JPS60186747A - 感湿材料の製造方法 - Google Patents
感湿材料の製造方法Info
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- JPS60186747A JPS60186747A JP59042534A JP4253484A JPS60186747A JP S60186747 A JPS60186747 A JP S60186747A JP 59042534 A JP59042534 A JP 59042534A JP 4253484 A JP4253484 A JP 4253484A JP S60186747 A JPS60186747 A JP S60186747A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、電気抵抗値の変化により雰囲気の相対湿度
を検知する湿度センサー用の感湿材料に関するものであ
る。
を検知する湿度センサー用の感湿材料に関するものであ
る。
〔従来技術１
昨今では、前記のような機能を有する感湿材料としては
１雰囲気に対して物理的、化学的に安定であり強度も高
い金属酸化物系セラミックスが最も多く用いられてさた
。このような従来のセラミックスからなるものの感湿メ
カニズムは、水蒸気が多孔質なセラミック表面で解離し
て生じた水素イオン（Ｈ＋）の濃度が９周囲の相対湿度
によって異なるため、感湿部の電気抵抗値が変化するこ
とを利用したものである。そして、このＨ＋は、下記刊
行物に示されるように相対湿度が低い場合には。
１雰囲気に対して物理的、化学的に安定であり強度も高
い金属酸化物系セラミックスが最も多く用いられてさた
。このような従来のセラミックスからなるものの感湿メ
カニズムは、水蒸気が多孔質なセラミック表面で解離し
て生じた水素イオン（Ｈ＋）の濃度が９周囲の相対湿度
によって異なるため、感湿部の電気抵抗値が変化するこ
とを利用したものである。そして、このＨ＋は、下記刊
行物に示されるように相対湿度が低い場合には。
表面に生、成している水酸基上をホッピングにより伝導
し、相対湿度が高い場合には、水和したＨ”が水溶液中
と同様に水膜を伝導するとされている（刊行物、即ち、
Ｊ、ＨｏＡｎｄｅｒｅｏｎ ａｎｄ Ｇ、Ａ、Ｐａｒ
ｋｓ 二雑誌名： Ｊ、Ｐｈｙｓ、 Ｏｈｅｍ、第１２
巻、第３６６２頁１９６８年発行）。一方、湿度センサ
ーを空調機による自動湿度コントロール等の用途に使用
する場合、駆動および検知回路」二の使い易さの点でよ
り低い電気抵抗値を有する湿度センサーが要望されてい
る。
し、相対湿度が高い場合には、水和したＨ”が水溶液中
と同様に水膜を伝導するとされている（刊行物、即ち、
Ｊ、ＨｏＡｎｄｅｒｅｏｎ ａｎｄ Ｇ、Ａ、Ｐａｒ
ｋｓ 二雑誌名： Ｊ、Ｐｈｙｓ、 Ｏｈｅｍ、第１２
巻、第３６６２頁１９６８年発行）。一方、湿度センサ
ーを空調機による自動湿度コントロール等の用途に使用
する場合、駆動および検知回路」二の使い易さの点でよ
り低い電気抵抗値を有する湿度センサーが要望されてい
る。
しかし、」１記のよりなＨ＋による電気伝導を利用する
ものであって、しかもある程度良好な感度を有するセン
サーである限り、その電気抵抗値には。
ものであって、しかもある程度良好な感度を有するセン
サーである限り、その電気抵抗値には。
下限値（おおむね相対湿度５０％で５０ＯＫΩ程度。
９０％で２０ＫＧ程度）があり、電気抵抗値がより低く
使い易いセンサーは得られ難いのが現状であつた。
使い易いセンサーは得られ難いのが現状であつた。
また、Ｈ＋による電気伝導を利用する従来の大部分のセ
ラミック感湿材料では、空気中での使用または放置によ
って水（湿気）の吸脱着がくり返されると、ＯＨ基が表
面に安定化化学吸着されてしまうために、センサーの抵
抗値が経時的に大きく変化してしまうととが避けられな
いので、これを初期特性にまで復帰させるには、実開昭
５５−１６１２４８゜５５−１６１２４９ 、特開昭５
２−６１７８８ 、５４−７０８９５ 。
ラミック感湿材料では、空気中での使用または放置によ
って水（湿気）の吸脱着がくり返されると、ＯＨ基が表
面に安定化化学吸着されてしまうために、センサーの抵
抗値が経時的に大きく変化してしまうととが避けられな
いので、これを初期特性にまで復帰させるには、実開昭
５５−１６１２４８゜５５−１６１２４９ 、特開昭５
２−６１７８８ 、５４−７０８９５ 。
５４−１０１３９９．５５−８７９４１．５６−２５４
２．５６−ｉ０９０４４゜５６−１６０６４９号公報な
どに見られるように、感湿材料の周囲、カバー、基板内
、電極等にヒーターを設け、感湿材料を５００〜６００
゛Ｏに通電加熱することによって変化した特性を初期特
性にまで復帰させることが行なわれている。しかし、こ
の方法は経済的、省エネルギー的および安全的に見て好
ましいとは言えないものである。
２．５６−ｉ０９０４４゜５６−１６０６４９号公報な
どに見られるように、感湿材料の周囲、カバー、基板内
、電極等にヒーターを設け、感湿材料を５００〜６００
゛Ｏに通電加熱することによって変化した特性を初期特
性にまで復帰させることが行なわれている。しかし、こ
の方法は経済的、省エネルギー的および安全的に見て好
ましいとは言えないものである。
この発明は上記従来のものの欠点を除去するためになさ
れたもので、アルカリ金属の酸化物、複合酸化物、水酸
化物および酸素酸塩のアルカリ金属化合物の内の少な（
とも一種と、有機けい素化合物重合体、並びにゼオライ
トを含有する組成物の焼成残留物を用いることにより、
経時劣化防止用の加熱装置（ヒーター）を必ずしも必要
とせずとも長期間感湿特性の安定した感湿材料を提供す
ることを目的とする。
れたもので、アルカリ金属の酸化物、複合酸化物、水酸
化物および酸素酸塩のアルカリ金属化合物の内の少な（
とも一種と、有機けい素化合物重合体、並びにゼオライ
トを含有する組成物の焼成残留物を用いることにより、
経時劣化防止用の加熱装置（ヒーター）を必ずしも必要
とせずとも長期間感湿特性の安定した感湿材料を提供す
ることを目的とする。
この発明の一実施例に係わる有機けい素化合物重合体と
しては１例えばメチルフェニルシリコーン、メチルシリ
コーンおよびエポキシ樹脂変性メチルシリコーンなどの
オルガノポリシロキサンの初期重合物をトルエンおよび
キシｌノンなどの溶剤に溶解した市販のシリコーンフェ
スを用い、これらは焼成して多孔質化し、アルカリ金属
およびゼオライトを結合する結ａ剤として働（。
しては１例えばメチルフェニルシリコーン、メチルシリ
コーンおよびエポキシ樹脂変性メチルシリコーンなどの
オルガノポリシロキサンの初期重合物をトルエンおよび
キシｌノンなどの溶剤に溶解した市販のシリコーンフェ
スを用い、これらは焼成して多孔質化し、アルカリ金属
およびゼオライトを結合する結ａ剤として働（。
この発明の一実施例に係わるアルカリ金属化合物として
は、アルカリ金属の酸化物、複合酸化物。
は、アルカリ金属の酸化物、複合酸化物。
水酸化物および酸素酸塩のうち少なくとも一種のものを
用いる必要がある。なぜなら１発明者はアルカリ金属の
他の化合物（塩化物等）についても実施例と同様の実験
を行なったところ、耐水性が不良であって経時変化を生
じ易く、ゼオライトの複合効果を期待できないことが確
認されたからである。
用いる必要がある。なぜなら１発明者はアルカリ金属の
他の化合物（塩化物等）についても実施例と同様の実験
を行なったところ、耐水性が不良であって経時変化を生
じ易く、ゼオライトの複合効果を期待できないことが確
認されたからである。
この発明の一実施例に係わるゼオライトとしてＣ１，天
然および合成のアルミノケイ酸塩を用いることができる
。Ｎａ塩が一般的であり１合成ゼオライト類が市販され
ているため入手し易い。
然および合成のアルミノケイ酸塩を用いることができる
。Ｎａ塩が一般的であり１合成ゼオライト類が市販され
ているため入手し易い。
なお、この発明の一実施例の感湿材料が皮膜の造膜効果
、乾燥および硬化促進、亀裂防止並びに下地基板への接
着性向上の目的で以下に示す金属酸化物等の無機質材料
粉末を添加剤として含有することがある。
、乾燥および硬化促進、亀裂防止並びに下地基板への接
着性向上の目的で以下に示す金属酸化物等の無機質材料
粉末を添加剤として含有することがある。
以下実施例を示すことによりこの発明の詳細な説明する
が、これによりこの発明を限定するものではない。
が、これによりこの発明を限定するものではない。
実施例１
第１図は、この発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度
センサーの斜視図であり１図において。
センサーの斜視図であり１図において。
（１）は絶縁基板、（２）は電極、（３）は感湿皮膜、
（４）はリード線である。
（４）はリード線である。
即ち、アルミナの絶縁基板（１）上に、Ｐｔ−Ｐｄ合金
系ペーストにて０．２ ｍｍ間隔で１０対の（し形状の
電極（２）をスクリーン印刷（、、ｐｔのリード線（４
）を取り付は後焼付けを行なった。この上に、下記組成
例１．の組成物にシンナーを加えて撹拌機にて混線後、
混合物を浸漬処理により、約５ Ｑ ７ｚｍの厚さに塗
布し、８０°０１０分間の予備焼成後、６００’０で３
０分間焼成して感湿皮膜（３）を得、第１図のようなこ
の発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーを製
作した。
系ペーストにて０．２ ｍｍ間隔で１０対の（し形状の
電極（２）をスクリーン印刷（、、ｐｔのリード線（４
）を取り付は後焼付けを行なった。この上に、下記組成
例１．の組成物にシンナーを加えて撹拌機にて混線後、
混合物を浸漬処理により、約５ Ｑ ７ｚｍの厚さに塗
布し、８０°０１０分間の予備焼成後、６００’０で３
０分間焼成して感湿皮膜（３）を得、第１図のようなこ
の発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーを製
作した。
組成例１゜
添加剤： Ａｌ２Ｏ３９，４７１
マイカ １．４〃
硬化剤（アミン）５０〃
このようにして製作したこの発明の一実施例の感湿材料
を用いた湿度センサーと、感湿皮膜に＋２５０’０で４
時間焼結したＡｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−ＺｎＯ系セラミック
スを用い、他は第１図の場合と同様にして得だ従来タイ
プのセラミック湿度センサーとの両サンプルにより、感
湿特性（相対湿度（％）−電気抵抗（（１） ）とその
経時変化を比較測定したところ、第２図の結果が得られ
た。なお、印加電圧は交流１ｖ。
を用いた湿度センサーと、感湿皮膜に＋２５０’０で４
時間焼結したＡｌ２Ｏ３−ＭｇＯ−ＺｎＯ系セラミック
スを用い、他は第１図の場合と同様にして得だ従来タイ
プのセラミック湿度センサーとの両サンプルにより、感
湿特性（相対湿度（％）−電気抵抗（（１） ）とその
経時変化を比較測定したところ、第２図の結果が得られ
た。なお、印加電圧は交流１ｖ。
５０ ｔｌｚである。第２図において１曲線（Ａ１）お
よび（Ａ２）は従来タイプのものの初期および６か月間
室内放置後の感湿特性を示し１曲線（Ｂ１）および（Ｂ
２）はこの発明の一実施例の感湿材料を用いたものの初
期および６か月間室内放置後の感湿特性である。
よび（Ａ２）は従来タイプのものの初期および６か月間
室内放置後の感湿特性を示し１曲線（Ｂ１）および（Ｂ
２）はこの発明の一実施例の感湿材料を用いたものの初
期および６か月間室内放置後の感湿特性である。
この図から明らかなように、従来のＨ十伝導タイプのセ
ラミックスを感湿材料に用いた湿度センサーは、６か月
間放置後には、抵抗値が初期と比べて２桁はど大となり
、感湿機能もかなり低下してしまったのに対して、この
発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーは、６
か月間放置後にはわずかに抵抗値が小となったのみであ
り、感湿機能の低下も茸られなかった。また、初期の感
湿特性曲線（Ａ１）および（Ｂ１）を比較するとわかる
ように。
ラミックスを感湿材料に用いた湿度センサーは、６か月
間放置後には、抵抗値が初期と比べて２桁はど大となり
、感湿機能もかなり低下してしまったのに対して、この
発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーは、６
か月間放置後にはわずかに抵抗値が小となったのみであ
り、感湿機能の低下も茸られなかった。また、初期の感
湿特性曲線（Ａ１）および（Ｂ１）を比較するとわかる
ように。
この発明の一実施例の感湿材料を用いたものの方が従来
のものよりも抵抗値が１桁以上小さく、たとえば相対湿
度５０％では５０にΩ、９０φでは１にΩであるため３
回路上使い易いものである。この発明の感湿材料の抵抗
値が低い理由は、伝導形式がＨ＋伝導ではなく、吸着水
の水相によるアルカリ金属イオン（この場合はＬｉ）に
よる伝導であるために、各相対湿度において感湿材料表
面に吸着した水の中をこのイオンが動くことができるた
めと考えられる。この場合、添加したゼオライトは。
のものよりも抵抗値が１桁以上小さく、たとえば相対湿
度５０％では５０にΩ、９０φでは１にΩであるため３
回路上使い易いものである。この発明の感湿材料の抵抗
値が低い理由は、伝導形式がＨ＋伝導ではなく、吸着水
の水相によるアルカリ金属イオン（この場合はＬｉ）に
よる伝導であるために、各相対湿度において感湿材料表
面に吸着した水の中をこのイオンが動くことができるた
めと考えられる。この場合、添加したゼオライトは。
よく知られているように、微細な三次元カゴ状構造を有
しており、伝導に寄与するアルカリ金属イオンは、湿気
がほとんどない場合にはこのカゴ状構造中に存在し、湿
度が上がって（ると、Ｈ２Ｏによって外に呼び出されて
吸着水中に溶出するものと考えられる。すなわち、ゼオ
ライトは、アルカリ金属イオンを安定に存在させ、かつ
その出入りを円滑に行なわせる役目を成すものと推察さ
れる。
しており、伝導に寄与するアルカリ金属イオンは、湿気
がほとんどない場合にはこのカゴ状構造中に存在し、湿
度が上がって（ると、Ｈ２Ｏによって外に呼び出されて
吸着水中に溶出するものと考えられる。すなわち、ゼオ
ライトは、アルカリ金属イオンを安定に存在させ、かつ
その出入りを円滑に行なわせる役目を成すものと推察さ
れる。
実施例２゜
下記組成例２．０組成物にシンナーを加えて撹拌機にて
混練後、混練物を実施例１．と同様に電極およびリード
線を形成したアルミナ基板上にハケ塗りにて約４０μｍ
の厚さに塗布した。ついで、 ８０ ’０３０分間の乾
燥後、８５０°Ｃで１．５時間焼成して感湿皮膜を得、
第１図と同様の湿度センサーを製作した。
混練後、混練物を実施例１．と同様に電極およびリード
線を形成したアルミナ基板上にハケ塗りにて約４０μｍ
の厚さに塗布した。ついで、 ８０ ’０３０分間の乾
燥後、８５０°Ｃで１．５時間焼成して感湿皮膜を得、
第１図と同様の湿度センサーを製作した。
組成例２゜
アルカリ金属酸素酸塩： Ｎａ２ＣＯ１５２１，４＃添
加物：Ｔｊ０２ ５．２ ｒｒ Ｍｇ６（Ｅ１１４０＋ｏ）（ＯＨ）２４．３ ｓこのよ
うにして製作したこの発明の他の実施例の感湿材料を用
いた湿度センサーと、感湿材料として１４５０℃で５時
間焼結したＣｒ２Ｏ３−０ａＯ系セラばツクスを用い、
他は第１図の場合と同様の従来タイプのセラミック湿度
センサーとの両ザンゾルにより、感湿特性（相対湿度（
％）−電気抵抗（Ω））とその経時変化を実施例１．０
場合と同様に測定した。この場合、経時劣化を促進する
ために１両センサーを６０°０．相対湿度９５％の恒温
恒湿槽中に３００時間放置した後の感湿特性を測定し、
て初期特性と比較した。その結果を第３図に示す。第３
図において１曲線（Ｃ１）および（Ｃ２）は、従来タイ
プのものの初期および劣化促進テスト後の特性を示し１
曲線（Ｄｌ）および（Ｂ２）は、この発明の他の実施例
の感湿材料を用いたものの初期および劣化促進テスト後
の特性である。第３図から、この発明の他の実施例の感
湿材料を用いたものは、従来タイプのものに比べて初期
特性において約１桁抵抗値が低く、まだ従来タイプのも
のは、劣化促進テスト後には抵抗値が２桁はど大となっ
てしまったのに対して、この発明の他の実施例の感湿材
料を用いたものは、テスト後も抵抗値がやや小となった
のみであることが明らかである。なお、劣化促進テスト
において、従来タイプのものの初期特性が太ざく変化Ｖ
−た理由は、やはりＯＨ基の強い化学吸着と吸着水の毛
細管凝縮にともなうセラミックの微細構造中における粒
子の体積膨張による細孔の閉塞が主であると推察される
。また、この発明の他の実施例の感湿材料を用いたもの
ではこの場合もゼオライト中に安定に存在する水和した
Ｎａが感湿皮膜中を移動するという伝導形成をとるもの
と考えられる。
加物：Ｔｊ０２ ５．２ ｒｒ Ｍｇ６（Ｅ１１４０＋ｏ）（ＯＨ）２４．３ ｓこのよ
うにして製作したこの発明の他の実施例の感湿材料を用
いた湿度センサーと、感湿材料として１４５０℃で５時
間焼結したＣｒ２Ｏ３−０ａＯ系セラばツクスを用い、
他は第１図の場合と同様の従来タイプのセラミック湿度
センサーとの両ザンゾルにより、感湿特性（相対湿度（
％）−電気抵抗（Ω））とその経時変化を実施例１．０
場合と同様に測定した。この場合、経時劣化を促進する
ために１両センサーを６０°０．相対湿度９５％の恒温
恒湿槽中に３００時間放置した後の感湿特性を測定し、
て初期特性と比較した。その結果を第３図に示す。第３
図において１曲線（Ｃ１）および（Ｃ２）は、従来タイ
プのものの初期および劣化促進テスト後の特性を示し１
曲線（Ｄｌ）および（Ｂ２）は、この発明の他の実施例
の感湿材料を用いたものの初期および劣化促進テスト後
の特性である。第３図から、この発明の他の実施例の感
湿材料を用いたものは、従来タイプのものに比べて初期
特性において約１桁抵抗値が低く、まだ従来タイプのも
のは、劣化促進テスト後には抵抗値が２桁はど大となっ
てしまったのに対して、この発明の他の実施例の感湿材
料を用いたものは、テスト後も抵抗値がやや小となった
のみであることが明らかである。なお、劣化促進テスト
において、従来タイプのものの初期特性が太ざく変化Ｖ
−た理由は、やはりＯＨ基の強い化学吸着と吸着水の毛
細管凝縮にともなうセラミックの微細構造中における粒
子の体積膨張による細孔の閉塞が主であると推察される
。また、この発明の他の実施例の感湿材料を用いたもの
ではこの場合もゼオライト中に安定に存在する水和した
Ｎａが感湿皮膜中を移動するという伝導形成をとるもの
と考えられる。
実施例３
Ｆ記組成例３．〜５の組成物を用いて、実施例１．。
２と同様に１〜て第１図のようなこの発明の他の実施例
の感湿材料を用いた湿度センナ−をそれぞれ製作して、
感湿特性（相対湿ＩＷ（（６）−電気抵抗（Ｑ））とそ
の経時変化を調べだ。その結果、実施例１．お」；び２
．の場合と同様に、これらのこの・発明の他の実施例の
感湿材料を用いた湿度センサーは、ＯＨ基の固着昏′乙
Ｙる感湿特性の経時変化がほどんどないものであること
が判明した。
の感湿材料を用いた湿度センナ−をそれぞれ製作して、
感湿特性（相対湿ＩＷ（（６）−電気抵抗（Ｑ））とそ
の経時変化を調べだ。その結果、実施例１．お」；び２
．の場合と同様に、これらのこの・発明の他の実施例の
感湿材料を用いた湿度センサーは、ＯＨ基の固着昏′乙
Ｙる感湿特性の経時変化がほどんどないものであること
が判明した。
組成例３
アルカリ金＠複合酸化物： Ｂ２Ｃｒ２０４ ６．３
・添加剤、マイカ ６．＋ Ｎ Ｆθ２０５ １３，９ ｒ＋ 組成例４４ アルカリ金属水酸化物 ＫＯＨ９，３ＩＩ添加剤’ Ｃ
ｒ２Ｏ３５，Ｑ ｕ Ａ１２０５ ６，１ｒｒ ベントナイト４４ ノ１ 組成例５ アルカリ金属酸素酸ｊ盆： Ｌｉ２８０４ ８．（ｉ
ｎ実施例４ 組成例１の組成物を用い、焼成温度を変化させて実施例
１と同様に湿度センサーを製作１７．その感７Ｗ特性（
相対湿度（％）−電気抵抗（Ω））について調査した。
・添加剤、マイカ ６．＋ Ｎ Ｆθ２０５ １３，９ ｒ＋ 組成例４４ アルカリ金属水酸化物 ＫＯＨ９，３ＩＩ添加剤’ Ｃ
ｒ２Ｏ３５，Ｑ ｕ Ａ１２０５ ６，１ｒｒ ベントナイト４４ ノ１ 組成例５ アルカリ金属酸素酸ｊ盆： Ｌｉ２８０４ ８．（ｉ
ｎ実施例４ 組成例１の組成物を用い、焼成温度を変化させて実施例
１と同様に湿度センサーを製作１７．その感７Ｗ特性（
相対湿度（％）−電気抵抗（Ω））について調査した。
代表例として、第４図に４５０’０および５５０′（］
焼成の場合の初期感湿特性とその室内放置６か力抜の・
変化を示す、っ第４図において１曲線（Ｅｌ）は４５０
°０焼成のもの、 （ＦＴ）ば５５０ ’Ｏ焼成のもの
の初！ｌｔ感湿特性、 （Ｂ２）および（Ｆ’２）はそ
れぞれのものの６７））月間室内放置級の感湿特性であ
る。この図の（Ｅｌ）および（Ｂ２）力・ら１１１かる
よ５に、焼成温度が５００“Ｏ以−１：の場合には、自
機Ｖｆ′い素化合物重合体の熱分解が不十分でｋ）るん
―め感度が低く、かつ経時的に低抵抗化を生じ易い。こ
ｉｉ、、 ｙｃ対して５ＱＯ’Ｏ以上で焼成し、た場合
には（ＦＴ）、 （Ｐ２）ならびに第２図の（１３１）
、（Ｂ２）かられかるよつＱ′ζ有機分の分解がかなり
進ｆＢ’るため、感度が良好であり、かつ感湿特性の経
時変化を生ｌ二（・・Ｃくいことが判明した。まだ。
焼成の場合の初期感湿特性とその室内放置６か力抜の・
変化を示す、っ第４図において１曲線（Ｅｌ）は４５０
°０焼成のもの、 （ＦＴ）ば５５０ ’Ｏ焼成のもの
の初！ｌｔ感湿特性、 （Ｂ２）および（Ｆ’２）はそ
れぞれのものの６７））月間室内放置級の感湿特性であ
る。この図の（Ｅｌ）および（Ｂ２）力・ら１１１かる
よ５に、焼成温度が５００“Ｏ以−１：の場合には、自
機Ｖｆ′い素化合物重合体の熱分解が不十分でｋ）るん
―め感度が低く、かつ経時的に低抵抗化を生じ易い。こ
ｉｉ、、 ｙｃ対して５ＱＯ’Ｏ以上で焼成し、た場合
には（ＦＴ）、 （Ｐ２）ならびに第２図の（１３１）
、（Ｂ２）かられかるよつＱ′ζ有機分の分解がかなり
進ｆＢ’るため、感度が良好であり、かつ感湿特性の経
時変化を生ｌ二（・・Ｃくいことが判明した。まだ。
他の組成例のものについても同様の調査を行な、つんと
ころ、」１記と同一の結果が得られた・したがって、こ
の発明の実施例の感湿材料は、ｓｏｏ’ｏ以上の焼成で
得られるのが好ましい。又、１２００’Ｏ以−ヒでは焼
結１〜で焼成物が多孔質化せず感度が得られず好ましく
ない。
ころ、」１記と同一の結果が得られた・したがって、こ
の発明の実施例の感湿材料は、ｓｏｏ’ｏ以上の焼成で
得られるのが好ましい。又、１２００’Ｏ以−ヒでは焼
結１〜で焼成物が多孔質化せず感度が得られず好ましく
ない。
以上説明１〜だとおり、この発明は、アルカリ金属の酸
化物、複合酸化物、水酸化物および酸素酸塩のアルカリ
金属酸化物の内の少なくとも−・種と。
化物、複合酸化物、水酸化物および酸素酸塩のアルカリ
金属酸化物の内の少なくとも−・種と。
有機けい素化合物重合体、０１コび（゛こゼオラ・イト
を含有する組成′物の焼成残留物を用い仏、−とにより
。
を含有する組成′物の焼成残留物を用い仏、−とにより
。
経時劣化防ＩＦ用の加熱装置４（ヒーター ）を必ずし
も必要とぜずとも長期間感湿特性の安定した感湿材料を
得ることができ１例えば湿度センサーに慣用である。
も必要とぜずとも長期間感湿特性の安定した感湿材料を
得ることができ１例えば湿度センサーに慣用である。
第１図＆．Ｊ、、、一の発明り一実施例の感７々１４．
４材領用いた湿度センサーの斜視図，第２図ｊ６よび第
３図は，それぞれこの発明の実施例の感湿｛オ訓を用い
た湿度センナ−と従来の湿度センサーを比較する感湿特
性図．第４図は，この発明の一実施例の感湿材料を用い
た湿度センサーの各焼成温度における感湿特性図−（！
必る。 図において、（１）は絶縁基板、 ＋２１は電極、（３
）は感湿皮膜、（４）はリー ド線（ＡＴ）、 （Ａ２
）、 （Ｃ１）、 （０２）は比較従来例の感湿特性、
（Ｂ１）、 （１３２）、 （ＤＩ）、 （Ｂ２）。 （’ｈ）、 （Ｈ”２）、 （Ｆｌ）、 （Ｆ２）はこ
の発明の実施例の感湿材料令・用いた種度センサーの感
湿特性である。 代理人大岩増雄 第１図 第２図 相鮨湿渡 （幻 第３図 ２１目 幻 湿 度 （刈 第４図 相対湿度（蜀
４材領用いた湿度センサーの斜視図，第２図ｊ６よび第
３図は，それぞれこの発明の実施例の感湿｛オ訓を用い
た湿度センナ−と従来の湿度センサーを比較する感湿特
性図．第４図は，この発明の一実施例の感湿材料を用い
た湿度センサーの各焼成温度における感湿特性図−（！
必る。 図において、（１）は絶縁基板、 ＋２１は電極、（３
）は感湿皮膜、（４）はリー ド線（ＡＴ）、 （Ａ２
）、 （Ｃ１）、 （０２）は比較従来例の感湿特性、
（Ｂ１）、 （１３２）、 （ＤＩ）、 （Ｂ２）。 （’ｈ）、 （Ｈ”２）、 （Ｆｌ）、 （Ｆ２）はこ
の発明の実施例の感湿材料令・用いた種度センサーの感
湿特性である。 代理人大岩増雄 第１図 第２図 相鮨湿渡 （幻 第３図 ２１目 幻 湿 度 （刈 第４図 相対湿度（蜀
Claims (1)
- アルカリ金属の酸化物、腹合酸化物、水酸化物および酸
素酸塩のアルカリ金属化合物の内の少なくとも一種と、
有機けい素化合物重合体、並びにゼオライトを含有する
組成物の焼成残留物から成る感湿材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042534A JPS60186747A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 感湿材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59042534A JPS60186747A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 感湿材料の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60186747A true JPS60186747A (ja) | 1985-09-24 |
| JPH051420B2 JPH051420B2 (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=12638740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59042534A Granted JPS60186747A (ja) | 1984-03-06 | 1984-03-06 | 感湿材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60186747A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0242834A2 (en) * | 1986-04-24 | 1987-10-28 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Humidity-sensing component composition |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715402A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensor |
| JPS58124939A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Hitachi Ltd | ガスセンサ |
| JPS58166701A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | 株式会社デンソー | 感湿素子の製造方法 |
-
1984
- 1984-03-06 JP JP59042534A patent/JPS60186747A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5715402A (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | Moisture sensor |
| JPS58124939A (ja) * | 1982-01-22 | 1983-07-25 | Hitachi Ltd | ガスセンサ |
| JPS58166701A (ja) * | 1982-03-26 | 1983-10-01 | 株式会社デンソー | 感湿素子の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0242834A2 (en) * | 1986-04-24 | 1987-10-28 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Humidity-sensing component composition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH051420B2 (ja) | 1993-01-08 |
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