JPH0455826B2 - - Google Patents

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JPH0455826B2
JPH0455826B2 JP58101398A JP10139883A JPH0455826B2 JP H0455826 B2 JPH0455826 B2 JP H0455826B2 JP 58101398 A JP58101398 A JP 58101398A JP 10139883 A JP10139883 A JP 10139883A JP H0455826 B2 JPH0455826 B2 JP H0455826B2
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JP
Japan
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workpiece
workpieces
transfer table
carrying
unprocessed
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Application number
JP58101398A
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English (en)
Other versions
JPS59227361A (ja
Inventor
Hatsuyuki Arai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Speedfam Corp
Original Assignee
Speedfam Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Speedfam Corp filed Critical Speedfam Corp
Priority to JP58101398A priority Critical patent/JPS59227361A/ja
Publication of JPS59227361A publication Critical patent/JPS59227361A/ja
Publication of JPH0455826B2 publication Critical patent/JPH0455826B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は平面研削装置に関するものである。
従来、ワークの片面研削加工を行う場合には、
複数のプレツシヤプレートの下面にワークを取付
け、該ワークに圧力を加えながら定盤により加工
するようにしていたが、ワークの装填及び取出し
を全て人手に頼つていたため、迅速に作業を進め
ることができなかつた。しかも、バツチ処理的な
加工しかできないため、非能率的であると同時に
非量産的でもあり、そのうえ作業者自信が汚染源
となつたり、ワークの加工面に接触して品質低下
を来し易い欠点があつた。
本発明はワークの装填から加工及び取出しまで
を連続的且つ自動的に行うことのできる平面研削
装置の提供を目的とするものである。
上記目的を達成するため、本発明においては、
ワークの加工面を上面に備えた定盤の周りにワー
ク移送台を回転自在に配設すると共にワークの保
持用ヘツドを備えた複数の加工アームを揺動自在
に配設し、上記移送台上に、未加工ワーク用載置
部と加工済ワーク用載置部とを備えたステーシヨ
ンを加工アームと同数形設し、該移送台の外側
に、上記ステーシヨンへの未加工ワークの搬入を
行うための搬入装置と、ステーシヨンからの加工
済ワークの搬出を行うための搬出装置とを設けた
ことを特徴としている。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
第1図において、1は機体、2は該機体の中央
に回転自在に配設した定盤であつて、該定盤2の
上面パツト3を接着することによりワーク4(第
2図)の加工面を形成している。
上記定盤2の周りには、リング状のワーク移送
台5をベアリング等の支持機構5aを介して回転
自在に配設し、該移送台5を第2図に示すモータ
6によつて所望の角度だけ回転可能に構成すると
共に、該移送台5の上面に、未加工ワーク用載置
部8と加工済ワーク用載置部9、及びブラシによ
る洗浄部10とを備えた複数のステーシヨン7を
一定間隔で形設している。上記載置部8,9は、
凹所11内に支持台12を設け、この支持台12
上にワーク4を載置するようにしたものである。
また、上記移送台5の周りには、上記ステーシ
ヨン7と同数の加工アーム13を一定間隔で配設
し、この加工アーム13は、第2図に具体的に示
すように、機体1上にスリーブ14を介して回転
自在に立設した支柱15と、該支柱15の上端に
連結した横枠16とを備え、該横枠16の先端に
シリンダ17を固定すると共に、該シリンダ17
のロツド17aにベアリング18を介してワーク
保持用ヘツド19を回転自在に取付け、該ロツド
17aに固定した台板20上にモータ21を載置
して、該モータ21に取付けた歯車22とヘツド
19に取付けた歯車23とを互いに噛合させ、上
記シリンダ17とモータ21とによつてヘツド1
9を昇降自在且つ回転自在としたもので、該ヘツ
ド19の下面にはフイルタ25を備えたワークの
吸着面24を設け、該吸着面24を吸引孔24a
を介して図示しない真空ポンプに接続している。
そして、上記支柱15の下端には歯車26を取付
け、この歯車26を内歯歯車27に噛合させてい
る。
上記内歯歯車27は、第3図からも明らかなよ
うに、上記定盤2の周りにベアリング等の支持機
構27aに支持させてそれと同心状に配設し、エ
アモータ28によつて正逆方向に駆動できるよう
にしたもので、この内歯歯車27の外面には突起
29,30を形設し、これらの突起29,30と
機体1に取付けたリミツトスイツチ31a,31
b及び32とによつて加工アーム13の回動範囲
制御機構を構成している。即ち、リミツトスイツ
チ31a,31bは、エアモータ28の回転方向
を正逆に切換えるためのものであつて、突起29
がこれらのリミツトスイツチ31a,31bを押
圧すると、エアモータ28の回転方向が交互に切
換えられ、それによつて、加工アーム13が第1
図に1つの加工アームで代表的に示すa,bの範
囲内を揺動する。また、リミツトスイツチ32
は、加工アーム13によるワーク4の吸着及び解
放時に該加工アーム13の位置決めを行うための
もので、突起30が該リミツトスイツチ32を押
圧したとき、加工アーム13が第1図に示すcの
位置に停止するようになつている。
さらに、上記移送台5の外側には、ステーシヨ
ン7への未加工ワークの搬入とステーシヨン7か
らの加工済ワークの搬出とを行うための搬入装置
33及び搬出装置34を設けている。これらの装
置33,34は、第4図及び第5図にそれぞれ示
すように、ワーク4を吸着保持するための吸盤3
6a,36bを先端に備え且つシリンダ37a,
37bにより前後進自在の把持アーム35a,3
5bと、モータ39a,39bにより昇降自在の
台板38a,38bとからなり、該台板38a,
38b上にワーク収納用カセツト40a,40b
を載置したもので、該カセツト40a,40bに
はワーク収納部を多段状に形成し、台板38a,
38bによつてそれを1段ずつ上下させ得るよう
にしている。この場合、特に搬出装置34におい
ては、上記台板38bを水槽41上に配置し、加
工済ワークがカセツト40b内に収納される毎に
台板38bが収納部1段分下降し、取出されたワ
ークが水中に浸漬されてその乾燥が防止されるよ
うになつている。
なお、図中42(第1図)はステーシヨン7に
水を供給するための給水管、43(第2図)は加
工液が定盤2の周りに流散するのを防止するため
の隔壁である。
上記構成を有する平面研削装置において、多数
の未加工ワークを収納したカセツト40aが搬入
装置33における台板38a上に載置されると、
把持アーム35aが作動して吸盤36aによりま
ずカセツト上段ワークが吸着され、該ワークが移
送台5上のステーシヨン7における未加工ワーク
用載置部8に搬入される。続いて、移送台5の回
転により隣接するステーシヨン7が、次々に搬入
装置33との対抗位置に移動し、同様にして未加
工ワークの搬入が行われる。
各ステーシヨン7の未加工ワーク用載置部8へ
の未加工ワークの搬入が終了すると、移送台5が
一定角度だけ回転し、未加工ワーク用載置部8が
加工アーム13のヘツド19の真下に移動する。
このとき加工アーム13は、内歯歯車27が突起
30によるリミツトスイツチ32の押圧位置まで
回転することによつて第1図のcの位置に回動
し、この位置に待機しており、未加工ワークがヘ
ツド19の真下に来ると、シリダ17により該ヘ
ツド19が下降してその吸着面24にワークが吸
着保持される。
ワーク4を保持したヘツド19が再び上昇する
と、加工アーム13は内歯歯車27の回転により
第1図のaの位置まで移動し、ここでヘツド19
が下降してワーク4が回転する定盤2の加工面に
押しつけられると共に、モータ21によりヘツド
19が回転せしめられ、ワーク4の加工が行われ
る。このとき、各加工アーム13は、内歯歯車2
7上の突起29とエアモータ28の回転方向を正
逆に切換えるリミツトスイツチ31a,31bと
の作用によつて第1図に示すa,bの間を自動的
に揺動する。この揺動は全ての加工アーム13に
おいて同期的に行われ、それらが互いに接触する
ことはない。
上記加工が行われている間、移送台5における
各未加工ワーク用載置部8には、搬入装置33に
よりカセツト40aから次の未加工ワークが搬入
され、移送台5は第1図に示す位置に待機してい
る。
加工が終了すると、ヘツド19が上昇すると同
時にその回転が停止され、各加工アーム13は第
1図のcの位置に移動する。そして、この位置で
ヘツド19が再び下降し、ワークを加工済ワーク
用載置部9における支持台12上に載置する。こ
の載置部9においては、凹所11内に給水管42
を通じて水が充填されており、上記加工済のワー
クは、少なくともその加工面が水に浸漬された状
態で支持台12上に載置されることになる。
次に、移送台5が回転して洗浄部10がヘツド
19の真下に移動し、ブラシによつて吸着面24
の洗浄が行われる。このとき、ブラシには給水管
42を通じて水が供給され、ヘツド19はモータ
21により回転される。
上記吸着面24の洗浄が終了すると、移送台5
が回転し、前述した要領によつて未加工ワーク用
載置部8に載置されている未加工ワークがヘツド
19に吸着保持され、その加工が開始される。
上記加工の間、移送台5が一定角度ずつ回転
し、各加工済ワーク用載置部9における加工済ワ
ークが搬出装置34により順次取出されてカセツ
ト40bに収納されると同時に、搬入装置33に
よつて新たな未加工ワークが未加工ワーク用載置
部8に搬入される。この場合、搬出装置34にお
いては、把持アーム35bが前進して加工済ワー
クを吸着した後、該把持アーム35bが後退して
該ワークをカセツト40bに最下段から順次収納
する。このときカセツト40bは、加工済ワーク
が収納される毎に台板38bと共に1段ずつ下降
し、収納された下降済ワークは水槽41内の水に
順次浸漬される。
上述した動作を繰り返すことによつて1カセツ
ト分のワークの加工が終了すると、搬出装置34
における加工済ワークの収納カセツトが台板38
bの上昇により水槽41から持ち上げられ、新た
なカセツトと交換される。
上記実施例では、加工アーム13の回動を内歯
歯車27により行うようにしているが、この内歯
歯車27に代えてタイミングべルトを使用するこ
ともできる。
このように、本発明によれば、ワークの装填か
ら加工及び取出しまで連続的且つ自動的に行うこ
とができ、それによつて加工時間の短縮化と省力
化とを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2
図はその要部拡大断面図、第3図は同平面図、第
4図及び第5図はそれぞれ搬入装置及び搬出装置
の断面図である。 2……定盤、4……ワーク、5……移送台、7
……ステーシヨン、8……未加工ワーク用載置
部、9……加工済ワーク用載置部、13……加工
アーム、19……ヘツド、33……搬入装置、3
4……搬出装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ワークの加工面を上面に備えた定盤の周りに
    ワーク移送台を回転自在に配設すると共にワーク
    の保持用ヘツドを備えた複数の加工アームを揺動
    自在に配設し、上記移送台上に、未加工ワーク用
    載置部と加工済ワーク用載置部とを備えたステー
    シヨンを加工アームと同数形設し、該移送台の外
    側に、上記ステーシヨンへの未加工ワークの搬入
    を行うための搬入装置と、ステーシヨンからの加
    工済ワークの搬出を行うための搬出装置とを設け
    たことを特徴とする平面研削装置。
JP58101398A 1983-06-07 1983-06-07 平面研削装置 Granted JPS59227361A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58101398A JPS59227361A (ja) 1983-06-07 1983-06-07 平面研削装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58101398A JPS59227361A (ja) 1983-06-07 1983-06-07 平面研削装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59227361A JPS59227361A (ja) 1984-12-20
JPH0455826B2 true JPH0455826B2 (ja) 1992-09-04

Family

ID=14299624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58101398A Granted JPS59227361A (ja) 1983-06-07 1983-06-07 平面研削装置

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Families Citing this family (9)

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JPS59227361A (ja) 1984-12-20

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