JPS59121175A - 放熱体の製造方法 - Google Patents
放熱体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59121175A JPS59121175A JP22722082A JP22722082A JPS59121175A JP S59121175 A JPS59121175 A JP S59121175A JP 22722082 A JP22722082 A JP 22722082A JP 22722082 A JP22722082 A JP 22722082A JP S59121175 A JPS59121175 A JP S59121175A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manufacturing
- heat sink
- aluminum nitride
- metallization
- nitride sintered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は窒化アルミニウム焼結体を使用した放熱体の製
造方法に関する。
造方法に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来より、窒化アルミニウム焼結体は熱伝導性の良好な
ことで知られている。このように熱伝導性の良好な窒化
アルミニウム焼結体を金属部材と接合して放熱体として
使用する試みがなされているが、窒化アルミニウムは金
属とは接合し難いという欠点があった。
ことで知られている。このように熱伝導性の良好な窒化
アルミニウム焼結体を金属部材と接合して放熱体として
使用する試みがなされているが、窒化アルミニウムは金
属とは接合し難いという欠点があった。
［発明の目的］
本発明はこのような欠点を解消するものｐ１金属と窒化
アルミニウム焼結体とを強固に掛合させた放熱体の製造
方法を提供することを目的とする。
アルミニウム焼結体とを強固に掛合させた放熱体の製造
方法を提供することを目的とする。
［発明の概要］
すなわち本発明方法は、窒化アルミニウム焼結体に表面
処理を施した後、金属化することを特徴とする。
処理を施した後、金属化することを特徴とする。
本発明において窒化アルミニウム焼結体は、粉末状の窒
化アルミニウムに焼結助剤とじでアルミニウム、カルシ
ウム、ストロンチウム、バリウム等の酸化物、炭酸塩又
は他の塩類あるいは炭化ケイ素等を少なくとも１種以上
を添加し、パラフィン等のバインダを加えて所定形状に
成形した後、焼結することにより得られる。
化アルミニウムに焼結助剤とじでアルミニウム、カルシ
ウム、ストロンチウム、バリウム等の酸化物、炭酸塩又
は他の塩類あるいは炭化ケイ素等を少なくとも１種以上
を添加し、パラフィン等のバインダを加えて所定形状に
成形した後、焼結することにより得られる。
この□窒化アルミニウム焼結体に施す表面処理としては
、酸化処理あるいは粗面加工があげられる。
、酸化処理あるいは粗面加工があげられる。
酸化処理は空気中で１０００〜１４００℃で３０分〜２
時間加熱することにより達成でき、表面の酸素濃度が０
．０５〜０．２に／ｃシとなるようにする。
時間加熱することにより達成でき、表面の酸素濃度が０
．０５〜０．２に／ｃシとなるようにする。
また、粗面加■としてはホーニング加工あるいはエクチ
ング法があげられ、表面粗さが１０μ以本発明において
金属化としては、メタライズ法、半田付け、溶射、厚膜
法、鋳込み等があげられる。
ング法があげられ、表面粗さが１０μ以本発明において
金属化としては、メタライズ法、半田付け、溶射、厚膜
法、鋳込み等があげられる。
メタライズ法は表面処理した窒化アルミニウム焼結体に
モリブデンペーストを塗布し、約１４００℃で加熱し、
ざらにニッケルめっきを施し、−ろう付けによって、任
意の金属に接合させる方法であり、半田付けは例えばイ
ンジウムの半田あるいは希土類元素の入った錫−鉛半田
を使用して行なうものであり、厚膜法は表面処理した窒
化アルミニウム焼結体に銅ペースト等を塗布し窒素中で
８００〜９００℃で焼付けし、次いで半田付けにより任
意の金属に接合させるものＣある。また溶射や鋳込みは
通常方法によるものである。
モリブデンペーストを塗布し、約１４００℃で加熱し、
ざらにニッケルめっきを施し、−ろう付けによって、任
意の金属に接合させる方法であり、半田付けは例えばイ
ンジウムの半田あるいは希土類元素の入った錫−鉛半田
を使用して行なうものであり、厚膜法は表面処理した窒
化アルミニウム焼結体に銅ペースト等を塗布し窒素中で
８００〜９００℃で焼付けし、次いで半田付けにより任
意の金属に接合させるものＣある。また溶射や鋳込みは
通常方法によるものである。
なお、溶射に際しては窒化アルミニウム焼結体を金属の
融点以下に予め加熱し−Ｃおく方が金属の接合状態が良
好になる。また、鋳込みにおいては窒化アルミニウム焼
結体を金属の融点以上に予め加熱しておく方が接合状態
が良好になる。
融点以下に予め加熱し−Ｃおく方が金属の接合状態が良
好になる。また、鋳込みにおいては窒化アルミニウム焼
結体を金属の融点以上に予め加熱しておく方が接合状態
が良好になる。
このようにして金属を接合させた窒化アルミニウム焼結
体は、放熱体として使用することができ、また金属上に
シリコンベレット等の部品を搭載することにより半導体
用の基板としても使用することができる。
体は、放熱体として使用することができ、また金属上に
シリコンベレット等の部品を搭載することにより半導体
用の基板としても使用することができる。
［発明の実施例］
次に本発明の実施例について説明する。
実施例１
焼結助剤として酸化イツトリウム５重量％、アルミナ５
重量％、二酸化ケイ素５重量％を含む窒化アルミニウム
粉末にバインダとしてパラフィンを加え、所定形状′に
成形した後、窒素雰囲気中で１７００℃まで昇温した後
、２時間維持して焼結した。この窒化アルミニウム焼結
体を空気中で１２００℃で１時間加熱して酸化処理し、
次いでモリブデンペーストを塗布して１４００℃で加熱
しでメタライスし、次いでニッケルめっきを施し、ろう
付けによって銅板と接合させた。
重量％、二酸化ケイ素５重量％を含む窒化アルミニウム
粉末にバインダとしてパラフィンを加え、所定形状′に
成形した後、窒素雰囲気中で１７００℃まで昇温した後
、２時間維持して焼結した。この窒化アルミニウム焼結
体を空気中で１２００℃で１時間加熱して酸化処理し、
次いでモリブデンペーストを塗布して１４００℃で加熱
しでメタライスし、次いでニッケルめっきを施し、ろう
付けによって銅板と接合させた。
このようにして得られた接合体は、窒化アルミニウム焼
結体と銅板とが強固に接合しＣいた。
結体と銅板とが強固に接合しＣいた。
実施例２
実施例１で使用した酸化処理された窒化アルミニウム焼
結体上に銅ペーストを塗布し、窒素中で８５０’Ｃｔ’
焼付け、次いで半田−付けにより銅板と接合させた。接
合は強固であつ７ｊ０ 実施例３ 実施例１で使用した酸化処理された窒化アルミニウムｉ
結体、をインジウム半田により超音波を使いながら半田
付けを行なった。半田付は性は良好であった。
結体上に銅ペーストを塗布し、窒素中で８５０’Ｃｔ’
焼付け、次いで半田−付けにより銅板と接合させた。接
合は強固であつ７ｊ０ 実施例３ 実施例１で使用した酸化処理された窒化アルミニウムｉ
結体、をインジウム半田により超音波を使いながら半田
付けを行なった。半田付は性は良好であった。
実施例４
実施例１で使用した窒化アルミニウム焼結体にホーニン
グ加工を施して表面粗さを１０μ以上とし、これを約９
００℃に加熱した後、銅を溶射した。溶射状態は良好で
あった。
グ加工を施して表面粗さを１０μ以上とし、これを約９
００℃に加熱した後、銅を溶射した。溶射状態は良好で
あった。
実施例５
実施例１で使用した窒化アルミニウム焼結体に同様にホ
ーニング加工を施し、次いで窒化アルミニウム焼結体を
１１００℃に加熱して銅を鋳込みにより接合させた。接
合状態は良好であった。
ーニング加工を施し、次いで窒化アルミニウム焼結体を
１１００℃に加熱して銅を鋳込みにより接合させた。接
合状態は良好であった。
［発明の効果］
以上説明したように本発明方法によれば、金属との接合
が困難な窒化アルミニウム焼結体に表面処理をＭｌこと
により金属と強固に接合でき、熱伝導性の良好な放熱体
を得ることかできる。
が困難な窒化アルミニウム焼結体に表面処理をＭｌこと
により金属と強固に接合でき、熱伝導性の良好な放熱体
を得ることかできる。
代理人弁理士 則 近 憲 佑
（ばか１名）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）窒化アルミニウム焼結体に表面処理を施した後、
金属化するこ゛とを特徴と】る放熱体の製造方法。 （２）表面処理は酸化処理である特許請求の範囲第１項
記載の放熱体の製造方法。 （３）表面処理は粗面加工である特許請求の範囲第１項
記載の放熱体の製造方法。 （４〉金属化はメタライズ法により行なわれる特許請求
の範囲第１項記載の放熱体の製造方法。 （５）金属化は半田付けにより行なわれる特許請求の範
囲第１項記載の放熱体の製造方法。 （６）金属化は溶射により行なわれる特許請求の範囲第
１項記載の放熱体の製造方法。 （・７）窯化アルミニウム焼結体を金属の融点以下に予
熱して金属化する特許請求の範囲第６項記載の放熱体の
製造方法。 （８）金属化は厚膜法により行なわれる特許請求の範囲
第１項記載の放熱体の製造方法。 （９）金属化は鋳込みにより行なわれる特許請求の範囲
第１項記載の放熱体の製造方法。 （１０）窒化アルミニウム焼結体を金属の融点以上に予
熱して金属化する特許請求の範囲第９項記載の放熱体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22722082A JPS59121175A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 放熱体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22722082A JPS59121175A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 放熱体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59121175A true JPS59121175A (ja) | 1984-07-13 |
| JPH0359036B2 JPH0359036B2 (ja) | 1991-09-09 |
Family
ID=16857374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22722082A Granted JPS59121175A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 放熱体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59121175A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59203783A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-17 | 株式会社東芝 | 非酸化物系セラミツクス焼結体の金属化方法 |
| EP0170012A2 (de) * | 1984-07-06 | 1986-02-05 | BBC Brown Boveri AG | Metall-Keramik-Verbundelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JPS61119094A (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-06 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性回路基板の製造方法 |
| JPS6246986A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-28 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム基板およびその製造方法 |
| JPS62207789A (ja) * | 1986-03-08 | 1987-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化アルミニウム製基材の表面構造及びその製造法 |
| JPH03237079A (ja) * | 1990-08-10 | 1991-10-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化アルミニウム製基材の表面構造 |
| US5529852A (en) * | 1987-01-26 | 1996-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body having a metallized coating layer on its surface |
| WO2016170895A1 (ja) * | 2015-04-21 | 2016-10-27 | トーカロ株式会社 | 基材の粗面化方法、基材の表面処理方法、溶射皮膜被覆部材の製造方法及び溶射皮膜被覆部材 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004162147A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Plasma Giken Kogyo Kk | 溶射被膜を有する窒化アルミニウム焼結体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075208A (ja) * | 1973-11-07 | 1975-06-20 | ||
| JPS53102310A (en) * | 1977-02-18 | 1978-09-06 | Tokyo Shibaura Electric Co | Heat conducting base plates |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP22722082A patent/JPS59121175A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5075208A (ja) * | 1973-11-07 | 1975-06-20 | ||
| JPS53102310A (en) * | 1977-02-18 | 1978-09-06 | Tokyo Shibaura Electric Co | Heat conducting base plates |
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| JPH0568877B2 (ja) * | 1984-11-15 | 1993-09-29 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| JPS61119094A (ja) * | 1984-11-15 | 1986-06-06 | 株式会社東芝 | 高熱伝導性回路基板の製造方法 |
| JPS6246986A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-28 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム基板およびその製造方法 |
| JPS62207789A (ja) * | 1986-03-08 | 1987-09-12 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化アルミニウム製基材の表面構造及びその製造法 |
| JPH0569797B2 (ja) * | 1986-03-08 | 1993-10-01 | Ngk Spark Plug Co | |
| US5529852A (en) * | 1987-01-26 | 1996-06-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Aluminum nitride sintered body having a metallized coating layer on its surface |
| JPH03237079A (ja) * | 1990-08-10 | 1991-10-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化アルミニウム製基材の表面構造 |
| WO2016170895A1 (ja) * | 2015-04-21 | 2016-10-27 | トーカロ株式会社 | 基材の粗面化方法、基材の表面処理方法、溶射皮膜被覆部材の製造方法及び溶射皮膜被覆部材 |
| KR20170139084A (ko) * | 2015-04-21 | 2017-12-18 | 도카로 가부시키가이샤 | 기재의 조면화(粗面化)방법, 기재의 표면처리방법, 용사 피막 피복부재의 제조방법 및 용사 피막 피복부재 |
| JPWO2016170895A1 (ja) * | 2015-04-21 | 2018-02-08 | トーカロ株式会社 | 基材の粗面化方法、基材の表面処理方法、溶射皮膜被覆部材の製造方法及び溶射皮膜被覆部材 |
| TWI640381B (zh) * | 2015-04-21 | 2018-11-11 | Tocalo股份有限公司 | 基材的粗糙面化方法、基材的表面處理方法、熔射塗膜被覆構件的製造方法及熔射塗膜被覆構件 |
| US11131014B2 (en) | 2015-04-21 | 2021-09-28 | Tocalo Co., Ltd. | Method for roughening surface of substrate, method for treating surface of substrate, method for producing thermal spray-coated member, and thermal spray-coated member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0359036B2 (ja) | 1991-09-09 |
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