JPS5891027A - 炭化ケイ素粉末の製造方法 - Google Patents

炭化ケイ素粉末の製造方法

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JPS5891027A
JPS5891027A JP56187763A JP18776381A JPS5891027A JP S5891027 A JPS5891027 A JP S5891027A JP 56187763 A JP56187763 A JP 56187763A JP 18776381 A JP18776381 A JP 18776381A JP S5891027 A JPS5891027 A JP S5891027A
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JP
Japan
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silica
powder
carbon
silicon carbide
carbide powder
Prior art date
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Pending
Application number
JP56187763A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Inoue
寛 井上
Katsutoshi Yoneya
勝利 米屋
Akihiko Tsuge
柘植 章彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、炭化ケイ素粉末の製造方法に関し、更に詳し
くは、粒径及び粒形の揃った均質な炭化ケイ素粉末の製
造方法に関する。
発明の技術的背景とその間照点 炭化ケイ素セラミックスは、結合強度が畠く、耐熱性が
優れていることから、高温時に1いて使用する強度材料
或いは耐j11粍材料としてその応用が期待されている
。かかる用途に使用する場合に、材料の強度は、材料自
体の緻密性により決足され、拐料内部に存在する欠陥空
孔の大きさが材料強度を左右する。従って、かかる材料
には、大きな欠陥空孔を有さす、緻密且つ均質な組織を
形成するものが強く要求されておシ、特に、原料粉末に
対しては、より高品質化することが要望されている。
上記した炭化ケイ素の合成方法としては、シリカの炭素
還元による方法等が挙げられる。かかる反応は次のよう
に進行する。
5iO= +3C−SiC+ 2CO しかしながら、従来の方法では、粒径を小さくすること
が困難であり、製造された炭化ケイ素粉末の粒径及び粒
形が不揃いでばらついているために、焼結原料として使
用することにより、優れた特性を得るには問題を有して
いる。
本発明者らは、特開昭53−26597号公報において
、上記シリカ還元法を改良する方法全提案して以来、更
に研究を重ねている。そして、本発明者らは、特公昭5
4−23917号公報等において提案しまたように、シ
リカ(S10.)−炭素(C)−炭化ケイ素(SiC)
或いは ンリカー炭素−窒化ケイ素(S Is Nl 
)等の、シリカ及び炭素から成る糸に、SiC或いは5
isNa等の第三成分を加えて成るシリコンセラミック
ス粉末の製造方法により、より均質で、粒径や粒形の揃
ったシリコンセラミックス粉末が得られることを見出し
7ている。
本発明は、上記したシリカ還元法を更に改良したもので
ある。
発明の目的 本発明の目的は、シリカ還元法による炭化ケイ素粉末の
製造方法を更に改良し、均質で、粒径や粒形の揃った炭
化ケイ素粉末の製造方法全提供することにある。
発明の概要 本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、シリカ還元法に
おいて、第三成分として添加するケイ素化合物粉末の性
状が、上記反応に大きく関与することを見出した。そし
て、このケイ素化合物粉末として、シリカ還元法によシ
合成した炭化ケイ素を使用することにより、上記目的が
達成できること全見出し、本発明全完成するに飼った。
即ち、本発明の炭化ケイ素粉末の製造方法は、シリカ粉
末又はシリカを含有する物質を、シリカとして1重量部
、炭素粉末又は焼成により炭素を生ずる物質を、炭素と
して0.5〜4重量部、並びにシリカ還元法によシ合成
した炭化ケイ素粉末o、o o 5〜1重量部から成る
混合粉末を、非酸化性雰囲気中において、1350〜1
850℃で焼成することを特徴とするものである。
以下において、本発明を更に詳しく説明する。
本発明において使用されるシリカを含有する物質として
は、例えば、メチルトリクロロシランの加水分解物であ
るメチルケイ酸(CL S t Oi )等が挙げられ
、有効であることが確認されている。かかるシリカ又は
シリカを含有する物質の粒径は、1μm以下のものであ
ることが好ましい。
又、炭素粉末としては、例えば、カーボンブラック、グ
ラファイト、ランプブラックカーボン等が挙げられ、焼
成により炭素金生ずる物質としては、例えば、各種樹脂
系物質等が挙げられる。
本発明において、シリカ還元法における第三成分として
使用される炭化ケイ素粉末は、シリカ還元法により合成
したものである。かかる還元法は、例えば、シリカ粉末
又は^温でシリカ粉末を生成する物質を、シリカ粉末と
してl冨童部、炭素粉末0.5〜4M量部、並びに高温
で炭化ケイ素粉末全生成する物質を、炭化ケイ素粉末と
して0.05〜1重一部から成る混合粉末を、非酸化性
雰囲気中において、1400〜1850℃で焼成するこ
とにより行なわれる。
このようにして得た炭化ケイ素粉末は、結晶型はα型、
β型のいずれであってもよく、粒径は、1μm以下で、
粒形が粒状のものであることが好葦しい。又、本発明の
製造方法により得た炭化ケイ素粉末を、再び、本発明全
実施する際の出発原料として使用することは、より均質
で、粒径や粒形のnfiiiつた炭化ケイ素粉末を得る
うえで好ましいことである1、これらの粉末の粒度を調
整するために、粉砕法等を採用することは、製造上何ら
差し支えない。
本発明において、出発原料として使用するシリカー炭素
−炭化ケイ素の組成比(重量部)を、5ide : C
: SiC= l : 0.5〜4:0.005〜1に
限定する理由は、次のとおりである。即ち、5ilt1
重量部当りCが0.5重量部未満であると、5iosが
未反応物として一部残留してしまい、父、4重量部を超
えると、 SiCの収率が低下する。一方、SiO*1
重量部に対し、Si(ト)司、005重量部未満である
と、SiCの添加効果が見られず、逆に1重量部を超え
ると、原料として添加したSiC粉末の特性が顕著とな
り、収量の低下をきたす。
かかる組成から成る混合粉末を、非酸化性雰囲気中にお
いて焼成する。このような非酸化性雰囲気としては、例
えば、N、、C01Ar+ NH+ 、H*等の雰囲気
が挙げられ、好ましくはs CO,Arである。
かかる雰囲気中において、1350〜1850℃の範囲
内で焼成する。温度が、1350℃未満であると、Sj
Cが生成し難く、一方、1850℃を超えると。
SiCの粒子が成長し過ぎて粗大化するので好ましくな
い。閘、1550℃以下の温度において、拓ガス雰囲気
中で反応を行なうと、窒化ケイ素の生成量が増大するた
めに、N、ガス雰囲気中において反応を行なう場合には
、1550℃を超える温度領域で行なう必要がある。
同、炭素を過剰に使用した場合には、炭素が残留するの
で、酸化性雰囲気中、600〜800℃で加熱処理して
、残留炭素を酸化除去することが好ましいっ 本発明の製造方法により、炭化ケイ累粉末を効率よく得
られる理由は、シリカの炭素還元により生成した炭化ケ
イ素が、予め添加しである炭化ケイ素粉末金核として、
沈着、成長が進行し易くなっているためであると考えら
れる。この際に存在する炭化ケイ素粉末が、シリカ還元
法により得られたものを1吏用した場合には、他の方法
で得たもの全使用した場合に比較して、前者の粉末が微
細かつ品質の安定したものであるために、より均質で、
粒径や粒形の揃った炭化ケイ素粉木金製造することが可
能となる。
以下において、実施例を掲げ、本発明を更に詳しく説明
する、 実施例 1)原料炭化ケイ素粉末の調製 粒径0.01μmのシリカ粉末1重量部、粒径0.05
μの炭素粉末0.5重量部、並びに粒径0.4μの炭化
ケイ素粉末0.1重量部から成る混合粉末301を出発
原料として、これをカーボン容器中において、アルゴン
ガスを2L/+nln、流しながら、1600℃で5時
間焼成した。しかる後、この焼成物を、大気中において
、700℃で2時間加熱して空気酸化し、未反応炭素を
除去し、粒径0.5μmを有するβ型炭化ケイ素粉末1
41を得た。
2)炭化ケイ素粉末の製造 メチルトリクロルシランを加水分解して得たメチルケイ
酸(CHlSiOj)を5011 ランプブラックカー
ボン全13.5f、並びに上記1)のシリカ還元法によ
り調製した粒径0.5μmのβ型炭化ケイ素粉末41を
混合した後、この内の302をカーボン容器中に収納し
、アルゴンガス雰囲気中において1600℃で5時間焼
成を行なった。更に、得られた焼成物を、大気中におい
て、700℃で5時間加熱して未反応炭素全酸化除去し
たところ、微細な粒径のβ型炭化ケイ素192を得た。
かかる炭化ケイ索は、平均粒径0.6μmを有する、均
質で、粒径及び粒形の揃ったものであることが確認され
た。
発明の効果 実施例から明らかなように、本発明の炭化ケイ素粉末の
製造方法によれば、均質で、粒径及び粒形の揃った炭化
ケイ素粉末が、極めて簡便な方法で得られるものである

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  シリカ粉末又はシリカ全含有する物質金、シ
    リカとして1重量部、炭素粉末又は焼成により炭素を生
    ずる物質を、炭素として0.5〜4重量部、並びにシリ
    カ還元法により合成(〜だ炭化ケイ素粉末0.005〜
    1重量部から成る混合粉末を、非酸化性雰囲気中におい
    て、1350〜1850℃で焼成することを特徴とする
    炭化ケイ素粉末の製造方法。
  2. (2)炭化ケイ素粉末として粒径1μm以下のものを使
    用する特許請求の範囲第1項記載の炭化ケイ素粉末の製
    造方法。
  3. (3)  シリカ還元法において、1400〜1850
    ℃で合成した炭化ケイ素粉末を使用する特許請求の範囲
    第1項記載の炭化ケイ素粉末の製造方法。
  4. (4)  シリカ還元法が、シリカ粉末又はシリカを含
    有する物質を、シリカとして1重量部、炭素粉末又は焼
    成により炭素を生ずる物質を、炭素として0.5〜4重
    量部、並びにシリカ還元法により合成した炭化ケイ素粉
    末0.005〜1重量部から成る混合粉末を、非酸化性
    雰囲気中において、1350〜1850℃で焼成するも
    のである特許請求の範囲第1項記載の炭化ケイ素粉末の
    製造方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4840781A (en) * 1986-10-07 1989-06-20 Chisso Corporation Process for producing a silicon carbide
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