JPS59186136A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS59186136A JPS59186136A JP6054583A JP6054583A JPS59186136A JP S59186136 A JPS59186136 A JP S59186136A JP 6054583 A JP6054583 A JP 6054583A JP 6054583 A JP6054583 A JP 6054583A JP S59186136 A JPS59186136 A JP S59186136A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- recording medium
- magnetic recording
- magnetic thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■ 発明の背景
技術分野
本発明は、磁気記録媒体、特にいわゆる斜め蒸着法によ
る連続薄膜型の磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法
に関する。
る連続薄膜型の磁性層を有する磁気記録媒体の製造方法
に関する。
先行技術とその問題点
ビデオ用、オーディオ用等の磁気記録媒体として、テー
プ化して巻回したときのコンパクト性から、連続薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
プ化して巻回したときのコンパクト性から、連続薄膜型
の磁性層を有するものの開発が活発に行われている。
このような連続薄膜型の媒体の磁性層としては、特性上
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したＣ８系％Ｃ０−Ｎ１系等
の柱状結晶の集合体からなる蒸着膜が好適である。
、基体法線に対し所定の傾斜角にて蒸着を行う、いわゆ
る斜め蒸着法によって形成したＣ８系％Ｃ０−Ｎ１系等
の柱状結晶の集合体からなる蒸着膜が好適である。
そして、斜め蒸着の際の雰囲気中に、多量の酸素ガスを
導入して蒸着を行い、柱状結晶の表面を酸化物層で被う
（％公器５６−２３２０８号公報等）と、電磁変換％性
が向上し、走行耐久性が向上し、より好ましい結果をう
る。
導入して蒸着を行い、柱状結晶の表面を酸化物層で被う
（％公器５６−２３２０８号公報等）と、電磁変換％性
が向上し、走行耐久性が向上し、より好ましい結果をう
る。
このような場合、Ｃｃ）−Ｎｉ系では、導入酸素量を増
大し、酸化物層を多くすると、走行耐久性は向上するが
、筒密度記録媒体として大切な特性である保磁力が減少
する。このだめ、導入識素量を増大して、しかも保磁力
をある程度以上に維持するためには、斜め蒸着の際の、
基体法線に対する入射角を大きくする必要がある。
大し、酸化物層を多くすると、走行耐久性は向上するが
、筒密度記録媒体として大切な特性である保磁力が減少
する。このだめ、導入識素量を増大して、しかも保磁力
をある程度以上に維持するためには、斜め蒸着の際の、
基体法線に対する入射角を大きくする必要がある。
しかし、このようなときには、蒸着効率か激減し、経済
性の点で不十分となる。 壕だ、膜密度が減少して、耐
食性に欠けることになる。
性の点で不十分となる。 壕だ、膜密度が減少して、耐
食性に欠けることになる。
また、導入酸素によるルツボ内溶融金属の酸化。
真空装置の劣化等の問題も生じる。
すなわち、従来の斜め蒸着法による媒体では、十分ガミ
研変換特性、走行耐久性、製造に際しての経済性および
耐食性をすべて満足するものは実現していない。
研変換特性、走行耐久性、製造に際しての経済性および
耐食性をすべて満足するものは実現していない。
６−
ＩＩ 発明の目的
本発明は、このような実状に鑑みなされたものであって
、その主たる目的は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気
特性が高く、電磁変換特性が高り、シかも走行耐久性に
すぐれ、また、製造に際して経済性にすぐれ、さらに耐
食性の高い磁性層を有する斜め蒸着法を用いた磁気記録
媒体の製造方法を提供することにある。
、その主たる目的は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気
特性が高く、電磁変換特性が高り、シかも走行耐久性に
すぐれ、また、製造に際して経済性にすぐれ、さらに耐
食性の高い磁性層を有する斜め蒸着法を用いた磁気記録
媒体の製造方法を提供することにある。
このような目的は、以下の発明によって達成され、その
特性は斜め蒸着時に多量の酸素ガスを導入して蒸着した
ものより優れているｎ本発明は、 非磁性の基体上に、基体主面の法線に対して２０°以上
の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行い、Ｃｏ、
またはＣｏならびにＮｉおよび／もしくはＣｒを含む柱
状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次いで、
この磁性薄膜を、酸化剤を含有する水溶液中で処理した
後、洗浄・乾燥し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面に酸化
物層を形成して磁性層とすることを特４− 徴とする磁気記録媒体の製造方法である０■ 発明の具
体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
特性は斜め蒸着時に多量の酸素ガスを導入して蒸着した
ものより優れているｎ本発明は、 非磁性の基体上に、基体主面の法線に対して２０°以上
の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行い、Ｃｏ、
またはＣｏならびにＮｉおよび／もしくはＣｒを含む柱
状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次いで、
この磁性薄膜を、酸化剤を含有する水溶液中で処理した
後、洗浄・乾燥し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面に酸化
物層を形成して磁性層とすることを特４− 徴とする磁気記録媒体の製造方法である０■ 発明の具
体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明においては、まず、いわゆる斜め蒸着法によって
、所定の組成の磁性薄膜を基体上に形成する。
、所定の組成の磁性薄膜を基体上に形成する。
磁性薄膜はＣｏを主成分とし、これに必要に応じＮｉお
よび／またはＣｒが含有される。
よび／またはＣｒが含有される。
すなわち、Ｃｏの単独からなってもよく、ＣＯとＮｉか
らなってもよい。Ｎｉが含まれる場合、Ｃｏ ／ Ｎ
ｉの重量比は、１．５以上である。
らなってもよい。Ｎｉが含まれる場合、Ｃｏ ／ Ｎ
ｉの重量比は、１．５以上である。
さらに、磁性薄膜中には、Ｃｒが含有されていてもよい
Ｏ Ｃｒが含有されると、電磁変換特性が向上し、出力およ
びＳ／Ｎ比が向上し、さらに膜強度も向上する。
Ｏ Ｃｒが含有されると、電磁変換特性が向上し、出力およ
びＳ／Ｎ比が向上し、さらに膜強度も向上する。
このような場合、Ｃｒ ／ ＣｏあるいはＣｒ／（Ｃｏ
＋Ｎｉ）の重量比は０．０［］１〜０．１、より好まし
くは０．００５〜０．０５であることが好ましい○ なお、このような磁性薄膜中には、さらに他の微量成分
、特に遁移元素、例えばＦｅ１Ｍｎ１Ｖ＋Ｚｒ＋Ｎｂ＋
Ｔａ＋Ｔｉ＋ｂ Ｃ１＋等が含まれていてもよい０ このような成分からなる磁性薄膜は、斜め蒸着法によっ
て形成される○ この場合、基体法線に対する、蒸着物質の入射角の最小
値は、２０°以上とされるＯ入射角が２００未満となる
と、所望の電磁変換特性が得られない０ なお、これ以外の蒸着条件には特に制限はない。フ すなわち、蒸着雰囲気は、通常と同様、アルゴン、ヘリ
ウム、真空等の不活性雰囲気とし、１０−５〜１００
Ｐａ程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方向、
マスクの配置等は公知の条件と同様にすればよい０ このような斜め蒸着法により、基体上には、上記したＣ
ｏを主成分とする柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜
が形成される。
＋Ｎｉ）の重量比は０．０［］１〜０．１、より好まし
くは０．００５〜０．０５であることが好ましい○ なお、このような磁性薄膜中には、さらに他の微量成分
、特に遁移元素、例えばＦｅ１Ｍｎ１Ｖ＋Ｚｒ＋Ｎｂ＋
Ｔａ＋Ｔｉ＋ｂ Ｃ１＋等が含まれていてもよい０ このような成分からなる磁性薄膜は、斜め蒸着法によっ
て形成される○ この場合、基体法線に対する、蒸着物質の入射角の最小
値は、２０°以上とされるＯ入射角が２００未満となる
と、所望の電磁変換特性が得られない０ なお、これ以外の蒸着条件には特に制限はない。フ すなわち、蒸着雰囲気は、通常と同様、アルゴン、ヘリ
ウム、真空等の不活性雰囲気とし、１０−５〜１００
Ｐａ程度の圧力とし、また、蒸着距離、基体搬送方向、
マスクの配置等は公知の条件と同様にすればよい０ このような斜め蒸着法により、基体上には、上記したＣ
ｏを主成分とする柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜
が形成される。
この場合、磁性薄膜の厚さは、０．０５〜０．５μｍ、
好ましくは、０．０７〜０，３μｍとされる０そして、
柱状の結晶粒は、薄膜の厚さ方向のほぼ全域に亘る長さ
をもち、その長手方向は、基体の主面の法線に対して、
１０〜７０°の範囲にて傾斜している。
好ましくは、０．０７〜０，３μｍとされる０そして、
柱状の結晶粒は、薄膜の厚さ方向のほぼ全域に亘る長さ
をもち、その長手方向は、基体の主面の法線に対して、
１０〜７０°の範囲にて傾斜している。
また、結晶粒の短径は、５０〜５００八程度の長さをも
つＯ このような磁性薄膜を形成する基体は、非磁性のもので
ありさえすれは、特に制限はなく、特に、可とう性の基
体、特にポリエステル−ポリイミド等の樹脂製のもので
あることが好ましい０ また、その厚さは、種々のものであってよいが、特に５
〜２０μｍであることが好ましい０そして、その磁性薄
膜形成面の裏面の表面あらさ高さのＲＭＳ値は、０．０
５μｍ以上であるこ一７＝ とが好ましい０ これにより、電磁変換特性が向上する。
つＯ このような磁性薄膜を形成する基体は、非磁性のもので
ありさえすれは、特に制限はなく、特に、可とう性の基
体、特にポリエステル−ポリイミド等の樹脂製のもので
あることが好ましい０ また、その厚さは、種々のものであってよいが、特に５
〜２０μｍであることが好ましい０そして、その磁性薄
膜形成面の裏面の表面あらさ高さのＲＭＳ値は、０．０
５μｍ以上であるこ一７＝ とが好ましい０ これにより、電磁変換特性が向上する。
なお、基体と磁性薄膜との間には、必要に応じ、各種下
地層を介在させることもできるＯこのような磁性薄膜を
形成したのち、この磁性薄膜は、酸化剤を含有した水溶
液中で処理されるＯ この場合酸化剤としては、硝酸２重クロム酸塩、クロム
酸塩、過マンガン酸塩、過酸化水系等公知の材料を使用
できる。水溶液の濃度は、０、００２規定〜２規定が好
ましい。処理温度は１０〜９５℃、より好ましくは２０
〜９０℃、処理時間は０．１〜６０分が好ましい０ 該水溶液中で処理後、磁性薄膜は洗浄・加熱乾燥を施さ
れる。
地層を介在させることもできるＯこのような磁性薄膜を
形成したのち、この磁性薄膜は、酸化剤を含有した水溶
液中で処理されるＯ この場合酸化剤としては、硝酸２重クロム酸塩、クロム
酸塩、過マンガン酸塩、過酸化水系等公知の材料を使用
できる。水溶液の濃度は、０、００２規定〜２規定が好
ましい。処理温度は１０〜９５℃、より好ましくは２０
〜９０℃、処理時間は０．１〜６０分が好ましい０ 該水溶液中で処理後、磁性薄膜は洗浄・加熱乾燥を施さ
れる。
このような一連の処理により、磁性薄膜の柱状結晶粒の
表面には酸化物層が形成されるＯそして％ Ｃｏ ｓま
たはＣｏならびにＮｉおよび／もしくはＣｒを含み、Ｏ
／（ＣｏまたはＣＯ十Ｎｉ）の原子比が、好１しくは０
．０５〜０．５−８＝ のＯを含み、好ましくは０．０５〜０．５μｍ１よ如好
ましくは０．０７〜０．６μｍの厚さをもつ磁性層が形
成される。
表面には酸化物層が形成されるＯそして％ Ｃｏ ｓま
たはＣｏならびにＮｉおよび／もしくはＣｒを含み、Ｏ
／（ＣｏまたはＣＯ十Ｎｉ）の原子比が、好１しくは０
．０５〜０．５−８＝ のＯを含み、好ましくは０．０５〜０．５μｍ１よ如好
ましくは０．０７〜０．６μｍの厚さをもつ磁性層が形
成される。
なお、もし必要であれば、このような磁性層上に、各種
最上層保護膜を形成することもできる０ ■ 発明の具体的作用効果 本発明による磁気記録媒体は、ビデオ用、オーディオ用
等の媒体として有用である０そして、本発明による媒体
は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気特性が高く、電磁
変換特性が高い。
最上層保護膜を形成することもできる０ ■ 発明の具体的作用効果 本発明による磁気記録媒体は、ビデオ用、オーディオ用
等の媒体として有用である０そして、本発明による媒体
は、保磁力、磁束量、角形比等の磁気特性が高く、電磁
変換特性が高い。
また、走行摩擦が小さく、走行耐久性が高い。
さらに、蒸着入射角の最小値を低い値に保てるので、蒸
着効率が高く、経済性にすぐれる。
着効率が高く、経済性にすぐれる。
加えて、耐湿性、耐酸化性等の耐食性が高い。
■ 発明の具体的実施例
以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例１
ＣＯ／ Ｎ ｉの重量比が４である合金を用い、１２μ
ｍ厚のポリエチレンテレフタレート （ｐＥＴ）フィル
ム上に、斜め蒸着法により、０，２μｍ厚の磁性薄膜を
形成した。
ｍ厚のポリエチレンテレフタレート （ｐＥＴ）フィル
ム上に、斜め蒸着法により、０，２μｍ厚の磁性薄膜を
形成した。
フィルムは、ルツボに対し斜めに連続搬送し、蒸着物質
の入射角は４０°とした。
の入射角は４０°とした。
また、雰囲気は、ＰＡ ｒ−２Ｘ １Ｏ−２Ｐａとした
。
。
得られた磁性薄膜は、ｃｏ／Ｎ１＝４（重量比）であシ
、基体主面の法線に対し、約３０゜傾斜した、短径１０
０Ａの、厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶粒の集
合体であった。
、基体主面の法線に対し、約３０゜傾斜した、短径１０
０Ａの、厚さ方向全域に亘って成長した柱状結晶粒の集
合体であった。
次いでこのサンプルを、表１に示す酸化剤水溶液中で処
理し、イオン交換水で洗浄後、乾燥機中で加熱乾燥し、
サンプルＡ１〜Ａ３を得た。
理し、イオン交換水で洗浄後、乾燥機中で加熱乾燥し、
サンプルＡ１〜Ａ３を得た。
なお、処理温度は３０℃であった。
これらサンプルＡ１〜Ａ３につき、オージェ分光分析お
よびＥＳＣＡを行い、深さ方向に、Ｃｏおよび０の濃度
プロファイルをとったところ、表面に酸素が多く、内部
に少なく、シかもＯはケミカルシフトして、金属と結合
した形をとっており、結晶粒表面に存在していることが
確認された。
よびＥＳＣＡを行い、深さ方向に、Ｃｏおよび０の濃度
プロファイルをとったところ、表面に酸素が多く、内部
に少なく、シかもＯはケミカルシフトして、金属と結合
した形をとっており、結晶粒表面に存在していることが
確認された。
これに対し、Ｃｏ ／ Ｎ ｉ ＝ ４の合金を、ＰＡ
ｒ＝２Ｘ １Ｏ−２Ｐａ ＋ ＰＯ２ｘ３Ｘ １０ ”
Ｐａの雰囲気にて、上記と同一の条件で斜め蒸着を行い
、０．２μｍ厚の磁性層を形成し、サンプルＡＯを得た
ところ、断面写真、オージェ分光分析、ＥＳＣＡの結果
から、サンプルＡＩ。
ｒ＝２Ｘ １Ｏ−２Ｐａ ＋ ＰＯ２ｘ３Ｘ １０ ”
Ｐａの雰囲気にて、上記と同一の条件で斜め蒸着を行い
、０．２μｍ厚の磁性層を形成し、サンプルＡＯを得た
ところ、断面写真、オージェ分光分析、ＥＳＣＡの結果
から、サンプルＡＩ。
Ａ２．Ａ３とほぼ同一であった。
これらサンプルＡＯ，Ａ１ 、Ａ２ 、Ａ３につき、静
磁気特性を測定した。保磁力ＨＣｒ Ｈｍａｚ＝５００
００ｅでの１ｄあたりの磁束量△／ｍ１および角形比を
表１に示す。
磁気特性を測定した。保磁力ＨＣｒ Ｈｍａｚ＝５００
００ｅでの１ｄあたりの磁束量△／ｍ１および角形比を
表１に示す。
まだ、６０℃、相対湿度９０％にて６日間放置し、１−
あたシの磁束量変化△ｆｍを測定し、耐食性を評価した
ところ、表１に示される結果をえた。
あたシの磁束量変化△ｆｍを測定し、耐食性を評価した
ところ、表１に示される結果をえた。
１１−
表 １
Ｈｅ （Ｏｅ） ８５０ ９００ ８００
６００角 形 比 ０．８ ０
．８ ’ ０．８ ０．７表１に示され
る結果から、本発明の効果があきらかである。
６００角 形 比 ０．８ ０
．８ ’ ０．８ ０．７表１に示され
る結果から、本発明の効果があきらかである。
なお、サンプルＡＩ、Ａ２．Ａ３とも走行摩擦が小さく
、実用走行に十分耐えることが確認された。
、実用走行に十分耐えることが確認された。
１２一
実施例２
Ｃｏ ／ Ｎ ｉ ／ Ｃｒ ＝ ７５ ／ ２０ ／
５の合金を用い、ＰＡｒ＝２Ｘ １Ｏ−２Ｐａ、
入射角４５゜にて斜め蒸着を行い、ＰＥＴ１２μｍ上に
０．２μｍ厚の磁性薄膜をえた。
５の合金を用い、ＰＡｒ＝２Ｘ １Ｏ−２Ｐａ、
入射角４５゜にて斜め蒸着を行い、ＰＥＴ１２μｍ上に
０．２μｍ厚の磁性薄膜をえた。
次いで、この磁性薄膜を、表２に示す酸化剤水溶液中で
処理し、イオン交換水で洗浄後、乾燥機中で加熱乾燥し
、サンプルＢｌ、Ｂ２を得た。なお、処理温度は４０℃
であった。
処理し、イオン交換水で洗浄後、乾燥機中で加熱乾燥し
、サンプルＢｌ、Ｂ２を得た。なお、処理温度は４０℃
であった。
これらの断面写真、オージェ分光分析、ＥｓＣＡの結果
から、法線に対し３５°傾斜した、短径２００Ａの厚さ
方向全域に亘って成長した柱状粒子からなり、０はその
表面に存在していることが確認された。
から、法線に対し３５°傾斜した、短径２００Ａの厚さ
方向全域に亘って成長した柱状粒子からなり、０はその
表面に存在していることが確認された。
これらの結果を表２に示す。
表 ２
Ｈｅ （Ｏｅ） ８５０ ９００＄ｍ ９
ｘ１０ ’ ９ｘ１０−３（ｅｍｕ／ｉ） 角 形 比 ０．９ ０．９
耐 食 性 １０ △ｆｍ（係） 表２に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る。
ｘ１０ ’ ９ｘ１０−３（ｅｍｕ／ｉ） 角 形 比 ０．９ ０．９
耐 食 性 １０ △ｆｍ（係） 表２に示される結果から、本発明の効果があきらかであ
る。
なお、サンプルＢｌ、Ｂ２とも、走行摩擦が小さく、実
用走行に十分耐えることが確認された。
用走行に十分耐えることが確認された。
−１５＝
１９９−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性の基体上に、基体主面の法線に対して２０ｏ
以上の入射角にて金属原子を入射させて蒸着を行いｓ
Ｃｏ％またはＣｏならびにＮｉおよび／もしくはＣｒを
含む柱状結晶粒の集合体からなる磁性薄膜を形成し、次
いで、この磁性薄膜を、酸化剤を含む水溶液中で処理し
た後、洗浄・加熱乾燥し、磁性薄膜の柱状結晶粒の表面
に酸化物層を形成して磁性層とすることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。 ２、磁性層がＮｉを含み、Ｃｏ ／ Ｎ ｉの重量比が
１．５以上である特許請求の範囲第１項に記載の磁気記
録媒体製造方法。 ６、磁性層がＣｒを含み、Ｃｒ／（ＣｏまたはＣ。 ＋ Ｎ ｉ ）の重量比が０．００１〜０．１である特
許請求の範囲第１項または第２項に記載の磁気記録媒体
製造方法。 ４、磁性層中のＯ／（ＣｏまたはＣｏ 十Ｎ ｉ ）の
原子比が０．０５〜０．５である特許請求の範囲第１項
ないし第６項のいずれかに記載の磁気記録媒体製造方法
。 ５、磁性層の厚さが０．０５〜０．５μｍである特許請
求の範囲第１項ないし第４項のいずれかに記載の磁気記
録媒体製造方法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6054583A JPS59186136A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6054583A JPS59186136A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59186136A true JPS59186136A (ja) | 1984-10-22 |
Family
ID=13145360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6054583A Pending JPS59186136A (ja) | 1983-04-06 | 1983-04-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59186136A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222209A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多心光コネクタフエル−ル及びその製造方法 |
| JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-04-06 JP JP6054583A patent/JPS59186136A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62222209A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多心光コネクタフエル−ル及びその製造方法 |
| JPS6398824A (ja) * | 1986-10-14 | 1988-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
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