JPS5919673A - ウエハ仕上方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ウェハを、ラッピング仕上又は２リジング仕
上等によって磨き仕上げるウェハ仕上方法に関するもの
である。

一般に２例えばフェライトからなる薄いウェハの仕上は
、ウェハの一面を貼付台に、加熱接着により貼付ける工
程と、該貼付台を支持して該貼付台に貼付けられた前記
ウエノ・の他面を、ラッピング又はポリシング等により
磨く工程とにより行われる。

従来、薄いフェライトからなるウエノ・をう、ピング又
はポリンングする場合は、第１図の如く。

ウニ・・２の底面全体を貼付台１にワックス等の接・着
剤４で加熱して接着している。この方法の欠点は、冷却
時に貼付台１とウエノ・２との熱膨張係数の差によシウ
エハ２に応力が残留することがある。

これがラッピングやポリシング加工後のウエノ・の湾曲
発生６一つの原因と考えられている。又両者が同じ熱膨
張係数のものでも、ウエノ・の底面全体が接着により固
定されている場合、ラッピングやポリソング加工による
応力のため、加工面に応力が残留する。これも又、ラッ
ピングやポリシング加工後のウェハの湾曲発生の一つの
原因である。

本発明の目的は、ラッピングやポリソング等による磨き
工程後におけるウエノ・の湾曲の発生を防止できるウェ
ハ仕上方法を提供することにある。

本発明によれば、ウェハの一面を貼付台に、加熱接着に
より貼付ける工程と、該貼付台を支持して該貼付台に貼
付けられた前記ウェハの他面を。

ラッピング又はポリソング等により磨く工程とを含むウ
ェハの仕上方法において、前記ウェハの一面の中央部の
みを前記貼付台に、加熱接着により貼付けることを特徴
とするウェハ仕上方法が得られる。

本発明に従えば、ウェハの中央部を局部的に貼付台に加
熱接着するので、ウェハと貼付台とに熱膨張係数の差が
あっても、加熱接着工程やう、ピング又はポリソング等
による磨き工程の時の上記応力はウェハ周辺で解放され
るため、磨き工程後におけるウェハの湾曲の発生を防止
することができる。

次に本発明の実施例について図面を参照して説明する。

第２図を参照すると１本発明に従って１例えばフェライ
トからなるウェハ２の中央部を貼付台１に、接着剤４を
用いて加熱接着により貼付けた状態が示されている。具
体的には、第３図に示すように、まず、貼付台１に接着
剤塗布用のマスクシート３を置く。このマスクシート３
の中央部には。

接着剤４を塗布するだめの孔があけられている。

次に、貼付台１を加熱し、接着剤４を付け、その後マス
クシート３を外し、ウェハ２を押し付けて接着する。こ
のようにして、ウェハ２の中央部のみが貼付台１に貼付
けられる。

貼付台１に貼付けられたウェハ２は、ラッピング仕上や
ホリシング仕上等によって磨かれる。第４図を参照する
と、ラッピング加工の状態が示されている。即ち、ラッ
ピング仕上は、矢印Ｂ方向に回転しているラップ定盤５
の上に、砥粒６を流しながら、矢印Ａ方向に回転してい
る貼付台１に貼付けられたウェハ２を押し付けることに
より。

行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のウェハの貼付台に対する貼付状態を示し
た正面図、第２図は本発明に従うウェハの貼付台に対す
る貼付状態を示した正面図、第３図は第２図の貼付工程
を説明するだめの断面図。 第４図は本発明に従うウエノ・のラツピンク゛工程を示
した正面図である。 １は貼付台、２はウエノ・、３はマスクシート＋４は接
着剤、５はシッフ０定盤、６は砥粒。 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、　ウェハの一面を貼付台に、加熱接着により貼付け
   る工程と、該貼付台を支持して該貼付台に貼付け−られ
   た前記ウェハの他面を磨く工程とを含むウェハ仕上方法
   において、前記ウェハの一面の中央部のみを前記貼付台
   に、加熱接着にょシ貼付けることを特徴とするウェハ仕
   上方法。