JPS59209252A - 撮像管の偏向電極製造方法 - Google Patents
撮像管の偏向電極製造方法Info
- Publication number
- JPS59209252A JPS59209252A JP8273183A JP8273183A JPS59209252A JP S59209252 A JPS59209252 A JP S59209252A JP 8273183 A JP8273183 A JP 8273183A JP 8273183 A JP8273183 A JP 8273183A JP S59209252 A JPS59209252 A JP S59209252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- outer tube
- electrodes
- deflection
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/46—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
- H01J29/70—Arrangements for deflecting ray or beam
- H01J29/72—Arrangements for deflecting ray or beam along one straight line or along two perpendicular straight lines
- H01J29/74—Deflecting by electric fields only
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は、ＭＳ形撮像管用外管の偏向電極形成方法に
関するものである。
関するものである。
（従来技術とその問題点）
電磁集束静電偏向形撮像管（以後ＭＳ形撮像管と呼ぶ）
の外管は、その内壁に形成させた金属蒸着膜にレーザー
加工またはフォトエツチング加工の何れかによって所要
の高精度な偏向電極を形成するのが普通であるが、前者
は高額な設備を必要とするのでこれをさけ、こｋでは後
者の加工方法について述べ、かつ、フォトレジスト液に
はポジタイプのものを使用した場合について説明する。
の外管は、その内壁に形成させた金属蒸着膜にレーザー
加工またはフォトエツチング加工の何れかによって所要
の高精度な偏向電極を形成するのが普通であるが、前者
は高額な設備を必要とするのでこれをさけ、こｋでは後
者の加工方法について述べ、かつ、フォトレジスト液に
はポジタイプのものを使用した場合について説明する。
第１図Ａ、 Ｂに示す如く、外管１内壁に蒸着した導
電膜２２例えばクローム（Ｃｒ）膜を適当な温度例えば
３００度３０分間加熱して外管１に該導電膜２を強固に
密着させたのち、（第１図Ｂ−ａ参照）フォトレジスト
３（感光樹脂膜）を塗布被着し、（第１図Ｂ−ｂ参照）
７Ｉ＋＊−び所要の温度例えば１０５度１０分ベーキン
グしたうえに所要径の円筒形にして。
電膜２２例えばクローム（Ｃｒ）膜を適当な温度例えば
３００度３０分間加熱して外管１に該導電膜２を強固に
密着させたのち、（第１図Ｂ−ａ参照）フォトレジスト
３（感光樹脂膜）を塗布被着し、（第１図Ｂ−ｂ参照）
７Ｉ＋＊−び所要の温度例えば１０５度１０分ベーキン
グしたうえに所要径の円筒形にして。
しかも空気の洩れないように両端を重ね合せ隙間なく貼
り合わせたフォトマスク４を密封用管５にバンド６で締
めつけたのち、一方の該密封管５の空気送入ロアから強
（空気を送太し、該マスク４の膨張を利用して該レジス
ト３に密着させ、予じめ管１内に挿入しである円筒形紫
外線ランプ８によって霧光しく第１図Ｂ−ｅ参照）、つ
いで現像処理してフォトレジスト３を所要パターンのマ
スり化したのち（第１図Ｂ−ｄ参照）、さらに上記導電
膜２を公知の手法でエツチングすることによって所定の
偏向電極２′を形成する。（第１図Ｂ −ｅ、 ｆ
参照）しかし、この場合、該フォトマスク４が該外管１
内壁に完全密着していないと導電膜ぼけていたり、形状
欠かんが生じていたりするものを見出す。
り合わせたフォトマスク４を密封用管５にバンド６で締
めつけたのち、一方の該密封管５の空気送入ロアから強
（空気を送太し、該マスク４の膨張を利用して該レジス
ト３に密着させ、予じめ管１内に挿入しである円筒形紫
外線ランプ８によって霧光しく第１図Ｂ−ｅ参照）、つ
いで現像処理してフォトレジスト３を所要パターンのマ
スり化したのち（第１図Ｂ−ｄ参照）、さらに上記導電
膜２を公知の手法でエツチングすることによって所定の
偏向電極２′を形成する。（第１図Ｂ −ｅ、 ｆ
参照）しかし、この場合、該フォトマスク４が該外管１
内壁に完全密着していないと導電膜ぼけていたり、形状
欠かんが生じていたりするものを見出す。
従って、上記の如く円筒形フォトマスク内に強圧空気を
送入、該マスク４を該管１内壁に強制密着を図る改善策
程度では、なお、上記に述べたような電極内２′形状欠
かんが発生し工程最終段階で発見され、不良管と認定９
歩留り、低下をきたすことが多分にある。
送入、該マスク４を該管１内壁に強制密着を図る改善策
程度では、なお、上記に述べたような電極内２′形状欠
かんが発生し工程最終段階で発見され、不良管と認定９
歩留り、低下をきたすことが多分にある。
（目的）
本発明は、前記欠点を解決し生産歩留りの向上を図るた
め、外管内壁にまづフォトレジストを塗布被着させ、露
光、現像してフォトレジストを偏向電極形状マスク化し
たのち、該マスクを予じめ検査し良品のみを選び、これ
に蒸着導電膜を形成。
め、外管内壁にまづフォトレジストを塗布被着させ、露
光、現像してフォトレジストを偏向電極形状マスク化し
たのち、該マスクを予じめ検査し良品のみを選び、これ
に蒸着導電膜を形成。
不用部分を除去して所要の偏向電極を形成したもので、
その目的は製品歩留りの向上を図ることにある。
その目的は製品歩留りの向上を図ることにある。
（実施例）
本発明は前記不都合をなくすため、第２図にみる如く、
まづ外管１内壁にフォトレジスト３を塗布被着させ（第
２図Ｃ参照）前記同様ベーキングしたのち、前記フォト
マスク４とは相違するフォトマスク４′即ち前記のもの
と同形状であるが、第１図にみる如く各電極間の間隙７
のみ紫外線８の影をつくりフォトレジスト膜３を残すよ
うなフォトマスク４′を用い該レジスト膜３にこれを４
′密着させ露光しく第２図す参照）現像することによっ
て（第２図Ｃ参照）電極部となる部分２′のフォトレジ
スト膜３を除去し、此の時点で形成されたレジストパタ
ーンに欠かんが生じていないか光学測定器などを利用し
て十分検査したのち、良品管のみ前記同様クローム（Ｃ
ｒ）２を所要の厚さ蒸着する。（第２図Ｃ参照）続いて
間隙７に残るフォト＝３− レジスト部分を除去したのち、前記同様域−キングすれ
ば外管内壁に強固に密着した偏向電極２′が形成できる
。（第２図Ｃ参照） なお、ネガタイプのレジスト液を用いた場合は従来のパ
ターン４をそのまま使用して露光現像すると、紫外線の
照射された部分のレジスト膜が除去され、影になってい
る電極間隙のレジスト膜は残るから、上記と全たく同じ
状態のレジストパターンが形成できる。従って、ネガタ
イプのフォトレジスト液を使用してもクローム蒸着前に
レジストマスクの検査が可能であり、上記と同様クロー
ム蒸着後の偏向電極形成の歩留りは目立って向上する。
まづ外管１内壁にフォトレジスト３を塗布被着させ（第
２図Ｃ参照）前記同様ベーキングしたのち、前記フォト
マスク４とは相違するフォトマスク４′即ち前記のもの
と同形状であるが、第１図にみる如く各電極間の間隙７
のみ紫外線８の影をつくりフォトレジスト膜３を残すよ
うなフォトマスク４′を用い該レジスト膜３にこれを４
′密着させ露光しく第２図す参照）現像することによっ
て（第２図Ｃ参照）電極部となる部分２′のフォトレジ
スト膜３を除去し、此の時点で形成されたレジストパタ
ーンに欠かんが生じていないか光学測定器などを利用し
て十分検査したのち、良品管のみ前記同様クローム（Ｃ
ｒ）２を所要の厚さ蒸着する。（第２図Ｃ参照）続いて
間隙７に残るフォト＝３− レジスト部分を除去したのち、前記同様域−キングすれ
ば外管内壁に強固に密着した偏向電極２′が形成できる
。（第２図Ｃ参照） なお、ネガタイプのレジスト液を用いた場合は従来のパ
ターン４をそのまま使用して露光現像すると、紫外線の
照射された部分のレジスト膜が除去され、影になってい
る電極間隙のレジスト膜は残るから、上記と全たく同じ
状態のレジストパターンが形成できる。従って、ネガタ
イプのフォトレジスト液を使用してもクローム蒸着前に
レジストマスクの検査が可能であり、上記と同様クロー
ム蒸着後の偏向電極形成の歩留りは目立って向上する。
（効果）
この発明によるＭＳ管の偏向電極形成方法を採用すると
、フォトレジスト塗布、露光現像した時点でまず、光学
測定器などで詳細検査ができるので、レジストパターン
に欠陥のある管は、そこで堆り除き再生にまわし、良品
のみにクロームを蒸着することができることがら、前記
検査後の偏向４− 電極形成は１００％の良品が得られる。
、フォトレジスト塗布、露光現像した時点でまず、光学
測定器などで詳細検査ができるので、レジストパターン
に欠陥のある管は、そこで堆り除き再生にまわし、良品
のみにクロームを蒸着することができることがら、前記
検査後の偏向４− 電極形成は１００％の良品が得られる。
第１図Ａは、従来の偏向電極形成方法の斜視図。
第１図Ｂは、外管に偏向電極を形成する工程図。
第２図は２本発明による偏向電極形成の工程図。
■＝外管（外囲器）、２：クローム蒸着膜。
３；フォトレジスト、４；フォトマスク、４／ ：本考
案に用いるフォトマスク、５：密封用管、６：フオトマ
スク締めつけバンド、７：密封管附随空気送入ロ、８：
紫外線露光用ランプ、９：紫外線露光用ランプ点火線、
２′：偏向電極化したクローム蒸着膜。 、〆 − ′−゛−昌
案に用いるフォトマスク、５：密封用管、６：フオトマ
スク締めつけバンド、７：密封管附随空気送入ロ、８：
紫外線露光用ランプ、９：紫外線露光用ランプ点火線、
２′：偏向電極化したクローム蒸着膜。 、〆 − ′−゛−昌
Claims (1)
- 電磁集束、静電偏向形撮像管用外管（外囲器）内壁にま
づフォトレジスト塗布被着し、所要の偏向電極パターン
マスクを該レジスト膜に密着させ紫外線ランプを利用し
て露光、現像してマスク化した時点で検査をしたのち導
電膜を形成、不用となったレジスト膜を除去して製作し
た偏向電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273183A JPS59209252A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 撮像管の偏向電極製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8273183A JPS59209252A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 撮像管の偏向電極製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59209252A true JPS59209252A (ja) | 1984-11-27 |
Family
ID=13782560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8273183A Pending JPS59209252A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 撮像管の偏向電極製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59209252A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0320059A2 (en) * | 1987-12-11 | 1989-06-14 | Philips Electronics Uk Limited | Flat cathode ray tube display apparatus |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP8273183A patent/JPS59209252A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0320059A2 (en) * | 1987-12-11 | 1989-06-14 | Philips Electronics Uk Limited | Flat cathode ray tube display apparatus |
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