JPS59218042A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPS59218042A
JPS59218042A JP58092644A JP9264483A JPS59218042A JP S59218042 A JPS59218042 A JP S59218042A JP 58092644 A JP58092644 A JP 58092644A JP 9264483 A JP9264483 A JP 9264483A JP S59218042 A JPS59218042 A JP S59218042A
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potential
circuit
semiconductor integrated
integrated circuit
node
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JP58092644A
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English (en)
Inventor
Satoshi Konishi
小西 「さとし」
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/51Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
    • H03K17/56Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
    • H03K17/687Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F1/00Automatic systems in which deviations of an electric quantity from one or more predetermined values are detected at the output of the system and fed back to a device within the system to restore the detected quantity to its predetermined value or values, i.e. retroactive systems
    • G05F1/10Regulating voltage or current
    • G05F1/46Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc
    • G05F1/462Regulating voltage or current wherein the variable actually regulated by the final control device is dc as a function of the requirements of the load, e.g. delay, temperature, specific voltage/current characteristic
    • G05F1/465Internal voltage generators for integrated circuits, e.g. step down generators

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は高集積化に適した半導体集積回路に関し、特
に外部電源から供給される電源電位よりも絶対値の小さ
な電位を得て、これを内部能動素子駆動用の電源電位と
して用いるようにした半導体集積回路に関する。
〔発明の技術的背景〕
MOS)ランジスタによって構成されたMOS形半導体
集積回路の発展にはめざましいものがあり、1960年
代の後半では実効チャネル長が約10μmのMOSトラ
ンジスタによる集積度が数十ないし数百素子のものが実
現されている。さらに微細加工化、高集積化が進み、近
年では実効チャネル長が1.5μm程度て素子数も数十
万素子のVLS 1へと発展を続け、将来は実効チャネ
ル長が1μm以下のザブミクロンMOSトランジスタに
よるサブミクロン半導体集積回路の出現が予想される。
ところで、このように実効チャネル長が縮小化されてい
るMOSトランジスタに対しでは駆動用の電源電位もよ
り低くする必要がある。これは電源電位を変えないと素
子の縮小化に伴って素子内部の電界が上昇し、これによ
って挿々の不都合が生じるからである。一方、システム
応用上からは、システムを構成する各集積回路の電源が
共通化されることが小型化、低コスト化の面から好まし
く、さらにTTLコン・ぐチビリテイ等も考慮した場合
に電源電位し、し現在の標準電源の5vにすることが好
ましい。
このため、素子の縮小化が図られプζ半導体集積回路は
、従来、第1図に示すように構成されている。すなわち
、外部電源からの電源電位vCCI (たとえば+5V
)が供給されるノード11KMO8’)ランジスタ12
のドレインが接続され、そのソースと接地電位点(Ov
)との間に平滑用のコンデンサ13が接続される。また
上記ノード11と接地電位点との間にはダートがドレイ
ンに接続されているn個のMOS)ランジスタ14が直
列接続され、そのいずれかの直列接続点が上記MO8+
−ランジスタ12のr−トに接続され℃いる。
また15は上記電源電位VCCIよりも小さい電位で駆
動する必要があるMOS)ランジスタなどを含むたとえ
ばメモリ回路などの機能回路であり、この機能回路15
への電池電位vcctが供給されるノード16は上記M
O8)ランジスタ12のソースに接続されている。なお
、−F記MO8)ランジスタ12.14はすべてエンハ
ンスメント型のものである。
このような構成において、MOS)ランゾスタ12のダ
ートには、直列接続されたn個のMOS)ランジスタ1
4によるコンダクタンスの逆数の比例分配に応じて発生
される基準電位VRが供給される。したがって、上記M
O,S)ランジスタ12のしきい値電圧をvTとすれば
、機能回路15への電源電位VCCtとして次式で示す
ような値の電位を供給することができる。
Vcct =  VR−VT         ・” 
  (1)なお、上記式で示されるVCC’!の値は当
然のことながらVCCIよシも小さい。
ところで、vcctが上記式で掬えられるということは
、MOS)ランジスタ12が5極管動作をしていて、大
部分の時間はオフ状態に近い状態となっていることを意
味する。ぞして、機能回路ノ5の消費電流が増加してV
CCI!の値がvR−vTよシも低下したときに始めて
MOS)ランジスタ12がオフ状態になり、機能回路I
5によシ多くの電流が流れてvcc2の低下が補償され
ている。ここでもし、機能回路15の電流消費が短時間
であっても大きい場合にし1、MOS)ランジスタ12
による電流供給能力が十分でtl:ないので、vcct
の平滑化のために設けられているコンデンサ13からも
電流が供給され、これによりてVcc2の大きな電位低
下が防止されている。
〔背景技術の問題点〕
ところで、第1図のものでは、機能回路15におけるよ
り大きな消費電流の増加に対してもvcctの電位低下
防止を図るためには、コン7デンサ13の値を大きなも
のにする必要がある。しカシながら、21=、積回路に
おいてコンデンサの値を大きくするにはコンデンサを構
成する部分の面積を広くする必要があり、これによって
回路の小型化ならびに高IS積化が困難となる。
たとえばVCCIを+5v、Vcc、を+3vに設定し
た典型的な64 Kビットのダイナミック型RAMでは
、アクティブ動作時に約15 nx、の時間幅で150
mA  程度の電流が消費される。このとき、VCCt
の変動をその値の10%以内に押さえるだめに必要とす
る前記コンデンサ13の値Cは次式で示すように750
0 PFとなる。
・・・ (2) 上記値のコンデンサを酸化膜厚250久のMOSキャパ
シタで実現すれば、その面積Aは次式で示すように51
手3π4となる。
250 X z’o−8 この面積は1辺が2.33間の正方形と等価であル、こ
の太きざは2μmの設計基準のRA Mのチップ面抗が
18ηA程度となることからすれば、実に30%の面積
が平滑用のコンデンサで占められることになる。さらに
機能回路15の動作マージンを高めるためには電源電位
V。C7の変動を10チよシも小さくする必要があり、
この場合にコンデンサ13の占有面積はより大きくなっ
てし1う。
このように従来の回路方式では、電位のリップルを抑制
する平滑用のコンデンサの占有面積が大きなも、のとな
り、集積度が低下するという欠点がある。
〔発明の目的〕
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あυ、その目的とするところは外部電源電位よりも小さ
な電位を持つ電源を形成するにあたシ、この形成された
電位のリップルを抑制する平滑用コンデンサを小形にす
ることができ、もって集積度を高めることができる半導
体集積回路を提供することにある。
〔発明の概要〕
この発明によれば、一定の基準電位がそのダートに力え
られる電位変換用のMOSトラ°ンジスタに対してもう
1つの電位変換用のhq o sトランジスタもしくは
バイポーラトランジスタを並列接続し、一方、機能回路
でtよその消費電流に応じて制御信号を発生し、ここで
発生された制御信号を上記電位変換用のMOS)ランジ
スタのf−)もしくは・々イボーラドラン・ゾスタのペ
ースに供給するようにした半導体集積回路が提供されて
いる。
〔発明の実施例〕
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。f
g2図はこの発明に係る半導体集積回路の一実施例の構
成を示す回路図である。なお、前記第1図と対応する個
所には同一符号を付してその説明は省略する。第2図に
おいて、MOSトランジスタ12に対してディプレッシ
ョン型のMOS)ランノスタ17が並列的に接続されて
いる。一方、機能回路15はその消費電流に応じて制御
信号S、を発生し、この信号S1は上記M OS )ラ
ンジスタ17のダートに供給される。上記へ4OSトラ
ンジスタ17tr−Jl、上記信号S、が接地電位でそ
のソース電位すなわちノードI6の電位がVCCtで一
定しているときにオフ状態に設定されかつ信号S、がV
CC2のときにはオン状態となるようにそのしきい値電
圧が設定される。すなわち、このしきい値電圧をVtO
とするとVTDは次のような関係を溝足するように設定
される。
(vR”?)< VTD < OV・−・(4)ただし
、vcc、=VR−vT  を用いた。
一方、機能回路15はその消費電流が増加する際に前記
制御信号S、をHレベルすなわちvcctの電位に設定
する。
このような構成において、機能回路15における回路動
作規模が小さく、消費電流が比較的少ない場合には、機
能回路15で発生される制御信号S1はLレベル(接地
電位)に保持されたままとなる。このとき、ノード16
の電位VC(Jは一定の基準電位vRがそのダートに与
えられているMOS)ランジスタ12により一定値に保
持されているので、MOS)ランジスタ17はオフ状態
となる。
一方、機能回路zs’1j3の回路動作の規模が大きく
なり消費電流が増加すると、機能回路15で発生される
制御信号Slはその機能回路15の内部で発生される信
号により Vcctの電位に設定される。するといまま
でオフ状態であったMOSトランジスタ17がオン状態
となり、並列接続されている2つのMOS)ランジスタ
12゜17の並列コンダクタンス値が増加する。すなわ
ち、この場合には以前よりも大きな電流が機能回路15
に供給されるので、平滑用のコンデンサ13から従来よ
りも大きな電流を流すことなしにノード16における正
位Vcctの維持ならひに安定化を図る“ことができる
。なお、MOSトランジスタ17かオン状態となってい
るときの2つのMOS)ランジク、り12,17の並列
コンダクタンス値をg  このときの機能回路pN J5のコンダクタンス値をgm、 、 IYi O81
ランジスタ17がオフ状態にあり2つのMOSトランジ
スタ12.17の並列コンダクタンス値が小さいときの
ノード16における電位@) vccl inlとする
とき、 なる関係を満足するように上記電位変換回路のコンダク
タンス値gmpを設定ずれげ、ノード16における電位
の変動を最小にすることができる。
第3図は上記第2図の実施例回路0ものと前記第1図に
示す従来回路のものとのノー+yzeにおける電位vc
ctの変化特性を示しだものである。第3図における実
鈴は上R+、実施例の場合でありかつ破線は従来例の場
合である。第3図に示すように、機能回路15における
消費電流が増加する期間Aに訃いて制御信号S、はvc
clに昇圧され、その結果、本発明例の回路のVCIJ
を示す実線の変化は小さいが、一方従来例の回路のVC
CIIを示す破線は大幅に変化している。
このように上記実施例によればM OS )ランジスタ
17を設けたことによってノード16における電位VC
C2の安定化を図ることができる。
このため、平滑用のコンデンサ13の値を小さくするこ
とができ、このコンデンサ13を構成する部分の面積を
小さくできるので、容易に高集積を1ンすることかでき
る。
第4図はこの発明の他の実施例による構成を示す回路図
である。この実施例回路では第2図中のデイゾレツショ
ン型のMOS)ランジスタ12の代りにエンハンスメン
ト型のMOSトランジスタ18をM OS )ランーゾ
スタ12に対して並列接続するようにしたものである。
さらにこの実施例回路では、エンハンスメント型のMO
S)ランジスタ18を用いているたぬに、さらに機能回
路15で発生される制御信号S。
の電位変化をOVと外部電源電位Vss+との間・の範
囲にまで拡大して、このMOS)ランジスタ18のダー
トに供給するためのシートストラップ型インバータ回路
20が設けらシしる。
上記プートストラップ型インバータ回路2゜は、電源電
位VCCIが供給されるノード1ノと接地電位点との間
に2つのMOSトランジスタ21゜22が直列接続され
、この2つのMOSトランジスタ21.22の直列接続
点23とノード11との間にはコンデンサ24とMOS
トランジスタ25とが直列接続され、さらに上記MO,
Sトランジスタ2ノのデートはコンデンサ24とMOS
)ランジスタ25との直列接続点26に接続され、上記
MO8)ランジスタ25のダートはノード1ノに接続さ
れて構成される。そして上記直列接続点23がブートス
トラップ型インバータ回路2oの出力端として前記M 
OS トランジスタ18のf−トに接続され、さらにF
、i、o S トランジスタ220ケ“−トには機能回
路15で発生される制御信号S、が供給される。
第5図は上記機能回路15で発生される制御(U号S、
とプートストラップ型インノぐ一夕回路20の出カイF
T号S、との関係を示すタイミングチャートである。こ
の場合に機能回路15で発生される制御信号S、は第2
図の場合とは異なり、機能回路15における消費電流が
比較的少ないときにはvcc を電位に設定され、多い
ときにはOVに設定される1、機能回路15で発生され
る制御信号S、の電位がVC,C2に設定されているト
キ、ブートストラップ型インバータ回u 20ではMO
S)ランノスタ22がオン状態となる。
このとき、直列接続点26はMOS)ランジスタ25を
介してVCCI  VT (vTはM OS )ランジ
スタ25のしきい値電圧)まで充電されており、MOS
)ランジメタ2ノもオン状態となっている、[7たがっ
て、信号S、がVCCtの電位に設定されているときに
、ブートストラップ型・インバータ回路2oの出力−信
号s3の電位は上記両MOSトランジスタ21.22C
ノオン抵抗比に応じてVCCIよりも低く接地電位に近
い7114位に設定される。すなわち、この場合に11
4OS )ランジスタ18はオフ状態となる。
一方、機能回路15の消費電流が増加しそ−の機能回路
15の内部で発生される信号により制御信号S、がOv
に設定されると、いままでオン状態であったMOSトラ
ンジスタ22がオフ状態となり、この直後に直列接続点
230厄位はM Osトランノスタ21をブ[して”c
c+  V71で上昇する。するとこれに伴いコンデン
サ24を介して直列接続点26の電位がVCCI +v
T以上に高められ、これによpMO8)ランラスタ2ノ
は3極管動作して出方信号s3はVCCIの電位に設定
される。そしてこの場合にMOSトランジスタ18はオ
ン状態となって、Δ10sトランジスタ12,1Bの並
列コンダクタンスのり(が高められる。
そしてこの実施例の場合にも、MO8+・ランジスタ1
8を設けたことによってノード16における電位vcc
、の維持ならびに安定化を図ることができ、コンデンサ
13の値を十分に小さくすることができる。さらにこの
実施例の場合にも前記(5)式を満足するように各コン
ダクタンス値の設定を行なうことによってノード16の
電位vcctの変動を最小にすることができる。
第6図はこの発明のさらに他の実施例によるt1ケ成を
示す回路図である。この実施例回路では、第2図および
第4図中のMOS)ランジスタ17゜18の代りにコン
ダクタンスの大きいバイポーラのNPNトランジスタ3
ノをMOSトランジスタ12に対して並列接続するよう
にしだものである。さらにこの実施例回路では、バイポ
ーラトランジスタ31を用いているために、さらに機能
回路15で発生される制御信号S2を入力とする、2つ
のMOS)ランジスタ32.33で構成されたインバー
タ回路34が設けられ、この回路34の出力信号S4が
バイポーラトランジスタ31のペースに入力される。
この実施例回路においで機能回路15で発生される制御
信号S、がOVに設定されるとき、バイぽ−ラトランジ
スタ3ノのペース電位はVcc+  ’VT  (!:
なる。このときにこのパ・fポーラトランジスタ3)は
オン状態になり、このトランジスタ3ノを介して機能回
路ノ5に大きな電流が供給される。
パ4ポーラトランジスタはへj−O8)ランゾスタにく
らべて、素子寸法が小さなものでも大きなコンダクタン
スを持つことができるので、MOSトランジスタ17.
18を用いている第2121および第4図の実施例回路
の場合よりも集積度を高めることができる。
第7図は第2図の実施例回路の変形例の構成を示す回路
図である。第2図中の機能回路15がたとえばメモリ回
路の場合、その消費電流は内部の動作状態によシ経時的
に!可法変化するヮぞこでこの変形例回路では前記ディ
プレッション型のMOS)ラン・ゾスタ17を複数個1
1列接続し、それぞれのダートに立ち上シ時刻および立
ち上シ持続時間が異なる初数の各制御信号S、−1〜5
t−n  を供給するように1〜だものである。すなわ
ちこれによって、機能回路15の動作状態に伴う消費電
流の変化に対応して電流供給能力を変化させるようにし
/ヒものである。
第8図はこの発明を256にビットのダイナミック型R
A M K実施した場合の構成を示す回路図である。ダ
イナミック型r’LAMでは行アドレスストローブ信号
RASおよび列アドレスストローブ信号CAS の立下
り、立上りに同期してアクティブ期間やプリチャージ期
間が開始され、その直後からしばらくの期間は消費電流
が増加する。そこでこの実施例回路では前記へtOSト
ライノスタ12に対して2つのエンハンスメント型のM
OS)ランジスタ35 、 、? 6を並列接続してい
る。まだl゛イナミツク型メモリ回路である機能回路1
5からは第9図(a)および第9図(b)のタイミング
チャートに示す」、うに、信号R八S の立下りに同期
してLレベルに立下りその後30 n亀、の時間が経過
してからHし4ルに立上るような制御信号Sa、信号R
A Gの立上りに同期してLレベルに立下りその後15
 n安。
の時間が経過してからHレベルに立上るような制御信号
sb、信号CAS の立下りに回期してLレベルに立下
りその(l 25 n沁、の時間が経過してからrtレ
ベルに立上るような制御信号Sc、信号CAS の立上
シに同期してLレベルに立下りその後15 n+=ec
、の時間が経過してからHレベルに立上るような制御信
号Sdを機能回路15の内部でそれぞれ発生させる。上
記機能回路1,5で発生された2つの制御信号S a 
+ S hは、口1目1【、:第4図中のプートストラ
ップ型インバー4回F?T、9θと同様の機能にNAN
D入力機能を持たせたrY4OSトランジスタ41〜4
4およびコンデンサ45からなるズートストラッデ型N
ANDケ゛−トイOに入力として供給され、この回路4
0σ)出力信号S、は上記MOSトランジスタ35のr
−トに供給される。さらに上記機能回路15で発生され
る残シ2つの制御信号S c + S dは、同じくプ
ートストラップ型インバータ機能にNAND入力機能を
持たせたMOS)ラン・ゾスタ51〜54およびコンデ
ンサ55からなるブートストラップ型NANDダート5
0に入力として供給され、この回路50の出力信号S6
は上記MO8)ランクスタ36のr−)に供給される。
このよ□うな構成でなる回路では、各制御信号Sa、 
Sb、 Sc、 Sd  がLレベルとなっている期間
だけMOSトランジスタ35もしくに、36が2つのプ
ートストラップ型NANDゲート4θ、5θの出力信号
S、、S、によってオン状態にされ、これによって経時
的に変化する機能回路15の消費電流に対応して供給電
流が変化されるものである。すなわち、この実施例回路
はMOS)ランノスタ3.5 、36のr−トをそれぞ
れ2つの制御信号に基づいて制御するようにしたもので
ある。
この実施例回路の場合と2つのMOS)ランノスク35
 、、? 6を設けていない従乎回路の場合のノード1
6における電位VCC2の変動を比較すると、コンデン
サ13の値を同じにしたときにこの実施例のものでは5
チ以下にとどまったが、従来のものでは約30チになっ
たっこれとは逆にVCC2の電位を10%以内に押さえ
るために必要とするコンデンサ13の値は−ヒn1−:
実施例回路のものでは約4000PFであるが、従来の
ものでは約30000PF  も必要である。
このように上記実施例によればノードI6における電位
VCC1の変動を少なくすることができ、この結果、コ
ンデンサ13の値は小さくて済むので、回路の高集化が
実現できる。さらに機能回路ノ5への電源電位VC(J
の変動が少ないので、その動作の安定性に大きく寄力す
るものである。
第10図はこの発明の異なる他の実施例の構成を示す回
路図である。上述した各実施例はいずれの場合もそのダ
ートに一定の基阜電位VRが与えられているMOSトラ
ンジスタ12に対シて、そのコンダクタンスが制御信号
に応じ−C変化されるMOS)ランジスタもしくけ・ぐ
イア1?−ラトランジスタを並列接続するようにしたも
のである。ところが、この実施例回路では、ノード11
とノード16との間にはMO8)ランゾスタ12のみを
接続し、機能回路15で発生さ7しる制御信号S、に基
づいて、このMOSトランジスタ12のy−トに供給さ
れる電位vRを変化させることによpMO8)ランノス
タ12のコンダクタンスを変化させるようにしたもので
ある。このため、前nヒ第1図の従来回路内の直列接続
されたn個のMOSトランジスタ14と接地電位点との
間に、機能回路1.りで発生される制御(g号S、をケ
8−ト入力とするエンハンスメント型のMO,Sトラン
ジスタ6)を接続して構成されている。
このような構成において、機能回路15の消費電流が増
加するときに制御信号S、をLレベルに設定し、このと
きのMO8)ランゾスタ14゜61のレシオで決定され
る基準電位VRを高め、これによりMOSトランジスタ
12自イ本のコンダクタンスを高めて電流供給能力の増
加を図るようにしだもの′である。
第11図は第10図回路の変形例の構成を示す回路図で
ある。この変形例回路では、機能回路15の消費電流に
応じて異なる基準電位VRを発生する部分を図示のよう
に構成しだものである。すなわち、VCCIが供給され
るノード11と基準電位発生点73との間に3つのMO
8)ランジスタフ1.71’、71“を直列接続し、そ
れら全てのMOSトランジスタ71.71’、71”の
ダートはノード1ノに接続する。一方基準電位発生点7
3と接地電位との曲にはM OS )ランジスタフ2を
設けそのダートには機能回路15で発生される制御信号
S、を供給し、上記基準電位発生点73を電位変換用の
MOSトランジスタ12のダートに接続している。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明によれは、集積度を高める
ことができる半導体集積回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の半導体集枦回路の回路図、第2図はこの
発明の一実施例の構成を示す回路図、第3図は第2図の
実施例を説明するための特性図、第4図はこの発明の他
の実施例による構成を示す回路図、第5図Fi第4図回
路を説明するためのタイミングチャート、第6図はこの
発明のさらに他の実施例による構成を示す回路図、第7
図は第2図回路の変形例の構成を示す回路図、第8図は
この発明をダイナミック型RA Mに実施した場合の構
成を示す回路図、第9図は第8図回路で用いられる信号
を示すタイミングチャート、第10図はこの発明の異な
る他の実施例の構成を示す回路図、2B11図は第10
図回路の変形例の構成を示す回路図である。 1ノ・・・外部tb、源電位が供給されるノード、12
・・MOSトランジスタ(電位変換手段もしくは第1の
電位変換手段)、13・・・コンデンサ(リップル除去
手段)、15・・・機能回路、16・・・機能回路への
電源電位が供給さiするノード、17・・・デイデレッ
ンヨン型のMO8)ラン・ゾスタ(第2の電位変換手段
)、18・・・エンハンスメント型のMOSトランジス
タ(剛2の電位変換手段)、31・・・バイポーラ型の
NPNトランジスタ(第2の電位変換手段)、3.5 
、 、? 6・・・エンハンスメント型のMO8)7ン
)7.夕(WC2の電位変換手段)。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第1図 第2図 第3図 V町 第 5 図 第8図 第9図 (a)       (b) 第10図 第11図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)外部電源電位が供給される第1のノードと、複数
    の能動素子で構成され所定の回路機能を有する機能回路
    と、上記機能回路を構成する能動素子を駆動するだめの
    電源電位が供給される第2のノードと、上記第1.第2
    のノード間に設けられ上記機能回路から発生される制徂
    1信号に応じてそのコンダクタンスが変化する電位変換
    手段と、上記第2のノードに設けられるリップル除去手
    段とを具備したことを特徴とする半導体集積回路。 (2)  前記機能回路はその消費電流に応じて前記制
    御信号を発生ずる特許請求の範囲第1項に記載の半導体
    集積回路。 (3)  前記電位変換手段は第2のノードの電位を一
    定に保つ機能を有する第1の電位変換手段と、前記制御
    信号が入力されこの制御信号に応じてそのコンダクタン
    スが変化する第2の電位変換手段とを並列接続して構成
    される特許請求の範囲第1項に記載の半導体集積回路。 (4)前記第2の電位変換手段は複数の電位変換回路で
    構成され、各回路には複数の異なる前記各制御信号が入
    力されている特許請求の範囲第3項に記載の半導体集積
    回路。 (5)前記電位変換手段はその人力ノードが複数の前記
    制御信号に基づいて制御されている特許請求の範囲第1
    項に記載の半導体集積回路8(6)  前記第2の電位
    変換手段はそのケ゛−トに前記制御信号が入力されるM
    OS)ランジスタで構成される特許請求の範囲第3項に
    記載の半導体集積回路。 (シ)前記第2の電位変換手段はそのペースに前記制御
    信号が入力されるパイ・」?−ラトランジスタで構成さ
    れる特許請求の範囲第3 rfiに記載の半導体集積回
    路。 (8)前記電位変換手段においてそのコンダクタンスが
    大きいときの値゛と、その値とそのときの前記機能回路
    におけるコンダクタンスとの和との比が、電位変換手段
    においてそのコンダクタンスが小さいときの前記第2の
    ノードの電位と第1のノードの電位との比にほぼ等しく
    設定される特許請求の範囲第1項に記載の半導体集積回
    路。
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