JPS61147139A - 感湿材料 - Google Patents
感湿材料Info
- Publication number
- JPS61147139A JPS61147139A JP26895584A JP26895584A JPS61147139A JP S61147139 A JPS61147139 A JP S61147139A JP 26895584 A JP26895584 A JP 26895584A JP 26895584 A JP26895584 A JP 26895584A JP S61147139 A JPS61147139 A JP S61147139A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- sensitive material
- calcined
- humidity
- alkali
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電気抵抗値の変化によって雰囲気の相対湿度
を検知する湿度センサ用の感湿材料に関するものである
。
を検知する湿度センサ用の感湿材料に関するものである
。
昨今の感湿材料としては、雰囲気に対して物理的・化学
的に安定であり強度も高い金属酸化物系焼結体（セラミ
ックス）が最も多く用いられている。しかし、従来の大
部分のセラミック感湿材料では、空気中での使用または
放置によって水（湿気）の吸脱着が繰り返されると、こ
れが表面に水酸基（ＯＨ）となって化学吸着さｈて安定
化さｈて［まう斤め、セラミックスを用いにセンサの抵
抗値が経時的に大きく変化（高抵抗化）してしまうこと
が避けられなかった。この現象は感湿材料表面にオイル
ミストなどの汚染物質が付着しなくとも生じるものであ
るため、比較的清浄な雰囲気での使用においても何らか
の対策を講することが必要であった。そこで近年は、実
開昭５５−１６１２４８゜同１６１２４９．特開昭５２
−［７８８，５４−Ｔ・ｏａｓｓ。
的に安定であり強度も高い金属酸化物系焼結体（セラミ
ックス）が最も多く用いられている。しかし、従来の大
部分のセラミック感湿材料では、空気中での使用または
放置によって水（湿気）の吸脱着が繰り返されると、こ
れが表面に水酸基（ＯＨ）となって化学吸着さｈて安定
化さｈて［まう斤め、セラミックスを用いにセンサの抵
抗値が経時的に大きく変化（高抵抗化）してしまうこと
が避けられなかった。この現象は感湿材料表面にオイル
ミストなどの汚染物質が付着しなくとも生じるものであ
るため、比較的清浄な雰囲気での使用においても何らか
の対策を講することが必要であった。そこで近年は、実
開昭５５−１６１２４８゜同１６１２４９．特開昭５２
−［７８８，５４−Ｔ・ｏａｓｓ。
同１（Ｎ３９９．５５−８７９４１．５６−２５４２．
同１０９０４４、同１６０６４９号公報などに見らｈる
ように、上記感湿材料の周囲、カバー、基板内、ＩＭ。
同１０９０４４、同１６０６４９号公報などに見らｈる
ように、上記感湿材料の周囲、カバー、基板内、ＩＭ。
極等にヒーターを設け、感湿材料を５００〜６００℃に
通電〃■熱することによって、変化し−た特性を初期特
性にまで復帰させることが行なわれている。
通電〃■熱することによって、変化し−た特性を初期特
性にまで復帰させることが行なわれている。
しかし、この方法は経済的、省エネルギー的および安全
的に見て好ましいとけ言えないものである。
的に見て好ましいとけ言えないものである。
そこで行なわわたのが、感湿材料自体の改良であり、こ
れによってヒーター加熱をしなくとも抵抗値（感湿特性
）の経時変化が小さｂものを製作することであった。こ
ｈらの例として挙げられるのけ９％開昭５６１２００１
１．実開昭５７−８３４５７号公報等のようなセラミッ
クスおよびガラスにアルカリ塩類を添加したものおよび
特開昭５６−４２０１、同４２０２．同４２０３．同６
０２８１．５７−８０７０３．同９０９０１．同９０９
０３．同１３３６０１゜同１３９９０１．同１４５３０
１．同１４５３０２．同１１１４２０３、同１８０２０
４，５Ｂ−３７９０１号公報等のようにセラミックス原
料にアルカリ金属酸化物およびアルカリ金属複合酸化物
を添加して焼結したものであり、すべてＬｉ＋、 Ｋ＋
、 Ｎａ＋ などのアルカリイオンを添加したもの（
アルカリ添加タイプ）であると言える。
れによってヒーター加熱をしなくとも抵抗値（感湿特性
）の経時変化が小さｂものを製作することであった。こ
ｈらの例として挙げられるのけ９％開昭５６１２００１
１．実開昭５７−８３４５７号公報等のようなセラミッ
クスおよびガラスにアルカリ塩類を添加したものおよび
特開昭５６−４２０１、同４２０２．同４２０３．同６
０２８１．５７−８０７０３．同９０９０１．同９０９
０３．同１３３６０１゜同１３９９０１．同１４５３０
１．同１４５３０２．同１１１４２０３、同１８０２０
４，５Ｂ−３７９０１号公報等のようにセラミックス原
料にアルカリ金属酸化物およびアルカリ金属複合酸化物
を添加して焼結したものであり、すべてＬｉ＋、 Ｋ＋
、 Ｎａ＋ などのアルカリイオンを添加したもの（
アルカリ添加タイプ）であると言える。
上記のようなアルカリ添加タイプのものは、前述のセラ
ミックタイプのものに見られる経時的な高抵抗化現象は
見られないが、高湿度雰囲気中で低抵抗化（安定化）す
るために、エージングが必要である。結露が起こる雰囲
気中で特性変化を生じる。感湿（相対湿度−抵抗値）特
性のヒステリシスが大きく、応答速度が遅くなるなどの
新たな問題点があった。
ミックタイプのものに見られる経時的な高抵抗化現象は
見られないが、高湿度雰囲気中で低抵抗化（安定化）す
るために、エージングが必要である。結露が起こる雰囲
気中で特性変化を生じる。感湿（相対湿度−抵抗値）特
性のヒステリシスが大きく、応答速度が遅くなるなどの
新たな問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになさＩ′ま
たもので、経時劣化防止用の加熱装置（ヒーター）を必
ずしも必要とせずとも高湿度雰囲気および結露雰囲気中
においても特性の変化がほとんどなく、かつ感湿特性の
ヒステリシスが小さく応答速度が速い感湿材料を提供す
ることを目的とするものである。
たもので、経時劣化防止用の加熱装置（ヒーター）を必
ずしも必要とせずとも高湿度雰囲気および結露雰囲気中
においても特性の変化がほとんどなく、かつ感湿特性の
ヒステリシスが小さく応答速度が速い感湿材料を提供す
ることを目的とするものである。
この発明の感湿材料は、有機けい素化合物重合体、金属
粒子およびアルカリケイ酸塩を主成分とする混合焼成物
から成る。
粒子およびアルカリケイ酸塩を主成分とする混合焼成物
から成る。
この発明における金属粒子は、感湿材料に電子伝導性を
付与するため、水の化学吸着によって○Ｈが安定に生成
しても、導電性がこ九に左右さｈない。
付与するため、水の化学吸着によって○Ｈが安定に生成
しても、導電性がこ九に左右さｈない。
又、この発明におけるアルカリケイ酸塩によるアルカリ
イオンは、感湿部表面の吸着水によって呼び出され９表
面電気伝導に加わることにより感湿材料の抵抗値が低く
なり、ケイ酸は、有機けい素化合物との相溶性もあり、
結合剤となり感湿材料の機械的強度が大となる・ 〔実施例〕 この発明に係わる有機けい素化合物重合体としては９例
えばオルガノポリシロキサンの初期重合物をトルエン、
キシレンなどの溶剤に溶解させた市販のシリコーンフェ
スなどが使い易い。また。
イオンは、感湿部表面の吸着水によって呼び出され９表
面電気伝導に加わることにより感湿材料の抵抗値が低く
なり、ケイ酸は、有機けい素化合物との相溶性もあり、
結合剤となり感湿材料の機械的強度が大となる・ 〔実施例〕 この発明に係わる有機けい素化合物重合体としては９例
えばオルガノポリシロキサンの初期重合物をトルエン、
キシレンなどの溶剤に溶解させた市販のシリコーンフェ
スなどが使い易い。また。
エポキシ変性シリコーン、アクリル変性シリコーンなど
の変性タイプのものも使用することができる。
の変性タイプのものも使用することができる。
なお、この発明者らは上記有機けい素化合物重合体を出
発原料の主成分とする感湿材料について。
発原料の主成分とする感湿材料について。
これまでに特開昭５６−１２６７５６．５７−１５４０
２゜５８−５５８４７号公報等多数の提案を行なってい
る。
２゜５８−５５８４７号公報等多数の提案を行なってい
る。
この発明に係わる金属粒子としては、 Ａｌ、 ａｕ
。
。
Ｎｉ、 Ｏｒ、 Ｐｔ、 ＡｕおよびＡｇなどの内の少
なくとも一種が用いらり９例えば有機バインダーに分散
させたものを甲いても良い。
なくとも一種が用いらり９例えば有機バインダーに分散
させたものを甲いても良い。
この発明に係わるアルカリケイ酸塩とし、では。
例えばケイ酸ナトリウム、ケイ酸リチウムおよびケイ酸
カリウムなどの内の少なくとも一種が甲いらｈる。
カリウムなどの内の少なくとも一種が甲いらｈる。
なお、この発明の実施例の感湿材料が皮膜の造膜効果、
乾燥および硬化促進、亀裂防止並びに下地基板への接着
性向上の目的で以下に示す金属酸化物等の無機質材料粉
末を添加剤として含有することがある。
乾燥および硬化促進、亀裂防止並びに下地基板への接着
性向上の目的で以下に示す金属酸化物等の無機質材料粉
末を添加剤として含有することがある。
又、上記組成物から成るこの発明の感湿材料の出発原料
をペースト状に混練したものを絶縁性基板上に塗布焼ｒ
Ｊνすることによって皮膜状に形成すると製作上簡単で
好都合である。
をペースト状に混練したものを絶縁性基板上に塗布焼ｒ
Ｊνすることによって皮膜状に形成すると製作上簡単で
好都合である。
以下実施例を示すことによりこの発明の詳細な説明する
が、これによりこの発明を限定するものではない。
が、これによりこの発明を限定するものではない。
実施例
草１図は、この発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度
センサの斜視ツであり１図において、（１）は絶縁基板
、（２）は電極、（３）け感湿皮膜、（４）けり−ド線
である。
センサの斜視ツであり１図において、（１）は絶縁基板
、（２）は電極、（３）け感湿皮膜、（４）けり−ド線
である。
即ち、 Ａｌ２Ｏ！！ の絶縁基板（１）上Ｋ Ｐｔ
−Ｐｄ 系ベーストにて０．２ｆｉ間隔で１０対のく
し形状の１４ｉ、極（２）をスクリーン印刷し、 ｐ
ｔのリード線（４）を取り付は後焼付けを行々つた。こ
の上に下記組成例の組成物にシンナーを加えて攪拌機に
て混練後、混練物を浸漬処理により約４０μｍ の厚實
に塗布し。
−Ｐｄ 系ベーストにて０．２ｆｉ間隔で１０対のく
し形状の１４ｉ、極（２）をスクリーン印刷し、 ｐ
ｔのリード線（４）を取り付は後焼付けを行々つた。こ
の上に下記組成例の組成物にシンナーを加えて攪拌機に
て混練後、混練物を浸漬処理により約４０μｍ の厚實
に塗布し。
４６０℃で１．５時間焼成して感湿皮膜（３）を得、
！１図のようなこの発明の一実施例の感湿材料を用いた
湿度センサーを得た。
！１図のようなこの発明の一実施例の感湿材料を用いた
湿度センサーを得た。
組成例
有機けい素化合物重合体：メチルフェニルシリコーン
５３．９重量％ 金属粒子：Ａ１粉末 ２７．３ ＃ケ
イ酸アルカリ：ケイ酸カリウム １２．４１１添刀口
ＷＪ ： Ｍｇ５（８１４０１０）（ＯＨ）２
６．４ ｐさらに感湿皮膜にＡ１２０
３−Ｍｇ０−ＺｎＯ系セラミックスおよびこｈにアルカ
リであるＮａ２Ｑを添加したセラミックスをそれぞれ１
２５０℃で４時間焼成したものを甲い、他は第１図と同
様にして得た従来タイプのセラミック湿度センサおよび
アルカリ添カロ型セうミック湿度センサを製作した。上
記３種のサンプルにより、焼成後の感湿特性（相対湿度
（イ）−電気抵抗■）とその経時変化を比較測定したと
ころ、第２図の結果がｐｃ＝ｈｆｃｏなお印〃口電圧は
交流ｔｏｖ： ５０Ｈ２であり、経時変化としては一
般家庭への室内放働″後の特性を測定しに０第２図ＶＣ
おいて曲＃ｉ！ （ＡＩ ）は従来のセラミックタイプ
、 （Ｂ１１は従来のアルカリ添加タイプ、（（！１
）はこの発明の一実施例の感湿材料を用いたもののそれ
ぞｈ初期感湿特性であり＋ （Ａ２）、 （Ｂ２）
および（Ｃ２）はそｈぞｈのものの６か月間放置後
の感湿特性である。この図から明らかなように、従来の
セラミックタイプの感湿材料を用いたセンサけ、６か月
間放置後には抵抗値が初期と比べて１桁以上大となり、
検知感度（曲線の傾き）も低湿度佃で低下［てしまった
。（実用上けこｈをヒータ加熱して初期特性にまで再生
している。）。一方、従来のアルカリ添加タイプのもの
では、逆に６か月間放置後には初期と比べて抵抗値が平
均して約１桁低下し、同じく全体的に感度の低下が見ら
れた。こｈに対して、この発明の一実施例の感湿材料を
用いにセンサけ、６か月間放置後には初期と比べて抵抗
値がわずかに高くなったのみであり、感度の低下も見ら
れなかった。
５３．９重量％ 金属粒子：Ａ１粉末 ２７．３ ＃ケ
イ酸アルカリ：ケイ酸カリウム １２．４１１添刀口
ＷＪ ： Ｍｇ５（８１４０１０）（ＯＨ）２
６．４ ｐさらに感湿皮膜にＡ１２０
３−Ｍｇ０−ＺｎＯ系セラミックスおよびこｈにアルカ
リであるＮａ２Ｑを添加したセラミックスをそれぞれ１
２５０℃で４時間焼成したものを甲い、他は第１図と同
様にして得た従来タイプのセラミック湿度センサおよび
アルカリ添カロ型セうミック湿度センサを製作した。上
記３種のサンプルにより、焼成後の感湿特性（相対湿度
（イ）−電気抵抗■）とその経時変化を比較測定したと
ころ、第２図の結果がｐｃ＝ｈｆｃｏなお印〃口電圧は
交流ｔｏｖ： ５０Ｈ２であり、経時変化としては一
般家庭への室内放働″後の特性を測定しに０第２図ＶＣ
おいて曲＃ｉ！ （ＡＩ ）は従来のセラミックタイプ
、 （Ｂ１１は従来のアルカリ添加タイプ、（（！１
）はこの発明の一実施例の感湿材料を用いたもののそれ
ぞｈ初期感湿特性であり＋ （Ａ２）、 （Ｂ２）
および（Ｃ２）はそｈぞｈのものの６か月間放置後
の感湿特性である。この図から明らかなように、従来の
セラミックタイプの感湿材料を用いたセンサけ、６か月
間放置後には抵抗値が初期と比べて１桁以上大となり、
検知感度（曲線の傾き）も低湿度佃で低下［てしまった
。（実用上けこｈをヒータ加熱して初期特性にまで再生
している。）。一方、従来のアルカリ添加タイプのもの
では、逆に６か月間放置後には初期と比べて抵抗値が平
均して約１桁低下し、同じく全体的に感度の低下が見ら
れた。こｈに対して、この発明の一実施例の感湿材料を
用いにセンサけ、６か月間放置後には初期と比べて抵抗
値がわずかに高くなったのみであり、感度の低下も見ら
れなかった。
つぎに、上記従来のアルカリ添加タイプのものとこの発
明の一実施例の感湿材料を用いｋものとにつめて、初期
における感湿特性（相対湿度（資）−電気抵抗（９））
のヒステリシスを調べた。この結果を第３図に示す。な
お、論ずれも低湿度→高湿度→低湿度の順で測定を行な
い、各測定点間はすべて１０分間の間隔をおいた。第３
図において１曲線（Ｂ３）は従来のアルカリ添加タイプ
のもの。
明の一実施例の感湿材料を用いｋものとにつめて、初期
における感湿特性（相対湿度（資）−電気抵抗（９））
のヒステリシスを調べた。この結果を第３図に示す。な
お、論ずれも低湿度→高湿度→低湿度の順で測定を行な
い、各測定点間はすべて１０分間の間隔をおいた。第３
図において１曲線（Ｂ３）は従来のアルカリ添加タイプ
のもの。
＜０３）Ｆｉこの発明の一実施例の感湿材料を用いたも
ののそｈぞれ高湿度側から低湿＃仰Ｉへ測定した場合の
特性を示す。第３図より明らかなように。
ののそｈぞれ高湿度側から低湿＃仰Ｉへ測定した場合の
特性を示す。第３図より明らかなように。
従来のアルカリ添加タイプのものの方がとぐに高湿度側
において大きなヒステリシスを生じている。
において大きなヒステリシスを生じている。
また、上記３種のセンサーについて、水蒸気の吸脱着応
答速摩を測定り斤ところ１表の結果が得ら１Ｎｆｃ０表
かられかるように、従来のアルカリ添〃０タイプのもの
け、吸着１１ｎ （５０→９ｏ％ＲＨ）および脱着唄Ｒ
（９０→５ｏチＲＨ）ともに応答が遅いのに対して、こ
の発明の一実施例の感湿材料を甲いたものは従来のセラ
ミックタイプのものと同等以上の応答速度を示した。
答速摩を測定り斤ところ１表の結果が得ら１Ｎｆｃ０表
かられかるように、従来のアルカリ添〃０タイプのもの
け、吸着１１ｎ （５０→９ｏ％ＲＨ）および脱着唄Ｒ
（９０→５ｏチＲＨ）ともに応答が遅いのに対して、こ
の発明の一実施例の感湿材料を甲いたものは従来のセラ
ミックタイプのものと同等以上の応答速度を示した。
表
ｆＸｆ；？上記効果は、有機けい素化合物重合体、金属
粒子およびアルカリケイ酸塩の種類を各種変更した場合
も同様である。
粒子およびアルカリケイ酸塩の種類を各種変更した場合
も同様である。
この発明は以上説明したとおり、有機けい素化谷物重合
体、金属粒子およびアルカリケイ酸塩を主成分とする混
合焼成物から成るものを用いることにより、再生用の加
熱機構を必ずしも装備せずとも感湿特性が安定し、しか
も高湿度雰囲気および結露雰囲気中においても感湿特性
がほとんど変化せず、感湿特性のヒステリシスが小さく
応答速度の従来と同等以上の感湿材料を得ることができ
。
体、金属粒子およびアルカリケイ酸塩を主成分とする混
合焼成物から成るものを用いることにより、再生用の加
熱機構を必ずしも装備せずとも感湿特性が安定し、しか
も高湿度雰囲気および結露雰囲気中においても感湿特性
がほとんど変化せず、感湿特性のヒステリシスが小さく
応答速度の従来と同等以上の感湿材料を得ることができ
。
例えば湿度センサに極めて有用である。
第１図はこの発明の一実施例の感湿材料を用いた湿度セ
ンサーの斜視図、第２図および＄３図はそれぞれこの発
明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーと従来の
湿度センサーを比較する感湿特性図である。 図において、（１）は絶縁基板、（２）け電極、（３）
は感湿皮膜、（４）はリード線、 （Ａ１）、 （Ａ
２１． （Ｂ１）。 （Ｂ２）、 （Ｂ５１は比較従来例の感湿特性１ （
”）！（０２）、 （０３）はこの発明の一実施例の
感湿材料を甲いｆｃ湿度センサーの感湿特性である。
ンサーの斜視図、第２図および＄３図はそれぞれこの発
明の一実施例の感湿材料を用いた湿度センサーと従来の
湿度センサーを比較する感湿特性図である。 図において、（１）は絶縁基板、（２）け電極、（３）
は感湿皮膜、（４）はリード線、 （Ａ１）、 （Ａ
２１． （Ｂ１）。 （Ｂ２）、 （Ｂ５１は比較従来例の感湿特性１ （
”）！（０２）、 （０３）はこの発明の一実施例の
感湿材料を甲いｆｃ湿度センサーの感湿特性である。
Claims (1)
- 有機けい素化合物重合体，金属粒子およびアルカリケイ
酸塩を主成分とする混合焼成物から成る感湿材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26895584A JPS61147139A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感湿材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26895584A JPS61147139A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感湿材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61147139A true JPS61147139A (ja) | 1986-07-04 |
Family
ID=17465615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26895584A Pending JPS61147139A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感湿材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61147139A (ja) |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP26895584A patent/JPS61147139A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0090048B1 (en) | Humidity sensor | |
| JPS61147139A (ja) | 感湿材料 | |
| US4666628A (en) | Moisture sensitive material and process for its production | |
| JPH0244390B2 (ja) | Kanshitsuzairyo | |
| JPS61147142A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS61147135A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS617455A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS60186748A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS6131418B2 (ja) | ||
| JPH051420B2 (ja) | ||
| JPH0231842B2 (ja) | Kanshitsuzairyo | |
| JPS61147138A (ja) | 感湿材料 | |
| JPH02209702A (ja) | 耐水性感湿素子 | |
| JPH052100B2 (ja) | ||
| JPS61147143A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS58166701A (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
| JPS60198702A (ja) | 感湿材料 | |
| JPH02252202A (ja) | 湿度センサ素子 | |
| JPS59102149A (ja) | 感湿材料 | |
| JPH052099B2 (ja) | ||
| JPS60198447A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS5990037A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS61147136A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| JPS60198448A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS6344703A (ja) | 感湿素子組成物 |