JPS59134869A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPS59134869A JPS59134869A JP13148482A JP13148482A JPS59134869A JP S59134869 A JPS59134869 A JP S59134869A JP 13148482 A JP13148482 A JP 13148482A JP 13148482 A JP13148482 A JP 13148482A JP S59134869 A JPS59134869 A JP S59134869A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000981595 Zoysia japonica Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
- H01L27/11803—Masterslice integrated circuits using field effect technology
- H01L27/11807—CMOS gate arrays
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は相補型MOSトランジスタ(以下、CMO8T
rと記す。、)構造を有する半導体集積回路装置に関し
、特にマスタースライス方式による大規模集積回路の入
力回路に関する。
rと記す。、)構造を有する半導体集積回路装置に関し
、特にマスタースライス方式による大規模集積回路の入
力回路に関する。
今日、集積回路はますます高密度化、大規模化してきて
おシこのような集積度の著しい増大は特にランダムロジ
ック回路においては集積回路としての汎用性が薄れ、専
用回路化する傾向が現れてきている。このため、量産効
果によるコストの低減など集積回路としてのメリットが
活せなくなってきている。
おシこのような集積度の著しい増大は特にランダムロジ
ック回路においては集積回路としての汎用性が薄れ、専
用回路化する傾向が現れてきている。このため、量産効
果によるコストの低減など集積回路としてのメリットが
活せなくなってきている。
このような集積回路の大規模化が進む中で製造コストの
低減、製造期間の短縮を企る方法としてマスタースライ
ス方式が注目されている。
低減、製造期間の短縮を企る方法としてマスタースライ
ス方式が注目されている。
マスタースライス方式とは半導体基板に論理回路を構成
する各品種に共通な素子を基本セルとしてアレイ状に配
置し共通する製造プロセスのある段階まで一括してあら
かじめ大量に形成しておき品種に応じて任意の論理機能
を実現のためのコンタクトあるいは金属配線以降のマス
クのみを作成し、以降の製造工程によシ種々の論理機能
の集積回路を実現するものである。
する各品種に共通な素子を基本セルとしてアレイ状に配
置し共通する製造プロセスのある段階まで一括してあら
かじめ大量に形成しておき品種に応じて任意の論理機能
を実現のためのコンタクトあるいは金属配線以降のマス
クのみを作成し、以降の製造工程によシ種々の論理機能
の集積回路を実現するものである。
このように共通な基本セルを配した半導体基板をあらか
じめ大量に生産しておき、−品種当シのマスクの枚数を
減じ、製造コスト及び製造期間の短縮を企り、多品種少
量生産、を可能とする方式である。
じめ大量に生産しておき、−品種当シのマスクの枚数を
減じ、製造コスト及び製造期間の短縮を企り、多品種少
量生産、を可能とする方式である。
本発明は前述の如きマスタースライス方式の半導体集積
回路装置における入力回路のスレッショールド電圧(以
下、入力レベルと記す。)を種々の値に設定することを
可能ならしめる半導体集積回路装置を提案するものであ
る。) 一般に0MO8構造を有する集積回路においては、その
入力回路として例えば第1図に示す如きインバータ回路
が広く用いられている。
回路装置における入力回路のスレッショールド電圧(以
下、入力レベルと記す。)を種々の値に設定することを
可能ならしめる半導体集積回路装置を提案するものであ
る。) 一般に0MO8構造を有する集積回路においては、その
入力回路として例えば第1図に示す如きインバータ回路
が広く用いられている。
第1図において、1は入力端子、2は出力端子、3はP
チャンネル型MO8Tr、 4はNチャンネル型MO8
Tr、 6は電源端子、7は接地端子である。
チャンネル型MO8Tr、 4はNチャンネル型MO8
Tr、 6は電源端子、7は接地端子である。
Pチャンネル型MO8Tr3及びNチャンネル型MO8
Tr4のゲート及びドレインはそれぞれ接続され、イン
バーター5を構成している。インバーター5の出力は出
力端子2に接続され出力端子はさらに集積回路装置の内
部ゲートへ接続される。
Tr4のゲート及びドレインはそれぞれ接続され、イン
バーター5を構成している。インバーター5の出力は出
力端子2に接続され出力端子はさらに集積回路装置の内
部ゲートへ接続される。
0MO8構造を有するインバーター回路の入力レベルは
インバーターを構成しているPチャンネル型MO8Tr
のチャンネル幅WpとNチャンネル型MO8Trのチャ
ンネル幅WNの比WP/WN1又はPチャンネル型MO
8Trのチャンネル長LPとNチャンネル型MO8Tr
のチャンネル長LNO比L p/ LNによって決定さ
れる。
インバーターを構成しているPチャンネル型MO8Tr
のチャンネル幅WpとNチャンネル型MO8Trのチャ
ンネル幅WNの比WP/WN1又はPチャンネル型MO
8Trのチャンネル長LPとNチャンネル型MO8Tr
のチャンネル長LNO比L p/ LNによって決定さ
れる。
いま/実用的なMOS T、として例えばPチャンネル
型MO8Trのチャンネル幅WPを50μ、スレッショ
ールド電圧を−IV、Nチャンネル型MOSトランジス
タのチャンネル幅WNを50μ、スレッショールド電圧
を1■とする。第2図は電源電圧を5vとしたときのP
チャンネル型MO8TrとNチャンネル型MO8Trの
チャンネル長の比Lp/LNとインバーターの入力レベ
ルVIthの関係の一例を示す図である。。
型MO8Trのチャンネル幅WPを50μ、スレッショ
ールド電圧を−IV、Nチャンネル型MOSトランジス
タのチャンネル幅WNを50μ、スレッショールド電圧
を1■とする。第2図は電源電圧を5vとしたときのP
チャンネル型MO8TrとNチャンネル型MO8Trの
チャンネル長の比Lp/LNとインバーターの入力レベ
ルVIthの関係の一例を示す図である。。
第2図に示される如く、例えばPチャンネル型MO8T
rとNチャンネル型MO8Trのチャンネル長の比Lp
/ LN を05とすると通當のCMO8構造ヲ廟する
集積回路の人力レベル■DD/2、すなわち2.5Vを
実現できる。
rとNチャンネル型MO8Trのチャンネル長の比Lp
/ LN を05とすると通當のCMO8構造ヲ廟する
集積回路の人力レベル■DD/2、すなわち2.5Vを
実現できる。
又、Pチャンネル型fv+O8T、とNグヤンネル桿I
MO8T、のチャンネル長の比Ji1・/1・IJを5
とすると、トランジスタ・トランジスタ・ロジック(以
下TTLと記す1.)構造をイjする集積回路の入力レ
ベルとして充分な偽約1.6Vを実現できZ、。その他
Pテトンネル型MO81,’ rとNチャアネ、17型
MO8T、のチャンネル長の比L p/L Nを適当に
選ぶことによシ任意の入力レベルを実現できる。。
MO8T、のチャンネル長の比Ji1・/1・IJを5
とすると、トランジスタ・トランジスタ・ロジック(以
下TTLと記す1.)構造をイjする集積回路の入力レ
ベルとして充分な偽約1.6Vを実現できZ、。その他
Pテトンネル型MO81,’ rとNチャアネ、17型
MO8T、のチャンネル長の比L p/L Nを適当に
選ぶことによシ任意の入力レベルを実現できる。。
しかじなか(っ、目的の入カレベノLを実現するのに個
々の品種毎にPチャンネル型?)/1(1)S T r
とNチャンネル型MO8Trのチャンネル長の比Lp/
J−prを共通の素子段階から変えてい7にのではその
製造期間の短縮をはかれずマスタースライス方式の半導
体集積回路装置の実現が困難:ケものとなってしまう。
々の品種毎にPチャンネル型?)/1(1)S T r
とNチャンネル型MO8Trのチャンネル長の比Lp/
J−prを共通の素子段階から変えてい7にのではその
製造期間の短縮をはかれずマスタースライス方式の半導
体集積回路装置の実現が困難:ケものとなってしまう。
本発明は前述の如き点にかんがみなされたものでその目
的どするどころは、Cへio 8 Nnj造を有する集
積回路の入力回路の入力レベルを種々の値に容易に設定
することを可能ならしめるマスタースライス方式の半導
体集積回路装置を提供することである。
的どするどころは、Cへio 8 Nnj造を有する集
積回路の入力回路の入力レベルを種々の値に容易に設定
することを可能ならしめるマスタースライス方式の半導
体集積回路装置を提供することである。
以下、図面を参照して本発明につき説明する。
第3図は本発明の一実施例を示すパターンレイアウト図
である。図において、1は入力端子、2は出力端子、6
は電源端子、7は接地端子のそれぞれ金属配線領域、3
−1〜3−3はPチャンネル型MO8Tr領領域4−1
〜4−3はNチャンネル型MO8Tr領である。入力端
子1はコンタクトホールによシゲートボリシリコンに接
続されている。
である。図において、1は入力端子、2は出力端子、6
は電源端子、7は接地端子のそれぞれ金属配線領域、3
−1〜3−3はPチャンネル型MO8Tr領領域4−1
〜4−3はNチャンネル型MO8Tr領である。入力端
子1はコンタクトホールによシゲートボリシリコンに接
続されている。
3−1〜3−3及び4−1・〜4−3はそれぞれ第1図
に示す回路のPチャンネル型MO8Tr及びNチャンネ
ル型MO8Trに相当するものであシ、本実施例におい
てはそれぞれのTrのチャンネル長の比が4:2:1の
3つのTrに分割されている。
に示す回路のPチャンネル型MO8Tr及びNチャンネ
ル型MO8Trに相当するものであシ、本実施例におい
てはそれぞれのTrのチャンネル長の比が4:2:1の
3つのTrに分割されている。
Pチャンネル型MO8Tr3−1〜3−3のソース拡散
領域はコンタクトホール5−1.5−2及び接続用金属
配線領域8−1〜8−6によシミ源端子6に、Nチャン
ネル型MO8Tr4−1〜4−3のソース拡散領域はコ
ンタクトホール5−3.5−4及び接続用金属配線領域
8−9〜8−14によシ接地端子7にそれぞれ接続され
ている1、出力端子はコンタクトホール5−1.5−2
及び接続用金属配線領域8−2〜8−8により任意のP
チャンネル型IV108 Trのドレイン拡散領域に、
更にコンタクトホール5−3.5−4及び接続用金属配
線領域8−10〜8−16によシ任意のNチャンネル型
MO8Trのドレイン拡散領域に接続が可能となってい
る。
領域はコンタクトホール5−1.5−2及び接続用金属
配線領域8−1〜8−6によシミ源端子6に、Nチャン
ネル型MO8Tr4−1〜4−3のソース拡散領域はコ
ンタクトホール5−3.5−4及び接続用金属配線領域
8−9〜8−14によシ接地端子7にそれぞれ接続され
ている1、出力端子はコンタクトホール5−1.5−2
及び接続用金属配線領域8−2〜8−8により任意のP
チャンネル型IV108 Trのドレイン拡散領域に、
更にコンタクトホール5−3.5−4及び接続用金属配
線領域8−10〜8−16によシ任意のNチャンネル型
MO8Trのドレイン拡散領域に接続が可能となってい
る。
ここでPチャンネル型及びNチャンネル型の各々のトラ
ンジスタのチャンネル長はその接続のためのコンタクト
ホール及び接続用金属配線領域の選び方によシ、チャン
ネル長の最も短いトランジスタの1〜7倍の任意のチャ
ンネル長の組合せを選べることは容易に理解できるとこ
ろである。
ンジスタのチャンネル長はその接続のためのコンタクト
ホール及び接続用金属配線領域の選び方によシ、チャン
ネル長の最も短いトランジスタの1〜7倍の任意のチャ
ンネル長の組合せを選べることは容易に理解できるとこ
ろである。
第4図(a)はコンタクトホール5−2+ 5−3+
5−4及び接続用金属配線領域8−1〜B−4,8−6
,8−9゜8−10.8−13.8−12.8−14〜
8−16を設けたときの等価回路図を示す。この場合に
おいてはPチャンネル型MO8TrとNチャンネル型M
O8T、のチャンネル長の比L p/L Nは0.5と
なっている。
5−4及び接続用金属配線領域8−1〜B−4,8−6
,8−9゜8−10.8−13.8−12.8−14〜
8−16を設けたときの等価回路図を示す。この場合に
おいてはPチャンネル型MO8TrとNチャンネル型M
O8T、のチャンネル長の比L p/L Nは0.5と
なっている。
このときインバータ回路としての入出力間の伝達特性を
求めると第5図(a)で示す如き特性が得られる。図か
ら入力レベルは約2.5■であシ、これは通常のCMO
8構造を有する集積回路の入力レベルに相当している。
求めると第5図(a)で示す如き特性が得られる。図か
ら入力レベルは約2.5■であシ、これは通常のCMO
8構造を有する集積回路の入力レベルに相当している。
第4図(b)はコンタクトホール5−4及び接続用金属
配線領域8−9〜8−1.2.8−14 を設けたとき
の等価回路を示す。この場合においてはPチャンネル型
MO8T、とNチャンネル型MO8T、のチャンネル長
の比L p /L Nは明らかに7となっている。
配線領域8−9〜8−1.2.8−14 を設けたとき
の等価回路を示す。この場合においてはPチャンネル型
MO8T、とNチャンネル型MO8T、のチャンネル長
の比L p /L Nは明らかに7となっている。
このときのインバーター回路の入出力間の伝達特性を求
めると第5図中)で示す如き特性が得られる。
めると第5図中)で示す如き特性が得られる。
図から入力レベルは約1.6Vであり、これはTTL構
造の集積回路の入力回路の入力レベルに相当している。
造の集積回路の入力回路の入力レベルに相当している。
以上、2つの実施例の回路について述べたが、この他、
コンタクトホール及び接続用金属配線領域の選び方によ
p種々のPチャンネル型MO8T。
コンタクトホール及び接続用金属配線領域の選び方によ
p種々のPチャンネル型MO8T。
のチャンネル長の比を設定できることは明らかである1
3そのチャンネル長の比は以上述べた説明から1/7〜
7/1−まで柾々の値が可能であることは容易に理解で
きよう。よってそのチャンネル長の比に応じた入力レベ
ルが実現可能となる。)以上述べた如く本発明によれば
コンタクI・ホール及び接続用金属配線領域の変更のみ
によって種々の入力レベルが容易に実現できるマスター
スライス方式の半導体集積回路装置が実現できる。
3そのチャンネル長の比は以上述べた説明から1/7〜
7/1−まで柾々の値が可能であることは容易に理解で
きよう。よってそのチャンネル長の比に応じた入力レベ
ルが実現可能となる。)以上述べた如く本発明によれば
コンタクI・ホール及び接続用金属配線領域の変更のみ
によって種々の入力レベルが容易に実現できるマスター
スライス方式の半導体集積回路装置が実現できる。
伺、本発明の実施例においてはPチャンネル型MO8’
1’r及びNナヤンネル型MO8’l’rのチャンネル
長のおのおのの比が4:2:1の場合について述べたが
、他の組合せ例えば3:2:1等に選ぶことは言うに及
ばず、Pチャンネル型MO8Tr及びNチャンネル型M
O8T、の分割もそれぞれ3つの場合に限るものではな
く、更にはPチャンネル型MO8TrとNチャンネル型
MO8’l’、の数が同じである場合に限るものではな
い。例えば、Pチャンネル型MO8Trの数を4つその
チャンネル長の比を8:4:2:1とビ、Nチャンネル
型MO8Tの数を3つ、そのチャンネル長の比を4:2
:1とすることも可能である1、その他、種々の組合せ
が可能であることは言うまでもないことである。
1’r及びNナヤンネル型MO8’l’rのチャンネル
長のおのおのの比が4:2:1の場合について述べたが
、他の組合せ例えば3:2:1等に選ぶことは言うに及
ばず、Pチャンネル型MO8Tr及びNチャンネル型M
O8T、の分割もそれぞれ3つの場合に限るものではな
く、更にはPチャンネル型MO8TrとNチャンネル型
MO8’l’、の数が同じである場合に限るものではな
い。例えば、Pチャンネル型MO8Trの数を4つその
チャンネル長の比を8:4:2:1とビ、Nチャンネル
型MO8Tの数を3つ、そのチャンネル長の比を4:2
:1とすることも可能である1、その他、種々の組合せ
が可能であることは言うまでもないことである。
以上述゛べた如く、本発明によれば相補型M08Tr構
造を有する半導体集積回路の入力レベルを種々の値に容
易に設定することを可能ならしめるマスタースライス方
式の半導体集積回路装置を実現できる1)
造を有する半導体集積回路の入力レベルを種々の値に容
易に設定することを可能ならしめるマスタースライス方
式の半導体集積回路装置を実現できる1)
第1図はCM、OiS構造を有する集積回路の入力回路
の一例を示す回路図、第2図は第1図に示す回路の特性
の一例を示す特性図、第3図は本発明の一実施例を示す
パターンレ・fアウト図、第4図(a)は本発明の一実
施例の等価回路を示す回路図、第4図(b)は本発明の
他の一実施例の等価回路を示す回路図、第5図(a)は
第4図(a)に示す回路の特性を示す図、第5図中)は
第4図(b)に示す回路の特性を示す図である。 1・・・・・・入力端子、2・・・・・・出力端子、3
・・・・・・P−yヤンネル型MO8Tr、3−1〜3
−3・・・・・・Pチャンネル型MO8’11”r%
4 ・・・・−Nチャンネル型MO8’l’r。 4−1〜4−3・・・・・・Nチャンネル型M08 ’
r、5・・・・・・インバーター、’5−1〜5−4・
・・・・コンタクトホール、6・・・・・・電源外子、
7・・・・・・接地端子、8−1〜8−16・・・・・
・接続用金桐配腺領域。 第、d図 t5V) 祈 5図 手続補正身(方式) %式% 1、事件の表示 昭和57年特 許 願第1314
84号2、発明の名称 半導体JJ′S積回路装r
−□3、補正をする者 事件との関係 出 願 人重工;(都港区
芝Ji、 I−1−433番l呂−(423) 日
本電気株式会社 代表台 関本忠弘 ! 1.、;、、If (′ 4、代理人 舎。 〒108 重工:(都港区芝Iiロ137釣8壮 住
友三11]ヒル11本電気株式会ン1内 (連絡′k +1本?狂気株式会社特許部)5、補正命
令の日付 昭和59年1月31日(発送日) 、 −
、:46、補正の対象 ゐ 明細書図面の簡単な説明の欄 7、補正の内容 (1)明細書、第1O頁、16行目乃至18行目の記載
[第5図(a)は・・・・・・・・・特性を示す図であ
る。」を下記のとお如に訂正いたします。 「第5図は第4図(a)および第4図(b)に示す回路
の特性を示す図であシ、第5図において曲線(a)は第
4図(a)の特性を示し、曲11ii!(b)は第4図
(b)の特性を示している。」
の一例を示す回路図、第2図は第1図に示す回路の特性
の一例を示す特性図、第3図は本発明の一実施例を示す
パターンレ・fアウト図、第4図(a)は本発明の一実
施例の等価回路を示す回路図、第4図(b)は本発明の
他の一実施例の等価回路を示す回路図、第5図(a)は
第4図(a)に示す回路の特性を示す図、第5図中)は
第4図(b)に示す回路の特性を示す図である。 1・・・・・・入力端子、2・・・・・・出力端子、3
・・・・・・P−yヤンネル型MO8Tr、3−1〜3
−3・・・・・・Pチャンネル型MO8’11”r%
4 ・・・・−Nチャンネル型MO8’l’r。 4−1〜4−3・・・・・・Nチャンネル型M08 ’
r、5・・・・・・インバーター、’5−1〜5−4・
・・・・コンタクトホール、6・・・・・・電源外子、
7・・・・・・接地端子、8−1〜8−16・・・・・
・接続用金桐配腺領域。 第、d図 t5V) 祈 5図 手続補正身(方式) %式% 1、事件の表示 昭和57年特 許 願第1314
84号2、発明の名称 半導体JJ′S積回路装r
−□3、補正をする者 事件との関係 出 願 人重工;(都港区
芝Ji、 I−1−433番l呂−(423) 日
本電気株式会社 代表台 関本忠弘 ! 1.、;、、If (′ 4、代理人 舎。 〒108 重工:(都港区芝Iiロ137釣8壮 住
友三11]ヒル11本電気株式会ン1内 (連絡′k +1本?狂気株式会社特許部)5、補正命
令の日付 昭和59年1月31日(発送日) 、 −
、:46、補正の対象 ゐ 明細書図面の簡単な説明の欄 7、補正の内容 (1)明細書、第1O頁、16行目乃至18行目の記載
[第5図(a)は・・・・・・・・・特性を示す図であ
る。」を下記のとお如に訂正いたします。 「第5図は第4図(a)および第4図(b)に示す回路
の特性を示す図であシ、第5図において曲線(a)は第
4図(a)の特性を示し、曲11ii!(b)は第4図
(b)の特性を示している。」
Claims (1)
- 複数の第1導電型の第1のMOS)ランジスタ群及び複
数の第2導電型の第2のMOS)ランジスタ群とを有し
前記第1のMOS)ランジスタ群の少なくとも一つのM
OS)ランジスタ及び前記第2のMOS)ランジスタ群
の少なくとも一つのMOS)ランジスタをあらかじめ設
定された任意のチャンネル長に選択的に接続してなるイ
ンバーターとなしもって前記インバーターを入力回路と
なし、入力のスレッショールド電圧を任意の値に設定な
らしめることを特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13148482A JPS59134869A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13148482A JPS59134869A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59134869A true JPS59134869A (ja) | 1984-08-02 |
Family
ID=15059055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13148482A Pending JPS59134869A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59134869A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6147672A (ja) * | 1984-08-14 | 1986-03-08 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置の製造方法 |
EP1085575A1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-03-21 | STMicroelectronics S.r.l. | Electronic device for controlling the "bouncing" in electronic circuits integrated on semiconductor substrate |
-
1982
- 1982-07-28 JP JP13148482A patent/JPS59134869A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6147672A (ja) * | 1984-08-14 | 1986-03-08 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置の製造方法 |
EP1085575A1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-03-21 | STMicroelectronics S.r.l. | Electronic device for controlling the "bouncing" in electronic circuits integrated on semiconductor substrate |
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