JPS59102149A - 感湿材料 - Google Patents
感湿材料Info
- Publication number
- JPS59102149A JPS59102149A JP57213505A JP21350582A JPS59102149A JP S59102149 A JPS59102149 A JP S59102149A JP 57213505 A JP57213505 A JP 57213505A JP 21350582 A JP21350582 A JP 21350582A JP S59102149 A JPS59102149 A JP S59102149A
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- JP
- Japan
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- moisture
- substrate
- moisture sensitive
- humidity sensor
- humidity
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は湿度による感湿部の電気抵抗値変化を利用し
た感湿材料に関するものである。
た感湿材料に関するものである。
昨今では、前記のような機能を有する感湿°材料として
は、物理的および化学的に安定であり、皮膜強度も高い
金属酸化物系セラミックが最も多く用いられているが、
いかに安定なセラミック感湿材料であろうとも、信頼性
および寿命の点で問題のあることが最近の学会等で指摘
されている。
は、物理的および化学的に安定であり、皮膜強度も高い
金属酸化物系セラミックが最も多く用いられているが、
いかに安定なセラミック感湿材料であろうとも、信頼性
および寿命の点で問題のあることが最近の学会等で指摘
されている。
セラミック感湿材料は、空気中での使用または放置によ
り水（湿気）の吸脱着がくり返されると。
り水（湿気）の吸脱着がくり返されると。
ＯＨ基が強くセラミック表面に固着（化学吸着）されて
し甘うため、感湿材料の抵抗値が大きく変化し、しかも
湿度検知（感湿）機能が低下してしまう。したがって、
感湿材料を初期の感湿特性に復帰させるために、ヒータ
およびその駆動回路を装備して、５００〜６００℃に加
熱して吸着した水を脱離させる構成の湿度センサが実用
化されている。
し甘うため、感湿材料の抵抗値が大きく変化し、しかも
湿度検知（感湿）機能が低下してしまう。したがって、
感湿材料を初期の感湿特性に復帰させるために、ヒータ
およびその駆動回路を装備して、５００〜６００℃に加
熱して吸着した水を脱離させる構成の湿度センサが実用
化されている。
しかし、これらのものを装備すると、湿度センサ自体も
高価なものとなシ、まだ上記温度まで加熱するためには
電力をかなり要するという欠点が生じている。
高価なものとなシ、まだ上記温度まで加熱するためには
電力をかなり要するという欠点が生じている。
この発明は、従来の感湿材料が有する欠点を除去するた
めになされたもので、感湿機能を有する有機けい素化合
物重合体を主成分とする組成物の焼成物である感湿基材
に、フッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂およびその変性
樹脂の内の少なくとも一種を被覆することによシ、上記
感湿基材のもつ良好な感湿機能を有し、感湿特性の経時
劣化の少ない長寿命、高信頼性、および相対湿度変化に
対する応答性が向上した感湿材料を得ることを目的とす
るものである。
めになされたもので、感湿機能を有する有機けい素化合
物重合体を主成分とする組成物の焼成物である感湿基材
に、フッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂およびその変性
樹脂の内の少なくとも一種を被覆することによシ、上記
感湿基材のもつ良好な感湿機能を有し、感湿特性の経時
劣化の少ない長寿命、高信頼性、および相対湿度変化に
対する応答性が向上した感湿材料を得ることを目的とす
るものである。
この発明の感湿機能を有する。有機けい素化合水素基が
結合した例えばシリコーンなどの有機けい素化合物重合
体を２例えば３５０℃以上の温度で焼成することにより
、側鎖の炭化水素基の一部を熱分解によシ気体を発生さ
せ、多孔質化した分解残留固形物として得られる。この
ような有機ｄい素化合物重合体を主成分とするような焼
成物が前述した目的をかなシ満足する感湿材料であるこ
とを２発明者らは以前見出し、このものの性質や溶成雰
囲気等については、先行技術として特開昭５６−１２６
７５６．および同５７−１５４０２など一連の出願に提
案している。
結合した例えばシリコーンなどの有機けい素化合物重合
体を２例えば３５０℃以上の温度で焼成することにより
、側鎖の炭化水素基の一部を熱分解によシ気体を発生さ
せ、多孔質化した分解残留固形物として得られる。この
ような有機ｄい素化合物重合体を主成分とするような焼
成物が前述した目的をかなシ満足する感湿材料であるこ
とを２発明者らは以前見出し、このものの性質や溶成雰
囲気等については、先行技術として特開昭５６−１２６
７５６．および同５７−１５４０２など一連の出願に提
案している。
また、この発明でフッ化黒鉛を含有分散させて。
感湿基材を被覆するけい素樹脂としては、いわゆるシリ
コーンとよばれる有機けい素化合物重合体およびこれを
エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アル
キッド樹脂等の他の樹脂で変性したものを用いることが
でき、この皮膜は、硬化皮膜であっても１だ、オイル状
の未硬化皮膜であってもよく、その膜厚は、溶剤を加え
た時の粘度によ）制御される。さらに２発明者の実験に
よれば、皮膜の厚さによって感湿機能が影響を受け。
コーンとよばれる有機けい素化合物重合体およびこれを
エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アル
キッド樹脂等の他の樹脂で変性したものを用いることが
でき、この皮膜は、硬化皮膜であっても１だ、オイル状
の未硬化皮膜であってもよく、その膜厚は、溶剤を加え
た時の粘度によ）制御される。さらに２発明者の実験に
よれば、皮膜の厚さによって感湿機能が影響を受け。
膜厚が厚くなると、抵抗値は犬となり、感湿機能も全く
消失してし葦うことがわかった。
消失してし葦うことがわかった。
したがって、けい素樹脂およびその変性樹脂の内の少な
くとも１稲の皮膜がある程度の皮膜強度を維持する範囲
内において、膜厚はなるべく薄いことが好ましい。
くとも１稲の皮膜がある程度の皮膜強度を維持する範囲
内において、膜厚はなるべく薄いことが好ましい。
なお、この発明で用いるフッ化黒鉛とは、各炭素原子に
１個づつフッ素原子が共有結合によシ強固に結合したも
ので、化学的に非常に安定した白色〜灰色の微粉末であ
って、工業的には無水ソツ酸の電解により発生したフッ
素を直接炭素と反応させて製造されている。その性質は
、低表面エネルギー性を有し、摩擦係数が小さいため固
体潤滑剤として実用化されているものである。また、こ
のものは６００℃以上の焼成において、熱分解されるの
で、有機けい素化合物重合体を焼成硬化させるには、６
００℃以下の温度で行なうことが望ましい。さらに、こ
のものは他の物質と混合しにくいだめ、適当な界面活性
剤や分散剤を用いるかまたは強制的に混合して用いる必
要がある。
１個づつフッ素原子が共有結合によシ強固に結合したも
ので、化学的に非常に安定した白色〜灰色の微粉末であ
って、工業的には無水ソツ酸の電解により発生したフッ
素を直接炭素と反応させて製造されている。その性質は
、低表面エネルギー性を有し、摩擦係数が小さいため固
体潤滑剤として実用化されているものである。また、こ
のものは６００℃以上の焼成において、熱分解されるの
で、有機けい素化合物重合体を焼成硬化させるには、６
００℃以下の温度で行なうことが望ましい。さらに、こ
のものは他の物質と混合しにくいだめ、適当な界面活性
剤や分散剤を用いるかまたは強制的に混合して用いる必
要がある。
以下、実施例を示すことによシこの発明の詳細な説明す
るが、これによジこの発明を限定するものではない。
るが、これによジこの発明を限定するものではない。
実施例１
第１図（ａ）にこの発明の一実施例の感湿材料を用いた
湿度上ンサの断面図であシ、第１図（ｂ）は（ａ）から
皮膜と感湿基材を取シ除いたものの斜視図である。図に
おいて、（１）は絶縁基板、（２）は電極、（３）はリ
ード線、 、 （ｉｏｉ）は有機けい素化合物重合体を
主成分とする焼成物よりなる感湿基材、 （１０２）
はフッ化黒鉛を含有分散させた有機けい素化合物重合体
硬化皮膜である。
湿度上ンサの断面図であシ、第１図（ｂ）は（ａ）から
皮膜と感湿基材を取シ除いたものの斜視図である。図に
おいて、（１）は絶縁基板、（２）は電極、（３）はリ
ード線、 、 （ｉｏｉ）は有機けい素化合物重合体を
主成分とする焼成物よりなる感湿基材、 （１０２）
はフッ化黒鉛を含有分散させた有機けい素化合物重合体
硬化皮膜である。
メチルフェニルシリコーン初期重合体をキシレンに溶解
させた市販のシリコーンワニスおよびシリコーンワニス
の２倍の重量の粉末状ＴｌＯ２ならびにＭよ０．さらに
全体の重量に対して１０ｗｔ％になるようにＮａ２ＣＯ
３およびタルクを含有分散させたものを混合攪拌した混
線物をディッピングによシアルミナ絶縁基板（１）上に
厚さ約４０μｍの皮膜状に塗布した。このものを８０℃
で１０分、１３０℃で２０分、２００℃で２０分の予備
焼成後、電気炉中でＢｏｏｏＣ，２時間の焼成を行ない
、この焼成残留固形物を感湿基材（１０１）とした。た
だし、アルミナ絶縁基板（１）上には、ティッピングの
前にあらかじめＰｔ−Ｐｄ合金系ペーストにて、くシ形
電極（２）をスクリーン印刷してあシ、塗布皮膜を焼成
した後。
させた市販のシリコーンワニスおよびシリコーンワニス
の２倍の重量の粉末状ＴｌＯ２ならびにＭよ０．さらに
全体の重量に対して１０ｗｔ％になるようにＮａ２ＣＯ
３およびタルクを含有分散させたものを混合攪拌した混
線物をディッピングによシアルミナ絶縁基板（１）上に
厚さ約４０μｍの皮膜状に塗布した。このものを８０℃
で１０分、１３０℃で２０分、２００℃で２０分の予備
焼成後、電気炉中でＢｏｏｏＣ，２時間の焼成を行ない
、この焼成残留固形物を感湿基材（１０１）とした。た
だし、アルミナ絶縁基板（１）上には、ティッピングの
前にあらかじめＰｔ−Ｐｄ合金系ペーストにて、くシ形
電極（２）をスクリーン印刷してあシ、塗布皮膜を焼成
した後。
Ｐｔリード線を焼付けて取り付けた。
次に、主としてメチルシリコーン初期重合体を用いた市
販のシリコーンワニスをさらにキシレンで希釈して粘度
を下げ、この中に、フッ化黒鉛を５ｗｔ％どなるように
界面活性剤と共に加えて十分に混合攪拌する。この中に
前記感湿基材を浸漬後。
販のシリコーンワニスをさらにキシレンで希釈して粘度
を下げ、この中に、フッ化黒鉛を５ｗｔ％どなるように
界面活性剤と共に加えて十分に混合攪拌する。この中に
前記感湿基材を浸漬後。
８０°Ｃで２０分間予備乾燥を行ない、ついで２５０℃
で２０分間焼成し、フッ化黒鉛を含有分散させたメチル
シリコーンを硬化させて硬化皮膜（１０２）とし、この
発明の感湿材料を作製した。
で２０分間焼成し、フッ化黒鉛を含有分散させたメチル
シリコーンを硬化させて硬化皮膜（１０２）とし、この
発明の感湿材料を作製した。
比較例１
実施例１におけるフッ化黒鉛を含有分散させたメチルフ
ェニルシリコーンの皮膜を除き、他は実施例１と同様に
して湿度センサを作製した。
ェニルシリコーンの皮膜を除き、他は実施例１と同様に
して湿度センサを作製した。
比較例２
実施例１におけるメチルフェニルシリコーンを主成分と
する焼成物の代わりに５１０２−Ａ７２０３系セラミッ
クを用い、更にフッ化黒鉛を含有分散させたメチルフェ
ニルシリコーンの皮膜を除き、他は実施例１と同様に、
即ち従来最も一般的なセラミック湿度センサを作製した
。
する焼成物の代わりに５１０２−Ａ７２０３系セラミッ
クを用い、更にフッ化黒鉛を含有分散させたメチルフェ
ニルシリコーンの皮膜を除き、他は実施例１と同様に、
即ち従来最も一般的なセラミック湿度センサを作製した
。
感湿特性測定
実施例１．比較例１．および比較例２の各々の湿度セン
サについて、初期および高温高湿槽（６０℃、９５％Ｒ
Ｈ）中に３００時間放置した加速水和劣化後、湿度セン
サに交流１■を印加して、相対湿度〔チ〕−変化による
抵抗値〔Ω〕変化を測定することにより各湿度センサの
感湿特性を測定した。
サについて、初期および高温高湿槽（６０℃、９５％Ｒ
Ｈ）中に３００時間放置した加速水和劣化後、湿度セン
サに交流１■を印加して、相対湿度〔チ〕−変化による
抵抗値〔Ω〕変化を測定することにより各湿度センサの
感湿特性を測定した。
さらに、セラミック湿度センサである比較例２の湿度セ
ンサ以外の実施例１および比較例１の湿度センサについ
ては、再び、高温高湿槽中に５００時間放置し、都合８
００時間劣化後前記の方法によシ感湿特性を測定した。
ンサ以外の実施例１および比較例１の湿度センサについ
ては、再び、高温高湿槽中に５００時間放置し、都合８
００時間劣化後前記の方法によシ感湿特性を測定した。
その結果を第２図に示す。
図において１曲線（Ａ）、 （ＡＩ）、および（Ａ２）
は各々この発明による感湿材料を用いた湿度センサ即ち
実施例１の湿度センサの初期、水利劣化３００時間後、
および水利劣化８００時間後の感湿特性２曲線（Ｂ）、
（Ｂ１）、および（Ｂ２）は各々比較例１の湿度セン
サの初期、水和劣化３００時間後、および水和劣化８０
０時間後の感湿特性２曲線（Ｃ）、および（Ｃ１）は各
々５ｉ０２− ｇ２ｏ３系セラミック湿度センサ即ち比
較例２の湿度センサの初期、および水和劣化３００時間
後の感湿特性を示す。第２図によシ明らかなように、初
期の感湿特性を比較すると、この発明による感湿材料を
用いた湿度センサ（Ａ）は、フッ化黒鉛を含有分散させ
たメチルシリコーンの皮膜で。
は各々この発明による感湿材料を用いた湿度センサ即ち
実施例１の湿度センサの初期、水利劣化３００時間後、
および水利劣化８００時間後の感湿特性２曲線（Ｂ）、
（Ｂ１）、および（Ｂ２）は各々比較例１の湿度セン
サの初期、水和劣化３００時間後、および水和劣化８０
０時間後の感湿特性２曲線（Ｃ）、および（Ｃ１）は各
々５ｉ０２− ｇ２ｏ３系セラミック湿度センサ即ち比
較例２の湿度センサの初期、および水和劣化３００時間
後の感湿特性を示す。第２図によシ明らかなように、初
期の感湿特性を比較すると、この発明による感湿材料を
用いた湿度センサ（Ａ）は、フッ化黒鉛を含有分散させ
たメチルシリコーンの皮膜で。
被覆しない感湿材料を用いた湿度センサ（Ｂ）に比べ。
高湿度側でや＼電気抵抗値が高いが、その感湿特性を損
う程度ではない。
う程度ではない。
次に、水利劣化２００時間後の感湿特性を比較すると、
従来最も一般的なセラミックの湿度センサであるＥｉｉ
０２− ｋ１２０３系セラミック湿度センサの２００時
間水利劣化後の感湿特性（Ｃ１）は、初期の感湿特性（
０）に比べ著るしく電気抵抗値が増大し、この湿度セン
サは水利劣化しているのが解る。
従来最も一般的なセラミックの湿度センサであるＥｉｉ
０２− ｋ１２０３系セラミック湿度センサの２００時
間水利劣化後の感湿特性（Ｃ１）は、初期の感湿特性（
０）に比べ著るしく電気抵抗値が増大し、この湿度セン
サは水利劣化しているのが解る。
又、有機けい素化合物重合体を主成分とする感湿基材を
もつ実施例１および比較例１で示された湿度センサは、
２００時間水利劣化後の感湿特性（ＡＩ ） 、 （Ｂ
ｌ ）も、それぞれ初期の感湿特性（Ａｌ、 （Ｂ）か
らほとんど変化していす、耐水性に優れた湿度センサで
あることが解る。次に、この耐水性に優れた湿度センサ
について、さらに５００時間水利劣化即ち、初期より都
合８００時間水利劣化させた後の感湿特性（Ａ２） 、
（Ｂ２）を比較すると、感湿部表面にフッ化黒鉛を含
有分散させたメチルシリコーンの皮膜で被覆しない感湿
材料を用いた湿度センサの感湿特性（Ｂ２）は、その初
期の感湿特性（Ｂ）よシや＼電気抵抗値が高くなってい
るが、この発明による湿度センサの感湿特性（Ａ２）は
、初期の感湿特性（Ａｌとほとんど変わらず、電気抵抗
値の経時変化はなく初期の感湿機能を維持していた。し
たがって。
もつ実施例１および比較例１で示された湿度センサは、
２００時間水利劣化後の感湿特性（ＡＩ ） 、 （Ｂ
ｌ ）も、それぞれ初期の感湿特性（Ａｌ、 （Ｂ）か
らほとんど変化していす、耐水性に優れた湿度センサで
あることが解る。次に、この耐水性に優れた湿度センサ
について、さらに５００時間水利劣化即ち、初期より都
合８００時間水利劣化させた後の感湿特性（Ａ２） 、
（Ｂ２）を比較すると、感湿部表面にフッ化黒鉛を含
有分散させたメチルシリコーンの皮膜で被覆しない感湿
材料を用いた湿度センサの感湿特性（Ｂ２）は、その初
期の感湿特性（Ｂ）よシや＼電気抵抗値が高くなってい
るが、この発明による湿度センサの感湿特性（Ａ２）は
、初期の感湿特性（Ａｌとほとんど変わらず、電気抵抗
値の経時変化はなく初期の感湿機能を維持していた。し
たがって。
従来、最も一般的なセラミック湿度センサは、使用前に
、経時変化した特性を初期特性にまで復帰させるのに、
ヒータにより５００℃、１０分間の加熱を必要とするの
に対し、実施例１および比較例１で示した有機けい素化
合物重合体を主成分とする感湿基材をもつ湿度センサは
、ヒータをもだない非加熱型湿度センサ用の感湿材料と
して十分使用でき、特にこの発明の感湿材料は、非加熱
型としてきびしい劣化雰囲気にも耐えうる高信頼性のも
のであシまた。長寿命のものである。
、経時変化した特性を初期特性にまで復帰させるのに、
ヒータにより５００℃、１０分間の加熱を必要とするの
に対し、実施例１および比較例１で示した有機けい素化
合物重合体を主成分とする感湿基材をもつ湿度センサは
、ヒータをもだない非加熱型湿度センサ用の感湿材料と
して十分使用でき、特にこの発明の感湿材料は、非加熱
型としてきびしい劣化雰囲気にも耐えうる高信頼性のも
のであシまた。長寿命のものである。
応答速度測定
さらに、前記３種の初期の湿度センサについて。
相対湿度を５０％ＲＨと８０％ＲＨＯ間で急激に変化さ
せた時の水の吸脱着の応答性を調べた。方法としては、
相対湿度を変化させてから、電気抵抗値が一定になるま
での時間、即ち水の吸着もしくは脱着応登時間を測定し
た。以上の結果を下表に１とめた。
せた時の水の吸脱着の応答性を調べた。方法としては、
相対湿度を変化させてから、電気抵抗値が一定になるま
での時間、即ち水の吸着もしくは脱着応登時間を測定し
た。以上の結果を下表に１とめた。
第１図（ａ）はこの発明の感湿材料を用いた湿度センサ
の断面図２第１図（ｂ）は（ａ）から皮膜と感湿基材を
取り除いた図であシ、第２図は、この発明と従来の感湿
材料を比較する感湿特性図である。 図において（１）は絶縁基板、（２）は電極、（３）は
リード線、 （１０１）は有機けい素化合物重合体を
主成分とする焼成物よシ成る感湿基材、 （１０２）
はフッ化黒鉛を含有分散させたメチルシリコーン硬化皮
膜。 （Ａ１へ（Ａ２）はこの発明の感湿材料の特性、（Ｂ）
〜（Ｂ２）。 （０）、 （０１）は比較例の湿度センナの特性である
。 代理人 葛野信− 第 １ 図（Ｉり ／ 第１図（ｂ）
の断面図２第１図（ｂ）は（ａ）から皮膜と感湿基材を
取り除いた図であシ、第２図は、この発明と従来の感湿
材料を比較する感湿特性図である。 図において（１）は絶縁基板、（２）は電極、（３）は
リード線、 （１０１）は有機けい素化合物重合体を
主成分とする焼成物よシ成る感湿基材、 （１０２）
はフッ化黒鉛を含有分散させたメチルシリコーン硬化皮
膜。 （Ａ１へ（Ａ２）はこの発明の感湿材料の特性、（Ｂ）
〜（Ｂ２）。 （０）、 （０１）は比較例の湿度センナの特性である
。 代理人 葛野信− 第 １ 図（Ｉり ／ 第１図（ｂ）
Claims (1)
- 感湿機能を有する有機けい素化合物重合体を主成分とす
る組成物の焼成物である感湿基材、およびこの感湿基材
を被覆するフッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂およびそ
の変性樹脂の内の少なくとも一種の層を備えた感湿材料
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213505A JPS59102149A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213505A JPS59102149A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59102149A true JPS59102149A (ja) | 1984-06-13 |
| JPH0240183B2 JPH0240183B2 (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=16640304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57213505A Granted JPS59102149A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59102149A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0187205A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Moisture sensitive ceramic material and process for its production |
| US5473933A (en) * | 1992-04-24 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Humidity sensor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715402A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensor |
| JPS57132050A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity-sensitive element |
| JPS57156553A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-27 | Toshiba Corp | Humidity sensitive element |
-
1982
- 1982-12-06 JP JP57213505A patent/JPS59102149A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715402A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensor |
| JPS57132050A (en) * | 1981-02-09 | 1982-08-16 | Mitsubishi Electric Corp | Humidity-sensitive element |
| JPS57156553A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-27 | Toshiba Corp | Humidity sensitive element |
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|---|---|---|---|---|
| EP0187205A2 (en) * | 1984-12-20 | 1986-07-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Moisture sensitive ceramic material and process for its production |
| US5473933A (en) * | 1992-04-24 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Humidity sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0240183B2 (ja) | 1990-09-10 |
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