JPS59207881A - セラミツク焼結体およびその製造法 - Google Patents
セラミツク焼結体およびその製造法Info
- Publication number
- JPS59207881A JPS59207881A JP58082806A JP8280683A JPS59207881A JP S59207881 A JPS59207881 A JP S59207881A JP 58082806 A JP58082806 A JP 58082806A JP 8280683 A JP8280683 A JP 8280683A JP S59207881 A JPS59207881 A JP S59207881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- sialon
- ceramic sintered
- purity
- nitrides
- Prior art date
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- Pending
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 技術分野
本発明は放電加工により作製されたセラミック・焼結体
およびその製造法に関する。セラミックの中でも特にサ
イアロン焼結体は、耐酸化特性に優れ、熱膨張率が小さ
く、高温強度が優れた焼結体として窒化硅素、炭化珪素
とともに注目されている。
およびその製造法に関する。セラミックの中でも特にサ
イアロン焼結体は、耐酸化特性に優れ、熱膨張率が小さ
く、高温強度が優れた焼結体として窒化硅素、炭化珪素
とともに注目されている。
サイアロンは更に、耐食性が優れ新しい高温材料と形状
を得るには限界があり、寸法や面精度も精密なものを得
難く、従ってサイアロン焼結体を研削系の機械加工を加
え製品としている。しかし、周知のようにこのサイアロ
ンは、高硬度物質である為、機械加工が困難でありその
加工に多大な時間と労力を要することおよび比較的単純
な形状し力）機械加−［てきない。なおタービンブレー
ドの如き薄肉の部品については機械加工によって得るこ
と（ま不可能であることなとのように加工技術上の様々
な制限力はイアロンの応用の拡大のさまたげとなってき
た。一般に複雑形状をつ（る１つとして放電］Ｊ口ニゲ
あるか、従来からすイアロンは完全な絶縁体であって放
電加工は行えないと考えられてきた。
を得るには限界があり、寸法や面精度も精密なものを得
難く、従ってサイアロン焼結体を研削系の機械加工を加
え製品としている。しかし、周知のようにこのサイアロ
ンは、高硬度物質である為、機械加工が困難でありその
加工に多大な時間と労力を要することおよび比較的単純
な形状し力）機械加−［てきない。なおタービンブレー
ドの如き薄肉の部品については機械加工によって得るこ
と（ま不可能であることなとのように加工技術上の様々
な制限力はイアロンの応用の拡大のさまたげとなってき
た。一般に複雑形状をつ（る１つとして放電］Ｊ口ニゲ
あるか、従来からすイアロンは完全な絶縁体であって放
電加工は行えないと考えられてきた。
（ハ） 発明の開示
しかし、本発明者らはサイアロンの放電加工を可能にす
る方法を種々検討してきた。サイアロン番こ電気伝導性
の物質を多量に添加すれば放電加工カ≦可能となる事は
容易に想像がつく。しかし、この場合に添加する物質に
よっては、サイアロンの特性を太き（悪化させる場合が
考えられる。ｊことえ（′ｆ電気伝導度の良いＣｕ、Ｎ
ｉ等の金属の場合にはサイアロンと濡れ性が悪く焼結が
十分進行しなし）。良く知うレタＹ２Ｏ５，ＭｇＯ等の
酸化物では、添加物質の電気伝導度が低く放電加工可能
にはならなし）。そこテ本発明者らは、サイアロンの性
質に大きな変化を与えず電気伝導度を向上せしめる添加
物質を検討した。その結果サイアロン（ＳＩ６−２Ａβ
ｚｏｚＮａ−のの２が１〜４．２の組成物に容積比とじ
て１５〜５０％のＩＶ ａ ＋Ｖ ａ 、 ■ａ族の元
素の酸化物、炭化物、窒化物、硼化物のうちこれらの１
種以上の化合物および／またはＡｌ２ｎＣｓ、ＳｉＣよ
り選ばれた１種以上を添加させ放電加工される事を特徴
とするサイアロン焼結体およびその製造法である。その
電気伝導度は放電加工実験の結果１０ Ω α 以上で
あれば、放電加工は可能であった。また製造法において
純度を限定するのは、設定純度未満であると均一な導電
性を有する焼結体が得られに（くなる。また粒子径を１
０ミクロン以下に限定するのは、それを越えると焼結性
が良好でなくなるためである。またサイアロンのＺ＝１
〜４２に限定するのは、本組成がほとんど単一組成とな
るため高強度の焼結体が得られるためである。また可能
な限り単一組成の焼結体の力が導電性も良好である。さ
らに導電性付与のための添加元素の容積比を１５〜５０
％に限定するのは、慣゛５％未満では放電加工ができる
導電率が得られず、く、１９０ＤＣを越えるとサイアロ
ンか分解する。こ性の向」二を計る事もできる。
る方法を種々検討してきた。サイアロン番こ電気伝導性
の物質を多量に添加すれば放電加工カ≦可能となる事は
容易に想像がつく。しかし、この場合に添加する物質に
よっては、サイアロンの特性を太き（悪化させる場合が
考えられる。ｊことえ（′ｆ電気伝導度の良いＣｕ、Ｎ
ｉ等の金属の場合にはサイアロンと濡れ性が悪く焼結が
十分進行しなし）。良く知うレタＹ２Ｏ５，ＭｇＯ等の
酸化物では、添加物質の電気伝導度が低く放電加工可能
にはならなし）。そこテ本発明者らは、サイアロンの性
質に大きな変化を与えず電気伝導度を向上せしめる添加
物質を検討した。その結果サイアロン（ＳＩ６−２Ａβ
ｚｏｚＮａ−のの２が１〜４．２の組成物に容積比とじ
て１５〜５０％のＩＶ ａ ＋Ｖ ａ 、 ■ａ族の元
素の酸化物、炭化物、窒化物、硼化物のうちこれらの１
種以上の化合物および／またはＡｌ２ｎＣｓ、ＳｉＣよ
り選ばれた１種以上を添加させ放電加工される事を特徴
とするサイアロン焼結体およびその製造法である。その
電気伝導度は放電加工実験の結果１０ Ω α 以上で
あれば、放電加工は可能であった。また製造法において
純度を限定するのは、設定純度未満であると均一な導電
性を有する焼結体が得られに（くなる。また粒子径を１
０ミクロン以下に限定するのは、それを越えると焼結性
が良好でなくなるためである。またサイアロンのＺ＝１
〜４２に限定するのは、本組成がほとんど単一組成とな
るため高強度の焼結体が得られるためである。また可能
な限り単一組成の焼結体の力が導電性も良好である。さ
らに導電性付与のための添加元素の容積比を１５〜５０
％に限定するのは、慣゛５％未満では放電加工ができる
導電率が得られず、く、１９０ＤＣを越えるとサイアロ
ンか分解する。こ性の向」二を計る事もできる。
に）発明の効果
本発明により、特性のよい焼結体の加］二も容易になり
用途も拡大する事となった。
用途も拡大する事となった。
０ス）実施例１
Ｓ ＋ ｓ Ｎ ４扮末（粒径２ミクロン純度９８５％
）ＡｆｈＯｇ粉末（粒径１ミクロン純度９９％） Ａｇ
Ｎ粉末（粒径１ミクロン純度９９％）および５ｉ（ｈ粉
末（粒径ｏ 、、ｉミクロン純度９９％）の微粉末をβ
−サイアロン（Ｓｉ６−ｚＡｊｚＯｚＮａ−Ｚ）のＺ−
２の組成に混合し、更に種々なイ本積比の１．’ ａ
ＮおよびＴｉＣを添加後、これを充分混合しｊこ後１７
００Ｃ×１時間２００”’／ｃ、ＡＮ２１気圧の条件下
で加圧たｎ手前した。そのサイアロン焼結体の電気伝導
度を１ｌｌｌ１１定し、かつ放電加工が可能か否か判定
した。得られた結果を第１表、第２表に示す。なお放電
加工条件は、加工電流０５Ａ ＋パルス幅１３μｓであ
る。
）ＡｆｈＯｇ粉末（粒径１ミクロン純度９９％） Ａｇ
Ｎ粉末（粒径１ミクロン純度９９％）および５ｉ（ｈ粉
末（粒径ｏ 、、ｉミクロン純度９９％）の微粉末をβ
−サイアロン（Ｓｉ６−ｚＡｊｚＯｚＮａ−Ｚ）のＺ−
２の組成に混合し、更に種々なイ本積比の１．’ ａ
ＮおよびＴｉＣを添加後、これを充分混合しｊこ後１７
００Ｃ×１時間２００”’／ｃ、ＡＮ２１気圧の条件下
で加圧たｎ手前した。そのサイアロン焼結体の電気伝導
度を１ｌｌｌ１１定し、かつ放電加工が可能か否か判定
した。得られた結果を第１表、第２表に示す。なお放電
加工条件は、加工電流０５Ａ ＋パルス幅１３μｓであ
る。
第１表
第２表
なお抗折強度は６０＋１１１１スパン、荷重速度０．５
＊ｒ＋／ｒｎｉｎ 。
＊ｒ＋／ｒｎｉｎ 。
大気中の条件下で各１０本測定した値の平均を示したも
のである。
のである。
実施例２
原料、焼結条件は実施例１と同し。たたし、サイアロン
の２＝０〜５まで変化させ、ＴｉＣを２５ ＶＯＬ％添
加混合させた。得られた結果を第６表に示す。
の２＝０〜５まで変化させ、ＴｉＣを２５ ＶＯＬ％添
加混合させた。得られた結果を第６表に示す。
第３表
実施例６
Ｚ＝１のサイアロンに種々の添加物を容積比にして２５
％添加して焼結体を作製した。その条件は実施例１と同
じ。得られた結果を第４表に示す。
％添加して焼結体を作製した。その条件は実施例１と同
じ。得られた結果を第４表に示す。
木表によれはこれら添加物は放電加工性をサイアロンに
付与させている事がわかった。
付与させている事がわかった。
第４表
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） サイアロン（５ｉ６−ｚＡβｚｏｚＮａ−ｚ
）のＺが１〜４２の組成物に、容積比にして１５〜５
０％のＩ” ａ＋ Ｖ ａ ＋■ａ族の元素の酸化物、
窒化物、炭化物、硼化物のうちこれら１種以」二の化合
物および／またはＳｉＣ、−が１０−３Ω−１０−１以
上であることを特徴とするセラミック焼結体。 （３） ９８％以」二の純度で、かつ粒径が１０ミク
ロン以下の微粉末である窒化けい素および窒化γルミニ
ウムと９９％以上の純度の酸化アルミニウムおよ素の酸
化物、窒化物、炭化物、硼化物のうちこれら１種以」二
を添加混合し、１６００〜１９００Ｃの温度で、窒素雰
囲気中で常圧あるいは加圧焼結する事を特徴とするセラ
ミック焼結体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58082806A JPS59207881A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | セラミツク焼結体およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58082806A JPS59207881A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | セラミツク焼結体およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59207881A true JPS59207881A (ja) | 1984-11-26 |
Family
ID=13784649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58082806A Pending JPS59207881A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | セラミツク焼結体およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59207881A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61158867A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-18 | 工業技術院長 | 窒化ケイ素系焼結体の強化方法 |
| JPS61273231A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-03 | Hitachi Metals Ltd | バルブ鍛造用セラミツクダイス |
| JPS61291464A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 切削工具用β´サイアロン基セラミックスの製造法 |
| JPS62220239A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-28 | Hitachi Metals Ltd | アプセツト加工用アンビル |
| JPS62275070A (ja) * | 1984-11-09 | 1987-11-30 | 日立金属株式会社 | 導電性サイアロン焼結体およびその製造方法 |
| JPS6317264A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-25 | 日立金属株式会社 | 導電性サイアロン焼結体 |
| JPS6469570A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-15 | Hitachi Metals Ltd | Production of electroconductive sialon |
| US4816428A (en) * | 1985-02-14 | 1989-03-28 | Agency Of Industrial Science And Technology | Process for producing high strength βsialon-silicon carbide composite |
| JPH01252582A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-10-09 | Hitachi Metals Ltd | 電気抵抗率バラツキの少ないセラミックス導電材料 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5726977A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Sony Corp | Color image sensor |
| JPS5845654A (ja) * | 1981-09-09 | 1983-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転ヘッド装置 |
| JPS58213679A (ja) * | 1982-05-20 | 1983-12-12 | ジ−・テイ−・イ−・ラボラトリ−ズ・インコ−ポレ−テツド | 複合セラミツク切削工具及びその製造方法 |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP58082806A patent/JPS59207881A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5726977A (en) * | 1980-07-25 | 1982-02-13 | Sony Corp | Color image sensor |
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Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0227307B2 (ja) * | 1984-11-09 | 1990-06-15 | Hitachi Metals Ltd | |
| JPS62275070A (ja) * | 1984-11-09 | 1987-11-30 | 日立金属株式会社 | 導電性サイアロン焼結体およびその製造方法 |
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| JPH04951B2 (ja) * | 1984-12-28 | 1992-01-09 | Kogyo Gijutsu Incho | |
| US4816428A (en) * | 1985-02-14 | 1989-03-28 | Agency Of Industrial Science And Technology | Process for producing high strength βsialon-silicon carbide composite |
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| JPS61291464A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 切削工具用β´サイアロン基セラミックスの製造法 |
| JPH0518777B2 (ja) * | 1985-06-20 | 1993-03-12 | Mitsubishi Materials Corp | |
| JPS62220239A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-28 | Hitachi Metals Ltd | アプセツト加工用アンビル |
| JPH0477699B2 (ja) * | 1986-07-04 | 1992-12-09 | Hitachi Metals Ltd | |
| JPS6317264A (ja) * | 1986-07-04 | 1988-01-25 | 日立金属株式会社 | 導電性サイアロン焼結体 |
| JPS6469570A (en) * | 1987-09-07 | 1989-03-15 | Hitachi Metals Ltd | Production of electroconductive sialon |
| JPH01252582A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-10-09 | Hitachi Metals Ltd | 電気抵抗率バラツキの少ないセラミックス導電材料 |
| US5066423A (en) * | 1987-12-24 | 1991-11-19 | Hitachi Metals, Ltd. | Conductive ceramic sintered body |
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