布)5a、6aでポリンングす
るようになっている。
れるように設けられ、この中央部に別に回転駆動される
太陽歯車8が突設されていると共に、この太陽歯車8の
中央上部に突出しされに別に駆動されるジヨイント9か
設けられて、これに前記上定盤5か下降することで係合
して回転するようになっている。また前記機台3上面部
には前記下足ff16の外周を取囲むように位置して大
径な内歯歯車10が設けられている。そして前記下定盤
6上に前記太陽歯車8と内歯歯車10とに噛合して自転
しながら公転する遊星歯車の如き薄い板状のキャリア1
1が設けられ、このキャリア11にそれぞれ丸穴状に開
口した複数(例えば6個)のワーク保持部11aが円周
方向に等間隔を存して形成され、そこに搬入出手段2に
よりシリコンウェーハ等のワーク12が装填されるよう
になっている。その各ワーク保持部11aに一枚ずつワ
ークを保持した状態で、研磨剤が供給されながら、前記
キャリア11が前記回転駆動機構7による太陽歯車8の
回転により上下定盤5.6間にて自転しながら公転する
ことにより、該各ワーク12の上下両面を上下定盤5.
6のポリシング面(研磨布)5a、6aでポリンングす
るようになっている。
こうした装置本体1に対するワーク搬入及び搬出手段2
の構成は、該装置本体1の前側に隣設されたワーク搬入
出用機台13と、この上面左右部にそれぞれ一台ずつ計
2台設置された搬入側及び搬出側用のインデックステー
ブル14.15と、このインデックステーブル14.1
5に形成した後述する各ワーク支持部14a、15aに
対するワーク搬入及び搬出手段として、機台13上部に
設けられたワーク搬入機構16及びワーク搬出機構17
と、前記インデックステーブル14.15と装置本体1
内のキャリア11との間で複数のワーク12を同時に持
運んで装填・取出を行う手段として前記機台13上部中
間に設置されたワーク装填取出機(&18とから構成さ
れている。
の構成は、該装置本体1の前側に隣設されたワーク搬入
出用機台13と、この上面左右部にそれぞれ一台ずつ計
2台設置された搬入側及び搬出側用のインデックステー
ブル14.15と、このインデックステーブル14.1
5に形成した後述する各ワーク支持部14a、15aに
対するワーク搬入及び搬出手段として、機台13上部に
設けられたワーク搬入機構16及びワーク搬出機構17
と、前記インデックステーブル14.15と装置本体1
内のキャリア11との間で複数のワーク12を同時に持
運んで装填・取出を行う手段として前記機台13上部中
間に設置されたワーク装填取出機(&18とから構成さ
れている。
また前記機台13の反装置本体側寄りの左右部には搬入
側ワーク収納部19と搬出側ワーク収納部20とが設け
られている。その搬入側ワーク収納部19にはポリタン
グ加工前の多数のワーク12を多段式に収納しておける
カセット21が備えられ、また搬出側ワーク収納部20
には装置本体lから搬出されて来るポリシング済ワーク
12を多段式に収納して貯えておけるカセット22が備
えられている。
側ワーク収納部19と搬出側ワーク収納部20とが設け
られている。その搬入側ワーク収納部19にはポリタン
グ加工前の多数のワーク12を多段式に収納しておける
カセット21が備えられ、また搬出側ワーク収納部20
には装置本体lから搬出されて来るポリシング済ワーク
12を多段式に収納して貯えておけるカセット22が備
えられている。
これらを詳述すると、前記搬入側インデックステーブル
14は前記キャリア11より小径な円板状のもので、タ
ーンテーブルの如く間歇回転駆動可能に設けられている
と共に、上面周囲部に前記キャリア11のワーク保持部
11aと対応すべく同数で且つ同配置関係でワーク支持
部14aが形成されている。つまり搬入側インデックス
テニブル14は、第3図及び第4図に示す如く円板状を
なして、固定軸23の外周に被嵌した回転軸筒24上端
に取付支持され、その回転軸筒24と共に下端のギヤー
25.26を介してモータ27により間歇回転駆動され
るようになっている。この搬入側インデックステーブル
14の上面周囲6箇所に周方向に等間隔を存してワーク
支持部14aが略半円形の凹段状に形成されて、その各
ワーク支持部14aにワーク12が一枚ずつ支持される
ようになっている。この際ワーク12は面積にして半分
強の部分かワーク支持部14aに乗る状態で収まり、残
りの部分が外側に露出すようになっている。またその各
ワーク支持部14a内面部には円弧状の真空吸着溝14
bが形成され、これがそれぞれ該インデックステーブル
14を貫通する吸引孔14cを介して下側の吸引チュー
ブ28に接続され、その各吸引チューブ28が前記回転
軸筒24に貫通する吸引孔24aから固定軸23に形成
した外周吸引溝23a、内部吸引孔23bを介して図示
しない真空吸引機構に接続されて、該ワーク支持部14
aに収められるワーク12を個別に吸石保持するように
なっている。
14は前記キャリア11より小径な円板状のもので、タ
ーンテーブルの如く間歇回転駆動可能に設けられている
と共に、上面周囲部に前記キャリア11のワーク保持部
11aと対応すべく同数で且つ同配置関係でワーク支持
部14aが形成されている。つまり搬入側インデックス
テニブル14は、第3図及び第4図に示す如く円板状を
なして、固定軸23の外周に被嵌した回転軸筒24上端
に取付支持され、その回転軸筒24と共に下端のギヤー
25.26を介してモータ27により間歇回転駆動され
るようになっている。この搬入側インデックステーブル
14の上面周囲6箇所に周方向に等間隔を存してワーク
支持部14aが略半円形の凹段状に形成されて、その各
ワーク支持部14aにワーク12が一枚ずつ支持される
ようになっている。この際ワーク12は面積にして半分
強の部分かワーク支持部14aに乗る状態で収まり、残
りの部分が外側に露出すようになっている。またその各
ワーク支持部14a内面部には円弧状の真空吸着溝14
bが形成され、これがそれぞれ該インデックステーブル
14を貫通する吸引孔14cを介して下側の吸引チュー
ブ28に接続され、その各吸引チューブ28が前記回転
軸筒24に貫通する吸引孔24aから固定軸23に形成
した外周吸引溝23a、内部吸引孔23bを介して図示
しない真空吸引機構に接続されて、該ワーク支持部14
aに収められるワーク12を個別に吸石保持するように
なっている。
また前記搬出側インデックステーブル15は、第5図に
示す如く、前記搬入側インデックステーブル14と全く
同様の構成で、複数のワーク支持部15aを上面周囲に
有した円板状をなして回転軸筒29上に支持されて、ギ
ヤー30.31を介してモータ32により間歇回転駆動
されるように設けられている。
示す如く、前記搬入側インデックステーブル14と全く
同様の構成で、複数のワーク支持部15aを上面周囲に
有した円板状をなして回転軸筒29上に支持されて、ギ
ヤー30.31を介してモータ32により間歇回転駆動
されるように設けられている。
次に前記ワーク搬入機構16は、第4図に示す如く、一
種のベルトコンベア式のもので、前記搬入側インデック
ステーブル14に隣設したガイドローラ33と、前記搬
入側ワーク収納部19方に突出するアーム34先端に設
けたガイドローラ35と、中間ガイドローラ36と、そ
れらに掛装された左右一対の無端状の搬送ベルト37と
、前記ガイトロ〜う33を駆動ベルト38を介して回転
駆動するモータ39とから構成されている。そして該モ
ータ駆動により搬送ベルト37を回転することで、搬入
側ワーク収納部19のカセット21内の棚21a上のワ
ーク12を下側がらすくうようにして持出して、前記搬
入側インデックステーブル14のワーク支持部14aに
搬入するようになっている。なおガイドローラ33とそ
の下側のモータ39は図示しないシリンダ等の上下動機
構により支持されて、搬入側インデックステーブル14
の回転時はそのワーク支持部14aに支持されたワーク
12に搬送ベルト37が触れないように下降し、該イン
デックステーブル14が停止した時は高くなって搬送ベ
ルト37によりワ−り12をワーク支持部へ搬送できる
ようになっている。ここで39a、39bはモータ39
およびガイドローラ33の上下動位置検知用リミットス
イッチである。
種のベルトコンベア式のもので、前記搬入側インデック
ステーブル14に隣設したガイドローラ33と、前記搬
入側ワーク収納部19方に突出するアーム34先端に設
けたガイドローラ35と、中間ガイドローラ36と、そ
れらに掛装された左右一対の無端状の搬送ベルト37と
、前記ガイトロ〜う33を駆動ベルト38を介して回転
駆動するモータ39とから構成されている。そして該モ
ータ駆動により搬送ベルト37を回転することで、搬入
側ワーク収納部19のカセット21内の棚21a上のワ
ーク12を下側がらすくうようにして持出して、前記搬
入側インデックステーブル14のワーク支持部14aに
搬入するようになっている。なおガイドローラ33とそ
の下側のモータ39は図示しないシリンダ等の上下動機
構により支持されて、搬入側インデックステーブル14
の回転時はそのワーク支持部14aに支持されたワーク
12に搬送ベルト37が触れないように下降し、該イン
デックステーブル14が停止した時は高くなって搬送ベ
ルト37によりワ−り12をワーク支持部へ搬送できる
ようになっている。ここで39a、39bはモータ39
およびガイドローラ33の上下動位置検知用リミットス
イッチである。
なお前記搬入側ワーク収納部19のカセット21は、内
部の各欄21aが周囲を残して切欠されて、前記搬送ベ
ルト37が下側からワーク12をすくえるようになって
いると共に、カセット21全体が昇降機構(図示せず)
により最初上方・に持上げられていて、前記搬送ベルト
37によるワーク持出しの都度一段ずつ下降され、該搬
送ベルト37か最下段の棚21a上のワーク12がら段
々に上段の棚21a上のワークを持出せるようになって
いる。
部の各欄21aが周囲を残して切欠されて、前記搬送ベ
ルト37が下側からワーク12をすくえるようになって
いると共に、カセット21全体が昇降機構(図示せず)
により最初上方・に持上げられていて、前記搬送ベルト
37によるワーク持出しの都度一段ずつ下降され、該搬
送ベルト37か最下段の棚21a上のワーク12がら段
々に上段の棚21a上のワークを持出せるようになって
いる。
また前記ワーク搬出機構17は、第5図に示す如く、こ
れも一種のベルトコンベア式のもので、前記搬出側イン
デックステーブル15に隣設したガイドローラ40と、
シリンダ41により前記搬出側ワーク収納部20方に進
退駆動可能に突出するアーム42先端に設けたガイドロ
ーラ43と、中間ガイトローラ44と、その下側に配す
る一対の迂回用ローラ45と、更にその下方にガイド4
6を介して上下動自在に配するテンションローラ47と
、それらに掛装された左右一対の無端状の搬送ベルト4
8と、前記ガイドローラ40を駆動ベルト49を介して
回転駆動するモータ50と、前記テンションローラ47
を常時下方に引下げる重錘51とから構成されている。
れも一種のベルトコンベア式のもので、前記搬出側イン
デックステーブル15に隣設したガイドローラ40と、
シリンダ41により前記搬出側ワーク収納部20方に進
退駆動可能に突出するアーム42先端に設けたガイドロ
ーラ43と、中間ガイトローラ44と、その下側に配す
る一対の迂回用ローラ45と、更にその下方にガイド4
6を介して上下動自在に配するテンションローラ47と
、それらに掛装された左右一対の無端状の搬送ベルト4
8と、前記ガイドローラ40を駆動ベルト49を介して
回転駆動するモータ50と、前記テンションローラ47
を常時下方に引下げる重錘51とから構成されている。
、そして前記シリンダ41によりアーム42を搬出側ワ
ーク収納部20方に進出させて、モータ駆動により搬送
ベルト37を回転することで、前記搬出側インデックス
テーブル15のワーク支持部15aのワーク12を下側
からすくうようにして搬出して、該搬出□側ワーク収納
部20のカセット22内の棚22a上に送り込むように
なっている。また前記ガイドローラ40とその下側のモ
ータ50は図示しないシリンダ等の上下動機構により支
持されていて、搬出側インデックステーブル15の回転
時はそのワーク支持部15aに支持されたワーク12に
搬送ベルト48が触れないように下降し、該インデック
ステーブル15が停止した時はワーク支持部15aから
ワーク12を搬送ベルト48で運び出せるように上昇す
る構成とされている。ここで52a、52bは進退位置
検知用リミットスイッチ、52c、52dは上下動位置
検知用リミットスイッチである。
ーク収納部20方に進出させて、モータ駆動により搬送
ベルト37を回転することで、前記搬出側インデックス
テーブル15のワーク支持部15aのワーク12を下側
からすくうようにして搬出して、該搬出□側ワーク収納
部20のカセット22内の棚22a上に送り込むように
なっている。また前記ガイドローラ40とその下側のモ
ータ50は図示しないシリンダ等の上下動機構により支
持されていて、搬出側インデックステーブル15の回転
時はそのワーク支持部15aに支持されたワーク12に
搬送ベルト48が触れないように下降し、該インデック
ステーブル15が停止した時はワーク支持部15aから
ワーク12を搬送ベルト48で運び出せるように上昇す
る構成とされている。ここで52a、52bは進退位置
検知用リミットスイッチ、52c、52dは上下動位置
検知用リミットスイッチである。
また前記搬出側ワーク収納部20のカセット22は、内
部の各欄22aが周囲を残して切欠されて、前記搬送ベ
ルト48が進出してワーク12を該棚22a上に送り込
めるようになっていると共に、カセット22全体がカセ
ット昇降機構53により最初下方に位置していて、前記
搬送ベルト48によるワーク送り込みの都度一段ずつ上
昇され、該搬送ベルト48が最上段の棚22a上から段
々に下段の棚22aにワークを送り込めるようになって
いる。
部の各欄22aが周囲を残して切欠されて、前記搬送ベ
ルト48が進出してワーク12を該棚22a上に送り込
めるようになっていると共に、カセット22全体がカセ
ット昇降機構53により最初下方に位置していて、前記
搬送ベルト48によるワーク送り込みの都度一段ずつ上
昇され、該搬送ベルト48が最上段の棚22a上から段
々に下段の棚22aにワークを送り込めるようになって
いる。
ここで前記ポリシング済ワーク12を一枚ずつ収納して
貯えるカセット22を備えた搬出側ワーク収納部20は
、該ワーク12の乾燥防止手段としての機能を持つ構成
であり、具体的には前記カセット22を複数個縦に重ね
て挿脱可能に収納できる大きさのタンク54で構成され
ている。そのタンク54内には常にオーバーフローする
状態に純水等の乾燥防止液55が供給されて、カセット
22内に運び込まれたポリシング済のワーク12を該カ
セット22ごと収納して乾燥防止を図りながら保管で、
きるようになっている。このタンク54の底部に前記カ
セット昇降機構53が設けられている。即ちタンク54
の下側に固定したモータ56によりギヤー57を介して
回転駆動されるボールねし送り用雌ねじ58があり、こ
れに螺合する長尺な送りねじ59かあり、この送りねじ
59とその周囲に配する複数本のガイドロッド60とが
タンク54の底部を上方に貫通してカセット受台61に
連結されて、該モータ56の駆動による雌ねじ58の回
転で送りねじ59がガイドロッド60とカセット受台6
1と共に上下動してカセット22を昇降させるようにな
っている。なお62は上下方向に伸縮可能なジャバラ状
の防水カバーである。
貯えるカセット22を備えた搬出側ワーク収納部20は
、該ワーク12の乾燥防止手段としての機能を持つ構成
であり、具体的には前記カセット22を複数個縦に重ね
て挿脱可能に収納できる大きさのタンク54で構成され
ている。そのタンク54内には常にオーバーフローする
状態に純水等の乾燥防止液55が供給されて、カセット
22内に運び込まれたポリシング済のワーク12を該カ
セット22ごと収納して乾燥防止を図りながら保管で、
きるようになっている。このタンク54の底部に前記カ
セット昇降機構53が設けられている。即ちタンク54
の下側に固定したモータ56によりギヤー57を介して
回転駆動されるボールねし送り用雌ねじ58があり、こ
れに螺合する長尺な送りねじ59かあり、この送りねじ
59とその周囲に配する複数本のガイドロッド60とが
タンク54の底部を上方に貫通してカセット受台61に
連結されて、該モータ56の駆動による雌ねじ58の回
転で送りねじ59がガイドロッド60とカセット受台6
1と共に上下動してカセット22を昇降させるようにな
っている。なお62は上下方向に伸縮可能なジャバラ状
の防水カバーである。
次に前記ワーク装填取出機構18は、第1図及び第2図
に示す如く、一種の工業ロボットで、機台13上の前記
両インデックステーブル14゜15の相互中間部位に設
けられて駆動部63により上下動並びに首振り回動を行
うアーム64及び伸縮可能なラム64aと、このラム6
4aの先端部に下向きで回転可能に保持されたチャック
ヘッド65とからなり、そのチャックヘッド65は全体
的には前記インデックステーブル14.15と略同径大
の円盤状で、下面に図示しないが該インデックステーブ
ル14の各ワーク支持部14aと同形状で対応する配置
で複数のワークチャック部が設けられている。そしてア
ーム64の上下動並びに首振りとラム64aの伸縮によ
りチャックヘッド65が前記インデックステーブル14
.15と装置本体1内のキャリア11との間で移動して
、その下面の各ワークチャック部で前記搬入側インデッ
クステープ14の各ワーク支持部14aのワーク12を
同時に金部または場合・によっては半分などの一部をチ
ャックして搬送してキャリア11のワーク保持部11a
に装填したり、逆にキャリア11の各ワーク保持部11
aのポリシング済ワーク12を同時に全部または場合に
よっては半分などの一部をチャックして取出して搬出側
インデックステープ15の各ワーク支持部15aに搬送
する作用をなすようになっている。
に示す如く、一種の工業ロボットで、機台13上の前記
両インデックステーブル14゜15の相互中間部位に設
けられて駆動部63により上下動並びに首振り回動を行
うアーム64及び伸縮可能なラム64aと、このラム6
4aの先端部に下向きで回転可能に保持されたチャック
ヘッド65とからなり、そのチャックヘッド65は全体
的には前記インデックステーブル14.15と略同径大
の円盤状で、下面に図示しないが該インデックステーブ
ル14の各ワーク支持部14aと同形状で対応する配置
で複数のワークチャック部が設けられている。そしてア
ーム64の上下動並びに首振りとラム64aの伸縮によ
りチャックヘッド65が前記インデックステーブル14
.15と装置本体1内のキャリア11との間で移動して
、その下面の各ワークチャック部で前記搬入側インデッ
クステープ14の各ワーク支持部14aのワーク12を
同時に金部または場合・によっては半分などの一部をチ
ャックして搬送してキャリア11のワーク保持部11a
に装填したり、逆にキャリア11の各ワーク保持部11
aのポリシング済ワーク12を同時に全部または場合に
よっては半分などの一部をチャックして取出して搬出側
インデックステープ15の各ワーク支持部15aに搬送
する作用をなすようになっている。
而して、上述した構成のポリシング装置では、搬入側ワ
ーク収納部19に加工前のワーク12を多数枚収納した
カセット21をセットしておき、そのカセット21を段
々に下降させながら、その各棚21a上のワーク12を
“一枚ずつその下の段の方から順にワーク搬入機構16
が取出して、間歇回転する搬入側インデックス14のワ
ーク支持部14aに次々と搬入して、該ワーク12をワ
ーク支持部14aに真空吸着保持せしめる。
ーク収納部19に加工前のワーク12を多数枚収納した
カセット21をセットしておき、そのカセット21を段
々に下降させながら、その各棚21a上のワーク12を
“一枚ずつその下の段の方から順にワーク搬入機構16
が取出して、間歇回転する搬入側インデックス14のワ
ーク支持部14aに次々と搬入して、該ワーク12をワ
ーク支持部14aに真空吸着保持せしめる。
そしてその搬入側インデックステーブル14の全てのワ
ーク支持部14aに一枚ずつワーク12が搬入保持され
たら、その真上にワーク装填取出機構18のチャックヘ
ッド65が移動して来て下降し、ここで搬入側インデッ
クステーブル14側の真空吸引力か解除され、代わりに
該チャツクヘッド65下面の各ワークチャック部に各ワ
ーク12を通常は全て同時にチャックし、そのままアー
ム64の上昇により持上げてキャリア11の真上まで該
アーム64の首振りにより搬送する。この際装置本体1
の上定盤5か上方高く引き上げられて開放状態とされて
いる。そしてそのキャリア11真上にてアーム64と共
にチャックヘット65が下降し、さらにアーム64の首
振り、ラム64aの伸縮によってチャックヘッド65の
中心をキャリア1の中心に合致させると共に、チャック
ヘッド65の回転によってチャック部にチャックされて
いるワーク12をキャリア11のワーク保持部11aに
合致させ、チャックヘッド65の下面にチャックして来
た各ワーク12を該キャリア11の各ワーク保持部11
a内に一度に装填する。
ーク支持部14aに一枚ずつワーク12が搬入保持され
たら、その真上にワーク装填取出機構18のチャックヘ
ッド65が移動して来て下降し、ここで搬入側インデッ
クステーブル14側の真空吸引力か解除され、代わりに
該チャツクヘッド65下面の各ワークチャック部に各ワ
ーク12を通常は全て同時にチャックし、そのままアー
ム64の上昇により持上げてキャリア11の真上まで該
アーム64の首振りにより搬送する。この際装置本体1
の上定盤5か上方高く引き上げられて開放状態とされて
いる。そしてそのキャリア11真上にてアーム64と共
にチャックヘット65が下降し、さらにアーム64の首
振り、ラム64aの伸縮によってチャックヘッド65の
中心をキャリア1の中心に合致させると共に、チャック
ヘッド65の回転によってチャック部にチャックされて
いるワーク12をキャリア11のワーク保持部11aに
合致させ、チャックヘッド65の下面にチャックして来
た各ワーク12を該キャリア11の各ワーク保持部11
a内に一度に装填する。
この搬入動作を各キャリア11に対して行った後、前記
ワーク装填取出機構18はアーム64が上昇並びに回動
してチャックヘッド65と共に装置本体1外に退避する
。そして装置本体1は上定盤5か下降して、上下定盤5
.6間にて回転駆動により前記キャリア11を自転させ
ながら公転させて、該キャリア11の各ワーク保持部1
1aに保持されたワーク12の上下面をポリシングする
。
ワーク装填取出機構18はアーム64が上昇並びに回動
してチャックヘッド65と共に装置本体1外に退避する
。そして装置本体1は上定盤5か下降して、上下定盤5
.6間にて回転駆動により前記キャリア11を自転させ
ながら公転させて、該キャリア11の各ワーク保持部1
1aに保持されたワーク12の上下面をポリシングする
。
こうして装置本体lでのポリシングが終了して、上定盤
5が上昇して開放状態となると、再び前記ワーク装填取
出機構18のチャックヘッド65が前記同様にキャリア
11真上に移動して来て下降し、搬入時と同様にキャリ
ア11に対するチャックヘッド65の位置及び回転角を
定め、そのキャリア11の各ワーク保持部11aのポリ
シング済ワーク12を通常はそのまま全て同時に該チャ
ツクヘッド65下面の各ワークチャック部でチャックす
る。そしてそのまま上昇首振りによりチャックヘッド6
5が各ワーク12を取出して搬出側インデックステーブ
ル15の真上に搬送し、そこで下降して各ワーク12を
該インデックステーブル15の各ワーク支持部15aに
収める。
5が上昇して開放状態となると、再び前記ワーク装填取
出機構18のチャックヘッド65が前記同様にキャリア
11真上に移動して来て下降し、搬入時と同様にキャリ
ア11に対するチャックヘッド65の位置及び回転角を
定め、そのキャリア11の各ワーク保持部11aのポリ
シング済ワーク12を通常はそのまま全て同時に該チャ
ツクヘッド65下面の各ワークチャック部でチャックす
る。そしてそのまま上昇首振りによりチャックヘッド6
5が各ワーク12を取出して搬出側インデックステーブ
ル15の真上に搬送し、そこで下降して各ワーク12を
該インデックステーブル15の各ワーク支持部15aに
収める。
そのポリシング済ワーク12が収められた搬出側インデ
ックステーブル15は間歇回転駆動されながら、ワーク
搬出機構17か該インデックステーブル15の各ワーク
支持部15aのワーク12を一枚ずつ取出して、搬出側
ワーク収納部20の段々に上昇せしめられるカセット2
2内の各棚22a上にその上の段の方から順に送り込ん
で収納して行く。
ックステーブル15は間歇回転駆動されながら、ワーク
搬出機構17か該インデックステーブル15の各ワーク
支持部15aのワーク12を一枚ずつ取出して、搬出側
ワーク収納部20の段々に上昇せしめられるカセット2
2内の各棚22a上にその上の段の方から順に送り込ん
で収納して行く。
こうして装置本体1内の各キャリア11から順次搬出さ
れてカセット22に収納されて貯えられたポリシング済
ワーク12は、該カセット22ごと搬出側ワーク収納部
20の乾燥防止手段であるタンク54内の純水等の乾燥
防止液55中に埋没させて保管する。これで該ポリンン
グ済ワーク12は研磨剤による腐蝕か発生せず、且つ乾
燥することがないので、後の洗浄時の汚れの除去困難等
の不都合を無くせるようになる。尚、カセット22をタ
ンク54に埋設させる動作は、各キャリア11のワーク
12を収納した都度行ってもよいい、1バッチ分の全て
を収納し終わったところで行ってもよい。またポリシン
グ済ワーク12を搬出した後に加工前のワーク12を搬
入する場合は、各キャリア1後とに前述した搬出と搬入
を繰返し行えばよい。
れてカセット22に収納されて貯えられたポリシング済
ワーク12は、該カセット22ごと搬出側ワーク収納部
20の乾燥防止手段であるタンク54内の純水等の乾燥
防止液55中に埋没させて保管する。これで該ポリンン
グ済ワーク12は研磨剤による腐蝕か発生せず、且つ乾
燥することがないので、後の洗浄時の汚れの除去困難等
の不都合を無くせるようになる。尚、カセット22をタ
ンク54に埋設させる動作は、各キャリア11のワーク
12を収納した都度行ってもよいい、1バッチ分の全て
を収納し終わったところで行ってもよい。またポリシン
グ済ワーク12を搬出した後に加工前のワーク12を搬
入する場合は、各キャリア1後とに前述した搬出と搬入
を繰返し行えばよい。
なお、この発明は上述した実施例のみに限定されること
なく、例えばワーク乾燥防止手段として設けたタンク5
4は、カセット22と別置きにして設けて、該カセット
22に1バッチ分のポリシング済ワーク12が貯えられ
たら、そのカセット22を移動してタンク54に収納す
るようにしても可であり、またタンク54内にカセット
22を横向きにして設置しておいて、搬出されて来るポ
リシング済ワーク12を上方から落とし込むように収納
するようにしても良い。更には前記カセット22を用い
ず、ポリシング済ワーク12が搬出手段により直接送り
込まれるワーク貯え部をタンク54内に設けた構成でも
可である。またワーク乾燥防止手段として、前記タンク
以外に、搬出されて貯えられたポリシング済ワーク12
に純粋水等の乾燥防止液を掛ける散水機構を用いても良
い。
なく、例えばワーク乾燥防止手段として設けたタンク5
4は、カセット22と別置きにして設けて、該カセット
22に1バッチ分のポリシング済ワーク12が貯えられ
たら、そのカセット22を移動してタンク54に収納す
るようにしても可であり、またタンク54内にカセット
22を横向きにして設置しておいて、搬出されて来るポ
リシング済ワーク12を上方から落とし込むように収納
するようにしても良い。更には前記カセット22を用い
ず、ポリシング済ワーク12が搬出手段により直接送り
込まれるワーク貯え部をタンク54内に設けた構成でも
可である。またワーク乾燥防止手段として、前記タンク
以外に、搬出されて貯えられたポリシング済ワーク12
に純粋水等の乾燥防止液を掛ける散水機構を用いても良
い。
その他装置本体1に対するワークの搬入手段及び搬出手
段も前述した実施例のみに限定されることなく各種変更
しても可であう。
段も前述した実施例のみに限定されることなく各種変更
しても可であう。
この発明は上述した如く、ポリシング装置本体からポリ
シング済ワークを搬出するワーク搬出手段と、この搬出
手段により搬出されて貯えられるポリシング済ワークの
乾燥防止手段とを具備したから、装置本体から搬出され
るボリタング済ワークを貯えて乾燥させずに保管できて
、該ワークの腐蝕防止を図ると共に、汚れを洗浄して容
易に除去し得るようになせる効果的なポリシング装置と
なる。
シング済ワークを搬出するワーク搬出手段と、この搬出
手段により搬出されて貯えられるポリシング済ワークの
乾燥防止手段とを具備したから、装置本体から搬出され
るボリタング済ワークを貯えて乾燥させずに保管できて
、該ワークの腐蝕防止を図ると共に、汚れを洗浄して容
易に除去し得るようになせる効果的なポリシング装置と
なる。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第1図は一部
切欠した全体の平面図、第2図は一部断面した全体の側
面図、第3図はインデックステーブル単体の平面図、第
4図はワーク搬入側の収納部及び搬入機構並びにインデ
ックステーブルを示す一部断面した側面図、第5図はワ
ーク搬出側のインデックステーブル及び搬出機構並びに
ワーク収納部を示す断面図である。 1・・・装置本体、2・・・ワーク搬入及び搬出手段、
12・・・ワーク、17・・・ワーク搬出機構、20・
・・ワーク収納部、22・・・カセット、54・・・ワ
ーク乾燥防止手段(タンク)、55・・・純粋等の乾燥
防止液。
切欠した全体の平面図、第2図は一部断面した全体の側
面図、第3図はインデックステーブル単体の平面図、第
4図はワーク搬入側の収納部及び搬入機構並びにインデ
ックステーブルを示す一部断面した側面図、第5図はワ
ーク搬出側のインデックステーブル及び搬出機構並びに
ワーク収納部を示す断面図である。 1・・・装置本体、2・・・ワーク搬入及び搬出手段、
12・・・ワーク、17・・・ワーク搬出機構、20・
・・ワーク収納部、22・・・カセット、54・・・ワ
ーク乾燥防止手段(タンク)、55・・・純粋等の乾燥
防止液。
Claims (5)
- (1)研磨剤を供給しつつ研磨布によりワークをポリシ
ングするポリシング装置において、装置本体からポリシ
ング済ワークを搬出するワーク搬出手段と、この搬出手
段により搬出されて貯えられるポリシング済ワークの乾
燥防止手段とを具備したことを特徴とするポリシング装
置。 - (2)乾燥防止手段は純水等の乾燥防止液を入れたタン
クであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
ポリシング装置。 - (3)タンクは内部に搬出手段により搬出されるポリシ
ング済ワークの貯え部を有することを特徴とする特許請
求の範囲第2項記載のポリシング装置。 - (4)タンクは搬出手段により搬出されるポリシング済
ワークを貯えるカセットを挿脱可能に収納する構成であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載のポリシ
ング装置。 - (5)乾燥防止手段は貯えられているポリシング済ワー
クに対して純水等の乾燥防止液を掛ける散水機構を備え
ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のポ
リシング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60273066A JPS62136365A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ポリシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60273066A JPS62136365A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ポリシング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62136365A true JPS62136365A (ja) | 1987-06-19 |
Family
ID=17522672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60273066A Pending JPS62136365A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ポリシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62136365A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6456771A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Ube Industries | Aromatic polyamic acid coating solution composition and production of multi-layered aromatic polyimide film |
JPH0425373A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-29 | Showa Alum Corp | 研磨装置 |
US5329732A (en) * | 1992-06-15 | 1994-07-19 | Speedfam Corporation | Wafer polishing method and apparatus |
JPH0969550A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ワ−クの待機装置 |
US7238090B2 (en) | 1995-10-27 | 2007-07-03 | Applied Materials, Inc. | Polishing apparatus having a trough |
CN102259303A (zh) * | 2011-07-16 | 2011-11-30 | 龚培生 | 全自动氧化锆陶瓷光纤套筒研磨机 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP60273066A patent/JPS62136365A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6456771A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Ube Industries | Aromatic polyamic acid coating solution composition and production of multi-layered aromatic polyimide film |
JPH0425373A (ja) * | 1990-05-17 | 1992-01-29 | Showa Alum Corp | 研磨装置 |
US5329732A (en) * | 1992-06-15 | 1994-07-19 | Speedfam Corporation | Wafer polishing method and apparatus |
USRE37622E1 (en) * | 1992-06-15 | 2002-04-02 | Speedfam-Ipec Corporation | Wafer polishing method and apparatus |
JPH0969550A (ja) * | 1995-08-31 | 1997-03-11 | Shibaura Eng Works Co Ltd | ワ−クの待機装置 |
US7238090B2 (en) | 1995-10-27 | 2007-07-03 | Applied Materials, Inc. | Polishing apparatus having a trough |
US7255632B2 (en) | 1995-10-27 | 2007-08-14 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing system having multiple polishing stations and providing relative linear polishing motion |
US7614939B2 (en) | 1995-10-27 | 2009-11-10 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing system having multiple polishing stations and providing relative linear polishing motion |
CN102259303A (zh) * | 2011-07-16 | 2011-11-30 | 龚培生 | 全自动氧化锆陶瓷光纤套筒研磨机 |
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