JPS59102150A - 感湿材料 - Google Patents
感湿材料Info
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- JPS59102150A JPS59102150A JP57213506A JP21350682A JPS59102150A JP S59102150 A JPS59102150 A JP S59102150A JP 57213506 A JP57213506 A JP 57213506A JP 21350682 A JP21350682 A JP 21350682A JP S59102150 A JPS59102150 A JP S59102150A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、湿度による電気抵抗値変化を利用したセラミ
ック等の無機質感湿材料の改良に関するものである。
ック等の無機質感湿材料の改良に関するものである。
従来から、このような機能を有する感湿部として、塩化
リチウム、塩化カルシウム等の電解質。
リチウム、塩化カルシウム等の電解質。
セレン、ゲルマニウム等の半導体蒸着膜および酸化アル
ミニウム、酸化チタン、酸化鉄等を用いた金属酸化物系
セラミックが使用されてきた。昨今では、物理的および
化学的に安定であり、皮膜強度も高いため金属酸化物系
セラミックが最も多く用いられ、現在他のものもこれに
切り替わる傾向にある。このような中で、いかに安定な
セラミック感湿材料であろうとも、その使用実績がまだ
浅く、信頼性および寿命の点で問題のあることが最近の
学会等で指摘されている その中で、特に空気中での使用または放置により水（湿
気）の吸脱着がくり返されると、ＯＨ基が強く表面に固
着（化学吸着）されてしまうために感湿材料自体の抵抗
値が大きく変化し、しかも湿度検知（感湿）機能が低下
してしまうことである。そして２両者とも劣化状態では
９通常５０〇−６００℃以上に加熱しないと初期の性能
まで復帰しなくなってしまう。したがって、セラミック
感湿材料の中には、この点を解消するために、感湿部を
５００．−６００℃に加熱するためのヒータおよびその
駆動回路を備えた湿度センサが実用化されている。しか
し、これらのものを装備すると、湿度センサ自体も高価
なものとなり、また上記温度まで加熱するためには電力
をがなり要するという新たな欠点も生じてしまうことが
避けられなかった。
ミニウム、酸化チタン、酸化鉄等を用いた金属酸化物系
セラミックが使用されてきた。昨今では、物理的および
化学的に安定であり、皮膜強度も高いため金属酸化物系
セラミックが最も多く用いられ、現在他のものもこれに
切り替わる傾向にある。このような中で、いかに安定な
セラミック感湿材料であろうとも、その使用実績がまだ
浅く、信頼性および寿命の点で問題のあることが最近の
学会等で指摘されている その中で、特に空気中での使用または放置により水（湿
気）の吸脱着がくり返されると、ＯＨ基が強く表面に固
着（化学吸着）されてしまうために感湿材料自体の抵抗
値が大きく変化し、しかも湿度検知（感湿）機能が低下
してしまうことである。そして２両者とも劣化状態では
９通常５０〇−６００℃以上に加熱しないと初期の性能
まで復帰しなくなってしまう。したがって、セラミック
感湿材料の中には、この点を解消するために、感湿部を
５００．−６００℃に加熱するためのヒータおよびその
駆動回路を備えた湿度センサが実用化されている。しか
し、これらのものを装備すると、湿度センサ自体も高価
なものとなり、また上記温度まで加熱するためには電力
をがなり要するという新たな欠点も生じてしまうことが
避けられなかった。
この発明は従来のものの欠点を除去するためになされた
もので、感湿機能を有する無機質固体材料にフッ化黒鉛
を分散させたけい素樹脂およびその変性樹脂の内の少な
くとも１種を被覆して後硬化させることにより、物理、
化学的に安定で皮膜強度が高く、無機質固体材料のもつ
感湿特性を生かし、長期にわたって使用しても抵抗値お
よび感湿機能の変化が小さい感湿材料を得ることを目的
とするものである。
もので、感湿機能を有する無機質固体材料にフッ化黒鉛
を分散させたけい素樹脂およびその変性樹脂の内の少な
くとも１種を被覆して後硬化させることにより、物理、
化学的に安定で皮膜強度が高く、無機質固体材料のもつ
感湿特性を生かし、長期にわたって使用しても抵抗値お
よび感湿機能の変化が小さい感湿材料を得ることを目的
とするものである。
この発明で用いる感湿機能を有する無機質固体材料とし
ては、金属酸化物の焼結体であるいわゆるセラミック材
料をはじめ、セラミックといわれるもの以外のたとえば
けい酸塩やりん酸塩等からなるものがあることを実験に
より確かめた。
ては、金属酸化物の焼結体であるいわゆるセラミック材
料をはじめ、セラミックといわれるもの以外のたとえば
けい酸塩やりん酸塩等からなるものがあることを実験に
より確かめた。
ところで、この発明で用いるフッ化黒鉛とは。
各・炭素原子に１個ずつフッ素原子が共有結合により強
固に結合したもので化学的に非常に安定した白色へ灰色
の微粉末であって、工業的には無水フッ酸の電解により
発生したフッ素を直接炭素と反応させて製造されている
。その性質は、低表面エネルギー性を有し、摩擦係数が
小さいため、固体潤滑剤として実用化されているもので
ある。しかし、このものは、他の物質と混合しにくいた
め。
固に結合したもので化学的に非常に安定した白色へ灰色
の微粉末であって、工業的には無水フッ酸の電解により
発生したフッ素を直接炭素と反応させて製造されている
。その性質は、低表面エネルギー性を有し、摩擦係数が
小さいため、固体潤滑剤として実用化されているもので
ある。しかし、このものは、他の物質と混合しにくいた
め。
適当な界面活性剤や分散剤を用いるかまたは強制的に混
合して用いる必要がある。
合して用いる必要がある。
また９本発明で使用するけい素樹脂としては。
いわゆるシリコーンとよばれる有機けい素化合物重合体
およびこれをエポキシ樹脂、アクリル樹脂。
およびこれをエポキシ樹脂、アクリル樹脂。
ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂等の他の樹脂で変性
したものも用いることができる。
したものも用いることができる。
ただし１発明者の実験によれば、これらの樹脂皮膜の厚
さによって感湿機能が影響を受け、膜厚が厚（なると、
抵抗値は犬となり、感湿機能も全く消失してしまうこと
がわかった。したがって。
さによって感湿機能が影響を受け、膜厚が厚（なると、
抵抗値は犬となり、感湿機能も全く消失してしまうこと
がわかった。したがって。
樹脂皮膜がある程度の皮膜強度を維持する範囲内におい
て、膜厚はなるべ（薄いことが好ましい。
て、膜厚はなるべ（薄いことが好ましい。
又、けい素樹脂およびその変性樹脂の内の少なくとも１
種を焼成して硬化させてもよく、この場合は皮膜が多孔
質化することにより感湿感度が良くなる。しかし、焼成
温度は６００ ’Ｃ以下であるのが望ましい。なぜなら
６００℃以上では、けい素樹脂およびその変性樹脂に分
散しているフッ化黒鉛が熱分解されるからである。
種を焼成して硬化させてもよく、この場合は皮膜が多孔
質化することにより感湿感度が良くなる。しかし、焼成
温度は６００ ’Ｃ以下であるのが望ましい。なぜなら
６００℃以上では、けい素樹脂およびその変性樹脂に分
散しているフッ化黒鉛が熱分解されるからである。
以下実施例を示すことによりこの発明の詳細な説明する
が、これによりこの発明を限定するものではない。
が、これによりこの発明を限定するものではない。
実施例１
０ａＯ、０ｒ２０５ 粉末に１５ ｍｏ１％になるよ
うにＴｉＯ２を加え、これらの粉末を湿式混合によって
均一に混合し、これにポリビニルアルコールの有機バイ
ンダーを加え成形する。この成形体を空気中、１３００
℃で５時間焼結して−Ｃａｃｒ２０４ −ＴｉＯ２系焼
結体を合成し、感湿部を形成した。このものの片面に、
接着性がよく、かつ水分を吸脱着しやすい酸化ルテニウ
ム（ＲｕＯ２）のペーストにて、クシ形電極をスクリー
ン印刷し、ｐｔリード線を取り付は後、焼付けを行なっ
た。つぎに、メチルフェニルシリコーンの初期重合物を
キシレンに溶解させた市販のけい素樹脂（シリコーン）
フェノをさらにキシレンで希釈して粘度を下げ、この中
に、フッ化黒鉛５ ｗｔ％および界面活性剤を加えて混
合攪拌する。この中に前記感湿部を浸漬後、８０℃で２
０分間予備乾燥を行ない、ついで２００℃ で２０分間
焼成してフッ化黒鉛を含有分散させたけい素樹脂皮膜を
硬化させて、この発明の感湿材料を用いた湿度センサを
作製した。第１図（ａ）はこの発明による一実施例を示
す湿度センサの断面図、第１図（１））は（ａ）から皮
膜を取り除いたものの斜視図であり、（１）は無機質固
体材料でＣユＣｒ２０４−ＴｉＯ２セラミック感湿基材
よりなる感湿部のペース、（２）はフッ化黒鉛を含有分
散させたけい素樹脂の硬化皮膜、（３）は電極、（４）
はリード線である。
うにＴｉＯ２を加え、これらの粉末を湿式混合によって
均一に混合し、これにポリビニルアルコールの有機バイ
ンダーを加え成形する。この成形体を空気中、１３００
℃で５時間焼結して−Ｃａｃｒ２０４ −ＴｉＯ２系焼
結体を合成し、感湿部を形成した。このものの片面に、
接着性がよく、かつ水分を吸脱着しやすい酸化ルテニウ
ム（ＲｕＯ２）のペーストにて、クシ形電極をスクリー
ン印刷し、ｐｔリード線を取り付は後、焼付けを行なっ
た。つぎに、メチルフェニルシリコーンの初期重合物を
キシレンに溶解させた市販のけい素樹脂（シリコーン）
フェノをさらにキシレンで希釈して粘度を下げ、この中
に、フッ化黒鉛５ ｗｔ％および界面活性剤を加えて混
合攪拌する。この中に前記感湿部を浸漬後、８０℃で２
０分間予備乾燥を行ない、ついで２００℃ で２０分間
焼成してフッ化黒鉛を含有分散させたけい素樹脂皮膜を
硬化させて、この発明の感湿材料を用いた湿度センサを
作製した。第１図（ａ）はこの発明による一実施例を示
す湿度センサの断面図、第１図（１））は（ａ）から皮
膜を取り除いたものの斜視図であり、（１）は無機質固
体材料でＣユＣｒ２０４−ＴｉＯ２セラミック感湿基材
よりなる感湿部のペース、（２）はフッ化黒鉛を含有分
散させたけい素樹脂の硬化皮膜、（３）は電極、（４）
はリード線である。
比較例１
実施例１におけるフッ化黒鉛を含有分散させたけい素樹
脂を除き、他は実施例１と全く同様にして、即ち従来の
セラミックを用いた湿度センサを作製した。
脂を除き、他は実施例１と全く同様にして、即ち従来の
セラミックを用いた湿度センサを作製した。
実施例２
ＴｉＯ２およびｓｎｏ ２ の粉末を３：１の割合で
混合したものを、アルミナ絶縁基板上に沈殿させた後、
空気中において１３００°Ｃ２５時間焼結して皮膜状の
感湿部を形成した。この上に、 ｐｔ−≠合金系ペース
トにてくし形電極をスクリーン印刷しｐｔｌＪ−ド線を
取り付は後焼付けを行なった。
混合したものを、アルミナ絶縁基板上に沈殿させた後、
空気中において１３００°Ｃ２５時間焼結して皮膜状の
感湿部を形成した。この上に、 ｐｔ−≠合金系ペース
トにてくし形電極をスクリーン印刷しｐｔｌＪ−ド線を
取り付は後焼付けを行なった。
つぎにフッ化黒鉛５ ｗｔ％、界面活性剤およびアミン
系硬化剤を添加したメチルフェニルシリコーンのキシレ
ンによる希釈液中に上記感湿部を浸漬後、乾燥機中、８
０°Ｃにおいて溶剤を揮発させてけい素樹脂皮膜ヲ欄化
させて、この発明の感湿材料を用いた湿度センサを作製
した。第３図（ａ）はこの発明による他の実施例を示す
湿度センサの断面図、第３図（ｂ）は（ａ）から皮膜と
感湿基材を取り除いた斜視図であり、（１）は無機質固
体材料で、 ５ｎｏ２− ’ｒ１ｏ２セラミック感湿基
材よりなる感湿部のベース、（２）はフッ化黒鉛を含有
分散させたけい素樹脂硬化皮膜、（５）は絶縁基板であ
る。
系硬化剤を添加したメチルフェニルシリコーンのキシレ
ンによる希釈液中に上記感湿部を浸漬後、乾燥機中、８
０°Ｃにおいて溶剤を揮発させてけい素樹脂皮膜ヲ欄化
させて、この発明の感湿材料を用いた湿度センサを作製
した。第３図（ａ）はこの発明による他の実施例を示す
湿度センサの断面図、第３図（ｂ）は（ａ）から皮膜と
感湿基材を取り除いた斜視図であり、（１）は無機質固
体材料で、 ５ｎｏ２− ’ｒ１ｏ２セラミック感湿基
材よりなる感湿部のベース、（２）はフッ化黒鉛を含有
分散させたけい素樹脂硬化皮膜、（５）は絶縁基板であ
る。
比較例２
実施例２におけるフッ化黒鉛を含有分散させたけい素樹
脂を除き、他は実施例２と全く同様にして、即ち従来の
セラミックを用いた湿度センサを作製した。
脂を除き、他は実施例２と全く同様にして、即ち従来の
セラミックを用いた湿度センサを作製した。
耐水和劣化試験
まず、上記実施例１．実施例２．比較例１．および比較
例２により作製した湿度センサの初期感湿特性を比較す
るため、上記湿度センサ各々に交流１■を印加して相対
湿度変化〔％〕による抵抗値変化〔Ω〕を測定する。そ
の後、水和劣化による感湿特性の変化を測定するため、
上記湿度センサを高温高湿槽（６０℃、９５％ＲＨ）中
に２００時間放置して加速水和劣化させ、再び交流１■
を印加して感湿特性を測定する。第２図および第４図は
その結果を示す感湿特性図であり１図におい１て９曲線
（Ａ１）、曲線（ＣＩ）は従来タイプのセラミックを感
湿材料に用いた湿度センサの初期の感湿特性９曲線（Ａ
２） 、曲線（Ｃ２）は上記センサ各々の水和劣化後の
感湿特性９曲線（Ｂ１）、曲線（Ｄｌ）はこの発明の感
湿材料を用いた湿度センサの初期の感湿特性１曲線（Ｂ
２） 、曲線（Ｂ２）は上記センサ各々の水和劣化後の
感湿特性を示す。これにより、従来タイプのセラミック
のものは、水和劣化により抵抗値が増大し、感湿機能も
低下してしまったのに対して、この発明による湿度セン
サは共に、初期においては高湿度側では従来タイプのセ
ラミックのものより抵抗値が高めであるが、はとんど改
良前の感湿特性をそこなうものではなく、又水和劣化後
もほとんど抵抗値の経時変化はなく初期の感湿機能を維
持していた。したがって、従来タイプのセラミックのも
のは、使用前に経時変化した特性を初期特性にまで復帰
させるのに５００℃で１分間の加熱を必要とするのに対
し、この実施例で示したものは、空気中において長期的
に感湿特性が安定しているという信頼性を有するもので
、非加熱型湿度センサ用の感湿材料として十分使用でき
るものであることが明らかとなった。
例２により作製した湿度センサの初期感湿特性を比較す
るため、上記湿度センサ各々に交流１■を印加して相対
湿度変化〔％〕による抵抗値変化〔Ω〕を測定する。そ
の後、水和劣化による感湿特性の変化を測定するため、
上記湿度センサを高温高湿槽（６０℃、９５％ＲＨ）中
に２００時間放置して加速水和劣化させ、再び交流１■
を印加して感湿特性を測定する。第２図および第４図は
その結果を示す感湿特性図であり１図におい１て９曲線
（Ａ１）、曲線（ＣＩ）は従来タイプのセラミックを感
湿材料に用いた湿度センサの初期の感湿特性９曲線（Ａ
２） 、曲線（Ｃ２）は上記センサ各々の水和劣化後の
感湿特性９曲線（Ｂ１）、曲線（Ｄｌ）はこの発明の感
湿材料を用いた湿度センサの初期の感湿特性１曲線（Ｂ
２） 、曲線（Ｂ２）は上記センサ各々の水和劣化後の
感湿特性を示す。これにより、従来タイプのセラミック
のものは、水和劣化により抵抗値が増大し、感湿機能も
低下してしまったのに対して、この発明による湿度セン
サは共に、初期においては高湿度側では従来タイプのセ
ラミックのものより抵抗値が高めであるが、はとんど改
良前の感湿特性をそこなうものではなく、又水和劣化後
もほとんど抵抗値の経時変化はなく初期の感湿機能を維
持していた。したがって、従来タイプのセラミックのも
のは、使用前に経時変化した特性を初期特性にまで復帰
させるのに５００℃で１分間の加熱を必要とするのに対
し、この実施例で示したものは、空気中において長期的
に感湿特性が安定しているという信頼性を有するもので
、非加熱型湿度センサ用の感湿材料として十分使用でき
るものであることが明らかとなった。
撥水性試験
感湿材料の撥水性は、接触角測定により調べた。
条件は室温において直径１２１１にの蒸留水を滴下し。
１分後にゴニオメータにより接触角を測定した。
その結果、実施例１の感湿材料は１１０°、比較例１の
従来タイプのものは３２°であった。又、実施例２およ
び比較例２でも上記同様実施例２の感湿材料の方が比較
例２の従来タイプのものよりも撥水性がはるかに高いと
いうことが示された。
従来タイプのものは３２°であった。又、実施例２およ
び比較例２でも上記同様実施例２の感湿材料の方が比較
例２の従来タイプのものよりも撥水性がはるかに高いと
いうことが示された。
水の吸・脱着の応答性
相対湿度５０％ＲＨと８０％ＲＨの湿度変化による水の
吸・脱着の応答時間を調べた。その結果比較例１のＣａ
Ｃｒ２Ｏ４ＴｉＯ２セラミック湿度センサは、前述した
ように表面もしくは表面層が徐々に経時的に変化して（
るが、使用前に５００℃で１分間加熱して表面に付着し
ている化学吸着水を除去した後には除湿時、加湿時とも
応答時間は約６０秒であり、実施例１のこの発明の感湿
材料を用いた湿度センサは、空気中２００時間放置後非
加熱であっても、除湿時、加湿時とも応答時間は約３５
秒であり応答性がさらに向上しているのが明らかである
。又、比較例２および実施例２の湿度センサについて、
上記と同じ方法で水の吸・脱着の応答性を調べたところ
、比較例２の従来タイプのセラミック湿度センサの応答
時間は吸着の場合約６５秒、脱着の場合約３９秒であり
、実施例２のこの発明の感湿材料を用いた湿度センサは
、吸着の場合約２３秒、脱着の場合約３９秒であり。
吸・脱着の応答時間を調べた。その結果比較例１のＣａ
Ｃｒ２Ｏ４ＴｉＯ２セラミック湿度センサは、前述した
ように表面もしくは表面層が徐々に経時的に変化して（
るが、使用前に５００℃で１分間加熱して表面に付着し
ている化学吸着水を除去した後には除湿時、加湿時とも
応答時間は約６０秒であり、実施例１のこの発明の感湿
材料を用いた湿度センサは、空気中２００時間放置後非
加熱であっても、除湿時、加湿時とも応答時間は約３５
秒であり応答性がさらに向上しているのが明らかである
。又、比較例２および実施例２の湿度センサについて、
上記と同じ方法で水の吸・脱着の応答性を調べたところ
、比較例２の従来タイプのセラミック湿度センサの応答
時間は吸着の場合約６５秒、脱着の場合約３９秒であり
、実施例２のこの発明の感湿材料を用いた湿度センサは
、吸着の場合約２３秒、脱着の場合約３９秒であり。
上記同様この発明の感湿材料を用いた湿度センサの応答
性は、さらに向上している。
性は、さらに向上している。
なお、上記各試験により明らかにされたこの発明の感湿
材料が有する良好な耐水相性および感湿特性の経時安定
性、水の吸・脱着応答性は、け（・素樹脂および特にフ
ッ化黒鉛のもつ低表面エネルギー性に起因する撥水性に
よるものと考えられる。
材料が有する良好な耐水相性および感湿特性の経時安定
性、水の吸・脱着応答性は、け（・素樹脂および特にフ
ッ化黒鉛のもつ低表面エネルギー性に起因する撥水性に
よるものと考えられる。
以上説明したとうり、この発明は感湿機能を有する無機
質固体材料にフッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂および
その変性樹脂の内の少なくとも一種を被覆して後硬化さ
せることにより、物理、化学的に安定で皮膜強度が高く
、無機質固体材料のもつ感湿特性を生かし、長期にわた
って使用しても抵抗値および感湿機能の変化が小さい感
湿材料を得ることができる。
質固体材料にフッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂および
その変性樹脂の内の少なくとも一種を被覆して後硬化さ
せることにより、物理、化学的に安定で皮膜強度が高く
、無機質固体材料のもつ感湿特性を生かし、長期にわた
って使用しても抵抗値および感湿機能の変化が小さい感
湿材料を得ることができる。
第１図（ａＪはこの発明の一実施例の感湿材料を用いた
湿度センサの断面図、第１図（１））は（ａ）から皮膜
を取り除いたものの斜視図、第２図および第４図はこの
発明による湿度センサと従来の湿度センサを比較する感
湿特性図である。第３図（ａ）はこの発明の他の実施例
の感湿材料を用いた湿度センサの断面図、第３図（ｂ）
は（ａ）から皮膜と感湿基材を取り除いたものの斜視図
である。 図において（１）は無機質固体材料で、感湿基材よりな
る感湿部のベース、（２）はフッ化黒鉛を分散させたけ
い素樹脂の硬化層でけい素樹脂硬化皮膜である。（３）
は電極、（４）はリード線、（５）は絶縁基板。 （Ａ）、（Ｃ）は比較従来例の特性−ＣＢ）、 （Ｄ）
はこの発明のによる湿度センサの特性を示す。 なお各図中同一符号は同−又は相当部を示す。 代理人 葛野信− 第１図（（１） 第１図（ｂ） 第２図 う 相 対 湿 度 （０ん） 第３図（（１） ／ り 第３ 図（ｂ） 第４図 相対湿度（’／、）
湿度センサの断面図、第１図（１））は（ａ）から皮膜
を取り除いたものの斜視図、第２図および第４図はこの
発明による湿度センサと従来の湿度センサを比較する感
湿特性図である。第３図（ａ）はこの発明の他の実施例
の感湿材料を用いた湿度センサの断面図、第３図（ｂ）
は（ａ）から皮膜と感湿基材を取り除いたものの斜視図
である。 図において（１）は無機質固体材料で、感湿基材よりな
る感湿部のベース、（２）はフッ化黒鉛を分散させたけ
い素樹脂の硬化層でけい素樹脂硬化皮膜である。（３）
は電極、（４）はリード線、（５）は絶縁基板。 （Ａ）、（Ｃ）は比較従来例の特性−ＣＢ）、 （Ｄ）
はこの発明のによる湿度センサの特性を示す。 なお各図中同一符号は同−又は相当部を示す。 代理人 葛野信− 第１図（（１） 第１図（ｂ） 第２図 う 相 対 湿 度 （０ん） 第３図（（１） ／ り 第３ 図（ｂ） 第４図 相対湿度（’／、）
Claims (1)
- 感湿機能を有する無機質固体材料、およびこの無機質固
体材料を被覆するフッ化黒鉛を分散させたけい素樹脂お
よびその変性樹脂の内の少なくとも１種の硬化層を備え
た感湿材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213506A JPS59102150A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57213506A JPS59102150A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59102150A true JPS59102150A (ja) | 1984-06-13 |
Family
ID=16640318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57213506A Pending JPS59102150A (ja) | 1982-12-06 | 1982-12-06 | 感湿材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59102150A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5473933A (en) * | 1992-04-24 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Humidity sensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57156553A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-27 | Toshiba Corp | Humidity sensitive element |
-
1982
- 1982-12-06 JP JP57213506A patent/JPS59102150A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57156553A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-27 | Toshiba Corp | Humidity sensitive element |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5473933A (en) * | 1992-04-24 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Humidity sensor |
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