JPS59138003A - 誘電体磁器物質 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

技術分野 本発明は非酸１ヒ注雰囲気中で焼結し、酸ｆヒ性雰囲気
中で焼結時より低い温度で熱処理して得ることが出来る
複合ペロブスカイト型誘電体磁器物質に関し、更に詳＃
Ｉには、誘電体生シートにニッケルを主成分とする導体
ペーストを塗布し℃焼結した構造の積層＠器コンデンサ
を得るため［最ｉＭな誘電体磁器ｗＪ質に関する。 従来技術 従来の積層磁器コンデンサは、肪電体生シート（グリー
ンシート）に白金、パラジウム等の資金楓の導電ペース
トを印刷したものを被数枚積み重ねて圧着し、酸ｆじ性
雰囲気中で高温焼成を行い、しかる後外部引き出し電極
を設げることによって製作されている。しかし、白金、
ノ（ラジウム等のｔ極材料は高価であるため、民生用機
器が要求する安価な積層磁器コンデンサを提供すること
が不可能であった。この種の問題を解決するために、ニ
ッケルを主成分とする導電ペーストを生シート・に塗布
したものを非酸化性雰囲気で焼結させることが考えられ
る。ところが、非酸１ヒ性雰囲気で焼結しても、この焼
結時の温度が例えば］　３００℃以上のように高いと、
ニッケル導電ペーストの二。 ツケル粒子の溶融凝集が生じ、良質な電極を形成するこ
とが困難であった。この種の問題を解決するために、本
件出願人は特願昭５７−２０（Ｌ］０３号によって非酸
比性雰囲気中で低温焼結することが可ＷＱな誘電体磁器
組成物を提案した。しかし、磁器コンデンサの小型化又
は大容景ｆヒを図るために、更に比誘′電率が高く且つ
絶縁抵抗が大きい磁器組成物が要求きれている。 発明の目的 そこで、本発明の目的は非酸ｆヒ性雰囲気中での低温焼
結で得ることが可能であり、且つ高い比誘電率、低い誘
電体損失ｔａｎδ、高い抵抗率、冒い絶ｌ呟抵抗Ｘ容童
値ＦＣＲ値）′（！′得ることが出来る誘電体磁器物質
を提供することにある。 発明の構成 上記目的を達成するための本発明は、（［ＢａＸｃ　ａ
ｙ　ｓ　’　Ｚ　）　０　）　ｋ’　Ｔ　ｉｎ　ｚ　ｒ
　ｒ　−ｎ　）　０＊　を但しｘ、ｙ、ｚ、ｋ、及びｎ
は ０．６０≦ｘ＜１．０２゜ ０．０２≦ｙ≦０．２７ ０＜ｚ≦０．３７ ］、ＯＯ≦に≦】、０４ ０．７４≦ｎ＜１．００を満足する数値うからなる基本
成分と、］０００重量の前記基本成分に対して０．２〜
］０．ＯＮＮ郡部ガラス成分と、を宮み、且つ前記ガラ
ス成分はＬ　１２０とＭ（但し前記ＭはＢａＯ１Ｃ’ａ
（Ｊ及び５ｒＯＯ内の］種以上の金属酸１ヒ物）と５ｉ
０２から成り、且つ前記Ｌ　ｉ２０と前記ＭとｎＩ記Ｓ
　ｓ　Ｏ２との組成範囲は、これ等の組成をモル％で示
す三角図に於ける前記Ｌ　ｔ　２０が０モル％、前記Ｍ
が３５モル％、前記５ｉｎ２が６５モル％の組成を示す
第］の点（Ａ＋と、前記Ｌｉ２Ｏが０モル％、前記Ｍが
４０モル％、前記Ｓｉｎ、が６ｏモル％の組成を示す第
２の点［Ｆ］）と、前記Ｌｉ２Ｏが５モル％、前記Ｍが
４５モイレ％、前記ＳｉＯ２が５０モル％の組成を示′
ｊ第３の点（（゛）と、前記Ｌ１２０が４８モル％。 前記Ｍが２モル％、前記５ｉ０２が５０モル％の組成を
示す第４の点Ｄ）と、前記Ｌ　１２０が２３モル％、前
記Ｍが２モル％、前記５１０２が７５モル％の組成を示
す第５の点（Ｄと、＠記第］の点（Ａ＋と、を順次に結
ぶ５本の直線で囲まれた領域内であることを特徴とする
誘電体磁器物質に係わるものである。 発明の効果 上記発明によれは、非酸ｆヒ性雰囲気で焼結することが
可能であるばかりでなく、高い比誘電率の磁器を提供す
ることが出来る。即ち、非酸ＩＦ、性雰囲気中１２００
　’Ｃ以下の＠匿で焼結し、酸化性雰囲気中で比較的低
い温度（例えば８００℃）で熱処理することにより、比
誘電率が５０００以上の磁器ン得ることが出来ろ。−丁
Ｋ、抵抗率が２・５×１０６ＭΩ以上、誘電正接［ｔａ
ｎ　ａ　）が］、５％以下、絶縁抵抗×容量値ＩｃＲ値
フが３３００以上の磁器を提供することが出来る。 実施例 次に本発明の実施例について述べる。但し、本発明を明
確にするために、本発明の範囲外の実施例も含まれ又い
る〇 実施例１〜８３（第１表及び第２表） ヱす、純度９９．０％以上の１３ａ　ｃｏ、、ＣａＣＯ
５、ＳｒＣｏｇ、Ｔ　ｌＯａ及びＺｒＯ２を出発原料と
して用意し、磁器の基本成分である（　［Ｂ３ｘ　Ｃａ
ｙ　Ｓｒｚ　）　０　）　ｋ’　ＴｉｎＺｒ、　　）０
２１）ｘ、ｙ、ｚ、　ｋ、　ｎ、　１−ｎ　か第１表に
ｎ 示す値になる割合に上記出発原料を秤量した。即ち、実
施例］ではＢａ　ｃｏ、が０６７９モル部、ｃａ　ｃｏ
。 が０１１０モル部、５ｒＣＯ，が０．］２２モル部Ｔｉ
Ｏ２が０−８６％／ｌ／部、Ｚｒ１Ｏ２が０．１４モル
ｉの割合に原料を杵輩し、他の実施例２〜８３に於いて
も同様な要領で原料を秤量しに０尚谷原料中の不純物に
無関係に第１表の割合になるように秤量し１こ。 次に、基本成分を得るための上記原料を１５時時間式混
合し、粉砕した後に乾燥し、約Ｉ　Ｚｏ。 ℃、２時間、大気中で仮焼した。これにより、出発原料
はほぼ基本成分となる。 次に、（（ＢａｘＣａｙＳｒ２）ＯＪｋ［ＴｉｎＺｒ、
、）０２からなる基本成分】００車量部に対して第１表
に示す割合になるように平均粒径約５μｍのＬｉ２Ｏ−
Ｍ　−Ｓｉｎ、ガラス粉床を杵麓し、このガラス粉末を
仮焼で得た基本成分に徐加し、更にアクリル酸エステル
ポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液から成る
有機バインダを仮焼で得た基本成分とガラス粉末との合
計Ｎ量に刈して１５Ｎ量％添刀口し、更に５０重賞％の
水を力Ｏえたものをボールミルに入れて粉砕及び混合し
て谷磁器原料のスラリーを作製した。但し実施？！Ｉ　
］ではガラス粉末を添）ＪＤ　Ｌ、なかった。 尚第１表に於いて、基本成分の欄のＸ％ｙ％Ｚ１に、ｎ
、１−ｎは、基本成分の組成式 １式％） に於ける元素の割合を示し、ガラス成分の欄は、１００
重量部の基本成分に対するガラス成分（ガラス粉床）の
添加量をＮ置部で示し、ガラスの組成の欄はＬｉ２Ｏと
ＭとＳｉＯｘとの割合ンモル％で示し、Ｍの内容の欄は
Ｍの成分でらるＢａＯとＣａＯとＳｒＯとの割合をモル
％で示し、焼結温度は非酸化性雰囲気中での焼結温度を
示す。 次に、谷スラリー乞脱泡処理し、これを使用してドクタ
ーブレード法で長手の生シート馨作製し、これを乾燥さ
せた後に、プレスによる打ち抜きで第１図に示す３枚の
生シート＋ＩＩ　＋２１　（３１を炸裂し７た。 次に、生シーＨＩＩ＋２１の一方の主面に、ニッケルを
主成分とする２４電ペ一ストｔＮｉ９］ｗｔ％、Ｍｎ０
１ｗｔ％、ＰｂＯＢａＯ５ｉｆ２ガラス８ｗｔ％にビヒ
クルを加えたペースト）をＦ１６μｍの厚さに印刷する
ことによって第２図に示す導電ペースト層＋４１　＋５
１を形成し、しかる後、巣２図に示す順序に３枚の生シ
ー）　ｉｌ＋　＋２１　＋３１を重ね合せ、熱圧着し又
一体１じした。 次に、生シート（１１ｔ２＋　（３１を一体化したもの
を那温炉に八ｈ　１．００℃／ｈの温度上昇率で室温か
ら６００″Ｃ筐で空気中で加熱し、有機バインダを燃焼
させた。しかる後、加熱炉の雰囲気を空気から中性又は
還元性の非酸比性雰囲気に変えた。向上記の中性又は還
元性の非酸１ヒ性雰囲気乞実施例１〜７９ではＨｚ　２
体積％＋へ、９８体積％雰囲気、実施例８０ではＨ２零
体積％＋Ｎ２］（ＪＯ体体積の雰囲気、実施例８１では
Ｈ，５体積％＋Ｎ２９５体積％雰囲気、実施例８２では
Ｈ１１０体積％＋Ｎ２９０体績％雰囲気、実施例８３で
はＨ，７５体積％＋へ、２５体積％雰囲気とした。そし
て那熱炉を上述の如き非酸比性雰囲気とした状態で生シ
ートの加熱温度ヶ６００℃から第１表に示す焼結温度（
Ｊ０５０℃〜１３２０℃）筐で１００℃／ｈの比率で上
昇させ、上記中性又は還元性雰囲気中で第】表に示す焼
結温度を３時間保持して生シートの焼結をなした。 次に、中性又は還元性の雰囲気を保った状態で加熱炉の
温度を焼結温度（１０５０℃〜１３２０℃）から８００
℃デで］００℃／ｈの割合で下げ、次に、加熱炉の雰囲
気を中性又は還元性雰囲気からｅｆヒ性雰囲気（空気ン
に変えて８００　’Ｃｉｃ　３０分間保持し℃酸１ヒ処
理ケなし、その後、室温

【約２０’Ｃ）　−！で空気雰
囲気中で冷却し１こ。 これにより、第３図に示す如く生シート［１１に対応し
た第］の磁器層１１ａ）と生シート（２）に対応した第
２の磁器層（２ａ）と生シート（３）に対応した第３の
＠６層（３ａ）とから成り、これ等の間にペースト層＋
４１　（５１に対応した電％　（４ａ　）　（５ａ）　
”：ｌ有する焼結体（６）が得られた。尚焼結体（６１
に於げる磁器層（ｌａ）　［２ａ）（３ａ）の厚さは酌
０−０５　ｍｍ　’″′Ｃおり、焼結体（６）の合計の
厚さは電極Ｃ４ａ）（５ａ）を入れて約０−］６ｍｍで
あり、その縦幅及び横幅は６　ｍｍであり、電極［４ａ
）（５ａ）の刈向面積は５　ｍｍ　Ｘ　５　ｍｍ　＝　
２５　ｍｍ２である。 上記の非酸ｆヒ性雰囲気中での焼結と、ＦＪ８００℃大
気中での酸１ヒ処理とにより、 （［Ｂａｘ　（Ｎａｙｓ　ｒＺ　）　ＯＪ　ｋ’　Ｔ；
ｎＺｒ、　−ｎ　）　０２の組成式で示すことが出来る
複合プロブスカイト型憬器即ちｔＢａ、　Ｃａ、　Ｓｒ
　）　（Ｔｉ　、　Ｚｒ　）Ｏｓ系磁器の中にガラス成
分が混入された誘電体磁器ｖｌＪ質が得られる。この複
合グロブスカイト型磁器は、・１１ａ’ｌ”ｉｏｘ、Ｂ
ａＺｒＯ３，ＣａＴｉ０ａ、ＣａＺｒ０Ｈ１ＳｒＴｉＯ
ａ、５ｒＺｒ０３を複合構造で含み、且つ基本成分の組
成式に於げるｋが］よりも大きい場合にはＢａＯ１Ｃａ
Ｏ。 ＳｒＱがプロブスカイト型結晶に対して過剰に含み、更
にガラス粉末を添加した場合にはガラス成分（ＬｉｚＯ
Ｍ　　８＋０２　）を含む。 次に、１！極１４ａ）Ｃ５ａ）が露出する焼結体（６）
の側面にＺｎ　（亜鉛〕とガラスフリットとビヒクルと
から成る導電性ペーストを塗布して乾燥し、これを大気
中で５５０℃の温度で］５分間焼付け、第４図に示す如
＜　Ｚｎ電極層（７）を形成し、更にこの上に銅［（’
ｕ　）を無電解メッキで被Ｎ式せてｃｕ層（８１を形成
し、更にこの上に電気メツキ法でＰｂ　−Ｓｎ半田層（
９）を設げ℃、一対の外部電極［１０１ｕυを形成した
。 次に、上述の如（形成した各実施例の積増磁器コンデン
サの電気的特性即ち比誘電率ε、誘電体損失ｔ　ｔａｎ
δ〕、抵抗率ｅ、静電容量（Ｆ′Ｉ×抵抗（Ω〕を側尾
し１こところ、第２表に示す結果が得られた。 電圧（実効値Ｊ　Ｏ，５Ｖの条件で静電容量を測定し、
この測定値と電極［４２）（５ａ）の対向面積２５　ｍ
ｍ２　　　。 と電極＋４ａ）Ｃ５ａ３間の磁器層ｔｅａ）の厚１０．
０５ｍｍから計算で求めた。また、ｔａｎδは比誘電率
と同一条件で測定し１、第２表には％で示した。即ち第
２表には実際のｔａｎδの値の１００倍の値を示した。 従って、実際のｔａｎδの値は第２表の値の］０　倍で
ある。また、抵抗率ｐ　（ＭΩ・ｃｍ）は、温度２０℃
に於い”ＣＤＣ’５０Ｖを１分間ｎｍした後に電極［１
０１Ｃ１ｉＪ間の抵抗値を測定し、この測定値と寸法と
に基づいて計算で求めた。またＣ’Ｒ値は、測定した静
電容量値と抵抗値とを掛は合せること　　　　゛により
氷めた。デ定、第１表に谷実施例の組成及び焼結条件が
示され、第２表に各実施例の特性が示されている。また
表中に於けるＩの印は同上を示す。また第１表ではＬｉ
、０．　　Ｍ、　ＳｉＯ２の組成とＭの組成との組み合
せによってガラスの組成を示したが、これ等を一体化し
て示すと例えば実施例２に於いてはＬｉ２Ｏ３Ｏ−Ｆ−
ル％、Ｂａ０８モ＃　％　、ＣａＯ６モル％、Ｓｒ０６
モル％、５ｉ０２５０モル％となる。 特開昭５９−１３８００３（８） 上記第１表及び第２表に於ける実施例１〜８に基づいて
、基本成分に対するガラス成分の添加量と焼結温度との
関係をグラフで示すと第５図ＬＬなる。この第５図から
明らかな如く、ガラスを微量添加することによつ（従来
よりも約２００℃低い］２００℃以下の温度で＃＝４＝
二二焼結が可能になる。牙に還元性雰囲気又は非酸比性
雰囲気で焼結し、大気中８００℃のａｔヒ処理で目的と
する比誘電率εの局い誘電体磁器を得ることが出来る。 尚、実施？ｌｌ　］はガラス無添刀口の場合には焼結温
度が３３２０℃と局く且つｔａｎδが４．５％と大きく
なり、ず定実施例８のガラス添７１０量が１２重童％の
場合にはｔａｎδが３．８％と大きくなり且つＩＲＸＣ
’（（？Ｒ値）が１．８６０ΩＦと低くなる。従って、
好ましいガラス成分の添加量（含有量）は実施例２〜７
に示す０．２〜ＪＯ００重童部である。 実施例］、４及び５の磁器コンデンサに関し、磁器の厚
ざ２５８℃坐りに】Ｏ〜８０ＶのＭ流バイアス電圧を印
刀口した状態で、父流測定電圧帆５Ｖ（実効値］、１ｋ
Ｈｚ、２０℃の乗件で静電容量を貫］足し、計算で比誘
電率εを求めたところ、第６図の結果が得られた。尚第
６図に於いて、曲線Ｅ、は実施例４のコンデンサ、曲ｆ
ｆＭＥ２は実施例５のコンデンサ、曲線Ｅ３は本発明の
範囲外の実施例Ｊのコンデンサの谷ＤＣ電圧に於けるε
を示す。この兜６図から明らかなように、ガラス添７Ｊ
Ｄによって直流バイアス特性即ち実効負荷特性馨大幅に
改善することが出来る。 本発明に従う実施ｙｕ　４のコンデンサと、ガラスを含
まない本発明の範囲外の実施例１のコンデンサとを、恒
温槽に入れ、−４０℃、２０℃、８５’ｃ、１５０℃（
７）％温に−ＣＤＣ５０Ｖ　’＆　１　分間印７１Ｄし
た後に抵抗を測定し、ｉｔ算で抵抗率ρを氷めたところ
、本発明に従う実施例４のコンデンサでは第７図の曲？
＃　Ｒ＋で示す結果が得られ、本発明の範囲に槙妊ない
実施例］のコンデンサでは第７図の回線１も２で示す結
果となつＴこ。この結果から明らかなよ５にガラス無添
刀りの場合には常温＋　２０　’Ｃ）でｅが］Ｏ’ＭΩ
・Ｃｍ台であったものが１５０℃で】０３ＭΩ・０ｎ甘
に低下するが、ガラスを添刀りした場合には３０’　Ｍ
Ｌｌ　−Ｃｍ台に低下する。従って、ガラスは焼結温度
を下げる効果のみならず、抵抗率の温度に対する安定性
も大幅に改善できる。 実施例９〜２９はガラスの組成の変化とコンデンサの特
性の変ｆヒとの関係を求めたものでろる〇実施例９〜】
４から明らかなように、本発明に係るガラス中に含有す
るＭ成分の構成がＢａｏ、ｃａ。 及びＳｒＯの何れでも、文例れの組合せでも］］Ｃ０℃
で焼結きれ、εは約１３３００、ｔａｎ　ｌｊは１．２
〜１．４％、ρはｉ２．８５　Ｘ　］　Ｏ’ＭΩ・ｃｍ
ト１９ぼ等しく、これと実施例３とぞ併せると、これら
３成分は単独、複合の如何にかかわらず同等の効果を有
することが明らかである。 実施例］５及び］６は、ガラスノ戎分中のＬｉ２Ｏがな
い場合であり、この時ＭＪ５ｙ、分が３５〜４０モル％
、残分が５ＩＯ２″′ｃあれば、］］００℃で焼結され
、εが約１２２００−ｔａｎδが１．１〜１．２％、ρ
が杓３．２　Ｘ　］　Ｏ’ＭΩ・ｃｍと良好であるが、
実施例ｊ７の如くＭ成分が５０モル％では焼結温度は１
３００℃と高（、ｔａｎδが３．５％と大きく、ｐ　ｙ
ｊｒＥｌ、１９　Ｘ　］　Ｏ”ＭΩ・Ｃ１ｎと低くなり
、本発明の目的ニ達シない。Ｌ　Ｉ　２０が５モル％に
２い℃は、実施例１９に示す如くＭ成分が４５モル％、
５Ｉ０２が５０モル％で、はぼ実施例Ｊ５及び１６と同
等の焼結温度と電気的％性を有ｆるが、Ｍ成分が２０モ
ル％、Ｓ　＋　０２が７５モル％では実施例】８に示す
如く焼結温度及び電気特性共に本発明の目的外である。 実施例２］及び２４は共にＳ＋Ｏｚが４０モル％である
が、両実施例共に焼結温度が１３００℃と高く、ｔａｎ
δが６％以上であり、且つρがＩＯＭΩ・Ｃｍ台である
ので、本発明の目的に達しないが、５１０２　カ５０モ
ル％になると、実施例２５（７１１！０＜Ｍ成分が２モ
ル％、’Ｊ−ｉ＊ｏが４８モル％でも焼結温度が１０９
０℃となり、１に電気％性はＳ１０．が５０モＡ／％の
実施ｉ＋ｌＪ］９と同等の良好になる。実施例２３に示
す如くＭ成分が含まれない場合は、焼成温度１２００℃
未濶で未焼結状態であり、１２００℃以上になると、通
暁状態となり緻密な焼結体が得られなかったが、Ｍ成分
を２モル％含有することにより実施例２２に示す如＜　
、５Ｉ０２が７５モル％　ｓ　Ｌ１２０が２３モル％に
訃いて、Ｍ成分２モル集の実施例２５と同等の電気的特
性を有する。 従って、本発明に於けるガラスの好ぽしい組成範囲は、
Ｌ１２０　　Ｍ　　５ｓＯｘガラスのＭｉ成を示す第８
図の三角図の第］の点（Ａｌ、第２の点［Ｆ］）、第３
の点（Ｃ１、第４の点の）、第５の点（Ｅｌ、第］の点
（Ａｌを順次に結ぶ５本の直線で囲まれた領域内である
。尚、第８図の三角図の第１の点（Ａｌは実施例］５の
Ｌｉ２Ｏ零モル鴨、Ｍ３５３５モル％ＳｉＱ、　６５モ
ル％の組成を示し、第２の点０３＋は実施例】６のＬ　
１　ｔ　Ｏ零モル％、Ｍ４０モル％、　５ｘＯｔ　６０
モル％の組成ヲ示し、第３の点（０は実施例］９のＬ１
２０５モル％、Ｍ４５モル％、　ＳｉＱ、　５０モル％
の組成を示し、第４の点Ｅは実施例２５のＬ１２０４８
モル％、Ｍ２モル％、　Ｓｉ’０．５０モル％の組成ケ
示し、第５の点（）ｉｌｌは実施例２２のＬｉ２Ｑ　２
３モル％、Ｍ２モル％　％　８１０２７５モル％の組成
を示す。従って、実施例９〜２９の内で１７、】８．２
０．２１．２３．２４は本発明の範囲外のものである。 実施例３０〜４０は基本成分中のｋの値の変化と特性変
１ヒとの関係を示す。この実施例３０〜３４から明らか
なように、ｋを０．９８〜０．１０５丁で変化δせるた
めに、１３ａ即ちＸが０．７９−”　０．８６頂で変化
され℃いる。即ち、１３ａの原料であるＢａＣ０Ｉｌｉ
ｓ　０．７９　モル部〜０．８６モル部の範囲で変ｆヒ
されている。従って、基本成分中の（Ｂａ　、　Ｃａ　
、　ｓｒ　）Ｏのｌ　Ｔｌ　、Ｚｒ　）　０２　Ｐｃ　
５１’ｔする割合即ちｋが０．９８〜】、０５に笈１ヒ
し又いる。この実施例３０〜３４中の最初の実施例３０
の基本成分はｋが０．９８であって（，１３ａ　、Ｃａ
　、　Ｓｒ、）０が不足状態である。このため実施？１
１３０のｔａｎ　ＩＩは］２．５％、ρは１．０２×］
ＯＭΩ・ｃｍと電気特性が悪い。実施例３］では（Ｂａ
、（’ａ、５ｒｌＯと（Ｔｉ　、　Ｚｒ　）　Ｏｘとの
モル比が等しく焼結温度は】０８０℃、εは１２５８０
、ｔａｎＪは１．２％、ρは２．９８　Ｘ　］　Ｏ’と
良好になる。 実施？！１３２〜３４ではｌ　Ｂａ、　Ｃａ％Ｓｒ　）
０即ちｋが過多状態であるが、実施例３４を除いて、本
発明の効果ン有する。実施例３４では実施例２３と同様
に緻密な焼結体が得られなかった。これらの結果から［
Ｔｉ、Ｚｒ　）　Ｏｘ　ｆＣ対するｔ　Ｂａ、　Ｃａ、
　５ｒ）Ｏの比率即ちｋの好筐しい範囲は］、Ｕ〜１．
４である。従って、実施例３０及び３４は本発明の範囲
外である。 実施例３５〜７９では１３ａ％Ｃａ、Ｓｒの割合が種々
変ずヒされ又いる。実施例３５に示す如（基本成分にＣ
ａ及び３ｒを含有させない場合には、８００℃の処理で
酸比でれ離（、ｔａｎＪが４．６％、ｐが］、４　Ｘ　
］　Ｏ’ＭΩ・ｃｍと満足な電気特性が得られない。Ｃ
’ａＹ２モル％Ｊ２Ｊ土含有させることにより実施例３
６〜５４に示す如りｔａｎＪが］、５％、ｅが２．５Ｘ
ＩＵ’ＭΩ・ｃｍ以上の良好な磁器１ヒを示すが、実施
例５４のＣａ　２９　モル％ではεが２６８０と、比誘
電率が低い。Ｃａが２７モル％の実施例５３ではεが］
０５３０と良好である。従って基本成分中のＣａの割合
即ちｙの好丁しい範囲は帆０２〜０．２７である。 実施例５５〜７Ｊから明らかな如く、基本成分の５ｒ（
７］！！ｕ合即ち２が０．００　］　〜０．３７の範囲
であると、（１３ａ、　Ｃａ）　（Ｔｉ、　Ｚｒ）０３
糸磁器よりもεが５．４０％増力口し、ｊａｎδを】＋
５％以下、ρを２．５　Ｘ　］　Ｏ’ＭΩ・ｃｍ以上と
することが出来る。しかし、実施例７２に示す如くｚが
帆３９になるとεが１２３０と低くなる。従ってＳｒの
割合即ち２の好ましい範囲は０．３７．Ｌｇｕ下である
。 実施例３５〜７２から明らかなように、ｙの好デしい範
囲は０．０２〜０．２７であり、２の好デしい範囲は０
．３７ぶり下であるから、１３ａの割合即ちＸの好まし
い範囲は、ｋを】、００〜１．０４にするために０．６
０〜１．０２である。 基本組成中のＺｒの割合細ちｌ”ｎが０の場合は実施例
７３に示す如く、εが】６３０と低（、ｊａｎδが５．
４％と高い。一方、実施例７４〜７８に示す如く、１−
ｎ即ちＺｒの割合が０．２６以下の範囲では、εが５０
００　以上、ｔａｎδが１．５以下、ｅが２．５　Ｘ　
］　Ｏ’ＭΩ・ａｍを満足するものとなる。ずた実施例
７９に示す如＜　ｚｒの割合即ち１−ｎが０．２８とな
るとεが低くなる。従つ”ｃ、Ｚｒの割合即ち１−ｎの
好ましい範囲は０．２６以下である。またＴｉの割合即
ちｎの好ましい範囲は必然的に０．７４≦ｎ＜］、００
となる。 Ｘ％ｙ、ｚ、に、ｎの好ましい範囲は上述の如くである
ので、第１表及び第２表の実施？１１３５〜７９　　　
゛のグループの中で３５．５４．７２．７３．７９は本
発明の範囲外である。 実施例８０〜８３では焼結雰囲気のＨ２の体積％馨、０
．５％、】０％、７５％

【１ヒさせている。 このように非酸丁じ性雰囲気のＨ７の割合を変１ヒさせ
ても、電気的特性に対する影響は殆んどない。 以上の実流？ｌｌ　］〜８３から明らかなように、本発
明で特定でれた誘電体磁器組成によれは、非酸ｆヒ性雰
囲気中１２００℃以下の温度で焼結し、歌ｆヒ性雰囲気
中ｆＪ８００℃の温度で酸１ヒ処理することにより、比
誘電率５０００〜］　３９００、ｔａｎδ】、５％以下
、抵抗率２．５　Ｘ　３０　’ＭΩ−ｃｍＪ２Ｊ上、絶
縁抵抗（Ω］×容量（Ｆ）３３００〜３５００ΩＦの誘
電体磁器を得ることが出来る。 実施例８４〜９１（第３表） 第３表に示す実五例８４〜８７については実施？ｌＪ　
４と同一の磁器組成とし、実施例８８〜９１につい℃は
実施例ｊと同一の磁器組成

【ガラス無添加組成】とし、
生シートを実施例１〜８３と同一方法で形成し、また生
シートａの厚ざ、生シート板の寸法［＋ＡＩＩ！ｉ　Ｘ
縦幅］、塗布有効電極寸法、層数を第３表に示ｆ如（裡
々変化σせ、次に実施例８４〜８７については実施例４
と同一条件で焼結及び酸１ヒさせ、実施例８８〜９］に
ついては実施例１と同一条件で焼結及び酸ずヒさせ、し
かる後外部電極を形成し″′Ｃ積層磁器コンデンサを完
成させた。即ち、実施例８６．８７．９０．９】の如く
暦数が複数の場合には、第９図に示すよ５に複数の４ｉ
ｆｉ器層（１２ａ）（１２ｂ月１２ｃ）［１２ｄ）（１
２ｅＪ等を有し且つ複数の電極（１３ａ）（１３ｂＪ（
１３ｃ）（１３ｄＪ等を有゛し、更に両端面に外部電極
（１０１（１１１を有するコンデンサを完成σせた。し
かる後、これ等の静電容量、及び共振周波数に於けるイ
ンピーダンスを等個直列抵抗（ＥＳＲＪとして測定し定
ところ、第３表の結果が得られた。 第１０図は第：づ表に於ける静電容量とＥＳＲとの関係
を示すものであり、実線が実施例８４〜８７ケ示し、点
線が実施例８８〜９］を示す。この結果から明らかなノ
目（、ガラス乞添加すれば、同−各賞であってもＥＳＲ
が低下する。 尚、第３表には示さなかったが、実施例８５と同一寸法
、同一層数のコンデンサｌ￥実施例７．２］、２８．３
：う、９５．３７．７８と同一磁器組成で形成し、ＥＳ
Ｒン油」定したところ、］５５．１３０、］０５．１７
（Ｊ、９５．２０５、］９０であった。 変形例 卦ノよ、本発明の実施例につい又述べたが、本発明はこ
れに限定式れるものでなく、更に変形可能なものである
。例えば、基本成分を得る定めの出発原料乞、実施例】
〜７８で示しＴＣ％の以外のＢａ。 Ｃａ、　Ｓｒ、　Ｔｉ％　Ｚｒｖ含む１６合物、例えば
、ＢａＯ１ＣａＯ、ＳｒＯ、Ｔｉ０ｚ、ＺｎＯ，等の酸
ｆヒ物、又は水酸ｆヒ物等とし℃もよい。 −１：定、酸ｆヒ温度を８００℃以外の７５０〜１００
０℃、好筐しくに８００〜９００℃の範囲の温度として
もよい。即ち、ニッケル等の電極と磁器の酸ｆヒとを考
慮して変更することが５Ｊ能である。 ｆ、た、非酸比性雰囲気中の焼成温度も、電極材料を考
慮して考えることが出来る。 また、本発明の目的を阻害しない範囲で他の物質を更に
添加してもよい。例えは、本発明の磁器に対してＭｎＯ
，を０．０５〜０．１重量％の範囲で添加してもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例１〜８３に従う生シート？示す余Ｅ仇図
、第２図は第１図の生シートにニッケルペースト？印刷
した状態ケ示す斜視図、第３図は第２図の生シート馨一
体１ヒし℃焼結した物を示す断面図、第４図は第３図の
焼結体に外部電極を設けた状態を示す断面図である。 第５図はガラス添加量と焼結温度との関係を示す図であ
る。 第６図はＤＣバイアス電圧と比誘電率との関係を示す図
である。 第７図はコンデンサの温度と抵抗率との関係を示す図で
ある。 第８図はガラスの組成を示す三角図である。 第９図は実施例８６．８７．９０．９】に於ける［６コ
ンデンサの一部を示す断面図である。 第１０図は実施例８４〜９１の容量とＥＳＲとの関係を
示す図である。 （月＋２１　（３］°“生シート、（ｌａ）ｆｉｂ）［
１ｃ）−磁器層、＋４１（５Ｊ・・・ペースト層、＋４
ａ）［５ａ）・・・電極、（６し・睨結体、ｕＯＩｕｌ
Ｊ・・／Ａ外部電極 代　　理　　人　　　高　　野　　則　　次第５図 ｊ゛ラスジト力量　　　（Ｏん）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｔｌＪ　　（ＩＢａｘ（’ａｙＳｒ２）］ｋ（ＴｉｎＺ
   ｒ１−、）０２（但しｘ、ｙ％ｚ、に、及びｎは ０．６０≦ｘ　＜　］、０２ ０．０２≦ｙ≦０．２７ ０＜ｚ≦０．３７ ］、００≦に≦］、０４ ０．７４≦ｎ　＜　］、００２満足する数値〕からなる
   基本成分と、 ］Ｃ０東重都の前記基本成分に対して０．２〜１０、Ｃ
   １Ｎ量部のガラス成分と、 馨含み、且つ前記ガラス成分はＬｉ２ＯとＭ（但し前記
   ＭはＢａ□、ＣａＯ及びＳｒＯの内の］梅以上の金縞酸
   ｆヒ物）とＳ　ｓ　Ｏ＊から成り、且つ前ｇｅＬｉｚＯ
   と前記Ｍと一前記５ｉｎ２　との組成範囲は、０れ等の
   組成ンモル％で示す三角図に於ける 前記Ｌ１２０が０モル％、前記Ｍが３５モル％、前記５
   ｉ０２が６５モル％の組成ン示す第Ｊの点（Ａｌと、Ｍ
   ｉｌ　ｉｆ已Ｌ１２０が０モル％、印Ｊ茜已Ｍが４０モ
   ル％、前Ｆｅｒ：ＪＳ　Ｉ　ＯＨが６０モル％の組成馨
   示す第２の点［Ｆ］）と、顔Ｊｇ己Ｌｉ、Ｏが５モル％
   、ｓｔＪ記Ｍ力Ｓ４５モル弥、前記５ｉｎ２が５０モル
   ％の組成を示す第３０点（Ｏと、前ｇ已ＬｉｚＯが４８
   モル％、前記Ｍが２モル％、前記Ｓ　ｉＯｚが５０モル
   ％の組成を示″ｊ第４の点の）と、前記Ｌｉ２Ｏが２３
   モル％、＠記Ｍが２モル条、前記ＳｉＯよが７５モル％
   のａｇｖ示す第５の点（Ｅｌと、ｈ１ＪＮＵ２第Ｊの点
   杭）と、 を順次に結ぶ５本の直線で囲まれた領域内であることを
   特徴とする誘電体磁器物質。