JPS5918432U - 半導体素子特性測定装置 - Google Patents

半導体素子特性測定装置

Info

Publication number
JPS5918432U
JPS5918432U JP11437282U JP11437282U JPS5918432U JP S5918432 U JPS5918432 U JP S5918432U JP 11437282 U JP11437282 U JP 11437282U JP 11437282 U JP11437282 U JP 11437282U JP S5918432 U JPS5918432 U JP S5918432U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
device characteristic
measurement equipment
characteristic measurement
semiconductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11437282U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6225889Y2 (ja
Inventor
松巾　博人
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority to JP11437282U priority Critical patent/JPS5918432U/ja
Publication of JPS5918432U publication Critical patent/JPS5918432U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6225889Y2 publication Critical patent/JPS6225889Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は従来の半導体素子特性測定装置の側
面図及び部分平面図、第３図は本考案の一実施例を示す
側面図、第４図及び第５図と第６図及び第７図は本考案
による不良マーク用ワイヤのホンディング動作及び形態
の二側を説明するための各要部側面図である。 １・・・・・・半導体ウェーハ、２・・・・・・半導体
素子、４・・・・・・測定部、１３・・・・・・マーキ
ング部、１４ｉ４’、２０．２０“・・・・・・ワイヤ
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェーハに複数個形成された半導体素子を順次に
    特性測定する測定部と、測定結果が不良と出た半導体素
    子の表面にワイヤボンディング方式で定寸のワイヤを不
    良マークとして付着するマーキング部とを具備したこと
    を特徴とする半導体素子特性測定装置。
JP11437282U 1982-07-27 1982-07-27 半導体素子特性測定装置 Granted JPS5918432U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11437282U JPS5918432U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 半導体素子特性測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11437282U JPS5918432U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 半導体素子特性測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5918432U true JPS5918432U (ja) 1984-02-04
JPS6225889Y2 JPS6225889Y2 (ja) 1987-07-02

Family

ID=30264407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11437282U Granted JPS5918432U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 半導体素子特性測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5918432U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6225889Y2 (ja) 1987-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5918432U (ja) 半導体素子特性測定装置
JPS6142842U (ja) 半導体装置の位置合せ装置
JPS59140442U (ja) 半導体素子のマ−キング装置
JPS6094836U (ja) 半導体装置
JPS59145047U (ja) 半導体装置
JPS6092848U (ja) 半導体装置
JPS6117751U (ja) テ−プキヤリア半導体装置
JPS58140479U (ja) 半導体装置の特性測定装置
JPS60118237U (ja) 半導体素子のマ−キング装置
JPS5937735U (ja) 半導体パツケ−ジ
JPS6127255U (ja) ボンデイングパツドに表示を付けた半導体素子
JPS6071146U (ja) 半導体装置
JPS6059541U (ja) 集積回路用リ−ドフレ−ム
JPS594636U (ja) 半導体装置
JPS58148941U (ja) 半導体装置
JPS6117737U (ja) 半導体装置
JPS58153444U (ja) 半導体装置
JPS6134733U (ja) 半導体ウエハ
JPS6096831U (ja) 半導体チツプ
JPS5911449U (ja) 半導体装置
JPS5954952U (ja) 半導体装置
JPS6052634U (ja) 半導体装置
JPS5993144U (ja) リ−ドレスチツプキヤリヤ用アダプタ
JPS5999447U (ja) 半導体用パツケ−ジ
JPS5954956U (ja) 半導体パツケ−ジ